JP2008039810A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 固定端と、この固定端にその一端が実質的に固定された可撓性基板と、この可撓性基板の他端から一端側方向へスリットを設けることにより形成された光学反射部と、この光学反射部外の前記可撓性基板の上方に設けられた第１の電極と、この第１の電極の上方に設けられた圧電体と、この圧電体の上方に設けられた第２の電極とを備え、前記光学反射部は、弾性体部を介して前記可撓性基板の他端部に支持された光学反射素子。
2. 光学反射部の厚みは、可撓性基板の厚みよりも厚く形成した請求項１に記載の光学反射素子。
3. 可撓性基板の一端側における第２の電極の幅は、前記可撓性基板の他端側における第２の電極の幅よりも大きくした請求項１に記載の光学反射素子。
4. 第１の電極形成部は、圧電体における電極の有効長の範囲内とした請求項１に記載の光学反射素子。
5. 弾性体部は蛇腹形状とし、この蛇腹形状における蛇腹形状端部の形状は、光学反射部の長手方向に対して垂直方向における長さが、この光学反射部の長手方向における長さよりも短い構成とした請求項１に記載の光学反射素子。
6. 固定端と、この固定端にその一端が実質的に固定された可撓性基板と、この可撓性基板の他端から一端側方向へスリットを設けることにより形成された光学反射部と、この光学反射部外の前記可撓性基板の上方に設けられた第１の電極と、この第１の電極の上方に設けられた圧電体と、この圧電体の上方に設けられた第２の電極、第３の電極とを備え、前記光学反射部は、弾性体部を介して前記可撓性基板の他端部に支持され、前記第２の電極と前記第３の電極とは、光学反射部の長手方向における中心線をその中心として左右対称の関係となる形状とするとともに左右対称となるよう配置された光学反射素子。
7. 固定端を有する基板と、
   前記基板に形成した弾性体部と光学反射部とを備え、
   前記弾性体部を介して前記光学反射部を振動させるように前記光学反射部の端部を前記基板に対して可動状態に支持した光学反射素子。
8. 前記弾性体部の形状を蛇腹形状とした請求項７に記載の光学反射素子。
9. 前記光学反射部外の前記基板は、その上方に第１の電極と、
   この第１の電極の上方に設けられた圧電体と、
   この圧電体の上方に設けられた第２の電極とを備えた請求項７または８に記載の光学反射素子。