JP5216715B2 - プレーナ型アクチュエータ - Google Patents
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Description
そして、このようなアクチュエータは、例えば、可動部にミラーを設けることで光ビームを偏向走査する光スキャナなどに適用される。
2 固定部
3 第2トーションバー
4 第2可動部
5 第1トーションバー
6 第1可動部
7 第1駆動コイル
8 第2駆動コイル
9 検出コイル
10 第1のウェハ
11 保護膜
12 第2のウェハ
13 酸化膜
14 配線パターン
15 配線用保護膜
Claims (6)
- デバイス基板に設置された枠状の固定部と、
前記固定部の内側に支持梁を介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部と、
前記可動部に設置され前記可動部を駆動するための渦巻き状に形成された駆動コイルと、
前記駆動コイルのコイル配線の間に沿って設置され前記可動部の動作を検出する検出コイルと、
を備えていることを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。 - 前記検出コイルは、渦巻き状に形成された前記駆動コイルの隣り合う前記コイル配線の間のほぼ中央位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記駆動コイルおよび前記検出コイルは、前記可動部にそれぞれ複数層にわたって形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記固定部と前記可動部の間に、前記可動部を前記支持梁を介して可動自在に支持するとともに、前記固定部に前記支持梁を介して可動自在に支持された第2可動部を設けたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記第2可動部に設置された第2駆動コイルのコイル配線の間に沿って設置され前記第2可動部の動作を検出する第2検出コイルを備えていることを特徴とする請求項4に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記第2駆動コイルおよび前記第2検出コイルは、前記第2可動部にそれぞれ複数層にわたって形成されていることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のプレーナ型アクチュエータ。
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