JP7159150B2 - 光モジュール及び測距装置 - Google Patents
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Description
Claims (23)
- 空気の熱伝導率よりも100倍以上大きい熱伝導率を有する支持部と、
前記支持部において軸線周りに揺動可能となるように支持された可動部と、
前記可動部に設けられたミラーと、
前記可動部に設けられた駆動用コイルと、
前記支持部に設けられた温度モニタ用素子と、
前記駆動用コイルに作用する磁界を発生させる磁石と、を備え、
前記支持部は、前記磁石と熱的に接続されており、
前記温度モニタ用素子は、前記可動部を揺動させるための駆動力の発生に用いられず、
前記可動部は、前記支持部において第1軸線周りに揺動可能となるように支持された第1可動部と、前記支持部において前記第1軸線と交差する第2軸線周りに揺動可能となるように支持された第2可動部と、を有し、
前記ミラーは、前記第1可動部に設けられており、
前記第1可動部は、前記第1軸線周りに揺動可能となるように一対の第1連結部を介して前記第2可動部に連結されており、
前記第2可動部は、前記第2軸線周りに揺動可能となるように一対の第2連結部を介して前記支持部に連結されており、
前記第1可動部は、前記ミラーが設けられた第1部分と、前記ミラーの光軸方向から見た場合に前記第1部分を囲む第2部分と、前記第2軸線に沿った方向における前記第1部分の一方側及び他方側に配置され、前記第1部分と前記第2部分とを前記第2軸線に沿った方向において接続する複数の接続部分と、を含み、
前記第1部分と前記第2部分との間には、前記複数の接続部分を除いて隙間が形成されている、光モジュール。 - 前記駆動用コイルは、前記第1可動部に設けられた第1駆動用コイルを有する、請求項1に記載の光モジュール。
- 前記第1可動部に設けられた起電力モニタ用コイルを更に備え、
前記磁石は、前記駆動用コイル及び前記起電力モニタ用コイルに作用する磁界を発生させる、請求項2に記載の光モジュール。 - 前記駆動用コイルは、前記第2可動部に設けられた第2駆動用コイルを有する、請求項1又は2に記載の光モジュール。
- 前記第1可動部に設けられた起電力モニタ用コイルを更に備え、
前記磁石は、前記駆動用コイル及び前記起電力モニタ用コイルに作用する磁界を発生させる、請求項4に記載の光モジュール。 - 前記第2可動部に設けられた起電力モニタ用コイルを更に備え、
前記磁石は、前記駆動用コイル及び前記起電力モニタ用コイルに作用する磁界を発生させる、請求項4に記載の光モジュール。 - 前記ミラーの光軸方向から見た場合に、前記支持部の幅は、前記一対の第1連結部の各々の幅よりも広い、請求項1~6のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記ミラーの光軸方向から見た場合に、前記支持部の幅は、前記一対の第2連結部の各々の幅よりも広い、請求項1~6のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記温度モニタ用素子は、温度に応じて抵抗値が変化する温度モニタ用抵抗である、請求項1~8のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記温度モニタ用抵抗は、コイルとして構成されている、請求項9に記載の光モジュール。
- 前記支持部に設けられた電極パッドと、
前記駆動用コイルの一端と前記電極パッドとに接続された配線と、を更に備え、
前記電極パッドは、前記ミラーの光軸方向から見た場合に、前記温度モニタ用抵抗の内側に設けられている、請求項10に記載の光モジュール。 - 前記支持部は、前記ミラーの光軸方向から見た場合に前記可動部を囲むように枠状に形成されている、請求項1~11のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記温度モニタ用素子は、前記ミラーの光軸方向から見た場合に前記支持部の外縁に沿うように前記支持部に設けられている、請求項1~12のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記駆動用コイル及び前記温度モニタ用素子は、同一平面に沿うように配置されている、請求項1~13のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記駆動用コイル、前記起電力モニタ用コイル及び前記温度モニタ用素子は、同一平面に沿うように配置されている、請求項3,5,6のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記駆動用コイルは、前記可動部に埋め込まれている、請求項1~15のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記起電力モニタ用コイルは、前記可動部に埋め込まれている、請求項3,5,6,15のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記温度モニタ用素子は、前記支持部に埋め込まれている、請求項1~17のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 前記支持部、前記可動部、前記ミラー、前記駆動用コイル及び前記温度モニタ用素子を収容するパッケージを更に備え、
前記支持部は、前記パッケージの一部であるベースの内側表面に取り付けられており、
前記磁石は、前記可動部と対向するように前記ベースの外側表面に取り付けられている、請求項1~18のいずれか一項に記載の光モジュール。 - 前記ベースの前記内側表面には、前記可動部と対向するように凹部が形成されている、請求項19に記載の光モジュール。
- 前記パッケージは、前記ミラーの光軸方向から見た場合に前記支持部を囲むように配置された筒状の側壁を有し、
前記ミラーの光軸方向における前記ベースの厚さは、前記ミラーの光軸方向から見た場合における前記側壁と前記支持部との間の距離よりも小さい、請求項19又は20に記載の光モジュール。 - 前記温度モニタ用素子の検出値、及び前記起電力モニタ用コイルに発生する起電力に基づいて、前記駆動用コイルに印加する駆動電流を制御する制御部を更に備える、請求項3,5,6,15,17のいずれか一項に記載の光モジュール。
- 請求項1~22のいずれか一項に記載の光モジュールと、
レーザ光を出射する光源と、
物体及び前記ミラーを介して前記レーザ光を検出する光検出器と、を備える、測距装置。
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