JP2007014130A - プレーナ型電磁アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 枠状の支持部11と、可動部13と、支持部11の枠内に可動部13を軸支する一対のトーションバー12,12とを半導体基板で一体形成し、可動部13に駆動コイル14と反射ミラー15を設け、支持部11に、可動部13を囲むよう枠状のヨーク16を設け、ヨーク16内側の支持部16領域に、可動部13のトーションバー12,12と平行な両対辺部の駆動コイル14部分に静磁界を作用させる一対の薄膜磁石17,17を、ヨーク16と接するよう可動部13を挟んで対向して設ける構成とした。
【選択図】 図1
Description
かかる構成では、半導体基板1の可動部1Bに対して適切な位置に永久磁石3A,3B及びヨーク4を配置しなければならず、高い部品加工精度と組立て精度が要求され、高価な冶具等を必要とする。また、大きな永久磁石3A,3B及びヨーク4の存在が、小型・軽量化を妨げる要因となっていた。
本発明は上記問題点に着目してなされたもので、より一層の小型・軽量化が可能で組立て作業が容易であると共に、光スイッチや光走査デバイスとして利用する際に光学系の配置自由度を大きくできるプレーナ型電磁アクチュエータを提供することを目的とする。
請求項3のように、前記薄膜磁石に代えて、半導体基板からなる前記支持部の薄膜磁石形成領域を磁化して前記静磁界発生手段を設ける構成としてもよい。
請求項4では、前記可動部は、前記駆動コイルを周縁部に敷設し、駆動コイルで囲まれる中央部に反射ミラーを設ける構成とした。
図1に、本発明に係るプレーナ型電磁アクチュエータの第1実施形態で、例えば光スイッチや光走査デバイスに適用する場合の概略構成図を示す。
可動部13上の駆動コイル14に電流を流すと磁界が発生し、この磁界と薄膜磁石17,17による静磁界との相互作用によりローレンツ力が発生し、トーションバー12,12の軸方向と平行な可動部両対辺部に互いに逆方向の電磁力が発生し、トーションバー12,12を軸中心として可動部13が回動する。この回動動作に伴ってトーションバー12,12が捩じられトーションバー12,12にばね力が発生し、このトーションバー12,12のばね力と発生した電磁力とが釣合う位置まで可動部13は回動する。
また、駆動コイル14に正弦波等の交流電流を流せば可動部13が揺動する。これにより、反射ミラー15により光ビームを偏向走査することができる。この場合に、駆動コイル14に供給する交流電流の周波数を可動部13の揺動運動の共振周波数に設定すれば、一定周期で連続走査可能な光走査デバイスが実現できる。
更には、同一の半導体基板に多数の電磁アクチュエータを配列する後述する図3及び図4に示すようなアレイ構造の採用が容易となる。
図2は、本発明に係わるプレーナ電磁アクチュエータの第2実施形態である2次元タイプの例で、例えば光スイッチや光走査デバイスに適用する場合の平面図を示す。
図3において、このアレイ構造は、反射ミラー15を設けた可動部13及び一対のトーションバー12,12を複数組、同一の半導体基板30に例えば図示のようにアレイ状に配列形成し、各組それぞれに、ヨーク16と一対の静磁界発生手段として例えば薄膜磁石17,17とを設ける構成である。この場合、支持部11は、各組で共通化される。尚、駆動コイル14は図示を省略してある。
図4のアレイ構造は、可動部13及びトーションバー12,12を複数組、同一の半導体基板30にアレイ状に配列形成し、各組それぞれに、一対の静磁界発生手段として例えば薄膜磁石17,17を設け、半導体基板30の周縁部に配列全体を囲むように1つのヨーク16を形成する構成である。尚、駆動コイル14は図示を省略してある。
図4の実施形態では、配列全体に対して1つのヨーク16を設ける構成としたが、1グループに複数のアクチュエータが含まれるようにアレイ全体をグループ分けし、各グループ毎に1つのヨーク16を設けて囲むようにしてもよい。この場合は、各グループ単位でトーションバー12,12の軸方向を異ならせることは可能である。
11,21 支持部
12,12 トーションバー
13 可動部
14 駆動コイル
15、25 反射ミラー
16、26 ヨーク
17,17、27A,27A、27B,27B 薄膜磁石
22A,22A 外側トーションバー
22B,22B 内側トーションバー
23A 外側可動部
23B 内側可動部
24A 外側駆動コイル
24B 内側駆動コイル
30 半導体基板
Claims (7)
- 枠状の支持部と、可動部と、前記支持部の枠内に前記可動部を揺動可能に軸支するトーションバーとを半導体基板で一体形成し、前記可動部に通電により磁界を発生する駆動コイルを設け、前記可動部の前記トーションバーと平行な両対辺部の駆動コイル部分に静磁界を作用させる静磁界発生手段を設ける構成のプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、
前記支持部に、前記可動部を囲むよう枠状のヨークを設け、該ヨーク内側の前記支持部領域に、前記静磁界発生手段として前記可動部を挟んで対向する一対の薄膜磁石を前記ヨークと接するよう設ける構成としたことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。 - 前記ヨークを、薄膜で形成した請求項1に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
- 前記薄膜磁石に代えて、半導体基板からなる前記支持部の薄膜磁石形成領域を磁化して前記静磁界発生手段を設ける構成とした請求項1又は2に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
- 前記可動部は、前記駆動コイルを周縁部に敷設し、駆動コイルで囲まれる中央部に反射ミラーを設ける構成である請求項1〜3のいずれか1つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
- 前記可動部が、内側可動板と該内側可動板の外側に設けた枠状の外側可動板とからなり、該外側可動板を前記支持部に外側トーションバーで回動可能に軸支し、前記内側可動板を前記外側可動板に外側トーションバーの軸方向に直交する内側トーションバーで回動可能に軸支する構成である請求項1〜4のいずれか1つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
- 前記可動部及びトーションバーを複数組、同一の半導体基板にアレイ状に配列形成し、各組それぞれに、前記ヨークと前記一対の静磁界発生手段とを設ける構成とした請求項1〜5のいずれか1つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
- 前記可動部及びトーションバーを複数組、同一の半導体基板にアレイ状に配列形成し、各組それぞれに、前記一対の静磁界発生手段を設け、少なくとも2つ以上の組を囲むように前記ヨークを形成する構成とした請求項1〜5のいずれか1つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
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