JPWO2020032274A1 - アクチュエータ装置、及びアクチュエータ装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[第1実施形態]
[第2実施形態]
[ミラー装置の製造方法]
[外側駆動の場合]
[内側駆動の場合]
[作用及び効果]
[変形例]
Claims (17)
- 支持部と、
第1可動部と、
前記第1可動部を囲む枠状の第2可動部と、
第1軸線周りに前記第1可動部が揺動可能となるように、前記第1可動部と前記第2可動部とを互いに連結する第1連結部と、
前記第2可動部を振動させることによって前記第1軸線周りに前記第1可動部が揺動可能となるように、前記第2可動部と前記支持部とを互いに連結する第2連結部と、
前記第2可動部に駆動力を作用させる駆動部と、を備え、
前記第1軸線周りの前記第1可動部及び前記第2可動部の振動についての2つの固有角振動数ω1,ω2(ただしω1<ω2)は、以下の第1式(1)及び第2式(2)の一方を満たし、他方を満たしていない、アクチュエータ装置。
- 支持部と、
第1可動部と、
前記第1可動部を囲む枠状の第2可動部と、
第1軸線周りに前記第1可動部が揺動可能となるように、前記第1可動部と前記第2可動部とを互いに連結する第1連結部と、
前記第2可動部と前記支持部とを互いに連結する第2連結部と、
前記第1可動部及び前記第1連結部の少なくとも一方に設けられ、前記第1可動部に駆動力を作用させる駆動部と、を備え、
前記第1軸線周りの前記第1可動部及び前記第2可動部の振動についての2つの固有角振動数ω1,ω2(ただしω1<ω2)は、以下の第1式(3)及び第2式(4)の一方を満たし、他方を満たしていない、アクチュエータ装置。
- 前記第2連結部は、前記第1軸線と交差する第2軸線周りに前記第2可動部が揺動可能となるように、前記第2可動部と前記支持部とを互いに連結している、請求項1又は2に記載のアクチュエータ装置。
- 前記2つの固有角振動数は、前記第1式を満たし、前記第2式を満たしておらず、
前記第1軸線周りの前記第2連結部の捩りばね定数は、前記第1軸線周りの前記第1連結部の捩りばね定数よりも大きい、請求項1〜3のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第2連結部の全長は、前記第1連結部の全長よりも短い、請求項4に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第2連結部は、それぞれが前記第2可動部と前記支持部とを互いに連結する複数の部材を有し、
前記複数の部材は、前記第1軸線と交差する方向に沿って並んで配置されている、請求項4又は5に記載のアクチュエータ装置。 - 前記複数の部材は、前記第1軸線上に配置された第1部材と、互いの間に前記第1部材を挟むように配置された一対の第2部材と、を含む、請求項6に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第2可動部から前記第2連結部を介して前記支持部に延在する配線を更に備え、
前記配線は、前記第1部材を通るように配置されている、請求項7に記載のアクチュエータ装置。 - 前記2つの固有角振動数は、前記第2式を満たし、前記第1式を満たしておらず、
前記第1軸線周りの前記第2連結部の捩りばね定数は、前記第1軸線周りの前記第1連結部の捩りばね定数よりも小さい、請求項1〜3のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第2連結部の全長は、前記第1連結部の全長よりも長い、請求項9に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第2連結部は、蛇行して延在している、請求項9又は10に記載のアクチュエータ装置。
- 前記支持部、前記第1可動部、前記第2可動部、前記第1連結部及び前記第2連結部は、半導体基板によって構成されている、請求項1〜11のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第1可動部に設けられたセンシング用コイルと、
前記センシング用コイルに接続され、前記第1連結部を介して前記第2可動部に延在する配線と、を更に備え、
前記第1連結部は、半導体材料によって構成されており、
前記配線のうち前記第1連結部上に位置する部分は、前記半導体材料に不純物が拡散された拡散領域によって構成されている、請求項1〜12のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記拡散領域は、前記第1連結部から前記第1可動部及び前記第2可動部に延在しており、
前記第1可動部及び前記第2可動部における前記拡散領域の幅は、前記第1連結部における前記拡散領域の幅よりも広い、請求項13に記載のアクチュエータ装置。 - 前記配線のうち、前記第1可動部上に位置する部分及び前記第2可動部上に位置する部分は、金属材料によって構成されており、
前記拡散領域と、前記第1可動部上に位置する部分及び前記第2可動部上に位置する部分の各々との接触部分の幅は、前記第1連結部の幅よりも広い、請求項13又は14に記載のアクチュエータ装置。 - 支持部と、
第1可動部と、
前記第1可動部を囲む枠状の第2可動部と、
第1軸線周りに前記第1可動部が揺動可能となるように、前記第1可動部と前記第2可動部とを互いに連結する第1連結部と、
前記第2可動部を振動させることによって前記第1軸線周りに前記第1可動部が揺動可能となるように、前記第2可動部と前記支持部とを互いに連結する第2連結部と、
前記第2可動部に駆動力を作用させる駆動部と、を備えるアクチュエータ装置の製造方法であって、
前記第1軸線周りの前記第1可動部及び前記第2可動部の振動についての2つの固有角振動数ω1,ω2(ただしω1<ω2)が、以下の式(5)及び式(6)の一方を満たし、他方を満たさないように、前記アクチュエータ装置を製造する、アクチュエータ装置の製造方法。
- 支持部と、
第1可動部と、
前記第1可動部を囲む枠状の第2可動部と、
第1軸線周りに前記第1可動部が揺動可能となるように、前記第1可動部と前記第2可動部とを互いに連結する第1連結部と、
前記第2可動部と前記支持部とを互いに連結する第2連結部と、
前記第1可動部及び前記第1連結部の少なくとも一方に設けられ、前記第1可動部に駆動力を作用させる駆動部と、を備えるアクチュエータ装置の製造方法であって、
前記第1軸線周りの前記第1可動部及び前記第2可動部の振動についての2つの固有角振動数ω1,ω2(ただしω1<ω2)が、以下の式(7)及び式(8)の一方を満たし、他方を満たさないように、前記アクチュエータ装置を製造する、アクチュエータ装置の製造方法。
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