JP7313831B2 - 光モジュール - Google Patents
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Description
[第1実施形態]
[第2実施形態]
Claims (12)
- コイルを含む可動ミラー部と、前記可動ミラー部を揺動可能に支持する支持部と、前記支持部が載置されたベースと、を有するミラーユニットと、
上面及び底面と前記上面から前記底面に延びる側面とを有し、前記可動ミラー部に作用する磁界を発生させる磁石部と、
前記磁石部を保持する保持部材と、
を備え、
前記磁石部は、前記上面から前記底面に向かう第1方向に力が作用する第1磁石と、前記底面から前記上面に向かう第2方向に力が作用する第2磁石と、を含むハルバッハ構造を有し、
前記保持部材は、前記上面を支持する規制部と、前記底面を支持する底壁部と、前記側面を支持し、前記規制部と前記底壁部とを接続する側壁部と、を有し、
前記保持部材は、前記第1方向に前記第1磁石に作用する力、及び、前記第2方向に前記第2磁石に作用する力に抗して前記磁石部を一体に保持しており、
前記ミラーユニットの前記ベースは、前記保持部材により前記上面上に支持されており、
前記上面と前記ミラーユニットとの間には、前記磁石部からの応力を緩和するための緩和層が設けられている、
光モジュール。 - 前記規制部は、前記上面上に位置し、前記第2方向への前記磁石部の移動を規制するためのものであり、
前記ミラーユニットは、前記規制部に支持されている、
請求項1に記載の光モジュール。 - 前記規制部は、前記緩和層の少なくとも一部を構成している、
請求項2に記載の光モジュール。 - 前記規制部は、前記上面と前記ミラーユニットとの間を充填しており、前記緩和層の全体を構成している、
請求項3に記載の光モジュール。 - 前記規制部は、前記上面と前記側面との接続部分から前記上面の内側に向けて延在すると共に、前記上面上に内縁を有しており、
前記緩和層は、前記規制部と、前記内縁によって規定される空間に形成された空気層と、によって構成されている、
請求項3に記載の光モジュール。 - 前記規制部は、前記側壁部と一体に形成されている、
請求項2~5のいずれか一項に記載の光モジュール。 - 前記規制部は、前記上面に交差する方向からみて前記上面を覆うように前記上面上に設けられ、前記上面に接触する接触部を有し、
前記接触部は、前記側壁部に接続されている、
請求項2~5のいずれか一項に記載の光モジュール。 - 前記上面に交差する方向における前記接触部の厚さは、前記上面に沿う方向における前記側壁部の厚さよりも薄い、
請求項7に記載の光モジュール。 - 前記緩和層は、前記接触部と、前記上面及び前記接触部上に形成された空気層と、を含む、
請求項7又は8に記載の光モジュール。 - 前記ミラーユニットは、前記上面に交差する方向からみて、前記第1磁石に重複しない位置において前記保持部材により支持されている、
請求項1~9のいずれか一項に記載の光モジュール。 - 前記緩和層は、前記磁石部のヤング率よりも低いヤング率の部分を含む、
請求項1~10のいずれか一項に記載の光モジュール。 - コイルを含む可動ミラー部を有するミラーユニットと、
上面及び底面と前記上面から前記底面に延びる側面とを有し、前記可動ミラー部に作用する磁界を発生させる磁石部と、
前記磁石部を保持する保持部材と、
を備え、
前記磁石部は、前記上面から前記底面に向かう第1方向に力が作用する第1磁石と、前記底面から前記上面に向かう第2方向に力が作用する第2磁石と、を含むハルバッハ構造を有し、
前記保持部材は、前記第1方向に前記第1磁石に作用する力、及び、前記第2方向に前記第2磁石に作用する力に抗して前記磁石部を一体に保持しており、
前記ミラーユニットは、前記保持部材により前記上面上に支持されており、
前記上面と前記ミラーユニットとの間には、前記磁石部からの応力を緩和するための緩和層が設けられており、
前記保持部材は、前記上面上に位置し、前記第2方向への前記磁石部の移動を規制するための規制部を有し、
前記ミラーユニットは、前記規制部に支持されており、
前記規制部は、前記上面と前記ミラーユニットとの間を充填しており、前記緩和層の全体を構成している、
光モジュール。
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JP2005164859A (ja) | 2003-12-01 | 2005-06-23 | Olympus Corp | 光偏向器アレイ |
US20130003155A1 (en) | 2009-10-27 | 2013-01-03 | Orphee Cugat | Electromagnetically actuated microshutter |
WO2016002453A1 (ja) | 2014-06-30 | 2016-01-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラー駆動装置及びその製造方法 |
WO2018159077A1 (ja) | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール及び測距装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2154558A1 (en) * | 2007-05-31 | 2010-02-17 | NHK Spring CO., LTD. | Optical scanning actuator |
JP5650904B2 (ja) * | 2009-12-09 | 2015-01-07 | 日本信号株式会社 | プレーナ型アクチュエータ |
US8274724B2 (en) * | 2011-01-28 | 2012-09-25 | Prysm, Inc. | Optical beam control based on flexure actuation with positioning sensing and servo control |
JP2013097026A (ja) * | 2011-10-28 | 2013-05-20 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 |
CN105934698B (zh) * | 2013-01-11 | 2019-04-16 | 英特尔公司 | 镜驱动装置 |
JP6148054B2 (ja) | 2013-03-29 | 2017-06-14 | 日本信号株式会社 | プレーナ型アクチュエータ |
US9798136B2 (en) * | 2013-10-07 | 2017-10-24 | Intel Corporation | Method for controlling the position of a MEMS mirror |
JP6356427B2 (ja) * | 2014-02-13 | 2018-07-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | ファブリペロー干渉フィルタ |
CN105280324B (zh) * | 2014-07-18 | 2018-08-24 | 日立金属株式会社 | 磁铁单元和磁铁单元的制造方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005164859A (ja) | 2003-12-01 | 2005-06-23 | Olympus Corp | 光偏向器アレイ |
US20130003155A1 (en) | 2009-10-27 | 2013-01-03 | Orphee Cugat | Electromagnetically actuated microshutter |
JP2013508785A (ja) | 2009-10-27 | 2013-03-07 | セントル ナショナル ドゥ ラ ルシェルシュ シアンティフィック | 電磁駆動型マイクロシャッター |
WO2016002453A1 (ja) | 2014-06-30 | 2016-01-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラー駆動装置及びその製造方法 |
WO2018159077A1 (ja) | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール及び測距装置 |
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