JP2007206480A - 光走査素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 単一圧電素子により生じた撓み進行波を利用し、ミラーの光軸傾斜回転運動を発生させることにより、複数の圧電素子を使用する場合の周波数バラツキ問題をなくす。
【解決手段】 傾斜可能なミラーパネルが圧電体によって揺動される光走査素子において、実質的に4つに分割された中心に対して対称な同じ面積の電極を具えた圧電体が少なくとも一方の表面に設けられた環状の弾性体のフレームを具え、環状のフレームの径方向に伸びるトーションバーによって4つの電極の中心部の当該フレームと接続された当該フレームの内側に位置するミラーパネルを具える。
2軸を利用することで2次元走査が可能となる。
【選択図】 図1
【解決手段】 傾斜可能なミラーパネルが圧電体によって揺動される光走査素子において、実質的に4つに分割された中心に対して対称な同じ面積の電極を具えた圧電体が少なくとも一方の表面に設けられた環状の弾性体のフレームを具え、環状のフレームの径方向に伸びるトーションバーによって4つの電極の中心部の当該フレームと接続された当該フレームの内側に位置するミラーパネルを具える。
2軸を利用することで2次元走査が可能となる。
【選択図】 図1
Description
本発明はレーザポインターやレーザ式障害物検知装置などに使われる光走査素子の構造に関するものである。
光走査素子は可動ミラーなどの光偏向素子を利用することにより、レーザ光の反射角度を連続的に変化させるものであり、レーザプリンタや、パターン表示装置、高速光スイッチ、バーコードリーダー、障害物検知などに幅広く利用される。光走査素子は直線走査の1軸可動ミラーと二次元走査の2軸可動ミラーがある。その駆動原理としては、例えばクーロン力を利用する静電型のアクチュエータや、電磁駆動型のアクチュエータ、圧電モルフの撓み変位を利用した圧電駆動型のアクチュエータなどがある。
従来、特開2003-295102号公報に開示される、障害物検知などの測定装置におけるレーザ光走査機構として、磁界中のコイルへの通電によって生ずる電磁力を利用して2次元方向に旋回する走査装置が提案されている。この旋回型2次元走査装置は、図4に示される支持筐体7の内側に、図示しない外周コイルが形成される可動枠体6と内周コイルが形成されるミラーパネル5を配置し、支持筐体7と可動枠体6とミラーパネル5とを、互いに直交する方向に延設されたトーションバー8、9により保持してなる機構部を、永久磁石10による磁界中に配置したものである。ミラーパネル5上の内周コイルに電流を流すと、磁界との相互作用によって電流値に応じた電磁力が生じ、ミラーパネル5をトーションバー9にのバネ性による力と平衡する位置まで旋回させる。同様に可動枠体6の外周コイルに電流を流すと、可動枠体6をトーションバー8のバネ性による力と平衡する位置まで旋回させる。2軸の駆動コイルを90度の位相差で駆動すれば、ミラー光軸(ミラーの法線)の傾斜位置が360度で順次に変わるので、光軸の傾斜回転運動が生じる。この場合、レザー光をミラーに照射すると、その反射光が円か楕円パターンとなる。
図5(A),(B)は圧電駆動の2軸走査素子の構造例を示す。すなわち、圧電セラミック1と金属フレーム2からなる四つの独立した圧電ユニモルフ(1)〜(4)の片端が固定されるとともに、他端の金属フレーム2に延設された直線形またはL字形のトーションバー41〜44によってミラーパネル5が固定される。対向する二つの圧電ユニモルフ(1)と(3)のZ方向の撓み変位が反方向になるように正弦波電圧を印加すると、x方向においてミラーの光軸傾斜振動が起こる。同様に、対向する二つの圧電ユニモルフ(2)と(4)のZ方向の撓み変位が反方向になるように正弦波電圧を印加すると、y方向においてミラーの光軸傾斜振動が起こる。さらに、x方向の光軸傾斜振動とy方向の光軸傾斜振動が90度の位相差で同時に励起されると、ミラー光軸の傾斜角を保ちながら面内に回転するような振動が起こる。
電磁駆動型2軸ミラーは大きな傾斜角が得られることなどのメリットが挙げられるが、幾つかの問題点がある。
(1)可動部分においてのコイル形成や永久磁石の取付けが必要なほか、永久磁石によるノイズ発生や外部磁界によるミラー動作への影響を防ぐための対策を取らなければならない。
(2)最近では、MEMS技術を利用して上記の2軸ミラー機構の微細化が進んでいるが、必要な電磁力を得るためにはバルク材の永久磁石を使用しなければならないので、MEMS構造の整合性が悪くサイズも大きくなってしまう。
(3)ミラーパネル5の旋回と可動枠体6の旋回を共振させるためには、ミラーなどの寸法設計の自由度が制限される。
(4)等傾斜角光軸回転を実現するには、両相の駆動信号の振幅をそれぞれ設定する必要なので、制御系の設計が相対的に複雑である。
また、図5(A)、(B)に示す圧電駆動型によれば、上記の問題を解決できるが、四つの独立した圧電ユニモルフには共振周波数のバラツキが生じやすいので、同じ変位を発生させるためには、各圧電ユニモルフの駆動電圧を微調整する厄介な作業が必要である。
特開2003−295102号公報
特開2000−339725号公報
特開2001−33713号公報
特開2003−209981号公報
(1)可動部分においてのコイル形成や永久磁石の取付けが必要なほか、永久磁石によるノイズ発生や外部磁界によるミラー動作への影響を防ぐための対策を取らなければならない。
(2)最近では、MEMS技術を利用して上記の2軸ミラー機構の微細化が進んでいるが、必要な電磁力を得るためにはバルク材の永久磁石を使用しなければならないので、MEMS構造の整合性が悪くサイズも大きくなってしまう。
(3)ミラーパネル5の旋回と可動枠体6の旋回を共振させるためには、ミラーなどの寸法設計の自由度が制限される。
(4)等傾斜角光軸回転を実現するには、両相の駆動信号の振幅をそれぞれ設定する必要なので、制御系の設計が相対的に複雑である。
また、図5(A)、(B)に示す圧電駆動型によれば、上記の問題を解決できるが、四つの独立した圧電ユニモルフには共振周波数のバラツキが生じやすいので、同じ変位を発生させるためには、各圧電ユニモルフの駆動電圧を微調整する厄介な作業が必要である。
本発明は、単一圧電素子により生じた撓み進行波を利用し、ミラーの光軸傾斜回転運動を発生させることにより、複数の圧電素子を使用する場合の周波数バラツキ問題をなくすものである。
本発明は、環状の圧電体をユニモルフまたはバイモルフ構造に形成することによって、上記の課題を解決するものである。すなわち、傾斜可能なミラーパネルが圧電体によって揺動される光走査素子において、実質的に4つに分割された中心に対して対称な電極を具えた圧電体が少なくとも一方の表面に設けられた環状の弾性体のフレームを具え、トーションバーによって4つの電極の中心部の当該フレームと接続されたミラーパネルを具えたことに特徴を有するものである。
本発明によれば、単一圧電素子に発生する進行波によりミラーの光軸傾斜回転振動を発生させることで、以下の効果が得られる。
(1)従来の電磁型に比較して、構造が簡素になり、機構部分のすべてをMEMS化することができるので、より小型化が可能となる。
(2)複数の圧電素子を使用する従来の2軸光走査素子に比べて、圧電素子間の周波数バラツキの問題がないので、等傾斜角の光軸回転を実現するには、各相入力電圧の調整が不要となり制御系の設計が容易になる。
(1)従来の電磁型に比較して、構造が簡素になり、機構部分のすべてをMEMS化することができるので、より小型化が可能となる。
(2)複数の圧電素子を使用する従来の2軸光走査素子に比べて、圧電素子間の周波数バラツキの問題がないので、等傾斜角の光軸回転を実現するには、各相入力電圧の調整が不要となり制御系の設計が容易になる。
以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。図1(A)は本発明による光軸回転ミラー素子の構造を示す。すなわち、リング状圧電体1と金属フレーム2とを貼り合せしてなる圧電ユニモルフにおいて、圧電体1は表面に形成された中心対称の四つの電極31〜34によって仮想的に(1)〜(4)の四部分に等分割され、対向する二つの圧電部分(1)と(3)(または(2)と(4))が厚み方向に逆の向きに分極され、径方向に対向する二つの電極(31と33、32と34)には同一電圧、隣り合いの電極には90度位相差の電圧が印加され、中央にあるミラーパネル5は、(1)〜(4)各部の金属フレーム2の内周中央部から径方向へ延設された4本のトーションバー41〜44により保持されるものである。上記の光走査素子は外周部の数ポイントで固定すればよい。
ここで、対向する二つの圧電部分(1)と(3)において、分極方向(図示矢印)が逆方向なので、表面電極31と33に同一の正弦波駆動電圧V1*SIN(ωt)を印加すれば、圧電ユニモルフの(1)部と(3)部の内側縁に逆方向の撓み振動が生じるので、ミラーパネル5は図1(B)に示すように、(1)-(3)方向での光軸傾斜振動が励起される。同様に、表面電極32と34に同一の駆動電圧V2*COS(ωt)を印加すれば、(2)-(4)方向での光軸傾斜振動が励起される。さらに、(1)-(3)方向の光軸傾斜振動と(2)―(4)方向の光軸傾斜振動を同時に励起すれば、両方向での駆動電圧は90度の位相差があるので、圧電ユニモルフ全体に撓み振動の進行波が励起される。この場合、圧電素子内側縁の進行波変位をトーションバー41〜44によってミラーに伝搬する結果、ミラー光軸が傾斜角を一定にしながら面内に回転する。
上記の光軸回転振動を利用しレーザ光を走査すれば、二次元のパターン表示装置を実現できる。図2に示す様に、レーザ光をミラーに当てると、反射光の軌跡が周回運動となる。圧電部分(1)と(3)の駆動電圧V1と圧電部分(2)と(4)の駆動電圧V2において、V1=V2の場合、トーションバー41〜44の変位振幅が等しいので、反射光軌跡が円になる一方、V1≠V2の場合は直交するトーションバーの変位が異なるので、反射光軌跡が楕円になる。また、圧電体を振動させない、すなわちV1=V2=0の場合、反射光軌跡が点となるが、片方のみ駆動(例えば、V1=0、V2≠0)の場合は反射光軌跡が直線になる。よって、本発明による光軸傾斜回転ミラーを利用すれば、単一の振動子だけで、点−線−楕円の3パターンを持つレーザポインタを実現できる。一方、駆動電圧を0〜Vmaxの間に掃引することにより、反射光の直径が0〜最大値の間に走査するような面掃引を実現できるので、レーザ光式の障害物検知などの応用も可能である。
図1(A)に示す圧電駆動素子は図5(A)又は図5(B)に示す4個の圧電ユニモルフを一体化したものと見なされても良いので、複数の圧電ユニモルフを使う場合の共振周波数バラツキ問題が存在しない。
図1に示す圧電素子は丸いリング状だが、図3に示す正方形リング状にすれば、同様の光軸傾斜回転運動が確認された。また、図1と図3に示す圧電素子は、金属基板2の片面に圧電体1を設けた圧電ユニモルフとされたが、金属基板2の表裏ともに圧電体を設ける圧電バイモルフにすれば、より低い電圧で駆動することができる。なお、図面に示された圧電式光軸傾斜回転ミラー素子はバルク材で加工されたものであるが、シリコンなどの基板に形成される圧電膜を微細加工したマイクロマシン構造も容易に実現できる。
上記のように、本発明はレーザポインタをはじめとしてレーザ光式の障害物検知など光軸を走査させる装置に広く応用できる。
1:圧電体
2:金属フレーム
5:ミラーパネル
31〜34:電極
41〜44:トーションバー
2:金属フレーム
5:ミラーパネル
31〜34:電極
41〜44:トーションバー
Claims (3)
- 傾斜可能なミラーパネルが圧電体によって揺動される光走査素子において、
実質的に4つに分割された中心に対して対称な電極を具えた圧電体が少なくとも一方の表面に設けられた環状の弾性体のフレームを具え、
環状のフレームの径方向に伸びるトーションバーによって4つの電極の中心部の当該フレームと接続された当該フレームの内側に位置するミラーパネルを具えたことを特徴とする光走査素子。 - シリコン基板とその表面に形成された圧電薄膜がエッチングによって加工された請求項1記載の光走査素子。
- 4つの電極が位相差をもって駆動させるようにして光軸が傾斜しながら回転可能とされる請求項1と請求項2記載の光走査素子。
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-
2006
- 2006-02-03 JP JP2006026623A patent/JP2007206480A/ja active Pending
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