JP2007527551A - 光線を走査する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図2A
Description
本出願は、同時係属中の特許文献1(名称「簡易ドライブを有するMEMSデバイス(MEMS DEVICE HAVING SIMPLIFIED DRIVE)」、スプレイグ(Randall B.Sprague)ら、2004年5月14日出願)の利益を主張し、また、同時係属中の特許文献2(名称「レーザープリンタに適合されたMEMSシステム(MEMS SYSTEM ADAPTED TO A LASER PRINTER)」、デイビス(Wyatt O.Davis)ら、2004年2月9日出願)の利益を主張する。
サスペンションは、図示されるように、サスペンションビーム208a、208b、サスペンション中心コネクタ218a、218b、およびサスペンション外部コネクタ216a、216b、216c、216dから成る。ねじりアーム206a、206b、は、走査プレート204およびサスペンションビーム208a、208bがその周りで回転する回転軸210を画定する。本明細書に参考として組み込まれる、米国仮特許出願第60/571,133号(名称「簡易ドライブを有するMEMSデバイス(MEMS DEVICE HAVING SIMPLIFIED DRIVE)」、スプレイグ(Randall B.Sprague)ら、2004年5月14日出願、本願と同一出願人による)の教示から理解されるように、サスペンションは、ねじりアーム206a、206bによって引き起こされるトルク負荷を走査プレート204の表面全体に広げることによって、ミラー面を比較的平坦に、典型的には1/4波長以内に維持する助けとなる。
また、応力集中を低減し、トルク負荷を広げ、動作中の走査プレートの動的変形を低減する形で、ねじりアーム206a、206bを走査プレート204に接続する。代替サスペンション構成が可能であり、当業者によって実施することができる。
206a、206b ねじりアーム
208a、208b サスペンションビーム
210 回転軸
212a、212b てこ部材
214a、214b 取付パッド
216a、216b、216c、216d サスペンション外部コネクタ
218a、218b サスペンション中心コネクタ
220a、220b ドープチャネル
502 ウェハ
608 クランプ
Claims (44)
- 第1の周波数で周期的な電気信号を生成する工程と、
MEMSスキャナに前記周期的な電気信号を送信する工程と、
共振周波数補償信号を決定して、前記MEMSスキャナの共振周波数を前記第1の周波数と実質的に合致させる工程と、
前記MEMSスキャナに前記共振周波数補償信号を送信する工程とを含む、MEMSスキャナの駆動方法。 - 前記周期的な電気信号が正弦波形である、請求項1に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記周期的な電気信号を送信する工程が、前記周期的な電気信号を基準信号に位相ロックする工程を含む、請求項1に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記第1の周波数が、電圧制御周期波形発生器に電圧を印加することによって制御される、請求項3に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記周期的な電気信号を送信する工程が、前記周期的な電気信号を対応する設定値に振幅固定する工程を含む、請求項1に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記周期的な電気信号を送信する工程が、前記信号を動作電圧に増幅する工程を含む、請求項1に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記共振周波数補償信号が、スキャナ位相を駆動位相と比較することによって決定される、請求項1に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記スキャナ位相が、前記MEMSスキャナの共振周波数で生じる駆動位相のスキャナ位相への反転の関数である、請求項7に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記共振周波数補償信号がヒーター信号を含む、請求項1に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記ヒーター信号を印加する工程が、
共振周波数補償電圧を生成する工程と、
前記共振周波数補償電圧を増幅する工程と、
前記増幅された共振周波数補償電圧を前記MEMSスキャナに送信する工程とを含む、請求項9に記載のMEMSスキャナの駆動方法。 - 前記MEMSスキャナで前記ヒーター信号を受け取る工程と、
前記ヒーター信号を、前記MEMSスキャナの少なくとも一部分の感知温度上昇に変換する工程とをさらに含む、請求項9に記載のMEMSスキャナの駆動方法。 - 前記ヒーター信号を感知温度上昇に変換する工程が、前記MEMSスキャナ内のジュール加熱を含む、請求項11に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記MEMSスキャナで前記共振周波数補償信号を受け取る工程をさらに含み、
前記MEMSスキャナの共振周波数が前記第1の周波数と合致するように変化する、請求項1に記載のMEMSスキャナの駆動方法。 - 周期的なスキャナ駆動信号および共振周波数制御信号を送信するように動作可能なスキャナコントローラと、
前記周期的なスキャナ駆動信号および前記共振周波数制御信号を受け取るように動作可能であって、かつ前記共振周波数制御信号に応答する共振周波数で、前記周期的なスキャナ駆動信号に応答して周期的に走査するように動作可能な、共振MEMSビームスキャナとを備える、ビーム走査システム。 - 前記スキャナコントローラが、前記周期的なスキャナ駆動信号と前記共振MEMSビームスキャナの応答との位相差の測定に応答して、前記共振周波数制御信号を決定するように動作可能である、請求項14に記載のビーム走査システム。
- 前記共振MEMSビームスキャナが、前記共振周波数制御信号に応答して温度上昇を受けるように動作可能であって、前記温度上昇が、前記共振MEMSビームスキャナの前記共振周波数を決定するように作用する、請求項14に記載のビーム走査システム。
- 電磁ビームを生成するように動作可能であって、前記生成された電磁ビームを方向付けて前記共振MEMSビームスキャナに衝突させるように位置合わせされたビーム発生器をさらに備え、
前記共振MEMSビームスキャナが、前記生成された電磁ビームを受け取り、かつ視野全体にわたって前記生成された電磁ビームを走査するように動作可能である、請求項14に記載のビーム走査システム。 - 前記ビーム走査システムがレーザービームプリンタを備える、請求項17に記載のビーム走査システム。
- 前記ビーム走査システムがレーザーカメラを備える、請求項17に記載のビーム走査システム。
- 前記ビーム走査システムがバーコードスキャナを備える、請求項17に記載のビーム走査システム。
- 前記ビーム走査システムが走査ビームディスプレイを備える、請求項17に記載のビーム走査システム。
- 基準信号の位相にロックされたMEMSスキャナを駆動する周期的な駆動信号を出力するように動作可能な位相ロックサーボループと、
前記周期的な駆動信号の振幅を制御するように動作可能な振幅制御サーボループと、
共振周波数制御信号を出力するように動作可能な共振周波数制御サーボループとを備える、MEMSスキャナコントローラ。 - 外部システムと通信するように動作可能であって、かつ前記振幅制御サーボループに振幅制御設定値を出力するように動作可能なマイクロプロセッサをさらに備える、請求項22に記載のMEMSスキャナコントローラ。
- 前記マイクロプロセッサに動作可能に結合された温度センサをさらに備え、
前記マイクロプロセッサが、前記共振周波数制御サーボループを中断し、かつ前記温度センサに応答して合成された共振周波数制御信号を出力するようにさらに動作可能である、請求項23に記載のMEMSスキャナコントローラ。 - 前記マイクロプロセッサが、前記位相ロックサーボループへのMEMSスキャナ位相フィードバック信号を中断し、かつ、前記位相ロックサーボループへの前記周期的な駆動信号に対応する信号を有効に結合するようにさらに動作可能である、請求項23に記載のMEMSスキャナコントローラ。
- 前記マイクロプロセッサが、前記振幅制御サーボループを中断し、かつ前記周期的な駆動信号の振幅を選択するようにさらに動作可能である、請求項23に記載のMEMSスキャナコントローラ。
- 位相マークおよび走査振幅に対応する信号を出力するように動作可能なMEMSセンサをさらに備え、
前記位相ロックサーボループおよび前記共振周波数制御サーボループが両方とも、前記位相マーク信号に有効に結合され、
前記振幅制御サーボループが前記走査振幅信号に有効に結合される、請求項22に記載のMEMSスキャナコントローラ。 - 水平同期信号出力をさらに含む、請求項21に記載のMEMSスキャナコントローラ。
- 走査角の急速な上昇を達成するために、第1の振幅範囲でMEMSスキャナに周期的な駆動信号を出力する工程と、
続いて、実質的に一定の走査角を維持するために、第2の振幅範囲でMEMSスキャナに周期的な駆動信号を出力する工程とを含む、MEMSスキャナの駆動方法。 - 前記第1の振幅範囲が前記第2の振幅範囲の約2倍よりも大きい、請求項29に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記第1の振幅範囲が約1秒未満適用される、請求項29に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記第1の振幅範囲が、数秒を越えて適用された場合には前記MEMSスキャナを中断させるように十分に高い、請求項31に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記第1の振幅範囲が、数秒を越えて適用された場合には前記MEMSスキャナを過熱させるように十分に高い、請求項31に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記第1の振幅範囲が、約1秒を越えて適用された場合には前記MEMSスキャナアクチュエータを過熱させるように十分に高い、請求項33に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記第2の振幅範囲がサーボ制御ループによって制御される、請求項29に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記周期的な駆動信号の振幅が、少なくとも数サイクルにわたって前記第1の振幅範囲から前記第2の振幅範囲まで遷移する、請求項29に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記第1の振幅範囲の適用中、MEMSスキャナフィードバックセンサを監視する工程と、
安定したセンサフィードバックが検出された後、振幅制御をサーボループ振幅制御に遷移する工程とをさらに含む、請求項29に記載のMEMSスキャナの駆動方法。 - 前記周期的な駆動信号の位相を開ループ制御で制御する工程をさらに含む、請求項33に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 合成された共振周波数制御信号を使用して前記MEMSスキャナの共振周波数応答を制御する工程をさらに含む、請求項38に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 振幅を前記サーボループ制御で制御した後、基準信号にロックされた位相サーボ制御ループによる、前記周期的な駆動信号の位相の制御に切り換える工程をさらに含む、請求項39に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記周期的な駆動信号の位相を、基準信号にロックされた位相サーボ制御ループで制御した後、前記MEMSスキャナの前記共振周波数応答の制御をサーボループ共振周波数制御に切り換える工程をさらに含む、請求項40に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- あらかじめロックされた位相ロックループから駆動された第1の位相にあるMEMSスキャナに周期的な駆動信号を出力する工程と、
前記MEMSスキャナからの安定した応答を達成した後に、
前記周期的な駆動信号の位相の制御をフィードバック制御位相ロックループに切り換える工程とを含む、MEMSスキャナの駆動方法。 - 前記あらかじめロックされた位相ロックループが、前記周期的な駆動信号を基準信号に同期させる、請求項42に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
- 前記フィードバック制御位相ロックループが、前記MEMSスキャナの前記応答を基準信号に同期させる、請求項42に記載のMEMSスキャナの駆動方法。
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