JP2024001983A - 光モジュール - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性を高めることができる光モジュールを提供する。【解決手段】光モジュール１は、ミラーユニット２と、磁石部３と、凹部４０を有するパッケージ４と、を備える。磁石部３は、第１磁石３１及び第２磁石３２を含む。凹部４０は、磁石部３の上面３ａが固定されたベース壁部４１と、磁石部３の側面３ｓと向かい合う側壁部４２と、を有する。凹部４０は、側壁部４２により画定されて下側に開口した開口部４０ａを有している。ミラーユニット２は、ベース壁部４１における磁石部３が固定された第１表面４１ａとは反対側の第２表面４１ｂ上に配置されている。第２磁石３２の第２上面３２ａは、第１磁石３１の第１上面３１ａよりも下側に位置している。磁石部３は、ベース壁部４１の第１表面４１ａと第２磁石３２の第２上面３２ａとの間に少なくとも配置された接着材５３によりベース壁部４１に固定されている。【選択図】図３

Description

本発明は、光モジュールに関する。

特許文献１には、可動ミラー部を有するミラーデバイスが磁石部上に配置された光モジュールが記載されている。この光モジュールでは、磁石部が横方向に沿って並べられた３つの磁石を含んでいる。３つの磁石は、それぞれ異なる磁気方向を有している。ミラーデバイスは、それら３つの磁石上に跨がって配置されている。

特表２０１３－５０８７８５号公報

上述したような磁石部は３つの磁石を接合して一体化することにより形成されるが、磁石同士が反発するため、磁石部の位置が上下方向にずれてしまい、磁石部の上面及び底面に段差部が形成されてしまうことがある。段差部が形成された磁石部の上面にミラーデバイスを配置すると、ミラーデバイスの傾きが目標角度からずれてしまうおそれがある。光モジュールには、信頼性の観点から、そのようなミラーデバイスの傾きのずれを抑制することが求められる。

本発明は、信頼性を高めることができる光モジュールを提供することを目的とする。

本発明の光モジュールは、［１］「コイルが設けられた可動ミラー部を含むミラーデバイスを有するミラーユニットと、上面及び底面と前記上面から前記底面に延びる側面とを有し、前記可動ミラー部に作用する磁界を発生させる磁石部と、前記磁石部を収容する凹部を有するパッケージと、を備え、前記磁石部は、第１方向に沿って並べられた第１磁石及び第２磁石を含み、前記凹部は、第１方向に沿って延在し、前記磁石部の前記上面が固定されたベース壁部と、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延在し、前記磁石部の前記側面と向かい合う側壁部と、を有し、前記第２方向において前記ベース壁部に対して前記磁石部が位置する側を下側とし、前記下側とは反対側を上側とすると、前記凹部は、前記側壁部により画定されて前記下側に開口した開口部を有しており、前記ミラーユニットは、前記ベース壁部における前記磁石部が固定された第１表面とは反対側の第２表面上に配置されており、前記第２磁石における前記上側の表面である第２上面は、前記第１磁石における前記上側の表面である第１上面よりも前記下側に位置しており、前記磁石部は、前記ベース壁部の前記第１表面と前記第２磁石の前記第２上面との間に少なくとも配置された第１接着材により前記ベース壁部に固定されている、光モジュール」である。

この光モジュールでは、パッケージの凹部内に磁石部が収容されており、凹部を画定するベース壁部の第１表面に磁石部が固定され、ベース壁部における第１表面とは反対側の第２表面上にミラーユニットが配置されている。これにより、磁石部の上面に段差部が形成されている場合でも、当該段差部の影響によりミラーユニットの傾きがずれてしまうことを抑制することができる。また、凹部が、側壁部により画定されて下側に開口した開口部を有している。これにより、磁石部を開口部から凹部内に配置することができ、磁石部の底面がパッケージと接触しない構造とすることができる。このことによっても、磁石部に形成された段差部の影響によりミラーユニットの傾きがずれてしまうことを抑制することができる。すなわち、例えばインサート成形により磁石部がパッケージ内に埋め込まれた構造の場合、磁石部の上面及び底面の段差部の影響によりパッケージの表面に凹凸が生じ、それに起因してミラーユニットの傾きがずれてしまうおそれがあるのに対し、この光モジュールでは、そのような事態の発生を抑制することができる。さらに、第２磁石の第２上面が第１磁石の第１上面よりも下側に位置しており、磁石部が、ベース壁部の第１表面と第２磁石の第２上面との間に少なくとも配置された第１接着材によりベース壁部に固定されている。これにより、例えば第１上面と第２上面とが同一平面上に位置している場合と比べて、磁石部とベース壁部との間により多くの第１接着材を配置することができ、磁石部をベース壁部に強固に固定することができる。よって、この光モジュールによれば、信頼性を高めることができる。

本発明の光モジュールは、［２］「前記磁石部は、前記第１方向において前記第１磁石に対して前記第２磁石とは反対側に配置された第３磁石を更に含み、前記第１磁石、前記第２磁石及び前記第３磁石は、ハルバッハ配列で並べられており、前記第１磁石は、前記第１方向に沿って並ぶ磁極を有し、前記第２磁石及び前記第３磁石の各々は、前記第２方向に沿って並ぶ磁極を有している、［１］に記載の光モジュール」であってもよい。この場合、可動ミラー部の近傍における磁束密度を高めることができる。また、磁石においては磁極の並び方向における熱膨張量が磁極の並び方向に垂直な方向における熱膨張量よりも大きい。そのため、第２方向に沿って並ぶ磁極を有する第２磁石をベース壁部から離れさせる（第２磁石の第２上面を第１磁石の第１上面よりも下側に位置させる）ことにより、第２磁石の熱膨張に起因してパッケージが変形する事態の発生を抑制することができる。

本発明の光モジュールは、［３］「前記磁石部と前記側壁部との間には、隙間が形成されている、［１］又は［２］に記載の光モジュール」であってもよい。この場合、磁石部をベース壁部に第１接着材により固定する際に、第１接着材を隙間に逃がすことができる。そのため、当該接着の際に磁石部をベース壁部に近づけることが可能となり、ひいては磁石部をミラーユニットに近づけることが可能となる。

本発明の光モジュールは、［４］「前記隙間は、前記第２方向から見た場合に、一の方向に沿って延在する第１部分と、前記第１部分の延在方向と交差する方向に沿って延在する第２部分と、を有している、［３］に記載の光モジュール」であってもよい。この場合、上述した第１接着材を隙間に逃がすことができるとの作用効果が顕著に奏される。

本発明の光モジュールは、［５］「前記側壁部は、第１側壁部分と、前記第１側壁部分と向かい合う第２側壁部分と、を有し、前記隙間は、前記磁石部と前記第１側壁部分との間に形成されており、前記第２側壁部分の厚さは、前記第１側壁部分の厚さよりも厚い、［３］又は「４」に記載の光モジュール」であってもよい。この場合、第１接着材を逃がすための隙間を形成しつつ、第２方向から見た場合に磁石部を中心に近い位置に配置することができる。また、本発明の光モジュールは、「前記側壁部は、第１側壁部分と交差するように延在する第３側壁部分と、前記第３側壁部分と向かい合う第４側壁部分と、を更に有し、前記隙間は、前記磁石部と前記第３側壁部分との間に形成されており、前記第４側壁部分の厚さは、前記第３側壁部分の厚さよりも厚い、［５］に記載の光モジュール」であってもよい。この場合にも、第１接着材を逃がすための隙間を形成しつつ、第２方向から見た場合に磁石部の中心をパッケージの中心に近い位置に配置することができる。

本発明の光モジュールは、［６］「前記磁石部と、前記磁石部と前記第１方向において向かい合う側壁部との間には、隙間が形成されている、［２］に記載の光モジュール」であってもよい。上述したとおり第１磁石においては磁極の並び方向である第１方向における熱膨張量が大きくなるが、磁石部と、磁石部と第１方向において向かい合う側壁部との間に隙間が形成されていることで、磁石部の熱膨張に起因してパッケージに歪みが生じることを抑制することができる。

本発明の光モジュールは、［７］「前記磁石部は、前記第２方向から見た場合に、一の角部を形成する２つの辺部を有し、前記２つの辺部の少なくとも一方は、前記側壁部から離れている、［１］～［６］のいずれかに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、当該一の角部が破損することを抑制することができる。また、本発明の光モジュールは、「前記磁石部は、前記第２方向から見た場合に４つの角部を有し、前記４つの角部の各々について、前記角部を形成する２つの辺部の少なくとも一方は、前記側壁部から離れている、［１］～［７］のいずれかに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、磁石部の角部が破損することを抑制することができる。

本発明の光モジュールは、［８］「前記側壁部には、前記磁石部の角部に対応する位置に、前記第２方向に沿って延在する溝部が形成されている、［１］～［７］のいずれかに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、磁石部の角部が破損することを抑制することができると共に、側壁部に対する磁石部の位置決めを容易化することができる。

本発明の光モジュールは、［９］「前記ミラーユニットは、第２接着材により前記ベース壁部の前記第２表面に固定されており、前記ミラーユニットの側面と前記ベース壁部の前記第２表面との間の境界部には、前記第２接着材によりフィレットが形成されている、［１］～［８］のいずれかに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、ミラーユニットをベース壁部に強固に固定することができる。

本発明の光モジュールは、［１０］「前記ミラーユニットは、第２接着材により前記ベース壁部の前記第２表面に固定されており、前記ミラーユニットと前記ベース壁部の前記第２表面との間における前記第２接着材の厚さは、１０μｍ以上３０μｍ以下である、［１］～［９］のいずれかに記載の光モジュール」であってもよい。例えば粘度が低い第２接着材を用いることで、第２接着材がこのような厚さに形成され得る。粘度が低い第２接着材を用いることで、ミラーデユニットの傾きのずれを一層抑制することができる。

本発明の光モジュールは、［１１］「前記ミラーユニットを外部と電気的に接続するためのワイヤを更に備え、前記ミラーユニットは、接着材により所定の接着領域において前記ベース壁部の前記第２表面に固定されており、前記ワイヤは、前記第２方向から見た場合に前記接着領域と重なる位置において前記ミラーユニットに接続されている、［１］～［１０］のいずれかに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、ワイヤを接続する際にミラーユニットが破損してしまうことを抑制することができる。また、ワイヤをミラーユニットに良好に接続することができる。

本発明の光モジュールは、［１２］「前記ベース壁部の前記第２表面における前記ミラーユニットが配置された領域は、平坦に形成されている、［１］～［１１］のいずれかに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、パッケージの強度を確保することができると共に、パッケージの変形を抑制することができる。また、平坦な領域にミラーユニットが配置されるため、ミラーユニットの傾きのずれを一層抑制することができる。

本発明の光モジュールは、［１３］「前記第２方向から見た場合に、前記ミラーユニットの外縁は、前記磁石部の外縁に対して内側に位置している、［１］～［１２］のいずれかに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、可動ミラー部に均一な磁力を作用させることができる。また、この場合、磁力が均一となる領域が広くなるため、ミラーユニットの実装位置が目標位置からずれたとしてもミラーユニットの特性に影響が及びにくくなる。

本発明の光モジュールは、［１４］「前記側壁部は、前記磁石部の前記底面に対して前記下側に突出している、［１］～［１３］のいずれかに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、磁石部をパッケージ内に確実に収容することができ、磁石部の破損等を抑制することができる。また、例えば光モジュールを搭載面上に配置する際に、段差部が形成され得る磁石部の底面ではなく、側壁部を搭載面に当接させることで、光モジュールを精度良く配置することができる。

本発明の光モジュールは、［１５］「前記第１方向における前記第２磁石の幅は、前記第１方向における前記第１磁石の幅よりも広い、［１］～［１４］のいずれかに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、第２磁石の第２上面とベース壁部との間により多くの第１接着材を配置することができ、磁石部をベース壁部に強固に固定することができる。

本発明によれば、信頼性を高めることができる光モジュールを提供することが可能となる。

実施形態に係る光モジュールの斜視図である。 ミラーデバイスの平面図である。 図１のIII－III線に沿っての断面図である。 図１のIV－IV線に沿っての断面図である。 光モジュールの横断面図である。 第１変形例に係る光モジュールの断面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。
［光モジュール］

図１～図４に示されるように、光モジュール１は、ミラーユニット２と、磁石部３と、パッケージ４と、を備えている。ミラーユニット２及び磁石部３はパッケージ４に固定されている。まず、図２を参照しつつ、ミラーユニット２について説明する。ミラーユニット２は、この例ではミラーデバイス１０のみにより構成されているが、後述するようにミラーデバイス１０が固定されるベース部材を更に備えていてもよい。以下、各図に示されるようにＸ方向（第１方向）、Ｙ方向（第３方向）、Ｚ方向（第２方向）を設定して説明する。Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向は互いに垂直な方向である。図１ではミラーデバイス１０が簡略化して示されている。
［ミラーデバイス（ミラーユニット）］

ミラーデバイス１０は、支持部１１と、支持部１１に対して揺動可能な可動ミラー部１２と、を有している。可動ミラー部１２は、可動部１３と、一対の連結部１４と、ミラー１５と、を有している。支持部１１、可動部１３及び一対の連結部１４は、例えばＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板により一体的に形成されている。つまり、ミラーデバイス１０は、半導体材料を用いて形成されたＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイスである。

支持部１１は、例えば矩形枠状に形成されている。可動部１３は、例えば矩形板状に形成されており、光軸方向から見た場合に支持部１１の内側に配置されている（支持部１１により囲まれている）。光軸方向は、支持部１１及び可動ミラー部１２が配置される平面に垂直な方向であり、この例ではミラー１５に垂直な方向である。この例では光軸方向はＺ方向と平行である。可動部１３は、軸線Ａ周りに揺動可能となるように、一対の連結部１４により支持部１１に連結されている。軸線Ａは、この例ではＹ方向と平行である。

可動部１３は、第１部分１３１と、第２部分１３２と、を含んでいる。第１部分１３１は、光軸方向から見た場合に、例えば円形状に形成されている。第２部分１３２は、光軸方向から見た場合に、例えば矩形環状に形成されている。第１部分１３１は、光軸方向から見た場合に第２部分１３２の内側に配置されており（第２部分１３２により囲まれており）、複数（この例では２つ）の接続部分１３３を介して第２部分１３２と接続されている。第１部分１３１と第２部分１３２との間には、複数の接続部分１３３を除いて隙間が形成されている。接続部分１３３は、例えば、第２部分１３２の矩形状の内縁のうち軸線Ａと平行な２辺の中央部に位置している。

一対の連結部１４は、支持部１１と可動部１３との間の隙間において、可動部１３を挟むように軸線Ａ上に配置されている。各連結部１４は、この例では長方形板状に形成されて軸線Ａに沿って延在している。各連結部１４は、トーションバーとして機能する。

ミラー１５は、可動部１３の第１部分１３１に設けられている。ミラー１５は、光軸方向における第１部分１３１の一方側の表面に形成されている。ミラー１５は、例えば、アルミニウム、アルミニウム系合金、金又は銀等の金属材料により、円形、楕円形又は矩形の膜状に形成されている。ミラー１５における可動部１３とは反対側の表面は、光軸方向と垂直に延在するミラー面１５ａを構成している。ミラー１５の中心は、光軸方向から見た場合に、第１部分１３１の中心（ミラーデバイス１０の中心）に一致している。ミラーデバイス１０では、複数の接続部分１３３を介して第２部分１３２と接続された第１部分１３１にミラー１５が設けられているため、可動部１３が共振周波数レベルで軸線Ａ周りに揺動する場合でも、ミラー１５に撓み等の変形が生じることを抑制することができる。

さらに、ミラーデバイス１０は、コイル１６と、複数（この例では３つ）の電極パッド１７と、を有している。コイル１６は、可動部１３の第２部分１３２に設けられている。コイル１６は、光軸方向から見た場合に、ミラー１５の外側の領域（すなわち、第２部分１３２）においてスパイラル状（渦巻き状）に複数回巻かれている。コイル１６には、磁石部３により発生させられる磁界が作用する。

コイル１６は、例えば、銅等の金属材料からなり、可動部１３の表面に形成された溝内に配置されている。つまり、コイル１６は、可動部１３に埋め込まれている。コイル１６の一端は、配線（図示省略）を介して一の電極パッド１７に接続されており、コイル１６の他端は、配線（図示省略）を介して他の電極パッド１７に接続されている。各電極パッド１７には、ミラーデバイス１０を外部と電気的に接続するためのワイヤ１８が接続されている。ワイヤ１８の一端は電極パッド１７に接続されており、ワイヤ１８の他端は外部機器（例えば電源装置等）に接続されている。残りの電極パッド１７はミラーデバイス１０が備える他の電気要素に電気的に接続されている。

ミラーデバイス１０の駆動方法の例を説明する。一例として、コイル１６に高周波数の駆動電流が印加される。このとき、コイル１６には、磁石部３により発生させられた磁界が作用しているため、コイル１６にローレンツ力が発生する。これにより、可動部１３が、例えば、共振周波数レベルで軸線Ａ周りに揺動させられる。このようにミラーデバイス１０を駆動することにより、所定の光源からの光をミラー１５（ミラー面１５ａ）により反射させて走査することができる。別例として、コイル１６に一定の大きさの駆動電流が印加されてもよい。この場合、可動部１３は、駆動電流の大きさに応じて軸線Ａ周りに回転し、所定の回転角度で停止する。このように、可動部１３は静的に駆動されてもよい（リニア駆動）。
［磁石部］

図１，３，４を参照しつつ、磁石部３について説明する。磁石部３は、可動ミラー部１２（コイル１６）に作用する磁界を発生させる。磁石部３は、パッケージ４内に形成された凹部４０内に配置されている。以下、後述するパッケージ４のベース壁部４１に対して磁石部３が位置する側を「下側」とし、下側とは反対側（磁石部３に対してベース壁部４１が位置する側）を「上側」として説明する。これらの「上側」及び「下側」は図１，３，４における下側及び上側と一致している。これらの「上側」及び「下側」は説明の便宜上設定されたものであり、光モジュール１の使用態様を限定するものではない。例えば、光モジュール１は、設定された「上側」が鉛直下側を向いた状態で用いられてもよいし、或いは設定された「上側」が水平方向を向いた状態で用いられてもよい。

磁石部３は、上面３ａと、上面３ａとは反対側の底面３ｂと、上面３ａから底面３ｂに延びて上面３ａ及び底面３ｂに接続された側面３ｓと、を有している。磁石部３は、例えば略直方体状に形成されている。したがって、この例では、上面３ａ及び底面３ｂは互いに略平行に延在しており、側面３ｓは四角形環状に配置された４つの表面を含んでいる。

磁石部３は、Ｘ方向（第１方向）に沿って並べられた複数の磁石を含んでいる。この例では、磁石部３は、第１磁石３１（中央磁石）と、第１磁石３１を挟むように配置された第２磁石３２及び第３磁石３３と、を含んでいる。すなわち、第３磁石３３は、Ｘ方向において第１磁石３１に対して第２磁石３２とは反対側に配置されている。第１磁石３１は第２磁石３２及び第３磁石３３に接着されており、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３は一体化されている。第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３は、接着に限らず、プラズマ接合や熱接合等により一体化されていてもよいし、樹脂材料を用いたインサート成形により一体化されていてもよい。磁石部３は、上述したとおりパッケージ４の凹部４０内に配置される。第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３は、一体化された後に凹部４０内に配置されてもよい。あるいは、一体化される前の第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３が順に凹部４０内に配置され、凹部４０内において第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３が一体化されてもよい。

第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３の各々は、直方体状に形成された永久磁石である。Ｘ方向における第１磁石３１の幅Ｗ１は、Ｘ方向における第２磁石３２の幅Ｗ２及びＸ方向における第３磁石３３の幅Ｗ３よりも広い。この例では幅Ｗ２は幅Ｗ３と等しい。この例では、Ｚ方向（第２方向）における第１磁石３１の長さは、Ｚ方向における第２磁石３２の長さ及び第３磁石３３の長さよりも長い。Ｚ方向（第２方向）はＸ方向（第１方向）に垂直な方向である。上述した「上側」及び「下側」はＺ方向における一方側及び他方側である。なお、本明細書において、或る方向Ａにおける或る要素Ｂの長さ（幅、厚さ）とは、方向Ａにおける要素Ｂの最大長さ（最大幅、最大厚さ）を意味する。

第１磁石３１は、第１上面３１ａ及び第１底面３１ｂを有し、第２磁石３２は、第２上面３２ａ及び第２底面３２ｂを有し、第３磁石３３は、第３上面３３ａ及び第３底面３３ｂを有している。第１上面３１ａ、第２上面３２ａ及び第３上面３３ａは、それぞれ、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３における上側の表面であり、第１底面３１ｂ、第２底面３２ｂ及び第３底面３３ｂは、それぞれ、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３における下側の表面である。第１上面３１ａ、第２上面３２ａ及び第３上面３３ａは、磁石部３における上側の表面である上面３ａを形成しており、第１底面３１ｂ、第２底面３２ｂ及び第３底面３３ｂは、磁石部３における下側の表面である底面３ｂを形成している。この例では、第１上面３１ａ、第２上面３２ａ、第３上面３３ａ、第１底面３１ｂ、第２底面３２ｂ及び第３底面３３ｂの各々は、Ｚ方向と垂直な平坦面である。

磁石部３の上面３ａには段差部３５が形成されている。具体的には、第１磁石３１の第１上面３１ａは、第２磁石３２の第２上面３２ａ及び第３磁石３３の第３上面３３ａよりも上側に位置している（第２上面３２ａ及び第３上面３３ａに対して上側に突出している）。すなわち、第２上面３２ａ及び第３上面３３ａは、第１上面３１ａよりも下側に位置している。これにより、第１上面３１ａと第２上面３２ａとの間、及び第１上面３１ａと第３上面３３ａとの間に段差部３５が形成されている。すなわち、段差部３５は、第１上面３１ａと第２上面３２ａ，第３上面３３ａとの間のＺ方向における位置の違いにより形成されている。この例では、第２上面３２ａ及び第３上面３３ａは同一平面上に位置している。

磁石部３の底面３ｂには段差部３６が形成されている。具体的には、第１磁石３１の第１底面３１ｂは、第２磁石３２の第２底面３２ｂ及び第３磁石３３の第３底面３３ｂよりも下側に位置している（第２底面３２ｂ及び第３底面３３ｂに対して下側に突出している）。すなわち、第２底面３２ｂ及び第３底面３３ｂは、第１底面３１ｂよりも上側に位置している。これにより、第１底面３１ｂと第２底面３２ｂとの間、及び第１底面３１ｂと第３底面３３ｂとの間に段差部３６が形成されている。すなわち、段差部３６は、第１底面３１ｂと第２底面３２ｂ，第３底面３３ｂとの間のＺ方向における位置の違いにより形成されている。この例では、第２底面３２ｂ及び第３底面３３ｂは同一平面下に位置している。

第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３は、ハルバッハ配列で並べられている。すなわち、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３は、各々が有する２つの磁極がハルバッハ配列で配列されるように並べられている。より具体的には、例えば、第２磁石３２は、その第１磁極（例えばＮ極）が底面３ｂ側（第２底面３２ｂ側）に位置し、且つ、その第２磁極（例えばＳ極）が上面３ａ側（第２上面３２ａ側）に位置するように配置されている。第３磁石３３は、第２磁石３２とは逆向きに磁極が並ぶように配置されている。すなわち、第３磁石３３は、その第１磁極が上面３ａ側（第３上面３３ａ側）に位置し、且つ、その第２磁極が底面３ｂ側（第３底面３３ｂ側）に位置するように配置されている。一方、第１磁石３１は、第３磁石３３側に第１磁極が位置し、且つ、第２磁石３２側に第２磁極が位置するように配置されている。このように、第１磁石３１は、Ｘ方向に沿って並ぶ磁極を有し、第２磁石３２及び第３磁石３３は、Ｚ方向に沿って並ぶ磁極を有している。換言すれば、第１磁石３１はＸ方向に磁化されており、第２磁石３２及び第３磁石３３は、Ｚ方向に磁化されている。図３及び図４には、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３において第１磁極から第２磁極に向かう方向が矢印で示されている。
［パッケージ］

図１，３～５を参照しつつ、パッケージ４について説明する。パッケージ４は、例えば樹脂材料により形成されており、磁石部３を収容する凹部４０を有している。凹部４０は、ベース壁部４１及び側壁部４２により画定され、略直方体状に形成されている。ベース壁部４１の第１表面４１ａには磁石部３が固定されており、ベース壁部４１の第２表面４１ｂにはミラーデバイス１０が固定されている。Ｚ方向において磁石部３はベース壁部４１に対して下側に位置しており、Ｚ方向においてミラーデバイス１０はベース壁部４１に対して上側に位置している。

ベース壁部４１は、例えば長方形板状に形成されており、Ｘ方向に沿って（Ｚ方向と交差するように）延在している。ベース壁部４１は、第１表面４１ａと、第１表面４１ａとは反対側の第２表面４１ｂと、を有している。第１表面４１ａは、下側を向いた表面であり、パッケージ４の内部において凹部４０を画定している。第２表面４１ｂは、上側を向いた表面であり、パッケージ４の外部に露出している。第１表面４１ａ及び第２表面４１ｂは、この例では互いに平行な長方形状の平坦面である。

ベース壁部４１の第２表面４１ｂには、ミラーデバイス１０が固定されている。この例では、ミラーデバイス１０は、支持部１１において接着材５１（第２接着材）により第２表面４１ｂに固定されている。より具体的には、ミラーデバイス１０は所定の接着領域Ｒにおいて第２表面４１ｂに固定されている。接着領域Ｒは、この例では、Ｚ方向から見た場合に支持部１１（ミラーデバイス１０）の４つの隅部１１ａと重なるように設定されている。すなわち、この例では、ミラーデバイス１０は、支持部１１の４つの隅部１１ａにおいて第２表面４１ｂに接着されており、４つの隅部１１ａ以外の部分においては第２表面４１ｂに接着されていない。上述したとおり、この例では、第２表面４１ｂの全体が平坦に形成されている。したがって、第２表面４１ｂにおけるミラーデバイス１０が配置された領域（Ｚ方向においてミラーデバイス１０と重なる領域）は、平坦に形成されている。接着領域Ｒの位置は、Ｚ方向から見た場合に支持部１１の４つの隅部１１ａと重なる位置に限られず、任意の位置に設定されてよい。

上述したようにミラーデバイス１０には複数（この例では３本）のワイヤ１８が接続されている。各ワイヤ１８は、Ｚ方向から見た場合に接着領域Ｒと重なる位置においてミラーデバイス１０（電極パッド１７）に接続されている。換言すれば、電極パッド１７は、ミラーデバイス１０においてＺ方向から見た場合に接着領域Ｒと重なる位置に設けられている。

図３に示されるように、ミラーデバイス１０の側面１０ａ（支持部１１の側面）と第２表面４１ｂとの間の境界部には、接着材５１によりフィレット５２（第２フィレット）が形成されている。フィレット５２は、ミラーデバイス１０の接着時に接着材５１がミラーデバイス１０と第２表面４１ｂとの間から外側にはみ出すことにより形成されている。ミラーデバイス１０と第２表面４１ｂとの間における接着材５１の厚さは、１０μｍ以上３０μｍ以下である。例えば粘度が低い接着材５１を用いることで、接着材５１をこのような厚さに形成することができる。このような接着材５１としては、例えばＡｇペースト、又はシリコーン系、エポキシ系、アクリレート系の材料からなる接着材等が挙げられる。フィレット５２は、少なくともミラーデバイス１０の側面１０ａと第２表面４１ｂとの間の境界部に形成されていればよく、例えばＺ方向において側面１０ａの全体と接触するように形成されていてもよい。

ベース壁部４１の第１表面４１ａには、凹部４０内に収容された磁石部３が固定されている。この例では、磁石部３は、上面３ａにおいて接着材５３（第１接着材）により第１表面４１ａに固定されている。接着材５３は、この例では、上面３ａの全体と第１表面４１ａとの間に配置されている。すなわち、接着材５３は、第１磁石３１の第１上面３１ａ、第２磁石３２の第２上面３２ａ、及び第３磁石３３の第３上面３３ａの各々と第１表面４１ａとの間に配置されている。上述したとおり、この例では、第１上面３１ａは、第２上面３２ａ及び第３上面３３ａよりも上側に位置している。換言すれば、第２上面３２ａ及び第３上面３３ａは、第１上面３１ａよりも下側に位置している。したがって、第２上面３２ａ及び第３上面３３ａと第１表面４１ａとの間には、第１上面３１ａと第１表面４１ａとの間と比べて、Ｚ方向における厚さが大きな隙間が形成されている。この例では、当該隙間の全体に接着材５３が配置（充填）されている。その結果、第２上面３２ａ及び第３上面３３ａと第１表面４１ａとの間には、第１上面３１ａと第１表面４１ａとの間と比べて、より多くの接着材５３が配置されている。

図３及び図４に示されるように、第２磁石３２の側面３２ｃ（磁石部３の側面）と第１表面４１ａとの間の境界部には、接着材５３によりフィレット５４（第１フィレット）が形成されている。フィレット５４は、磁石部３の接着時に接着材５３が磁石部３と第１表面４１ａとの間から外側にはみ出すことにより形成されている。接着材５３としては、例えば接着材５１と同一の接着材を用いることができる。

図３及び図４に示されるように、Ｘ方向におけるミラーデバイス１０の幅Ｗ５は、Ｘ方向における磁石部３の幅Ｗ４よりも狭い。同様に、Ｙ方向におけるミラーデバイス１０の幅は、Ｙ方向における磁石部３の幅よりも狭い。Ｙ方向（第３方向）は、Ｘ方向（第１方向）及びＺ方向（第２方向）の両方に垂直な方向である。そして、ミラーデバイス１０及び磁石部３は、Ｚ方向から見た場合にミラーデバイス１０の外縁が磁石部３の外縁に対して内側に位置するように、配置されている。この例では、Ｘ方向における第１磁石３１の幅Ｗ１は、Ｘ方向における可動ミラー部１２の幅Ｗ６よりも広い（図４）。Ｚ方向から見た場合に、可動ミラー部１２の外縁は、第１磁石３１の外縁に対して内側に位置している。

側壁部４２は、例えば長方形枠状に形成されており、Ｚ方向に沿ってベース壁部４１と垂直に延在している。側壁部４２は、第１側壁部分４２１、第２側壁部分４２２、第３側壁部分４２３及び第４側壁部分４２４を有している。第１側壁部分４２１はＸ方向において磁石部３を介して第２側壁部分４２２と向かい合っており、第３側壁部分４２３はＹ方向において磁石部３を介して第４側壁部分４２４と向かい合っている。第３側壁部分４２３及び第４側壁部分４２４は、第１側壁部分４２１及び第２側壁部分４２２と交差するように（この例では第１側壁部分４２１及び第２側壁部分４２２と垂直に）延在している。各側壁部分４２１～４２４は、長方形状に形成されている。側壁部分４２１～４２４は、磁石部３の側面３ｓと向かい合っており、Ｚ方向から見た場合に磁石部３を囲んでいる。

図５に示されるように、第２側壁部分４２２の厚さＴ２は、第１側壁部分４２１の厚さＴ１よりも厚く、第４側壁部分４２４の厚さＴ４は、第３側壁部分４２３の厚さＴ３よりも厚い。この例では、厚さＴ２は厚さＴ４と等しく、厚さＴ１は厚さＴ３と等しい。側壁部分４２１～４２４に関して、側壁部分の厚さとは、側壁部分の延在方向（Ｚ方向）に垂直な方向における厚さである。この例では、厚さＴ１，Ｔ４は、Ｘ方向における厚さであり、厚さＴ２，Ｔ３は、Ｙ方向における厚さである。この例では各側壁部分４２１～４２４の厚さはＺ方向に関して一定であるが、側壁部分の厚さはＺ方向に関して一定でなくてもよい（変化していてもよい）。この場合、側壁部分の厚さとは、厚さが最大になる位置での厚さ（最大厚さ）である。

図３及び図４に示されるように、側壁部４２における下側の端部４２ａは、下側に開口した凹部４０の開口部４０ａを画定している。より具体的には、端部４２ａの内縁により開口部４０ａが画定されている。この例では、側壁部分４２１～４２４により長方形状の開口部４０ａが画定されている。これにより、磁石部３をベース壁部４１に固定する際に、磁石部３を開口部４０ａから凹部４０内に配置することができる。また、光モジュール１では、磁石部３の下側が開放されており、磁石部３の底面３ｂがパッケージ４と接触しない構造となっている。すなわち、Ｚ方向から見た場合に、側壁部４２は磁石部３に対して外側に位置しており、磁石部３と重なっていない。

光モジュール１では、側壁部４２が磁石部３の底面３ｂに対して下側に突出している。すなわち、側壁部４２における下側（ベース壁部４１とは反対側）の端面４２ｂが、磁石部３の底面３ｂよりも下側に位置している。この例では、端面４２ｂはＺ方向と垂直な平坦面である。図４に示されるように、光モジュール１では、Ｚ方向における側壁部４２の長さＬ１がＺ方向における磁石部３の長さＬ２（最大長さ）よりも長く、その結果、側壁部４２が磁石部３の底面３ｂに対して下側に突出している。この例では、長さＬ２は第１磁石３１の第１上面３１ａと第１底面３１ｂとの間の距離である。

図５に示されるように、この例では、磁石部３の側面３ｓは、第２側壁部分４２２及び第４側壁部分４２４に接触しており、第１側壁部分４２１及び第３側壁部分４２３には接触していない（第１側壁部分４２１及び第３側壁部分４２３から離れている）。これにより、磁石部３と第１側壁部分４２１及び第３側壁部分４２３との間には隙間６０が形成されている。隙間６０は、磁石部３をベース壁部４１に接着材５３により固定する際に、磁石部３とベース壁部４１との間からはみ出した接着材５３を逃がすための空間として用いられ得る。すなわち、隙間６０の一部又は全部に接着材５３が充填されていてもよい。

隙間６０は、磁石部３と第１側壁部分４２１との間に形成された第１部分６１と、磁石部３と第３側壁部分４２３との間に形成された第２部分６２と、を有している。第１部分６１は、Ｚ方向から見た場合にＹ方向に沿って延在する部分であり、第２部分６２は、Ｚ方向から見た場合にＸ方向（第１部分６１の延在方向と交差する方向）に沿って延在する部分である。この例では、第１部分６１の幅（Ｘ方向における幅）は、第２部分６２の幅（Ｙ方向における幅）よりも広い。隙間６０は、Ｚ方向から見た場合に、全体としてＬ字状に形成されている。

この例では、磁石部３は、Ｚ方向から見た場合に磁石部３の中心Ｃ１がパッケージ４の中心Ｃ２と一致するように、凹部４０内に配置されている。上述したとおり、第２側壁部分４２２の厚さＴ２は、第１側壁部分４２１の厚さＴ１よりも厚く、第４側壁部分４２４の厚さＴ４は、第３側壁部分４２３の厚さＴ３よりも厚い。例えば、厚さＴ２，Ｔ１の差は隙間６０の第１部分６１の幅と等しく、厚さＴ４，Ｔ３の差は隙間６０の第２部分６２の幅と等しい。これにより、磁石部３と第１側壁部分４２１及び第３側壁部分４２３との間に隙間６０を形成しつつ、Ｚ方向から見た場合に磁石部３の中心Ｃ１をパッケージ４の中心Ｃ２と一致させることが可能となっている。

磁石部３は、Ｚ方向から見た場合に４つの角部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４を有している。側壁部４２には、角部Ｐ３に対応する位置に、Ｚ方向に沿って延在する溝部４５が形成されている。溝部４５は、この例では第２側壁部分４２２と第４側壁部分４２４との間の境界部分に形成されている。溝部４５は、例えば、Ｚ方向に垂直な断面において中心角が２７０°の扇形状に形成されており、Ｚ方向において側壁部４２の全体にわたって延在している。溝部４５が形成されていることにより、角部Ｐ３は側壁部４２に接触していない（側壁部４２から離れている）。

この例では、４つの角部Ｐ１～Ｐ４の各々について、角部を形成する２つの辺部の少なくとも一方が側壁部４２から離れている。すなわち、角部Ｐ３については、上述したとおり、溝部４５が形成されていることにより、角部Ｐ３を構成する２つの辺部Ｐ３ａ，Ｐ３ｂの両方が側壁部４２から離れている。角部Ｐ１については、隙間６０が形成されていることにより、角部Ｐ１を構成する２つの辺部Ｐ１ａ，Ｐ１ｂの両方が側壁部４２（第１側壁部分４２１及び第３側壁部分４２３）から離れている。角部Ｐ２については、隙間６０の第２部分６２が形成されていることにより、角部Ｐ２を構成する２つの辺部Ｐ２ａ，Ｐ２ｂの一方である辺部Ｐ２ａが側壁部４２（第３側壁部分４２３）から離れている。角部Ｐ４については、隙間６０の第１部分６１が形成されていることにより、角部Ｐ４を構成する２つの辺部Ｐ４ａ，Ｐ４ｂの一方である辺部Ｐ４ｂが側壁部４２（第１側壁部分４２１）から離れている。
［作用及び効果］

光モジュール１では、パッケージ４の凹部４０内に磁石部３が収容されており、凹部４０を画定するベース壁部４１の第１表面４１ａに磁石部３が固定され、ベース壁部４１における第１表面４１ａとは反対側の第２表面４１ｂ上にミラーデバイス１０（ミラーユニット２）が配置されている。すなわち、ベース壁部４１において磁石部３の実装面とミラーデバイス１０の実装面とが裏表の関係を有している。これにより、磁石部３の上面３ａに段差部３５が形成されている場合でも、当該段差部３５の影響によりミラーデバイス１０の傾きがずれてしまうことを抑制することができる。また、凹部４０が、側壁部４２により画定されて下側に開口した開口部４０ａを有している。これにより、磁石部３を開口部４０ａから凹部４０内に配置することができ、磁石部３の底面３ｂがパッケージ４と接触しない構造とすることができる。このことによっても、磁石部３に形成された段差部３５，３６の影響によりミラーデバイス１０の傾きがずれてしまうことを抑制することができる。すなわち、例えばインサート成形により磁石部３がパッケージ４内に埋め込まれた構造の場合、磁石部３の上面３ａの段差部３５及び底面３ｂの段差部３６の影響によりパッケージ４の表面に凹凸が生じ、それに起因してミラーデバイス１０の傾きがずれてしまうおそれがあるのに対し、光モジュール１では、そのような事態の発生を抑制することができる。さらに、第２磁石３２の第２上面３２ａが第１磁石３１の第１上面３１ａよりも下側に位置しており、磁石部３が、ベース壁部４１の第１表面４１ａと第２磁石３２の第２上面３２ａとの間に配置された接着材５３（第１接着材）によりベース壁部４１に固定されている。これにより、例えば第１上面３１ａと第２上面３２ａとが同一平面上に位置している場合と比べて、磁石部３とベース壁部４１との間により多くの接着材５３を配置することができ、磁石部３をベース壁部４１に強固に固定することができる。よって、光モジュール１によれば、信頼性を高めることができる。

第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３が、ハルバッハ配列で並べられており、第１磁石３１が、Ｘ方向（第１方向）に沿って並ぶ磁極を有し、第２磁石３２及び第３磁石３３の各々が、Ｚ方向（第２方向）に沿って並ぶ磁極を有している。これにより、可動ミラー部１２の近傍における磁束密度を高めることができる。また、磁石においては磁極の並び方向（磁化方向）における熱膨張量が磁極の並び方向に垂直な方向における熱膨張量よりも大きい。そのため、Ｚ方向に沿って並ぶ磁極を有する第２磁石３２をベース壁部４１から離れさせる（第２磁石３２の第２上面３２ａを第１磁石３１の第１上面３１ａよりも下側に位置させる）ことにより、第２磁石３２の熱膨張に起因してパッケージ４が変形する事態の発生を抑制することができる。

磁石部３と側壁部４２との間に隙間６０が形成されている。これにより、磁石部３をベース壁部４１に接着材５３により固定する際に、接着材５３を隙間６０に逃がすことができる。そのため、当該接着の際に磁石部３をベース壁部４１に近づけることが可能となり、ひいては磁石部３をミラーデバイス１０に近づけることが可能となる。

隙間６０が、Ｚ方向から見た場合に、一の方向（Ｙ方向）に沿って延在する第１部分６１と、第１部分６１の延在方向と交差（直交）する方向（Ｘ方向）に沿って延在する第２部分６２と、を有している。これにより、上述した接着材５３を隙間６０に逃がすことができるとの作用効果が顕著に奏される。また、上述したとおり、第１磁石３１においては磁極の並び方向であるＸ方向（第１方向）における熱膨張量が大きくなるが、磁石部３と、Ｘ方向において磁石部３と向かい合う側壁部４２（第１側壁部分４２１）との間に隙間６０（第１部分６１）が形成されていることで、磁石部３の熱膨張に起因してパッケージ４に歪みが生じることを抑制することができる。

側壁部４２が、第１側壁部分４２１と、第１側壁部分４２１と向かい合う第２側壁部分４２２と、を有し、隙間６０が、磁石部３と第１側壁部分４２１との間に形成された第１部分６１を有し、第２側壁部分４２２の厚さＴ２が第１側壁部分４２１の厚さＴ１よりも厚い。これにより、接着材５３を逃がすための隙間６０を形成しつつ、Ｚ方向から見た場合に磁石部３の中心Ｃ１をパッケージ４の中心Ｃ２に近い位置に配置することができる。また、側壁部４２が、第１側壁部分４２１と交差するように延在する第３側壁部分４２３と、第３側壁部分４２３と向かい合う第４側壁部分４２４と、を有し、隙間６０が、磁石部３と第３側壁部分４２３との間に形成された第２部分６２を有し、第４側壁部分４２４の厚さＴ４が、第３側壁部分４２３の厚さＴ３よりも厚い。このことによっても、接着材５３を逃がすための隙間６０を形成しつつ、Ｚ方向から見た場合に磁石部３の中心Ｃ１をパッケージ４の中心Ｃ２に近い位置に配置することができる。

磁石部３と、磁石部３とＸ方向において向かい合う側壁部４２（第１側壁部分４２１）との間に、隙間６０（第１部分６１）が形成されている。上述したとおり第１磁石３１においては磁極の並び方向であるＸ方向における熱膨張量が大きくなるが、磁石部３と、磁石部３とＸ方向において向かい合う側壁部４２との間に隙間６０が形成されていることで、磁石部３の熱膨張に起因してパッケージ４に歪みが生じることを抑制することができる。

磁石部３の一の角部（角部Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３又はＰ４）を形成する２つの辺部（辺部Ｐ１ａ，Ｐ１ｂ、辺部Ｐ２ａ，Ｐ２ｂ、辺部Ｐ３ａ，Ｐ３ｂ、又は辺部Ｐ４ａ，Ｐ４ｂ）の少なくとも一方が、側壁部４２から離れている。これにより、当該一の角部が破損することを抑制することができる。また、光モジュール１では、４つの角部Ｐ１～Ｐ４の各々について、角部を形成する２つの辺部の少なくとも一方が、側壁部４２から離れている。これにより、磁石部３の角部Ｐ１～Ｐ４が破損することを抑制することができる。

側壁部４２には、磁石部３の角部Ｐ３に対応する位置に、Ｚ方向に沿って延在する溝部４５が形成されている。これにより、磁石部３の角部Ｐ３が破損することを抑制することができると共に、側壁部４２に対する磁石部３の位置決めを容易化することができる。

ミラーデバイス１０が接着材５１（第２接着材）によりベース壁部４１の第２表面４１ｂに固定されており、ミラーデバイス１０の側面１０ａとベース壁部４１の第２表面４１ｂとの間の境界部には、接着材５１によりフィレット５２が形成されている。これにより、ミラーデバイス１０をベース壁部４１に強固に固定することができる。

ミラーデバイス１０とベース壁部４１の第２表面４１ｂとの間における接着材５１の厚さが、１０μｍ以上３０μｍ以下である。例えば粘度が低い接着材５１を用いることで、接着材５１がこのような厚さに形成され得る。粘度が低い接着材５１を用いることで、ミラーデバイス１０の傾きのずれを一層抑制することができる。

光モジュール１が、ミラーデバイス１０を外部と電気的に接続するためのワイヤ１８を備え、ミラーデバイス１０が、接着材５１により所定の接着領域Ｒにおいてベース壁部４１の第２表面４１ｂに固定されており、ワイヤ１８が、Ｚ方向から見た場合に接着領域Ｒと重なる位置においてミラーデバイス１０に接続されている。この場合、ワイヤ１８を接続する際にミラーデバイス１０が破損してしまうことを抑制することができる。また、ワイヤ１８をミラーデバイス１０に良好に接続することができる。すなわち、接着領域Ｒと重ならない位置においてワイヤ１８をミラーデバイス１０に接続すると、ミラーデバイス１０と第２表面４１ｂとの間に空洞が存在することで、ワイヤ１８をミラーデバイス１０に接続させにくく、ワイヤ１８とミラーデバイス１０との間の接続強度が低下するおそれがある。対して、実施形態の光モジュール１では、ワイヤ１８を接着領域Ｒと重なる位置においてミラーデバイス１０に接続するため、そのような事態を抑制することができ、ワイヤ１８をミラーデバイス１０に良好に接続することができる。

ベース壁部４１の第２表面４１ｂにおけるミラーデバイス１０が配置された領域が、平坦に形成されている。これにより、例えば当該領域に凹部が形成されている場合と比べて、パッケージ４の強度を確保することができると共に、パッケージ４の変形を抑制することができる。また、平坦な領域にミラーデバイス１０が配置されるため、ミラーデバイス１０の傾きのずれを一層抑制することができる。

Ｚ方向から見た場合に、ミラーデバイス１０の外縁が、磁石部３の外縁に対して内側に位置している。これにより、可動ミラー部１２に均一な磁力を作用させることができる。

側壁部４２が、磁石部３の底面３ｂに対して下側に突出している。これにより、磁石部３をパッケージ４内に確実に収容することができ、磁石部３の破損等を抑制することができる。また、例えば光モジュール１をステージの搭載面上に配置する際に、段差部３５が形成され得る磁石部３の底面３ｂではなく、側壁部４２を搭載面に当接させることで、光モジュール１をステージ上に精度良く配置することができる。
［変形例］

図６に示される第１変形例では、第１磁石３１の第１上面３１ａが、第２磁石３２の第２上面３２ａ及び第３磁石３３の第３上面３３ａよりも下側に位置している。すなわち、第２上面３２ａ及び第３上面３３ａが、第１上面３１ａよりも上側に位置している。これにより、第１変形例においても、第１上面３１ａと第２上面３２ａとの間、及び第１上面３１ａと第３上面３３ａとの間に段差部３５が形成されている。第１変形例においても、上記実施形態と同様に、接着材５３は、磁石部３の上面３ａの全体とベース壁部４１の第１表面４１ａとの間に配置されている。すなわち、接着材５３は、第１上面３１ａ、第２上面３２ａ及び第３上面３３ａの各々と第１表面４１ａとの間に配置されている。第１変形例では、第１上面３１ａと第１表面４１ａとの間に、第２上面３２ａ及び第３上面３３ａと第１表面４１ａとの間と比べて、Ｚ方向における厚さが大きな隙間が形成されており、当該隙間の全体に接着材５３が配置（充填）されている。その結果、第１上面３１ａと第１表面４１ａとの間には、第２上面３２ａ及び第３上面３３ａと第１表面４１ａとの間と比べて、より多くの接着材５３が配置されている。このような第１変形例によっても、上記実施形態と同様に、信頼性を高めることができる。また、第１変形例では、上記実施形態と同様に、Ｘ方向における第１磁石３１の幅Ｗ１が、Ｘ方向における第２磁石３２の幅Ｗ２及びＸ方向における第３磁石３３の幅Ｗ３よりも広い。そして、幅広に形成された第１磁石３１の第１上面３１ａとベース壁部４１の第１表面４１ａとの間に接着材５３が配置されている。これにより、第１磁石３１の第１上面３１ａとベース壁部４１との間により多くの接着材５３を配置することができ、磁石部３をベース壁部４１に強固に固定することができる。

本発明は、上記実施形態及び変形例に限られない。例えば、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。例えば、可動部１３の外形状は、矩形状に限られず、円形状、楕円形状、多角形状等の任意の形状であってよい。上記実施形態においてミラー１５は光を回折及び反射させる回折格子として構成されていてもよい。この場合、例えばミラー１５は所定の回折格子パターンに沿って形成されていてもよい。

上記実施形態のミラーデバイス１０では可動部１３が１つの軸線（軸線Ａ）周りに揺動可能に構成されていたが、可動部１３が２つの軸線周りに揺動可能に構成されていてもよい。この場合、例えば、可動部１３が、第１可動部と、第１可動部を囲む枠状の第２可動部と、を有する。ミラー１５は第１可動部に設けられる。軸線Ａに沿って延在する一対の連結部１４により第２可動部が支持部１１に連結され、軸線Ａと垂直な軸線に沿って延在する他の一対の連結部により第１可動部が第２可動部に連結される。これにより、第２可動部が軸線Ａ周りに回転可能となり、第１可動部が軸線Ａに垂直な軸線周りに回転可能となる。その結果、ミラー１５（第１可動部）を２つの軸線周りに揺動させることが可能となる。この場合、第１可動部及び第２可動部の両方が静的に揺動させられてもよいし、又は、第１可動部は共振周波数レベルで揺動させられ、第２可動部は静的に揺動させられてもよい。或いは、上記実施形態のミラーデバイス１０では可動ミラー部１２が軸線周りに揺動可能となっていたが、可動ミラー部１２は光軸方向（ミラー１５と交差する方向）に沿って往復移動可能となるように構成されていてもよい。

上記実施形態ではミラーユニット２がミラーデバイス１０のみにより構成されていたが、ミラーユニット２は、ミラーデバイス１０が固定されるベース部材を更に備えていてもよい。ベース部材は例えば配線基板であり、ミラーデバイス１０を支持する支持部材としても機能する。この場合、ベース部材はミラーデバイス１０とパッケージ４のベース壁部４１との間に配置され、ミラーユニット２はベース部材においてベース壁部４１の第２表面４１ｂに固定される。ミラーユニット２がベース部材を備える場合、ワイヤ１８はベース部材に接続されてもよい。この場合にも、上記実施形態と同様に、ベース部材が接着材によりベース壁部４１の第２表面４１ｂに固定された領域を接着領域とすると、ワイヤ１８は、Ｚ方向から見た場合に接着領域と重なる位置においてベース部材に接続されていてもよい。この場合、ワイヤ１８を接続する際にミラーユニット２（ベース部材）が破損してしまうことを抑制することができると共に、ワイヤ１８をミラーユニット２（ベース部材）に良好に接続することができる。

上記実施形態において、接着材５３は、第２磁石３２の第２上面３２ａ及び第３磁石３３の第３上面３３ａの少なくとも一方とベース壁部４１の第１表面４１ａとの間に配置されていればよく、第１磁石３１の第１上面３１ａと第１表面４１ａとの間には配置されていなくてもよい。上記第１変形例において、接着材５３は、第１上面３１ａと第１表面４１ａとの間に配置されていればよく、第２上面３２ａ及び第３上面３３ａと第１表面４１ａとの間には配置されていなくてもよい。

磁石部３の側面３ｓは、全周にわたって側壁部４２から離れていてもよい。この場合、磁石部３と側壁部４２との間に全周にわたって隙間６０が形成される。この場合、磁石部３の４つの角部Ｐ１～Ｐ４の各々について、角部を形成する２つの辺部の両方が側壁部４２から離れる。上記実施形態において、隙間６０は、第１部分６１及び第２部分６２の少なくとも一方を有していなくてもよい。隙間６０は形成されていなくてもよく、磁石部３の側面３ｓが全周にわたって側壁部４２に接触していてもよい。溝部４５は形成されていなくてもよい。フィレット５２，５４のいずれか又は両方は形成されていなくてもよい。ミラーデバイス１０とベース壁部４１の第２表面４１ｂとの間における接着材５１の厚さは、１０μｍ以上３０μｍ以下に限られない。磁石部３の４つの角部Ｐ１～Ｐ４のいずれか又はすべてにおいて、角部を構成する２つの辺部の両方が側壁部４２に接触していてもよい。上記実施形態では隙間６０の第１部分６１と第２部分６２とが繋がっていたが、第１部分６１と第２部分６２とは互いに分離されていてもよい。例えば、側壁部４２から突出した突出部、又は第１磁石３１、第２磁石３２若しくは第３磁石３３により、第１部分６１と第２部分６２とが互いに隔てられていてもよい。ただし、上記実施形態のように第１部分６１と第２部分６２とが繋がっている場合、接着材５３を均等に逃がすことが可能となる。

第１磁石３１の幅Ｗ１は、第２磁石３２の幅Ｗ２及び第３磁石３３の幅Ｗ３よりも狭くてもよい。すなわち、第２磁石３２の幅Ｗ２及び第３磁石３３の幅Ｗ３は、第１磁石３１の幅Ｗ１よりも広くてもよい。側壁部分４２１～４２４の厚さＴ１～Ｔ４は互いに等しくてもよい。上記実施形態では磁石部３がＸ方向（第１方向）に沿って並べられた複数の磁石（第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３）を含んでいたが、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３の並び方向は任意の方向であってよく、例えばＹ方向であってもよい。側壁部４２は、端部４２ａからＸＹ平面に沿って（Ｚ方向と交差する方向に沿って）延在する部分を含んでいてもよい。この部分は、Ｚ方向から見た場合に磁石部３と重ならないように（磁石部３に対して外側に位置するように）設けられる。

ミラーデバイス１０はワイヤ１８以外の手段により外部と電気的に接続されていてもよく、ワイヤ１８は省略されてもよい。ワイヤ１８は、Ｚ方向から見た場合に接着領域Ｒと重ならない位置においてミラーデバイス１０（電極パッド１７）に接続されていてもよい。換言すれば、電極パッド１７は、ミラーデバイス１０においてＺ方向から見た場合に接着領域Ｒと重ならない位置に設けられていてもよい。ベース壁部４１の第２表面４１ｂにおけるミラーデバイス１０が配置された領域は、平坦に形成されていなくてもよく、例えば当該領域に凸部又は凹部が形成されていてもよい。Ｚ方向から見た場合に、ミラーデバイス１０の外縁は磁石部３の外縁に対して外側に位置していてもよい。Ｚ方向から見た場合に、可動ミラー部１２の外縁は第１磁石３１の外縁に対して外側に位置していてもよい。ミラーユニット２及び磁石部３のベース壁部４１への固定方法は接着に限られず、任意の方法であってよい。

上記実施形態では、側壁部４２の延在方向である第２方向（Ｚ方向）が、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３の並び方向である第１方向（Ｘ方向）と垂直であったが、第２方向は第１方向と交差していればよく、直角以外の角度で第１方向と交差していてもよい。磁石部３の底面３ｂに段差部３６が形成されていなくてもよく、底面３ｂの全体が平坦であってもよい。第２上面３２ａと第３上面３３ａは同一平面上に位置していなくてもよい。第２底面３２ｂと第３底面３３ｂとは同一平面上に位置していなくてもよい。上記実施形態及び変形例において、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３の名称は説明の便宜上設定されたものであり、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３の名称は交換可能である。例えば、第１磁石３１が第２磁石とみなされると共に第２磁石３２が第１磁石とみなされてもよい。また、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３が並ぶ順序は上述した例に限られない。磁石部３は、２つの磁石のみを備えていてもよいし、４つ以上の磁石を備えていてもよい。

１…光モジュール、２…ミラーユニット、３…磁石部、３ａ…上面、３ｂ…底面、３ｓ…側面、４…パッケージ、１０…ミラーデバイス、１０ａ…側面、１２…可動ミラー部、１６…コイル、１８…ワイヤ、３１…第１磁石、３２…第２磁石、３３…第３磁石、４０…凹部、４０ａ…開口部、４１…ベース壁部、４１ａ…第１表面、４１ｂ…第２表面、４２…側壁部、４２１…第１側壁部分、４２２…第２側壁部分、４５…溝部、５１…接着材（第２接着材）５３…接着材（第１接着材）、５４…フィレット、６０…隙間、６１…第１部分、６２…第２部分、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４…角部、Ｐ１ａ，Ｐ１ｂ，Ｐ２ａ，Ｐ２ｂ，Ｐ３ａ，Ｐ３ｂ，Ｐ４ａ，Ｐ４ｂ…辺部、Ｒ…接着領域。

Claims (15)

1. コイルが設けられた可動ミラー部を含むミラーデバイスを有するミラーユニットと、
   上面及び底面と前記上面から前記底面に延びる側面とを有し、前記可動ミラー部に作用する磁界を発生させる磁石部と、
   前記磁石部を収容する凹部を有するパッケージと、を備え、
   前記磁石部は、第１方向に沿って並べられた第１磁石及び第２磁石を含み、
   前記凹部は、第１方向に沿って延在し、前記磁石部の前記上面が固定されたベース壁部と、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延在し、前記磁石部の前記側面と向かい合う側壁部と、を有し、
   前記第２方向において前記ベース壁部に対して前記磁石部が位置する側を下側とし、前記下側とは反対側を上側とすると、前記凹部は、前記側壁部により画定されて前記下側に開口した開口部を有しており、
   前記ミラーユニットは、前記ベース壁部における前記磁石部が固定された第１表面とは反対側の第２表面上に配置されており、
   前記第２磁石における前記上側の表面である第２上面は、前記第１磁石における前記上側の表面である第１上面よりも前記下側に位置しており、
   前記磁石部は、前記ベース壁部の前記第１表面と前記第２磁石の前記第２上面との間に少なくとも配置された第１接着材により前記ベース壁部に固定されている、光モジュール。
2. 前記磁石部は、前記第１方向において前記第１磁石に対して前記第２磁石とは反対側に配置された第３磁石を更に含み、
   前記第１磁石、前記第２磁石及び前記第３磁石は、ハルバッハ配列で並べられており、前記第１磁石は、前記第１方向に沿って並ぶ磁極を有し、前記第２磁石及び前記第３磁石の各々は、前記第２方向に沿って並ぶ磁極を有している、請求項１に記載の光モジュール。
3. 前記磁石部と前記側壁部との間には、隙間が形成されている、請求項１又は２に記載の光モジュール。
4. 前記隙間は、前記第２方向から見た場合に、一の方向に沿って延在する第１部分と、前記第１部分の延在方向と交差する方向に沿って延在する第２部分と、を有している、請求項３に記載の光モジュール。
5. 前記側壁部は、第１側壁部分と、前記第１側壁部分と向かい合う第２側壁部分と、を有し、
   前記隙間は、前記磁石部と前記第１側壁部分との間に形成されており、
   前記第２側壁部分の厚さは、前記第１側壁部分の厚さよりも厚い、請求項３に記載の光モジュール。
6. 前記磁石部と、前記磁石部と前記第１方向において向かい合う側壁部との間には、隙間が形成されている、請求項２に記載の光モジュール。
7. 前記磁石部は、前記第２方向から見た場合に、一の角部を形成する２つの辺部を有し、前記２つの辺部の少なくとも一方は、前記側壁部から離れている、請求項１又は２に記載の光モジュール。
8. 前記側壁部には、前記磁石部の角部に対応する位置に、前記第２方向に沿って延在する溝部が形成されている、請求項１又は２に記載の光モジュール。
9. 前記ミラーユニットは、第２接着材により前記ベース壁部の前記第２表面に固定されており、
   前記ミラーユニットの側面と前記ベース壁部の前記第２表面との間の境界部には、前記第２接着材によりフィレットが形成されている、請求項１又は２に記載の光モジュール。
10. 前記ミラーユニットは、第２接着材により前記ベース壁部の前記第２表面に固定されており、
    前記ミラーユニットと前記ベース壁部の前記第２表面との間における前記第２接着材の厚さは、１０μｍ以上３０μｍ以下である、請求項１又は２に記載の光モジュール。
11. 前記ミラーユニットを外部と電気的に接続するためのワイヤを更に備え、
    前記ミラーユニットは、接着材により所定の接着領域において前記ベース壁部の前記第２表面に固定されており、
    前記ワイヤは、前記第２方向から見た場合に前記接着領域と重なる位置において前記ミラーユニットに接続されている、請求項１又は２に記載の光モジュール。
12. 前記ベース壁部の前記第２表面における前記ミラーユニットが配置された領域は、平坦に形成されている、請求項１又は２に記載の光モジュール。
13. 前記第２方向から見た場合に、前記ミラーユニットの外縁は、前記磁石部の外縁に対して内側に位置している、請求項１又は２に記載の光モジュール。
14. 前記側壁部は、前記磁石部の前記底面に対して前記下側に突出している、請求項１又は２に記載の光モジュール。
15. 前記第１方向における前記第２磁石の幅は、前記第１方向における前記第１磁石の幅よりも広い、請求項１又は２に記載の光モジュール。

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