JP2011125110A - プレーナ型アクチュエータ - Google Patents
プレーナ型アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011125110A JP2011125110A JP2009279463A JP2009279463A JP2011125110A JP 2011125110 A JP2011125110 A JP 2011125110A JP 2009279463 A JP2009279463 A JP 2009279463A JP 2009279463 A JP2009279463 A JP 2009279463A JP 2011125110 A JP2011125110 A JP 2011125110A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- movable part
- drive
- drive coil
- drive signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
【解決手段】 枠状の固定部2と、固定部2の内側にトーションバー3を介して可動自在に支持された可動部4と、可動部4に設置され可動部4を駆動するための渦巻き状に形成された第1駆動コイル5と、固定部2に設置された揺動用コイル6と、を備えている。
【選択図】 図1
Description
そして、このようなアクチュエータは、例えば、可動部にミラーを設けることで光ビームを偏向走査する光スキャナなどに適用される。
前記固定部の内側にトーションバーを介して可動自在に支持された可動部と、
前記可動部に設置され前記可動部を駆動するための駆動コイルと、
前記可動部以外の部分に設置された共振発生手段と、
を備えていることを特徴とする。
2 固定部
3 トーションバー
4 可動部
5 第1駆動コイル
6 揺動用コイル
7 第2トーションバー
8 第2可動部
9 第2駆動コイル
10 第2揺動用コイル
Claims (7)
- 枠状の固定部と、
前記固定部の内側にトーションバーを介して可動自在に支持された可動部と、
前記可動部に設置され前記可動部を駆動するための駆動コイルと、
前記可動部以外の部分に設置された共振発生手段と、
を備えていることを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。 - 前記共振発生手段は、揺動用のコイルであることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記共振発生手段には、前記駆動コイルと同位相の駆動信号に基づく電流が流されるものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記共振発生手段には、前記駆動コイルと異なる位相の駆動信号に基づく電流が流されるものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記共振発生手段には、前記駆動コイルと逆位相の駆動信号に基づく電流が流されるものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記共振発生手段には、直流電流が流されるものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記共振発生手段に通電しない状態で、前記共振発生手段の抵抗値を測定するものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009279463A JP5650904B2 (ja) | 2009-12-09 | 2009-12-09 | プレーナ型アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009279463A JP5650904B2 (ja) | 2009-12-09 | 2009-12-09 | プレーナ型アクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011125110A true JP2011125110A (ja) | 2011-06-23 |
JP5650904B2 JP5650904B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=44288433
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009279463A Active JP5650904B2 (ja) | 2009-12-09 | 2009-12-09 | プレーナ型アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5650904B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013121581A1 (ja) * | 2012-02-17 | 2013-08-22 | パイオニア株式会社 | ミラー駆動装置 |
WO2018159077A1 (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール及び測距装置 |
CN113366369A (zh) * | 2019-01-30 | 2021-09-07 | 浜松光子学株式会社 | 光模块 |
US11789255B2 (en) | 2017-08-10 | 2023-10-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical module and method for manufacturing optical module |
US12000962B2 (en) | 2017-02-28 | 2024-06-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical module and distance measurement device |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004297923A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Nippon Signal Co Ltd:The | プレーナー型電磁アクチュエータ |
JP2006162949A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-06-22 | Nippon Signal Co Ltd:The | プレーナ型アクチュエータ |
-
2009
- 2009-12-09 JP JP2009279463A patent/JP5650904B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004297923A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Nippon Signal Co Ltd:The | プレーナー型電磁アクチュエータ |
JP2006162949A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-06-22 | Nippon Signal Co Ltd:The | プレーナ型アクチュエータ |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013121581A1 (ja) * | 2012-02-17 | 2013-08-22 | パイオニア株式会社 | ミラー駆動装置 |
JP7159150B2 (ja) | 2017-02-28 | 2022-10-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール及び測距装置 |
CN110337604B (zh) * | 2017-02-28 | 2022-05-03 | 浜松光子学株式会社 | 光模块及测距装置 |
KR20190117718A (ko) * | 2017-02-28 | 2019-10-16 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 광 모듈 및 측거 장치 |
JPWO2018159077A1 (ja) * | 2017-02-28 | 2019-12-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール及び測距装置 |
JP2022174126A (ja) * | 2017-02-28 | 2022-11-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール |
US12000962B2 (en) | 2017-02-28 | 2024-06-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical module and distance measurement device |
CN110337604A (zh) * | 2017-02-28 | 2019-10-15 | 浜松光子学株式会社 | 光模块及测距装置 |
WO2018159077A1 (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール及び測距装置 |
EP3591454A4 (en) * | 2017-02-28 | 2020-12-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | OPTICAL MODULE AND DISTANCE MEASURING DEVICE |
US11573296B2 (en) | 2017-02-28 | 2023-02-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical module and distance measurement device |
EP4198605A1 (en) * | 2017-02-28 | 2023-06-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical module |
KR102637457B1 (ko) * | 2017-02-28 | 2024-02-16 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 광 모듈 및 측거 장치 |
JP7389194B2 (ja) | 2017-02-28 | 2023-11-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール |
US11789255B2 (en) | 2017-08-10 | 2023-10-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical module and method for manufacturing optical module |
CN113366369B (zh) * | 2019-01-30 | 2024-03-08 | 浜松光子学株式会社 | 光模块 |
CN113366369A (zh) * | 2019-01-30 | 2021-09-07 | 浜松光子学株式会社 | 光模块 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5650904B2 (ja) | 2015-01-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5391579B2 (ja) | 振動素子 | |
JP6053277B2 (ja) | 磁気アクチュエータおよびそれを用いたマイクロミラーおよびミラーシステム | |
JP5650904B2 (ja) | プレーナ型アクチュエータ | |
JP5769941B2 (ja) | アクチュエータの駆動装置 | |
JP2007171929A (ja) | 揺動体装置、光偏向器、及びそれを用いた光学機器 | |
JP6180074B2 (ja) | プレーナ型電磁アクチュエータ | |
JP5558799B2 (ja) | プレーナ型アクチュエータ | |
JP6148055B2 (ja) | プレーナ型アクチュエータ | |
JP5341372B2 (ja) | 揺動体装置、揺動体装置を用いた画像形成装置 | |
JP5165538B2 (ja) | プレーナ型アクチュエータ | |
JP2008058434A (ja) | 揺動装置、揺動装置を用いた光偏向装置、及び光偏向装置を用いた画像形成装置 | |
JP2015099270A (ja) | 振動装置、光走査装置、それを用いた画像形成装置および映像投射装置 | |
JP2007171930A (ja) | 揺動体装置、光偏向器、及びその制御方法 | |
JP2006162949A (ja) | プレーナ型アクチュエータ | |
JP6148057B2 (ja) | プレーナ型アクチュエータ | |
JP2015060105A (ja) | アクチュエータの駆動制御装置 | |
JP5207656B2 (ja) | プレーナ型電磁アクチュエータ | |
JP2007256554A (ja) | Memsデバイス | |
JP6224432B2 (ja) | 振動装置、光走査装置、それを用いた画像形成装置および映像投射装置 | |
JP2005084571A (ja) | 光スキャナ装置 | |
JP2009258468A (ja) | 揺動体装置、光偏向装置、及びそれを用いた光学機器 | |
WO2021100803A1 (ja) | ミラースキャナ | |
JP2013034301A (ja) | プレーナ型電磁アクチュエータ | |
JP5624213B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP5408887B2 (ja) | 揺動体装置、揺動体装置を用いた画像形成装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121207 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131210 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20140121 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140210 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140819 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141020 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141111 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5650904 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |