JP5165538B2 - プレーナ型アクチュエータ - Google Patents
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Description
そして、このようなアクチュエータは、例えば、可動部にミラーを設けることで光ビームを偏向走査する光スキャナなどに適用される。
前記振動体の振動を検知する検知手段と、を備えていることを特徴とする。
図1は、本発明に係るプレーナ型アクチュエータの第1実施形態を示したものである。
2 固定部
3 第2トーションバー
4 第2可動部
5 第1トーションバー
6 第1可動部
7 第1振動体
8 第2振動体
9 開口
10 梁部
11 板部
12 突出部
13 設置部
Claims (5)
- デバイス基板に設置された枠状の固定部と、
前記固定部の内側に、支持梁を介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部と、
前記可動部の振動が伝達される振動位置に、前記固定部、前記可動部または前記支持梁と一体的に形成されることにより設置され、前記可動部の駆動周波数と同一の共振周波数を有する振動体と、
前記振動体の振動を検知する検知手段と、
を備えていることを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。 - 前記固定部の内側に突出する設置部を形成し、前記設置部に前記振動体を設置したことを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記固定部と前記可動部の間に、前記可動部を前記支持梁を介して可動自在に支持するとともに、前記固定部に前記支持梁を介して可動自在に支持された第2可動部を設け、前記第2可動部の振動が伝達される振動位置に、前記第2可動部の駆動周波数と同一の共振周波数を有する第2振動体を設置したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記可動部の振動は、ねじれモードであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記振動位置は、前記固定部であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータ。
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