JP2007522529A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 第1の周波数で主要発振モードを有する内部プレートと、
   前記第1の周波数で第2の発振モードを有する外部プレートと、
   前記外部プレートの第1周波数副次発振モードを内部プレートの第1周波数主要発振モードと結合するように選択された内部プレートと外部プレートの間に配置されたカップリングとを含むMEMS装置。
2. 前記内部プレートの主要発振モードが前記カップリングによって決まる軸を中心とする回転を含むことを特徴とする請求項１に記載のMEMS装置。
3. 前記内部プレート上にミラー面をさらに含んでいることを特徴とする請求項２に記載のMEMS装置。
4. 前記外部プレートがジンバル構造を含んでいることを特徴とする請求項２に記載のMEMS装置。
5. 前記外部プレートがアンカー構造を含んでいることを特徴とする請求項２に記載のMEMS装置。
6. 前記カップリングがポストを含んでいることを特徴としている請求項１に記載のMEMS装置。
7. 前記カップリングが屈曲部を含んでいることを特徴とする請求項１に記載のMEMS装置。
8. 前記カップリングが少なくとも１つのトーションアームを含んでいることを特徴とする請求項１に記載のMEMS装置。
9. 前記カップリングが、前記結合された第１周波数発振力を前記内部プレート上の複数の位置に分散するサスペンションを含むことを特徴とする請求項１に記載のMEMS装置。
10. 前記第1の周波数で外部プレート内に前記副次発振応答を含むように作動できるアクチュエータを含む請求項１に記載のMEMS装置。
11. 外部プレートが第2の周波数で主要発振応答も有していることを特徴とする請求項１に記載のMEMS装置。
12. 前記第1の周波数での副次発振応答および前記第2の周波数での主要発振応答を前記外部プレート内に引き起こすように作動できるアクチュエータを含む請求項１に記載のMEMS装置。