JP5650904B2 - プレーナ型アクチュエータ - Google Patents
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Description
そして、このようなアクチュエータは、例えば、可動部にミラーを設けることで光ビームを偏向走査する光スキャナなどに適用される。
前記固定部の内側にトーションバーを介して可動自在に支持された可動部と、
前記可動部に設置され駆動信号に基づいて前記可動部にローレンツ力を与えて前記可動部を揺動動作させる駆動コイルと、
前記可動部以外の部分に設置され、前記駆動コイルの駆動信号に対して位相を制御した駆動信号に基づいて前記可動部以外の部分にローレンツ力を与えて前記可動部の揺動動作を調整する共振発生手段としての揺動用コイルと、
を備える。
2 固定部
3 トーションバー
4 可動部
5 第1駆動コイル
6 揺動用コイル
7 第2トーションバー
8 第2可動部
9 第2駆動コイル
10 第2揺動用コイル
Claims (6)
- 枠状の固定部と、
前記固定部の内側にトーションバーを介して可動自在に支持された可動部と、
前記可動部に設置され駆動信号に基づいて前記可動部にローレンツ力を与えて前記可動部を揺動動作させる駆動コイルと、
前記可動部以外の部分に設置され、前記駆動コイルの駆動信号に対して位相を制御した駆動信号に基づいて前記可動部以外の部分にローレンツ力を与えて前記可動部の揺動動作を調整する共振発生手段としての揺動用コイルと、
を備える、プレーナ型アクチュエータ。 - 前記揺動用コイルには、前記駆動コイルと同位相の駆動信号に基づく電流が流されるものであることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記揺動用コイルには、前記駆動コイルと異なる位相の駆動信号に基づく電流が流されるものであることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記揺動用コイルには、前記駆動コイルと逆位相の駆動信号に基づく電流が流されるものであることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記揺動用コイルには、直流電流が流されうるものであることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記揺動用コイルに通電しない状態で、前記揺動用コイルの抵抗値を測定するものであることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
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