JP2007111847A - アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一対の永久磁石と共にアクチュエータを構成するねじり揺動体110は、可動板111と、可動板111を揺動可能に支持している一対の弾性部材112と、弾性部材112を保持している支持体113とを備えている。一対の弾性部材112は、可動板111から両側に対称的に延びている。可動板111は、その周縁部を周回する平面コイル118を備えている。支持体113は、外部からの電力を平面コイル118に供給するための一対の電極パッド116を備えている。ねじり揺動体110は、弾性部材112上を延びている配線層115と、平面コイル118と配線層115を覆う保護膜119とを備えている。配線層115は平面コイル118の端部と支持体113上の電極パッド116とをそれぞれ電気的に接続している。保護膜119は樹脂材料から構成されている。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の第一実施形態によるアクチュエータの斜視図であり、図2は、図1のII-II線に沿ったねじり揺動体110の断面図、図3は、図2のIII-III線に沿った弾性部材の断面図である。
次に、第二実施形態について説明する。本実施形態は、第一実施形態に加えて配線層自体の信頼性の向上を図るものである。そのために、保護膜をポリイミド、配線層を電解メッキ法で形成できる銅を用いるものである。
ここで、Tは使用温度[K]TMは融点[K]である。
Claims (2)
- 可動板と、前記可動板を揺動可能に支持する少なくとも一つの弾性部材と、前記弾性部材を保持する支持体と、前記弾性部材上を延びている配線層と、前記配線層を覆う保護膜とを少なくとも備えたアクチュエータにおいて、前記保護膜は樹脂材料から構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
- 可動板と、前記可動板を揺動可能に支持する少なくとも一つの弾性部材と、前記弾性部材を保持する支持体と、前記弾性部材上を延びている配線層と、前記配線層を覆う保護膜とを少なくとも備えたアクチュエータにおいて、前記配線層は高融点金属から構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
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