JP6253889B2 - プレーナ型アクチュエータ - Google Patents
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Description
請求項2に係る発明は、請求項1において、前記複数層の有機絶縁膜は、前記配線部材のうち前記半導体基板に最も近い第1層目の配線パターンと前記半導体基板との間に介在する第1の有機絶縁膜層と、前記第1の有機絶縁膜層上に成膜されて前記配線部材の第1層目の配線パターンと第2層目の配線パターンとの間に介在する第2の有機絶縁膜層とを含むことにより、前記支持梁の配線部分に加わる応力を低減させ、かつ、前記可動部の振れ角を増やすことを可能にすることを特徴とする。
請求項4に係る発明は、請求項1から請求項3のいずれか一項において、前記複数層の有機絶縁膜は、ポリイミドを材料として含むことを特徴とする。
トーションバー3にねじり応力が加わった場合でも、有機絶縁膜6により、駆動コイル5に加わる応力を低減させることができるものである。
2 固定部
3 トーションバー
4 可動部
5 駆動コイル
6 有機絶縁膜
7 無機絶縁膜
8 基板
9 配線パターン
Claims (4)
- 半導体基板に設置された枠状の固定部の内側に支持梁を介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部と、
前記半導体基板上にあり配線パターンで構成された複数層の配線部材と、
前記支持梁と前記可動部とに形成され、前記複数層の配線部材直下の層の全面と前記複数層の配線部材を覆うそれぞれの表面の全面とに形成する有機絶縁膜と、
を備えていることを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。 - 前記複数層の有機絶縁膜は、前記配線部材のうち前記半導体基板に最も近い第1層目の配線パターンと前記半導体基板との間に介在する第1の有機絶縁膜層と、前記第1の有機絶縁膜層上に成膜されて前記配線部材の第1層目の配線パターンと第2層目の配線パターンとの間に介在する第2の有機絶縁膜層とを含むことにより、前記支持梁の配線部分に加わる応力を低減させ、かつ、前記可動部の振れ角を増やすことを可能にすることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記複数層の有機絶縁膜と前記半導体基板との間には、無機絶縁材料が介在されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記複数層の有機絶縁膜は、ポリイミドを材料として含むことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータ。
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