JP2024015803A - 光モジュール - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性を高めることができる光モジュールを提供する。【解決手段】光モジュール１は、コイルが設けられた可動ミラー部１２を含むミラーデバイス１０を有するミラーユニット２と、第１方向に沿って並べられた第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３を含み、可動ミラー部１２に作用する磁界を発生させる磁石部３と、を備えている。ミラーユニット２は、第１方向と垂直な第２方向において磁石部３上に配置されており、磁石部３と向かい合う底面２１ｂを有している。底面２１ｂには、磁石部３側に突出する突出部２２が形成されている。第１方向における突出部２２の幅Ｗ５は、第１方向における第１磁石３１の幅Ｗ１以下である。ミラーユニット２は、突出部２２において第１磁石３１の上面３１ａに固定されている。【選択図】図２

Description

本発明は、光モジュールに関する。

特許文献１には、可動ミラー部を有するミラーデバイスが磁石部上に配置された光モジュールが記載されている。この光モジュールでは、磁石部が横方向に沿って並べられた３つの磁石を含んでいる。３つの磁石は、それぞれ異なる磁気方向を有している。ミラーデバイスは、それら３つの磁石上に跨がって配置されている。

特表２０１３－５０８７８５号公報

上述したような磁石部は３つの磁石を接合して一体化することにより形成されるが、磁石同士が反発するため、複数の磁石を一体化する際（磁石部を形成する際）に、磁石部の位置が上下方向にずれてしまい、磁石部の上面に段差部が形成されてしまうことがある。段差部が形成された磁石部の上面にミラーデバイスを単に配置すると、ミラーデバイスの傾きが目標角度からずれてしまうおそれがある。また、ミラーデバイスを磁石部に接着する場合に、接着強度（固定強度）が低下してしまうおそれもある。光モジュールには、信頼性の観点から、そのようなミラーデバイスの傾きのずれや接着強度の低下を抑制することが求められる。

本発明は、信頼性を高めることができる光モジュールを提供することを目的とする。

本発明の光モジュールは、［１］「コイルが設けられた可動ミラー部を含むミラーデバイスを有するミラーユニットと、第１方向に沿って並べられた第１磁石、第２磁石及び第３磁石を含み、前記可動ミラー部に作用する磁界を発生させる磁石部と、を備え、前記ミラーユニットは、前記第１方向と垂直な第２方向において前記磁石部上に配置されており、前記磁石部と向かい合う底面を有し、前記底面には、前記磁石部側に突出する突出部が形成されており、前記第１方向における前記突出部の幅は、前記第１方向における前記第１磁石の幅以下であり、前記ミラーユニットは、前記突出部において前記第１磁石の上面に固定されている、光モジュール」である。

［１］に記載の光モジュールでは、ミラーユニットの底面に形成された突出部の幅が第１磁石の幅以下であり、ミラーユニットが突出部において第１磁石の上面に固定されている。このようにミラーユニットに突出部を形成し、当該突出部においてミラーユニットを第１磁石の上面に固定することで、磁石部の上面に段差部が形成されている場合でも、当該段差部の影響によるミラーユニットの傾きのずれや固定強度の低下を抑制することができる。よって、［１］に記載の光モジュールによれば、信頼性を高めることができる。

本発明の光モジュールは、［２］「前記第１方向における前記突出部の幅は、前記第１方向における前記第１磁石の幅よりも狭い、［１］に記載の光モジュール」であってもよい。この場合、突出部を第１磁石の上面に固定する作業を容易化することができる。

本発明の光モジュールは、［３］「前記ミラーユニットは、前記ミラーデバイスが固定されたベースを更に有し、前記突出部は、前記ベースにおける前記磁石部側の表面に形成されている、［１］又は［２］に記載の光モジュール」であってもよい。この場合、ベースを有するミラーユニットの傾きのずれや固定強度の低下を抑制することができる。

本発明の光モジュールは、［４］「前記ミラーユニットは、前記ミラーデバイスと前記ベースとに接続されたワイヤを更に有し、前記ワイヤは、前記第２方向から見た場合に前記第１磁石と重なる位置において前記ベースに接続されている、［３］に記載の光モジュール。」であってもよい。この場合、ワイヤをベースに良好に接続することができる。

本発明の光モジュールは、［５］「前記ベースには、前記ワイヤが接続された配線が形成されており、前記配線は、前記ベースに形成された溝内に金属材料が配置されることにより構成されている、［４］に記載の光モジュール」であってもよい。この場合、配線の保護を図ることができる。

本発明の光モジュールは、［６］「前記第１方向において、前記ミラーユニットの外縁は、前記第１磁石の外縁に対して外側に位置している、［１］～［５］のいずれか一つに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、第１方向においてミラーユニットを大きく形成することができ、ひいては可動ミラー部の面積を大きくすることが可能となる。

本発明の光モジュールは、［７］「前記第１磁石、前記第２磁石及び前記第３磁石は、ハルバッハ配列で並べられている、［１］～［６］のいずれか一つに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、コイル（可動ミラー部）の近傍における磁束密度を高めることができる。

本発明の光モジュールは、［８］「前記ミラーユニットは、接着材により前記第１磁石の前記上面に固定されており、前記ミラーユニットと前記第２磁石の上面及び前記第３磁石の上面との間には接着材が配置されていない、［１］～［７］のいずれか一つに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、ミラーユニットと第２磁石の上面及び第３磁石の上面との間に配置された接着材が剥がれて異物となることを抑制することができる。

本発明の光モジュールは、［９］「前記第１磁石は、前記第１方向において前記第２磁石及び前記第３磁石によって挟まれている、［１］～［８］のいずれか一つに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、可動ミラー部に好適に磁界が作用するようにミラーユニット及び磁石部を配置することができる。

本発明の光モジュールは、［１０］「前記第２磁石の上面及び前記第３磁石の上面は、前記底面から離間している、［１］～［９］のいずれか一つに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、段差部の影響によるミラーユニットの傾きのずれや固定強度の低下をより確実に抑制することができる。

本発明の光モジュールは、［１１］「前記第１方向における前記第１磁石の幅は、前記第１方向における前記可動ミラー部の幅よりも広い、［１］～［１０］のいずれか一つに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、比較的平坦な強度分布を有する磁界を可動ミラー部に作用させることができ、可動ミラー部の動作を理想的な動作に近づけることができる。

本発明の光モジュールは、［１２］「前記第１方向における前記第１磁石の幅は、前記第１方向における前記第２磁石の幅以上で、且つ前記第１方向における前記第３磁石の幅以上である、［１］～［１１］のいずれか一つに記載の光モジュール」であってもよい。この場合、幅が広い第１磁石の上面にミラーユニットが固定されることで、ミラーユニットを磁石部に対して強固に固定することができる。さらに、ミラーユニットと固定される第１磁石の幅を広くすることで、磁石部が発生させる磁界の強度分布が滑らかになり、その結果、可動ミラー部を安定的に動作させることができる。

本発明の光モジュールは、［１３］「前記第２磁石の上面及び前記第３磁石の上面は、前記第１磁石の前記上面に対して、前記ミラーユニット側に位置している、［１］～［１２］のいずれか一つに記載の光モジュール」であってもよい。このような構成においても、段差部の影響によるミラーユニットの傾きのずれや固定強度の低下を抑制することができる。

本発明の光モジュールは、［１４］「前記第１磁石の前記上面は、前記第２磁石の上面及び前記第３磁石の上面に対して、前記ミラーユニット側に位置している、［１］～［１２］のいずれか一つに記載の光モジュール」であってもよい。このような構成においても、段差部の影響によるミラーユニットの傾きのずれや固定強度の低下を抑制することができる。

本発明によれば、信頼性を高めることができる光モジュールを提供することが可能となる。

一実施形態に係る光モジュールの斜視図である。 図１のII－II線に沿っての断面図である。 ミラーデバイスの平面図である。 第１変形例に係る光モジュールの断面図である。 第２変形例に係る光モジュールの断面図である。 第３変形例に係る光モジュールの斜視図である。 図６のVII－VII線に沿っての断面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。

図１、図２及び図３に示されるように、光モジュール１は、ミラーユニット２と、磁石部３と、を備えている。以下の説明では、光モジュール１の幅方向をＸ方向（第１方向）といい、光モジュール１の長さ方向をＹ方向といい、光モジュール１の厚さ方向をＺ方向（第２方向）という。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向は、互いに直交している。まず、図１～図３を参照しつつ、ミラーユニット２について説明する。ミラーユニット２は、Ｚ方向において磁石部３上に配置されている。ミラーユニット２は、ミラーデバイス１０と、ミラーデバイス１０が固定されたベース２０と、を有している。

ミラーデバイス１０は、支持部１１と、可動ミラー部１２と、を有している。可動ミラー部１２は、可動部１３と、一対の連結部１４と、ミラー１５と、を有している。支持部１１、可動部１３及び一対の連結部１４は、例えばＳＯＩ（Silicon onInsulator）基板により一体的に形成されている。ミラーデバイス１０は、半導体材料を用いて形成されたＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイスである。

支持部１１は、Ｚ方向から見た場合に隙間を介して可動ミラー部１２を囲む枠状に形成されている。この例では、支持部１１は、矩形枠状に形成されている。支持部１１は、上面１１ａと、Ｚ方向において上面１１ａとは反対側の底面１１ｂと、を有している。上面１１ａ及び底面１１ｂは、Ｚ方向に垂直な面である。支持部１１は、一対の第１辺部１１１と、一対の第２辺部１１２と、を有している。一対の第１辺部１１１は、Ｘ方向に沿って延在しており、Ｙ方向において可動ミラー部１２を挟むように位置している。一対の第２辺部１１２は、Ｙ方向に沿って延在しており、Ｘ方向において可動ミラー部１２を挟むように位置している。

可動ミラー部１２は、光軸方向から見た場合に一対の第１辺部１１１及び一対の第２辺部１１２によって画定された領域の内側に配置されている。光軸方向は、支持部１１及び可動ミラー部１２が配置される平面に垂直な方向であり、この例ではミラー１５に垂直な方向である。この例では光軸方向はＺ方向と平行である。可動部１３は、矩形板状に形成されている。可動部１３は、Ｙ方向に平行な軸線Ａ周りに揺動可能となるように、一対の連結部１４を介して支持部１１に連結されている。可動部１３は、第１部分１３１、第２部分１３２及び一対の第３部分１３３を含んでいる。第１部分１３１は、光軸方向から見た場合に円形状に形成されている。第２部分１３２は、光軸方向から見た場合に矩形枠状に形成されている。第２部分１３２は、隙間を介して第１部分１３１を囲んでいる。一対の第３部分１３３は、第１部分１３１と第２部分１３２とを接続している。第１部分１３１と第２部分１３２との間には、一対の第３部分１３３が位置する部分を除いて隙間が形成されている。第３部分１３３は、第２部分１３２の内縁のうち軸線Ａと平行な二辺の中央に位置している。

一対の連結部１４は、支持部１１と可動部１３との間の隙間において、可動部１３を挟むように軸線Ａ上に配置されている。各連結部１４は、この例では長方形板状に形成されて軸線Ａに沿って延在している。各連結部１４は、支持部１１の第１辺部１１１と可動部１３の第２部分１３２とを接続している。各連結部１４は、トーションバーとして機能する。

ミラー１５は、可動部１３が有する第１部分１３１の一方の表面に形成されている。ミラー１５は、例えば、アルミニウム、アルミニウム系合金、金又は銀等の金属材料によって、円形の膜状に形成されている。ミラー１５における可動部１３とは反対側の表面は、光軸方向と垂直に延在するミラー面１５ａを構成している。ミラー１５の中心は、光軸方向から見た場合に、第１部分１３１の中心（ミラーデバイス１０の中心）に一致している。ミラーデバイス１０では、複数（この例では二つ）の第３部分１３３を介して第２部分１３２と接続された第１部分１３１にミラー１５が設けられているため、可動部５が共振周波数レベルで軸線Ａ周りに揺動する場合でも、ミラー１５に撓み等の変形が生じることを抑制することができる。

ミラーデバイス１０には、コイル１６、及び一対の電極パッド１７ａ，１７ｂが設けられている。コイル１６は、可動部１３の第２部分１３２に設けられている。コイル１６は、例えば、第２部分１３２の表面に形成された溝内に配置されている。つまり、コイル１６は、可動部１３に埋め込まれている。コイル１６は、光軸方向から見た場合にミラー１５を囲むように、第２部分１３２においてスパイラル状（渦巻き状）に複数回巻かれている。コイル１６には、磁石部３によって発生させられた磁界が作用する。コイル１６の一端は、配線（図示省略）を介して電極パッド１７ａに接続されており、コイル１６の他端は、配線（図示省略）を介して電極パッド１７ｂに接続されている。コイル１６及び電極パッド１７ａ，１７ｂは、例えば、銅等の金属材料によって形成されている。各電極パッド１７ａ，１７ｂには、ミラーデバイス１０を外部機器（例えば電源装置等）と電気的に接続するためのワイヤ（図示省略）が接続されている。

ミラーデバイス１０の駆動方法の例を説明する。一例として、コイル１６に高周波数の駆動電流が印加される。このとき、コイル１６には、磁石部３により発生させられた磁界が作用しているため、コイル１６にローレンツ力が発生する。これにより、可動部１３が、例えば、共振周波数レベルで軸線Ａ周りに揺動させられる。このようにミラーデバイス１０を駆動することにより、所定の光源からの光をミラー１５（ミラー面１５ａ）により反射させて走査することができる。別例として、コイル１６に一定の大きさの駆動電流が印加されてもよい。この場合、可動部１３は、駆動電流の大きさに応じて軸線Ａ周りに回転し、所定の回転角度で停止する。このように、可動部１３は静的に駆動されてもよい（リニア駆動）。

図１及び図２を参照しつつ、ベース２０について説明する。ベース２０は、例えば、ミラーユニット２が実装される配線基板である。ベース２０は、ミラーデバイス１０を支持する支持部材としても機能する。ベース２０は、例えばセラミック基板である。ベース２０は、基部２１と、基部２１に形成された突出部２２と、を有している。基部２１は、矩形板状（この例では長方形板状）に形成されている。基部２１は、上面２１ａと、上面２１ａとは反対側の底面２１ｂと、を有している。この例では、上面２１ａ及び底面２１ｂは、Ｚ方向から見た場合に、長辺がＹ方向に平行な長方形状を有している。

基部２１の上面２１ａは、ベース２０における磁石部３とは反対側の表面であり、Ｚ方向に垂直な面である。上面２１ａには、ミラーデバイス１０が配置されている。ミラーデバイス１０の第１辺部１１１は、上面２１ａの短辺に沿っており、ミラーデバイス１０の第２辺部１１２は、上面２１ａの長辺に沿っている。ミラーデバイス１０は、基部２１に固定されている。例えば、ミラーデバイス１０は、支持部１１の底面１１ｂと上面２１ａとの間に配置された接着材により、基部２１に接着（固定）されていてもよい。Ｘ方向における基部２１の幅は、Ｘ方向におけるミラーデバイス１０の幅よりも広い。Ｙ方向における基部２１の長さは、Ｙ方向におけるミラーデバイス１０の長さよりも長い。Ｚ方向から見た場合に、基部２１の外縁は、ミラーデバイス１０の外縁に対して外側に位置している。

ベース２０には、複数（この例では２つ）の配線２４が形成されている。この例では、配線２４は、基部２１の上面２１ａに形成された溝２３内に金属材料が配置（充填）されることにより構成されている。配線２４を構成する金属材料は、例えば、金、銅又はアルミニウム等である。各配線２４は、Ｙ方向に沿って延在する第１部分２４ａと、第１部分２４ａの一端（ミラーデバイス１０側の端部）からＸ方向に沿って延在する第２部分２４ｂと、第１部分２４ａの他端（ミラーデバイス１０とは反対側の端部）からＸ方向に沿って延在する第３部分２４ｃと、を有している。Ｘ方向において第２部分２４ｂが第１部分２４ａから延びる方向は、第３部分２４ｃが第１部分２４ａから延びる方向と反対である。第２部分２４ｂは、配線２４における他の部分よりもミラーデバイス１０の近くに配置されており、Ｚ方向から見た場合に第１磁石３１と重なるように設けられている。第２部分２４ｂには、ミラーデバイス１０とベース２０とを電気的に接続するためのワイヤ２５の一端が接続されている。このように、この例では、ワイヤ２５は、Ｚ方向から見た場合に第１磁石３１と重なる位置において配線２４に接続されている。ワイヤ２５の他端は、例えば、ミラーデバイス１０に設けられた電極パッド（図示省略）に接続されている。

基部２１の底面２１ｂは、ベース２０における磁石部３側の表面であり、ミラーユニット２の底面を構成している。底面２１ｂは、Ｚ方向に垂直な面であり、磁石部３と向かい合っている。底面２１ｂには、突出部２２が形成されている。突出部２２は、直方体状に形成されており、底面２１ｂから磁石部３側に突出している。Ｘ方向において、突出部２２は底面２１ｂの中央部に形成されている。Ｙ方向において、突出部２２は底面２１ｂの全体に形成されている。

突出部２２は、端面２２ａを有している。端面２２ａは、突出部２２における基部２１とは反対側の面である。端面２２ａは、Ｚ方向に垂直な平坦面であり、磁石部３と向かい合っている。突出部２２の長さ（Ｚ方向における底面２１ｂから端面２２ａまでの距離）は、基部２１の厚さ（Ｚ方向における上面２１ａから底面２１ｂまでの距離）よりも小さい。端面２２ａは、ミラーユニット２の底面２１ｂに対して磁石部３側に位置している。

ベース２０は、例えば、複数の薄いセラミック製シートを積層することで形成されてもよい。突出部２２を形成する手法は限定されない。一例として、大きさの等しい複数のセラミック製シートを積層した後に、積層体の一部（突出部２２となる部分の周囲）をエッチング等で除去することにより、突出部２２を形成してもよい。他の例として、複数のセラミック製シートを積層して基部２１に対応する部分を形成した後に、基部２１を形成するセラミック製シートよりも小さい複数のセラミック製シートを更に積層することにより、突出部２２を形成してもよい。

図１及び図２を参照しつつ、磁石部３について説明する。磁石部３は、可動ミラー部１２（コイル１６）に作用する磁界を発生させる。以下、Ｚ方向においてミラーユニット２に対して磁石部３が位置する側を「下側」とし、下側とは反対側（磁石部３に対してミラーユニット２が位置する側）を「上側」として説明する。これらの「上側」及び「下側」は図１及び図２における下側及び上側と一致している。これらの「上側」及び「下側」は説明の便宜上設定されたものであり、光モジュール１の使用態様を限定するものではない。例えば光モジュール１は設定された「上側」が鉛直下側を向いた状態で用いられてもよいし、或いは設定された「上側」が水平方向を向いた状態で用いられてもよい。

磁石部３は、Ｘ方向に沿って並べられた複数の磁石を含んでいる。この例では、磁石部３は、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３を含んでいる。第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３は、例えば永久磁石により構成されている。第１磁石３１（中央磁石）は、Ｘ方向において第２磁石３２及び第３磁石３３によって挟まれている。すなわち、第３磁石３３は、Ｘ方向において第１磁石３１に対して第２磁石３２とは反対側に配置されている。

第１磁石３１は、直方体状に形成されている。第１磁石３１の長手方向はＹ方向に沿っており、第１磁石３１の短手方向はＸ方向に沿っている。第１磁石３１は、上面３１ａ、底面３１ｂ、及び上面３１ａから底面３１ｂに延びる一対の側面３１ｃ，３１ｄを有している。上面３１ａ及び底面３１ｂは、Ｚ方向に垂直な平坦面である。上面３１ａは、第１磁石３１における上側の表面であり、突出部２２の端面２２ａと向かい合っている。上面３１ａと端面２２ａとの間には、後述する接着材４０が配置されている。すなわち、上面３１ａは、接着材４０を介して端面２２ａに接触している。底面３１ｂは、第１磁石３１における下側の表面である。各側面３１ｃ，３１ｄは、Ｘ方向に垂直な平坦面である。側面３１ｃは、Ｘ方向において第２磁石３２側に位置しており、側面３１ｄは、Ｘ方向において第３磁石３３側に位置している。

第２磁石３２は、直方体状に形成されている。第２磁石３２の長手方向はＹ方向に沿っており、第２磁石３２の短手方向はＸ方向に沿っている。第２磁石３２は、上面３２ａ、底面３２ｂ、及び上面３２ａから底面３２ｂに延びる一対の側面３２ｃ，３２ｄを有している。上面３２ａ及び底面３２ｂは、Ｚ方向に垂直な平坦面である。上面３２ａは、第２磁石３２における上側の表面であり、基部２１の底面２１ｂと向かい合っている。上面３２ａは底面２１ｂから離間している。上面３２ａが底面２１ｂから離間しているとは、上面３２ａが底面２１ｂに直接接触していないことをいい、上面３２ａと底面２１ｂとの間に介在物（例えば接着材）が配置されている場合を含む。すなわち、上面３２ａが底面２１ｂに直接接触していなければ、上面３２ａが接着材により底面２１ｂに固定されていたとしても、上面３２ａが底面２１ｂから離間している場合に該当する。上面３２ａは、第１磁石３１の上面３１ａと面一である。すなわち、Ｚ方向において、上面３２ａの位置は上面３１ａの位置と一致している。底面３２ｂは、第２磁石３２における下側の表面である。底面３２ｂは、第１磁石３１の底面３１ｂと面一である。すなわち、Ｚ方向において、底面３２ｂの位置は、底面３１ｂの位置と一致している。本実施形態では、Ｚ方向における第２磁石３２の長さ（上面３２ａと底面３２ｂとの間隔）は、Ｚ方向における第１磁石３１（上面３１ａと底面３１ｂとの間隔）の長さに等しい。

各側面３２ｃ，３２ｄは、Ｘ方向に垂直な平坦面である。側面３２ｃは、Ｘ方向において第１磁石３１とは反対側に位置している。側面３２ｃは、磁石部３の外側に臨む面である。側面３２ｄは、Ｘ方向において第１磁石３１側に位置しており、第１磁石３１の側面３１ｃと接触している。第２磁石３２は、第１磁石３１に固定されている。例えば、第２磁石３２は、側面３２ｄと側面３１ｃとの間に配置された接着材により、第１磁石３１に接着（固定）されていてもよい。第２磁石３２を第１磁石３１に固定する手法は限定されず、例えばインサート樹脂による固定、プラズマ接合又は熱接合等であってもよい。

第３磁石３３は、直方体状に形成されている。第３磁石３３の長手方向はＹ方向に沿っており、第３磁石３３の短手方向はＸ方向に沿っている。第３磁石３３は、上面３３ａ、底面３３ｂ、及び上面３３ａから底面３３ｂに延びる一対の側面３３ｃ，３３ｄを有している。上面３３ａ及び底面３３ｂは、Ｚ方向に垂直な平坦面である。上面３３ａは、第３磁石３３における上側の表面であり、基部２１の底面２１ｂと向かい合っている。上面３３ａは底面２１ｂから離間している。上面３３ａが底面２１ｂから離間しているとは、上面３３ａが底面２１ｂに直接接触していないことをいい、上面３３ａと底面２１ｂとの間に介在物（例えば接着材）が配置されている場合を含む。すなわち、上面３３ａが底面２１ｂに直接接触していなければ、上面３３ａが接着材により底面２１ｂに固定されていたとしても、上面３３ａが底面２１ｂから離間している場合に該当する。上面３３ａは、第１磁石３１の上面３１ａと面一である。すなわち、Ｚ方向において、上面３３ａの位置は上面３１ａの位置と一致している。上面３１ａ、上面３２ａ及び上面３３ａは、同一平面上（Ｚ方向において同じ高さ）に位置している。底面３３ｂは、第３磁石３３における下側の表面である。底面３３ｂは、第１磁石３１の底面３１ｂと面一である。すなわち、Ｚ方向において、底面３３ｂの位置は底面３１ｂの位置と一致している。本実施形態では、Ｚ方向における第３磁石３３の長さ（上面３３ａと底面３３ｂとの間隔）は、Ｚ方向における第１磁石３１の長さに等しい。

各側面３３ｃ，３３ｄは、Ｘ方向に垂直な平坦面である。側面３３ｃは、Ｘ方向において第１磁石３１側に位置しており、第１磁石３１の側面３１ｄと接触している。第３磁石３３は、第１磁石３１に固定されている。例えば、第３磁石３３は、側面３３ｃと側面３１ｄとの間に配置された接着材により、第１磁石３１に接着（固定）されていてもよい。第３磁石３３を第１磁石３１に固定する手法は限定されず、例えばインサート樹脂による固定、プラズマ接合又は熱接合等であってもよい。この例では、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３は、第１磁石３１に第２磁石３２及び第３磁石３３が固定されることにより、一つの磁石体を構成するように一体化されている。側面３３ｄは、Ｘ方向において第１磁石３１とは反対側に位置している。側面３３ｄは、磁石部３の外側に臨む面である。

第１磁石３１の幅Ｗ１は、第２磁石３２の幅Ｗ２及び第３磁石３３の幅Ｗ３よりも広い。すなわち、第１磁石３１は、磁石部３が有する複数の磁石のうち、最も幅が広い磁石である。第１磁石３１の幅Ｗ１とは、Ｘ方向における第１磁石３１の最大幅である。第２磁石３２の幅Ｗ２とは、Ｘ方向における第２磁石３２の最大幅である。第３磁石３３の幅Ｗ３とは、Ｘ方向における第３磁石３３の最大幅である。この例では、幅Ｗ２と幅Ｗ３とは、互いに等しい。幅Ｗ１は、例えば、幅Ｗ２及び幅Ｗ３の２倍以上であり、この例では４倍以上となっている。この例では、Ｙ方向における第１磁石３１の長さは、Ｙ方向における第２磁石３２及び第３磁石３３の長さに等しい。

ミラーユニット２の幅Ｗ４は、第１磁石３１の幅Ｗ１よりも広い。ミラーユニット２の幅Ｗ４とは、Ｘ方向におけるミラーユニット２の最大幅であり、この例ではベース２０の幅である。Ｙ方向におけるミラーユニット２の幅は、Ｙ方向における第１磁石３１の幅に等しい。Ｙ方向におけるミラーユニット２の幅とは、Ｙ方向におけるミラーユニット２の最大幅であり、この例ではベース２０の幅である。Ｘ方向において、ミラーユニット２の外縁（この例では、ベース２０の外縁）は、第１磁石３１の外縁に対して外側に位置している。Ｙ方向においては、ミラーユニット２の外縁は、第１磁石３１の外縁と同じ位置に位置している。ミラーユニット２は、Ｚ方向において、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３と重なっている。

ベース２０の突出部２２の幅Ｗ５は、第１磁石３１の幅Ｗ１よりも狭い。突出部２２の幅Ｗ５とは、Ｘ方向における突出部２２の最大幅である。幅Ｗ５は、例えば、幅Ｗ１の２分の１以上、１０分の９以下であってもよい。Ｙ方向における突出部２２の長さは、Ｙ方向における第１磁石３１の長さに等しい。突出部２２の端面２２ａの面積は、第１磁石３１の上面３１ａの面積よりも狭い。Ｚ方向から見た場合に、端面２２ａの外縁は、上面３１ａの外縁に対して内側に位置している。

第１磁石３１の幅Ｗ１は、可動ミラー部１２の幅Ｗ６よりも広い。可動ミラー部１２の幅Ｗ６とは、Ｘ方向における可動ミラー部１２の最大幅であり、この例では可動部１３が有する第２部分１３２の幅である。したがって、幅Ｗ１は、第２部分１３２に設けられたコイル１６の幅よりも広い。Ｚ方向から見た場合に、可動ミラー部１２は、第１磁石３１の外縁内に位置している。したがって、Ｚ方向から見た場合に、コイル１６は、第１磁石３１の外縁内に位置している。

ミラーユニット２は、突出部２２において第１磁石３１の上面３１ａに固定されている。本実施形態では、ミラーユニット２は、接着材４０により上面３１ａに接着（固定）されている。接着材４０は、突出部２２の端面２２ａと上面３１ａとの間に配置されている。接着材４０は、端面２２ａ及び上面３１ａに接触している。接着材４０は、ミラーユニット２と第２磁石３２の上面３２ａ及び第３磁石３３の上面３３ａとの間には配置されておらず、ミラーユニット２は上面３２ａ及び上面３３ａには固定されていない。すなわち、接着材４０は、上面３２ａ及び上面３３ａに接触していない。接着材４０は、上面３１ａのみに配置されており、上面３２ａ及び上面３３ａに至っていない。

第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３は、ハルバッハ配列で並べられている。すなわち、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３は、各々が有する２つの磁極がハルバッハ配列で配列されるように並べられている。図２では、各磁石の磁極が矢印で示されている。矢印が示す方向は、第１磁極（例えばＮ極）から第２磁極（例えばＳ極）に向かう方向である。この例では、第１磁石３１の第１磁極が第３磁石３３側に位置し、第１磁石３１の第２磁極が第２磁石３２側に位置している。第２磁石３２の第１磁極が底面３２ｂ側に位置し、第２磁石３２の第２磁極が上面３２ａ側に位置している。第３磁石３３の磁極は、第２磁石３２の磁極とは逆向きに位置している。すなわち、第３磁石３３の第１磁極が上面３３ａ側に位置し、第３磁石３３の第２磁極が底面３３ｂ側に位置している。第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３が、このようなハルバッハ配列で並べられている場合、例えば、第１磁石３１に対して、ミラーユニット２から磁石部３に向かう方向に力が作用し、第２磁石３２及び第３磁石３３に対して、磁石部３からミラーユニット２に向かう方向（第１磁石３１に作用する力とは逆方向）に力が作用する。
［作用及び効果］

光モジュール１では、ミラーユニット２の底面２１ｂに形成された突出部２２の幅Ｗ５が第１磁石３１の幅Ｗ１よりも狭く、ミラーユニット２が突出部２２において第１磁石３１の上面３１ａに固定されている。このようにミラーユニット２に突出部２２を形成し、突出部２２においてミラーユニット２を第１磁石３１の上面３１ａに固定することで、磁石部３の上面に段差部が形成されている場合でも、当該段差部の影響によるミラーユニット２の傾きのずれ（平行度の低下）や固定強度（接着強度）の低下を抑制することができる。よって、光モジュール１によれば、信頼性を高めることができる。

すなわち、後述する第１変形例（図４）及び第２変形例（図５）のように、磁石部３の上面には段差部３４，３５が形成される場合がある。このような段差部３４，３５は、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３を一体化する際にそれらの位置が上下方向にずれてしまうことにより生じ得る。仮に、突出部２２が形成されていない平坦な底面を有するミラーユニット２を、上述したような段差部３４，３５が形成された磁石部３の上面に配置すると、段差部３４，３５の影響によりミラーユニット２の傾きが目標角度からずれてしまうおそれがある。また、ミラーユニット２を磁石部３に接着する場合に、接着強度（固定強度）が低下してしまうおそれもある。これに対して、光モジュール１では、ミラーユニット２に突出部２２が形成されており、突出部２２においてミラーユニット２が第１磁石３１の上面３１ａに固定されている。これにより、磁石部３の上面に段差部３４，３５が形成されている場合でも、段差部３４，３５の影響によるミラーユニット２の傾きのずれや固定強度の低下を抑制することができる。よって、光モジュール１によれば、信頼性を高めることができる。また、光モジュール１では、磁石部３の上面に段差部３４，３５が形成されていてもよい（例えば、第１磁石３１の上面３１ａが第２磁石３２の上面３２ａ及び第３磁石３３の上面３３ａから突出していてもよい）ことから、例えば互いの間に段差部が形成されないように複数の磁石を接着して一体化する場合と比べて、磁石部３の製造時に高い接着精度が要求されない。

ミラーユニット２が、ミラーデバイス１０が固定されたベース２０を有し、突出部２２は、ベース２０における磁石部３側の底面２１ｂに形成されている。これにより、ベース２０を有するミラーユニット２の傾きのずれや固定強度の低下を抑制することができる。

ミラーユニット２は、ミラーデバイス１０とベース２０とに接続されたワイヤ２５を有している。ワイヤ２５は、Ｚ方向から見た場合に第１磁石３１と重なる位置においてベース２０に接続されている。これにより、ワイヤ２５をベース２０に良好に接続することができる。すなわち、配線２４におけるワイヤ２５との接続部分（第１部分２４ａ）が、第２磁石３２又は第３磁石３３上に位置する場合、ベース２０と第２磁石３２及び第３磁石３３との間に空洞が存在することで、ワイヤ２５をベース２０の配線２４に接続させにくく、ワイヤ２５と配線２４との間の接続強度が低下するおそれがある。対して、配線２４におけるワイヤ２５との接続部分が第１磁石３１上に位置する場合、そのような事態を抑制することができ、ワイヤ２５をベース２０に良好に接続することができる。

ベース２０には、ワイヤ２５が接続された配線２４が形成されており、配線２４は、ベース２０に形成された溝２３内に金属材料が配置されることにより構成されている。これにより、配線２４の保護を図ることができる。

Ｘ方向において、ミラーユニット２の外縁が、第１磁石３１の外縁に対して外側に位置している。これにより、Ｘ方向においてミラーユニット２を大きく形成することができ、ひいては可動ミラー部１２の面積を大きくすることが可能となる。

第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３が、ハルバッハ配列で並べられている。これにより、コイル１６（可動ミラー部１２）の近傍における磁束密度を高めることができる。

ミラーユニット２が、接着材４０により第１磁石３１の上面３１ａに固定されており、ミラーユニット２と第２磁石３２の上面３２ａ及び第３磁石３３の上面３３ａとの間には接着材４０が配置されていない。これにより、ミラーユニット２と第２磁石３２の上面３２ａ及び第３磁石３３の上面３３ａとの間に配置された接着材４０が剥がれて異物となることを抑制することができる。

第１磁石３１が、Ｘ方向において第２磁石３２及び第３磁石３３によって挟まれている。これにより、可動ミラー部１２に好適に磁界が作用するようにミラーユニット２及び磁石部３を配置することができる。

第２磁石３２の上面３２ａ及び第３磁石３３の上面３３ａが、底面２１ｂから離間している。これにより、磁石部３の上面に形成された段差部（例えば図４に示される段差部３４，３５）の影響によるミラーユニット２の傾きのずれや固定強度の低下をより確実に抑制することができる。

第１磁石３１の幅Ｗ１が、可動ミラー部１２の幅Ｗ６よりも広い。これにより、比較的平坦な強度分布を有する磁界を可動ミラー部１２に作用させることができ、可動ミラー部１２の動作を理想的な動作に近づけることができる。

第１磁石３１の幅Ｗ１が、第２磁石３２の幅Ｗ２及び第３磁石３３の幅Ｗ３よりも広い。これにより、幅が広い第１磁石３１の上面３１ａにミラーユニット２が固定されることで、ミラーユニット２を磁石部３に対して強固に固定することができる。さらに、ミラーユニット２と固定される第１磁石３１の幅Ｗ１を広くすることで、磁石部３が発生させる磁界の強度分布が滑らかになり、その結果、可動ミラー部１２を安定的に動作させることができる。
［変形例］

図４に示される第１変形例では、上述したように、第２磁石３２の上面３２ａ及び第３磁石３３の上面３３ａが、第１磁石３１の上面３１ａに対して上側に位置している。上面３２ａ及び上面３３ａからベース２０の底面２１ｂまでの距離は、上面３１ａから底面２１ｂまでの距離よりも小さい。Ｚ方向における上面３１ａの位置と上面３２ａの位置とが異なっていることにより、上面３１ａと上面３２ａとの間に段差部３４が形成されている。同様に、Ｚ方向における上面３１ａの位置と上面３３ａの位置とが異なっていることにより、上面３１ａと上面３３ａとの間に段差部３５が形成されている。

第１変形例においても、ミラーユニット２は、突出部２２において第１磁石３１の上面３１ａに固定されている。突出部２２は、Ｘ方向において段差部３４と段差部３５との間に位置している。突出部２２は、段差部３４，３５から離間している。ミラーユニット２は、接着材４０により上面３１ａに接着（固定）されている。接着材４０は、突出部２２の端面２２ａと上面３１ａとの間に配置されており、ミラーユニット２と第２磁石３２の上面３２ａ及び第３磁石３３の上面３３ａとの間には配置されていない。接着材４０は、上面３２ａ及び上面３３ａに接触していない。このような第１変形例によっても、上記実施形態と同様に、信頼性を高めることができる。

図５に示される第２変形例では、Ｚ方向における第２磁石３２及び第３磁石３３の長さが、Ｚ方向における第１磁石３１の長さよりも短い。そのため、第１磁石３１の上面３１ａは、第２磁石３２の上面３２ａ及び第３磁石３３の上面３３ａに対して上側に位置している。上面３２ａ及び上面３３ａからベース２０の底面２１ｂまでの距離は、上面３１ａから底面２１ｂまでの距離よりも大きい。Ｚ方向における上面３１ａの位置と上面３２ａの位置とが異なっていることにより、上面３１ａと上面３２ａとの間に段差部３４が形成されている。同様に、Ｚ方向における上面３１ａの位置と上面３３ａの位置とが異なっていることにより、上面３１ａと上面３３ａとの間に段差部３５が形成されている。

第２変形例においても、ミラーユニット２は、突出部２２において第１磁石３１の上面３１ａに固定されている。突出部２２は、Ｘ方向において段差部３４と段差部３５との間に位置している。突出部２２は、段差部３４，３５から離間している。ミラーユニット２は、接着材４０により上面３１ａに接着（固定）されている。接着材４０は、突出部２２の端面２２ａと上面３１ａとの間に配置されており、ミラーユニット２と第２磁石３２の上面３２ａ及び第３磁石３３の上面３３ａとの間には配置されていない。接着材４０は、上面３２ａ及び上面３３ａに接触していない。このような第２変形例によっても、上記実施形態と同様に、信頼性を高めることができる。

図６及び図７に示される第３変形例に係る光モジュール１では、ミラーユニット２は、ベース２０を有しておらず、ミラーデバイス１０のみを有している。したがって、ミラーデバイス１０は、ベース２０を介さずに磁石部３上に配置されている。第３変形例では、ミラーデバイス１０が有する支持部１１の底面１１ｂが、ミラーユニット２の底面を構成している。底面１１ｂは、磁石部３と向かい合っている。底面１１ｂには、突出部１９が形成されている。突出部１９は、底面１１ｂから磁石部３側（下側）に突出している。第３変形例では、突出部１９は、底面１１ｂから磁石部３に向かって突出する一対の凸部１９１，１９２を有している。一対の凸部１９１，１９２は、支持部１１が有する一方の第１辺部１１１に形成されている。他方の第１辺部１１１にも一対の凸部１９１，１９２と同様の構成を有する一対の凸部（不図示）が形成されている。すなわち、第３変形例では、突出部１９は四つの凸部から構成されている。一対の凸部１９１，１９２は、Ｙ方向から見た場合に、Ｘ方向におけるミラーデバイス１０の中心を挟むように、Ｘ方向に離間して位置している。各凸部１９１，１９２は、Ｙ方向から見た場合に矩形状に形成されている。

突出部１９の幅Ｗ７は、第１磁石３１の幅Ｗ１よりも狭い。突出部１９の幅Ｗ７とは、Ｘ方向における突出部１９の最大幅である。第３変形例のように突出部１９が複数の凸部を有している場合、突出部の幅Ｗ７とは、複数の凸部のうちＸ方向において最も一方側（第２磁石３２側）に位置する凸部における当該一方側の端部と、複数の凸部のうちＸ方向において最も他方側（第３磁石３３側）に位置する凸部における当該他方側の端部との間の距離である。

突出部１９は、端面１９ａを有している。この例では、凸部１９１，１９２及び他方の第１辺部１１１に形成された一対の凸部の端面が、突出部１９の端面１９ａを構成している。端面１９ａは、Ｚ方向に垂直な平坦面であり、第１磁石３１の上面３１ａと向かい合っている。端面１９ａ（突出部１９）は、Ｚ方向において上面３１ａと重なっており、第２磁石３２の上面３２ａ及び第３磁石３３の上面３３ａとは重なっていない。

第３変形例では、ミラーユニット２は、突出部１９において第１磁石３１の上面３１ａに固定されている。ミラーユニット２は、接着材４０により上面３１ａに接着（固定）されている。接着材４０は、突出部１９の端面１９ａと上面３１ａとの間に配置されている。一対の凸部１９１，１９２の間には、接着材４０が配置されていない。接着材４０は、端面１９ａ及び上面３１ａに接触している。接着材４０は、ミラーユニット２と第２磁石３２の上面３２ａ及び第３磁石３３の上面３３ａとの間には配置されていない。すなわち、接着材４０は、上面３２ａ及び上面３３ａに接触していない。接着材４０は、上面３１ａのみに配置されており、上面３２ａ及び上面３３ａに至っていない。

第３変形例に係る光モジュール１では、ミラーユニット２の底面１１ｂに形成された突出部１９の幅Ｗ７が第１磁石３１の幅Ｗ１よりも狭く、ミラーユニット２が突出部１９において第１磁石３１の上面３１ａに固定されている。このようにミラーユニット２に突出部１９を形成し、突出部１９においてミラーユニット２を第１磁石３１の上面３１ａに固定することで、磁石部３の上面に段差部が形成されている場合でも、当該段差部の影響によるミラーユニット２の傾きのずれや固定強度の低下を抑制することができる。よって、第３変形例に係る光モジュール１によっても、信頼性を高めることができる。

本発明は、上記実施形態及び変形例に限られない。例えば、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。上記実施形態では、第１磁石３１の幅Ｗ１が第２磁石３２の幅Ｗ２及び第３磁石３３の幅Ｗ３よりも広くなっていたが、幅Ｗ１は、幅Ｗ２以上で且つ幅Ｗ３以上であればよく、例えば幅Ｗ２及び幅Ｗ３と等しくてもよい。或いは、幅Ｗ１は、幅Ｗ２と等しく且つ幅Ｗ３よりも広くてもよいし、幅Ｗ３と等しく且つ幅Ｗ２よりも広くてもよい。幅Ｗ１は、可動ミラー部１２の幅Ｗ６と等しくてもよいし、幅Ｗ６よりも狭くてもよい。Ｚ方向から見た場合に、ミラーユニット２の外縁は、第１磁石３１の外縁と一致していてもよいし、第１磁石３１の外縁に対して内側に位置していてもよい。

上記実施形態では、突出部２２の幅Ｗ５が第１磁石３１の幅Ｗ１よりも狭くなっていたが、幅Ｗ５は幅Ｗ１以下であればよく、例えば幅Ｗ１と等しくてもよい。この場合にも、上記実施形態と同様に、信頼性を高めることができる。上記実施形態のように幅Ｗ５が幅Ｗ１よりも狭い場合、突出部２２を第１磁石３１の上面３１ａに固定する作業を容易化することができる点で好ましい。また、基部２１の底面２１ｂにおける突出部２２の形成位置は限定されない。突出部２２は、第１磁石３１の上面３１ａに固定可能な位置に形成されていればよく、例えば、底面２１ｂのＸ方向における端部等に形成されていてもよい。

図５に示される第２変形例において、Ｚ方向における第２磁石３２及び第３磁石３３の長さは、Ｚ方向における第１磁石３１の長さと一致していてもよい。この場合、第２磁石３２及び第３磁石３３を第１磁石３１に対して下側に配置することにより、第１磁石３１の上面３１ａを、第２磁石３２の上面３２ａ及び第３磁石３３の上面３３ａに対して上側に突出させてもよい。

接着材４０は、第２磁石３２の上面３２ａ及び第３磁石３３の上面３３ａに接触していてもよい。すなわち、接着材４０が、ミラーユニット２と第２磁石３２及び第３磁石３３との間に配置されていてもよい。この場合、ミラーユニット２は、上面３２ａ及び上面３３ａに固定されていてもよい。すなわち、ミラーユニット２は、少なくとも第１磁石３１の上面３１ａに固定されていればよく、上面３２ａ及び上面３３ａの一方又は両方にも固定されていてもよい。ミラーユニット２を磁石部３に固定する手法、及びミラーデバイス１０をベース２０に固定する手法は限定されず、任意の手法であってもよい。上面３２ａ及び上面３３ａは、ベース２０の底面２１ｂに接触していてもよい。また、図７に示される第３変形例において、上面３２ａ及び上面３３ａは、支持部１１の底面１１ｂに接触していてもよい。

第２磁石３２の幅Ｗ２と第３磁石３３の幅Ｗ３とは、互いに異なっていてもよい。第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３の配列は、ハルバッハ配列に限定されない。第１磁石３１は、第２磁石３２及び第３磁石３３に挟まれていなくてもよい。例えば、第２磁石３２が第１磁石３１及び第３磁石３３に挟まれていてもよいし、第３磁石３３が第１磁石３１及び第２磁石３２に挟まれていてもよい。磁石部３は、第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３の他に一つ以上の磁石を更に備えていてもよい。光モジュール１は、磁石部３を収容するパッケージを更に備えていてもよい。

Ｘ方向において、ミラーユニット２の外縁は、第１磁石３１の外縁と同じ位置、又は第１磁石３１の外縁に対して内側に位置していてもよい。Ｙ方向において、ミラーユニット２の外縁は、第１磁石３１の外縁に対して外側又は内側に位置していてもよい。

上記実施形態では、磁石部３が有する複数の磁石（第１磁石３１、第２磁石３２及び第３磁石３３）は、Ｘ方向に沿って並べられているが、磁石が並べられる方向はＺ方向に垂直な方向であればよく任意である。例えば、磁石部３が有する複数の磁石は、Ｙ方向に沿って並べられていてもよい。

可動部１３の第１部分１３１及び第２部分１３２の形状は限定されない。第１部分１３１は、Ｚ方向から見た場合に矩形状又は楕円形状に形成されていてもよい。第２部分１３２は、Ｚ方向から見た場合に円形枠状又は楕円形枠状に形成されていてもよい。ミラー１５の形状は限定されない。ミラー１５は、楕円形状又は矩形状に形成されていてもよい。上記実施形態においてミラー１５は光を回折及び反射させる回折格子として構成されていてもよい。この場合、例えばミラー１５は所定の回折格子パターンに沿って形成されていてもよい。

上記実施形態のミラーデバイス１０では可動部１３が一つの軸線（軸線Ａ）周りに揺動可能に構成されていたが、可動部１３が二つの軸線周りに揺動可能に構成されていてもよい。この場合、例えば、可動部１３が、第１可動部と、第１可動部を囲む枠状の第２可動部と、を有する。ミラー１５は第１可動部に設けられる。軸線Ａに沿って延在する一対の連結部１４により第２可動部が支持部１１に連結され、軸線Ａと垂直な軸線に沿って延在する他の一対の連結部により第１可動部が第２可動部に連結される。これにより、第２可動部が軸線Ａ周りに回転可能となり、第１可動部が軸線Ａに垂直な軸線周りに回転可能となる。その結果、ミラー１５（第１可動部）を二つの軸線周りに揺動させることが可能となる。この場合、第１可動部及び第２可動部の両方が静的に揺動させられてもよいし、又は、第１可動部は共振周波数レベルで揺動させられ、第２可動部は静的に揺動させられてもよい。或いは、上記実施形態のミラーデバイス１０では可動ミラー部１２が軸線周りに揺動可能となっていたが、可動ミラー部１２は光軸方向（ミラー１５と交差する方向）に沿って往復移動可能となるように構成されていてもよい。

ベース２０に形成される溝２３及び配線２４の形状は、上述した形状に限定されない。配線２４を形成する金属材料は、溝２３の全体に充填されていなくてもよく、溝２３の一部にのみ充填されていてもよい。溝２３は、形成されていなくてもよい。この場合、配線２４は、ベース２０の上面２１ａ上に形成されていてもよい。配線２４におけるワイヤ２５との接続部分は、Ｚ方向から見た場合に第１磁石３１と重なっていなくてもよく、第２磁石３２又は第３磁石３３と重なっていてもよい。ミラーユニット２を磁石部３に固定する手法、及びミラーデバイス１０をベース２０に固定する手法は限定されず、任意の手法であってもよい。

１…光モジュール、２…ミラーユニット、３…磁石部、１０…ミラーデバイス、３１ａ，３２ａ，３３ａ…上面、１１ｂ，２１ｂ…底面、１２…可動ミラー部、１６…コイル、１９，２２…突出部、２０…ベース、２３…溝、２４…配線、２５…ワイヤ、３１…第１磁石、３２…第２磁石、３３…第３磁石、４０…接着材。

Claims (14)

1. コイルが設けられた可動ミラー部を含むミラーデバイスを有するミラーユニットと、
   第１方向に沿って並べられた第１磁石、第２磁石及び第３磁石を含み、前記可動ミラー部に作用する磁界を発生させる磁石部と、を備え、
   前記ミラーユニットは、前記第１方向と垂直な第２方向において前記磁石部上に配置されており、前記磁石部と向かい合う底面を有し、
   前記底面には、前記磁石部側に突出する突出部が形成されており、
   前記第１方向における前記突出部の幅は、前記第１方向における前記第１磁石の幅以下であり、
   前記ミラーユニットは、前記突出部において前記第１磁石の上面に固定されている、
   光モジュール。
2. 前記第１方向における前記突出部の幅は、前記第１方向における前記第１磁石の幅よりも狭い、請求項１に記載の光モジュール。
3. 前記ミラーユニットは、前記ミラーデバイスが固定されたベースを更に有し、
   前記突出部は、前記ベースにおける前記磁石部側の表面に形成されている、請求項１又は２に記載の光モジュール。
4. 前記ミラーユニットは、前記ミラーデバイスと前記ベースとに接続されたワイヤを更に有し、
   前記ワイヤは、前記第２方向から見た場合に前記第１磁石と重なる位置において前記ベースに接続されている、請求項３に記載の光モジュール。
5. 前記ベースには、前記ワイヤが接続された配線が形成されており、
   前記配線は、前記ベースに形成された溝内に金属材料が配置されることにより構成されている、請求項４に記載の光モジュール。
6. 前記第１方向において、前記ミラーユニットの外縁は、前記第１磁石の外縁に対して外側に位置している、請求項１又は２に記載の光モジュール。
7. 前記第１磁石、前記第２磁石及び前記第３磁石は、ハルバッハ配列で並べられている、請求項１又は２に記載の光モジュール。
8. 前記ミラーユニットは、接着材により前記第１磁石の前記上面に固定されており、
   前記ミラーユニットと前記第２磁石の上面及び前記第３磁石の上面との間には接着材が配置されていない、請求項１又は２に記載の光モジュール。
9. 前記第１磁石は、前記第１方向において前記第２磁石及び前記第３磁石によって挟まれている、請求項１又は２に記載の光モジュール。
10. 前記第２磁石の上面及び前記第３磁石の上面は、前記底面から離間している、請求項１又は２に記載の光モジュール。
11. 前記第１方向における前記第１磁石の幅は、前記第１方向における前記可動ミラー部の幅よりも広い、請求項１又は２に記載の光モジュール。
12. 前記第１方向における前記第１磁石の幅は、前記第１方向における前記第２磁石の幅以上で、且つ前記第１方向における前記第３磁石の幅以上である、請求項１又は２に記載の光モジュール。
13. 前記第２磁石の上面及び前記第３磁石の上面は、前記第１磁石の前記上面に対して前記ミラーユニット側に位置している、請求項１又は２に記載の光モジュール。
14. 前記第１磁石の前記上面は、前記第２磁石の上面及び前記第３磁石の上面に対して前記ミラーユニット側に位置している、請求項１又は２に記載の光モジュール。

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