JP7455976B2 - 光走査装置、及びマイクロミラーデバイスの駆動方法 - Google Patents
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Description
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V1B(t)=Voff1+V1sin(2πfdt+α)
V2A(t)=Voff2+V2sin(2πfdt+φ)
V2B(t)=Voff2+V2sin(2πfdt+β+φ)
Claims (8)
- 入射光を反射する反射面を有するミラー部と、前記ミラー部が静止している場合の前記反射面を含む平面内にある第1軸周りに前記ミラー部を揺動可能に支持する第1支持部と、前記第1支持部を介して前記ミラー部に接続され、前記第1軸周りに前記ミラー部を揺動させる第1アクチュエータと、前記平面内において前記第1軸に直交する第2軸の周りに前記ミラー部を揺動可能に支持する第2支持部と、前記第2支持部を介して前記第1アクチュエータに接続され、前記第2軸周りに前記ミラー部を揺動させる第2アクチュエータとを備えるマイクロミラーデバイスと、
前記第1アクチュエータ及び前記第2アクチュエータに、それぞれ同一の駆動周波数を有する第1駆動信号及び第2駆動信号を与えることにより前記ミラー部を歳差運動させるプロセッサと、
を備える光走査装置であって、
前記マイクロミラーデバイスは、前記第1軸周りの共振周波数をf1とし、かつ前記第2軸周りの共振周波数をf2とした場合に、f1<f2の関係を満たし、
前記ミラー部を前記第1軸周り及び前記第2軸周りに同時に駆動した場合に、前記第1軸周りの共振周波数がf1からΔfだけ変化する特性を有し、かつf 1 -Δf<f 2 <1.008(f 1 -Δf)の関係を満たし、
前記駆動周波数をfdとした場合に、f1-Δf<fdの関係を満たす、
光走査装置。 - f1-Δf<fd<f2の関係を満たす、
請求項1に記載の光走査装置。 - Δf>0の関係を満たす、
請求項1又は請求項2に記載の光走査装置。 - 前記第1アクチュエータ及び前記第2アクチュエータは、それぞれ圧電素子を備えた圧電アクチュエータである、
請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記第1支持部及び前記第2支持部は、それぞれトーションバーである、
請求項1から請求項4のうちいずれか1項に記載の光走査装置。 - 前記ミラー部が静止している場合の前記反射面に垂直に光ビームを照射する光源を備える、
請求項1から請求項5のうちいずれか1項に記載の光走査装置。 - 入射光を反射する反射面を有するミラー部と、前記ミラー部が静止している場合の前記反射面を含む平面内にある第1軸周りに前記ミラー部を揺動可能に支持する第1支持部と、前記第1支持部を介して前記ミラー部に接続され、前記第1軸周りに前記ミラー部を揺動させる第1アクチュエータと、前記平面内において前記第1軸に直交する第2軸の周りに前記ミラー部を揺動可能に支持する第2支持部と、前記第2支持部を介して前記第1アクチュエータに接続され、前記第2軸周りに前記ミラー部を揺動させる第2アクチュエータとを備えるマイクロミラーデバイスと、
前記第1アクチュエータ及び前記第2アクチュエータに、それぞれ同一の駆動周波数を有する第1駆動信号及び第2駆動信号を与えることにより前記ミラー部を歳差運動させるプロセッサと、
を備える光走査装置であって、
前記マイクロミラーデバイスは、前記第1軸周りの共振周波数をf 1 とし、かつ前記第2軸周りの共振周波数をf 2 とした場合に、f 1 <f 2 の関係を満たし、
前記ミラー部を前記第1軸周り及び前記第2軸周りに同時に駆動した場合に、前記第1軸周りの共振周波数がf 1 からΔfだけ変化する特性を有し、
前記駆動周波数をf d とした場合に、f 1 -Δf<f d の関係を満たし、
前記第1支持部及び前記第2支持部は、それぞれトーションバーである、
光走査装置。 - 入射光を反射する反射面を有するミラー部と、前記ミラー部が静止している場合の前記反射面を含む平面内にある第1軸周りに前記ミラー部を揺動可能に支持する第1支持部と、前記第1支持部を介して前記ミラー部に接続され、前記第1軸周りに前記ミラー部を揺動させる第1アクチュエータと、前記平面内において前記第1軸に直交する第2軸の周りに前記ミラー部を揺動可能に支持する第2支持部と、前記第2支持部を介して前記第1アクチュエータに接続され、前記第2軸周りに前記ミラー部を揺動させる第2アクチュエータとを備えるマイクロミラーデバイスの駆動方法であって、
前記マイクロミラーデバイスは、前記第1軸周りの共振周波数をf1とし、かつ前記第2軸周りの共振周波数をf2とした場合に、f1<f2の関係を満たし、
前記ミラー部を前記第1軸周り及び前記第2軸周りに同時に駆動した場合に、前記第1軸周りの共振周波数がf1からΔfだけ変化する特性を有し、かつf 1 -Δf<f 2 <1.008(f 1 -Δf)の関係を満たし、
前記第1アクチュエータ及び前記第2アクチュエータに、f1-Δf<fdの関係を満たす駆動周波数fdを有する第1駆動信号及び第2駆動信号をそれぞれ与えることにより前記ミラー部を歳差運動させる、
マイクロミラーデバイスの駆動方法。
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