JP5650904B2 - プレーナ型アクチュエータ - Google Patents

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本発明はプレーナ型アクチュエータに係り、特に、枠状の固定部に平板状の可動部を揺動可能に軸支し、この可動部の揺動動作を制御することを可能としたプレーナ型アクチュエータに関するものである。
従来から、枠状の固定部に平板状の可動部を揺動可能に軸支する構造のアクチュエータとして、例えば半導体製造技術を利用し、シリコン基板を異方性エッチングし、枠状の固定部と平板状の可動部と固定部に可動部を軸支するトーションバーとを一体に形成し、可動部に駆動コイルを設け、可動部の駆動コイルに静磁界を付与する例えば永久磁石のような静磁界発生手段を設け、通電により駆動コイルに発生する磁界と静磁界発生手段による静磁界との相互作用により発生するローレンツ力を利用して可動部を揺動させる電磁駆動タイプのプレーナ型アクチュエータがある(例えば、特許文献1参照)。
そして、このようなアクチュエータは、例えば、可動部にミラーを設けることで光ビームを偏向走査する光スキャナなどに適用される。
特許第2722314号公報
しかしながら、前記従来の技術においては、駆動コイルに通電して可動部を揺動動作させる際に、大きな振れ角で揺動させたい場合があるが、あまり大きな電流を流すと駆動コイルが焼損してしまうおそれがあるため、一定の電流値以上に電流を流すことができない。そのため、可動部の必要な揺動動作を得ることができなくなってしまうという問題を有している。また、駆動コイルに対する駆動信号のピークが高い場合に、可動部の揺動動作の制御が困難であり、また、揺動の微調整を行うことができないという問題を有している。
本発明は前記した点に鑑みてなされたものであり、駆動コイルへの通電量を増やすことなく、可動部の大きな振幅を得ることができるとともに、可動部の揺動動作の微調整を行うことのできるプレーナ型アクチュエータを提供することを目的とするものである。
本発明は前記目的を達成するために、請求項1の発明に係るプレーナ型アクチュエータは、枠状の固定部と、
前記固定部の内側にトーションバーを介して可動自在に支持された可動部と、
前記可動部に設置され駆動信号に基づいて前記可動部にローレンツ力を与えて前記可動部を揺動動作させる駆動コイルと、
前記可動部以外の部分に設置され、前記駆動コイルの駆動信号に対して位相を制御した駆動信号に基づいて前記可動部以外の部分にローレンツ力を与えて前記可動部の揺動動作を調整する共振発生手段としての揺動用コイルと、
を備える。

請求項に係る発明は、請求項1において、前記揺動用コイルには、前記駆動コイルと同位相の駆動信号に基づく電流が流されるものであることを特徴とする。
請求項に係る発明は、請求項1において、前記揺動用コイルには、前記駆動コイルと異なる位相の駆動信号に基づく電流が流されるものであることを特徴とする。
請求項に係る発明は、請求項1において、前記揺動用コイルには、前記駆動コイルと逆位相の駆動信号に基づく電流が流されるものであることを特徴とする。
請求項に係る発明は、請求項1において、前記揺動用コイルには、直流電流が流されうるものであることを特徴とする。
請求項に係る発明は、請求項1において、前記揺動用コイルに通電しない状態で、前記揺動用コイルの抵抗値を測定するものであることを特徴とする。
請求項1に係る発明によれば、駆動コイルと揺動用コイルとを設け、揺動用コイルに通電することにより、駆動コイルによる可動部の揺動動作に共振させて可動部の揺動動作の振幅を調整することができる。
請求項に係る発明によれば、揺動用コイルに駆動コイルと同位相の駆動信号に基づく電流を流すようにしているので、可動部を、駆動コイルの駆動信号の振幅に揺動用コイルの駆動信号の振幅が加算された振幅で駆動することができ、駆動コイルの通電電流を高めることなく、可動部の揺動動作を可変することができ、可動部の揺動動作を微調整することができる。
請求項に係る発明によれば、揺動用コイルに駆動コイルと異なる位相の駆動信号に基づく電流を流すようにしているので、駆動コイルの駆動信号に基づく可動部の振幅を制御することができる。
請求項に係る発明によれば、揺動用コイルに駆動コイルと逆位相の駆動信号に基づく電流を流すようにしているので、可動部を、駆動コイルの駆動信号の振幅から揺動用コイルの駆動信号の振幅が減算された振幅で駆動することができ、可動部の揺動動作を可変することができ、可動部の揺動動作を微調整することができる。さらに、高周波成分をカットするノッチフィルタとして利用することもできる。
請求項に係る発明によれば、揺動用コイルに直流電流を流すようにしているので、揺動用コイルが抵抗体として機能して、揺動用コイルを発熱させることができ、揺動用コイルをヒータとして利用することができる。ヒータとして利用することで可動部の反りの修正、また可動部の共振周波数の調整を行うことができる。
請求項に係る発明によれば、揺動用コイルに通電しない状態で、揺動用コイルの抵抗値を測定するようにしているので、揺動用コイルを温度計として利用することができる。


本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第1実施形態を示す概略図である。 本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第2駆動コイルに第1駆動コイルと同位相の駆動信号に基づく電流を流した場合の説明図である。 本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第2駆動コイルに第1駆動コイルと逆位相の駆動信号に基づく電流を流した場合の説明図である。 本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第2実施形態を示す概略図である。 本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第3実施形態を示す概略図である。 本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第4実施形態を示す概略図である。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図1は本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第1実施形態を示す概略図である。
図1に示すように、本実施形態のプレーナ型アクチュエータ1は、図示しないデバイス基板上に設置された枠状の固定部2を備えている。この固定部2の内側には、トーションバー3を介して可動部4が揺動自在に支持されており、これら固定部2、可動部4およびトーションバー3は、一体的に形成されている。
また、固定部2の周囲には、可動部4を挟んで互いに反対磁極を対向させて配置される二対の静磁界発生部材(図示せず)が配置されている。なお、静磁界発生部材は、永久磁石でも電磁石でもよい。
可動部4の一面側には、可動部4を駆動するための渦巻き状に形成された第1駆動コイル5(図1中実線で示す)が設置されており、この第1駆動コイル5の両端部は、トーションバー3を通って固定部2から引き出されるように構成されている。また、固定部2の一面側には、可動部4を駆動するための渦巻き状に形成された共振発生手段としての揺動用コイル6(図1中破線で示す)が設置されており、この揺動用コイル6の両端部は、固定部2から引き出されるように構成されている。そして、第1駆動コイル5に、所定の周波数の駆動信号に基づく電流を流すことにより、可動部4を揺動動作させるとともに、揺動用コイル6に所定の周波数の駆動信号に基づく電流を流すことにより、第1駆動コイル5への通電による可動部4の動作に共振させて可動部4の振幅を調整することができるように構成されている。
なお、揺動用コイル6のターン数および固定部2の設置場所は、任意に設定することができるものである。
次に、本実施形態の作用について説明する。
このプレーナ型アクチュエータ1の駆動原理は、例えば、特許第2722314号公報等で詳述されているので、以下、光スキャナの場合を例として簡単に説明する。
可動部4の第1駆動コイル5に電流を流すと磁界が発生し、この磁界と静磁界発生手段による静磁界との相互作用によりローレンツ力が発生し、トーションバー3の軸方向と平行な可動部4の対辺部分に互いに逆方向の回転力が発生し、この回転力とトーションバー3の復元力とが釣合う位置まで可動部4が回動される。
そして、第1駆動コイル5に直流電流を流すことにより、駆動電流量に応じた回動位置で可動部4を停止させることで、反射ミラーにより光ビームを所望の方向に偏向することが可能となる。
一方、第1駆動コイル5に交流電流を流すことにより、可動部4が揺動し、反射ミラーにより光ビームを偏向走査できる。可動部4を回動させるための回転力は、第1駆動コイル5に流す駆動電流値に比例するので、第1駆動コイル5に供給する駆動電流値を制御することで、可動部4の振れ角(光ビームの偏向角度)を制御することができる。なお、本実施形態においては、光スキャナの場合を例として作用を説明したが、本発明は光スキャナ以外にも適用できるものである。
また、本実施形態においては、第1駆動コイル5および揺動用コイル6に電流を流すことにより、第1駆動コイル5により発生するローレンツ力に揺動用コイル6によるローレンツ力を付与することができるものである。
ローレンツ力は、F=nlIBで導き出される。ここで、nはコイルターン数、lは磁界と直交するコイル長さ、Iは電流値、Bは磁界強さである。すなわち、第1駆動コイル5によるローレンツ力Fと揺動用コイル6によるローレンツ力F’とは、F±F’という関係となり、第1駆動コイル5によるローレンツ力に揺動用コイル6によるローレンツ力が付与できることとなる。
具体的には、図2に示すように、第1駆動コイル5に所定の周波数の駆動信号に基づく電流を流すとともに、揺動用コイル6に第1駆動コイル5と同じ位相の駆動信号に基づく電流を流すと、揺動用コイル6による共振が発生することとなる。これにより、可動部4は、第1駆動コイル5の駆動信号の振幅に揺動用コイル6の駆動信号の振幅が加算された振幅で駆動するものである。一方、図3に示すように、揺動用コイル6に第1駆動コイル5と逆の位相の駆動信号に基づく電流を流すと、可動部4は、第1駆動コイル5の駆動信号の振幅から揺動用コイル6の駆動信号の振幅が減算された振幅で駆動するものである。さらに、揺動用コイル6に第1駆動コイル5と異なる位相の駆動信号に基づく電流を流すことにより、可動部4の振幅を細かく制御することができるものである。このように、第1駆動コイル5の駆動信号に対して揺動用コイル6の駆動信号を制御することにより、第1駆動コイル5による可動部4の駆動より大きい振幅で動作させたり、小さい振幅で動作させることができるものである。
したがって、例えば、第1駆動コイル5の駆動信号に対して大きな振幅の駆動信号で揺動用コイル6を駆動することにより、第1駆動コイル5への通電による揺動動作より大きな振幅で動作させることができ、第1駆動コイル5の駆動信号に対して微小な振幅の駆動信号で揺動用コイル6を駆動することにより、第1駆動コイル5への通電による揺動動作の振幅の微調整を行うことができるものである。
また、本実施形態においては、揺動用コイル6に直流電流を流すことにより、揺動用コイル6が抵抗体として機能して、揺動用コイル6を発熱させることも可能である。これにより、揺動用コイル6をヒータとして利用することができるものであり、揺動用コイル6の熱が、トーションバー3に伝わり、このトーションバー3を介して可動部4に熱が伝わるものである。この場合に、揺動用コイル6への通電量を制御することにより、揺動用コイル6の発熱温度を制御することができ、例えば、アクチュエータのプロセス温度に発熱させることにより、可動部4の反りを修正させることも可能である。また、発熱により可動部4の共振周波数の調整を行うことができる。
また、他の用途として、揺動用コイル6に通電せず、揺動用コイル6の抵抗値を測定することにより、アクチュエータの温度を測定する温度計として利用することもできる。さらに、揺動用コイル6に第1駆動コイル5と逆位相の駆動信号を付与することにより、高周波成分をカットするノッチフィルタとして利用することもできる。
以上述べたように、本実施形態においては、揺動用コイル6を設け、この揺動用コイル6に対して第1駆動コイル5と同位相または逆位相の駆動信号に基づく電流を流すことにより、第1駆動コイル5の通電電流を高めることなく、可動部4の揺動動作を可変することができ、可動部4の揺動動作を微調整することができる。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図4は本発明の第2実施形態を示したものであり、本実施形態においては、固定部2の内側には、第2トーションバー7を介して枠状の第2可動部8が揺動自在に設けられており、この第2可動部8の内側には、トーションバー3を介して可動部4が揺動自在に設けられている。すなわち、本実施形態においては、可動部4および第2可動部8が互いに直交する方向に揺動動作することができる二次元アクチュエータの例を示している。
また、可動部4には、前記第1実施形態と同様に、第1駆動コイル5が形成されている。さらに、本実施形態においては、第2可動部8には、第2可動部8を駆動するための渦巻き状の第2駆動コイル9が形成されるとともに(図中一点鎖線で示す)、可動部4を駆動するための渦巻き状の揺動用コイル6(図中破線で示す)が形成されている。第2駆動コイル9および揺動用コイル6の両端部は、それぞれ第2トーションバー7を介して固定部から引き出されるように構成されている。
本実施形態においては、第1駆動コイル5および第2駆動コイル9に、それぞれ所定の周波数の駆動信号に基づく電流を流すことにより、可動部4および第2可動部8を揺動動作させるようになっている。また、揺動用コイル6に所定の周波数の駆動信号に基づく電流を流すことにより、第1駆動コイル5により発生するローレンツ力に揺動用コイル6によるローレンツ力を付与して可動部4の動作に共振させて可動部4の振幅を調整することが可能となる。そして、揺動用コイル6に第1駆動コイル5と同じ位相の駆動信号に基づく電流を流すことにより、可動部4を、第1駆動コイル5の駆動信号の振幅に揺動用コイル6の駆動信号の振幅が加算された振幅で駆動させることができ、揺動用コイル6に第1駆動コイル5と逆の位相の駆動信号に基づく電流を流すことにより、可動部4を、第1駆動コイル5の駆動信号の振幅から揺動用コイル6の駆動信号の振幅が減算された振幅で駆動させることができるものである。さらに、第1駆動コイル5の駆動信号に対して大きな振幅の駆動信号で揺動用コイル6を駆動することにより、第1駆動コイル5への通電による揺動動作より大きな振幅で動作させることができ、第1駆動コイル5の駆動信号に対して微小な振幅の駆動信号で揺動用コイル6を駆動することにより、第1駆動コイル5への通電による揺動動作の振幅の微調整を行うことができるものである。
以上述べたように、本実施形態においても前記第1実施形態と同様に、揺動用コイル6を設け、この揺動用コイル6に対して第1駆動コイル5と同位相または逆位相の駆動信号に基づく電流を流すことにより、第1駆動コイル5の通電電流を高めることなく、可動部4の揺動動作を可変することができ、可動部4の揺動動作を微調整することができる。
また、本実施形態においても、揺動用コイル6に直流電流を流すことにより、揺動用コイル6が抵抗体として機能して、揺動用コイル6を発熱させてヒータとして利用することができ、その結果、可動部4の反りを修正させることができるとともに、発熱により可動部4の共振周波数の調整を行うことができる。さらに、揺動用コイル6に通電せず、揺動用コイル6の抵抗値を測定することにより、温度計として利用することもでき、揺動用コイル6に第1駆動コイル5と逆位相の駆動信号を付与することにより、高周波成分をカットするノッチフィルタとして利用することもできる。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
図5は本発明の第3実施形態を示したものであり、本実施形態においても第2実施形態と同様に、二次元のアクチュエータの場合の例を示している。本実施形態においては、固定部2には、第2可動部8を駆動するための共振手段としての第2揺動用コイル10が形成されている。第2揺動用コイル10の両端部は、固定部から引き出されるように構成されている。
なお、本実施形態においては、可動部4を駆動するための揺動用コイルは形成されていない。すなわち、第2可動部8のみを共振することができるようにしたものである。
本実施形態においては、第1駆動コイル5および第2駆動コイル9に、それぞれ所定の周波数の駆動信号に基づく電流を流すことにより、可動部4および第2可動部8を揺動動作させるようになっている。また、第2揺動用コイル10に所定の周波数の駆動信号に基づく電流を流すことにより、第2駆動コイル9により駆動される第2可動部8を共振させて第2可動部8の振幅を調整するようになっている。
以上述べたように、本実施形態においても前記第1実施形態と同様に、第2揺動用コイル10を設け、この第2揺動用コイル10に対して第2駆動コイル9と同位相または逆位相の駆動信号に基づく電流を流すことにより、第2駆動コイル9の通電電流を高めることなく、第2可動部8の揺動動作を可変することができ、第2可動部8の揺動動作を微調整することができる。
また、本実施形態においても、第2揺動用コイル10に直流電流を流すことにより、第2揺動用コイル10が抵抗体として機能して、第2揺動用コイル10を発熱させてヒータとして利用することができ、その結果、第2可動部8の反りを修正させることができるとともに、発熱により第2可動部8の共振周波数の調整を行うことができる。さらに、第2揺動用コイル10に通電せず、第2揺動用コイル10の抵抗値を測定することにより、温度計として利用することもでき、第2揺動用コイル10に第2駆動コイル9と逆位相の駆動信号を付与することにより、高周波成分をカットするノッチフィルタとして利用することもできる。
次に、本発明の第4実施形態について説明する。
図6は本発明の第4実施形態を示したものであり、第2実施形態と第3実施形態とを組み合わせたものである。すなわち、本実施形態においては、第2可動部8に可動部4を駆動するための揺動用コイル6を形成するとともに、固定部に第2可動部8を駆動するための第2揺動用コイル10を形成するようにしたものである。
その他の構成は、前記第2実施形態および第3実施形態と同様であるため、同一部分には同一符号を付してその説明を省略する。
本実施形態においては、第1駆動コイル5および第2駆動コイル9に、それぞれ所定の周波数の駆動信号に基づく電流を流すことにより、可動部4および第2可動部8を揺動動作させるようになっている。また、揺動用コイル6および第2揺動用コイル10に所定の周波数の駆動信号に基づく電流を流すことにより、第1駆動コイル5により駆動される可動部4および第2駆動コイル9により駆動される第2可動部8を共振させて可動部4および第2可動部8の振幅を調整するようになっている。
以上述べたように、本実施形態においても前記各実施形態と同様に、揺動用コイル6および第2揺動用コイル10を設け、揺動用コイル6および第2揺動用コイル10に対して第1駆動コイル5および第2駆動コイル9と同位相または逆位相の駆動信号に基づく電流を流すことにより、駆動コイルおよび第2駆動コイル9の通電電流を高めることなく、可動部4および第2可動部8の揺動動作を可変することができ、可動部4および第2可動部8の揺動動作を微調整することができる。
また、本実施形態においても、揺動用コイル6および第2揺動用コイル10に直流電流を流すことにより、揺動用コイル6および第2揺動用コイル10を発熱させてヒータとして利用することができ、その結果、可動部4および第2可動部8の反りを修正させることができるとともに、発熱により可動部4および第2可動部8の共振周波数の調整を行うことができる。さらに、揺動用コイル6および第2揺動用コイル10の抵抗値を測定することにより、温度計として利用することもでき、揺動用コイル6および第2揺動用コイル10に第1駆動コイル5および第2駆動コイル9と逆位相の駆動信号を付与することにより、高周波成分をカットするノッチフィルタとして利用することもできる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能である。
1 プレーナ型アクチュエータ
2 固定部
3 トーションバー
4 可動部
5 第1駆動コイル
6 揺動用コイル
7 第2トーションバー
8 第2可動部
9 第2駆動コイル
10 第2揺動用コイル

Claims (6)

  1. 枠状の固定部と、
    前記固定部の内側にトーションバーを介して可動自在に支持された可動部と、
    前記可動部に設置され駆動信号に基づいて前記可動部にローレンツ力を与えて前記可動部を揺動動作させる駆動コイルと、
    前記可動部以外の部分に設置され、前記駆動コイルの駆動信号に対して位相を制御した駆動信号に基づいて前記可動部以外の部分にローレンツ力を与えて前記可動部の揺動動作を調整する共振発生手段としての揺動用コイルと、
    を備える、プレーナ型アクチュエータ。
  2. 前記揺動用コイルには、前記駆動コイルと同位相の駆動信号に基づく電流が流されるものであることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
  3. 前記揺動用コイルには、前記駆動コイルと異なる位相の駆動信号に基づく電流が流されるものであることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
  4. 前記揺動用コイルには、前記駆動コイルと逆位相の駆動信号に基づく電流が流されるものであることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
  5. 前記揺動用コイルには、直流電流が流されうるものであることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
  6. 前記揺動用コイルに通電しない状態で、前記揺動用コイルの抵抗値を測定するものであることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
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