WO2011118296A1

WO2011118296A1 - 磁気力型駆動装置、光走査装置、及び画像表示装置

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Publication number: WO2011118296A1
Application number: PCT/JP2011/053359
Authority: WO
Inventors: 本田　雄士; 高梨　伸彰
Original assignee: 日本電気株式会社
Priority date: 2010-03-24
Filing date: 2011-02-17
Publication date: 2011-09-29
Also published as: US20130063799A1; US8922862B2; CN102834765A; JPWO2011118296A1; JP5720673B2

Abstract

磁気力型駆動装置（７）は第１の可動部（１００）と第１の駆動部（２００）とを備える。第１の可動部（１００）は第１の可動板（１１１）と、第１の可動板（１１１）と略平行な方向に磁化した永久磁石（１２０）とを有し、第１の枠体（１１２）と第１の一対の梁部（１１３）とにより第１の可動板（１１１）と略平行かつ永久磁石（１２０）の磁化方向と略垂直なＹ軸の回りに揺動可能に支持される。第１の駆動部（２００）はヨーク（２１０）と、ヨーク（２１０）を磁化させるコイル（２２０）とを有する。ヨーク（２１０）は第１の端部（２１１ａ）と、永久磁石（１２０）の一方の磁極に対して第１の端部（２１１ａ）の略反対側に配置された第２の端部（２１２ａ）とを有する。第１の端部（２１１ａ）と第２の端部（２１２ａ）とは互いに異種の極性に磁化し、第１の可動部（１００）を同一の揺動方向に駆動する。

Description

磁気力型駆動装置、光走査装置、及び画像表示装置

　本発明は、磁気力型駆動装置、光走査装置、及び画像表示装置に関する。

　投射型ディスプレー等の画像表示装置には、一般的に、光を走査する光走査装置が用いられている。従来、このような光走査装置には、モータ駆動のポリゴンミラーやガルバノミラー等が用いられてきた。

　一方、近年の微細加工技術の進歩に伴い、ＭＥＭＳ技術を応用した光走査装置が大きな発展を遂げている。その中で、梁部を回転軸として光走査ミラーを往復振動させることにより光を走査する光走査装置が注目を集めている。このような光走査ミラーは、従来のモータ駆動のポリゴンミラー等と比較して、構造が簡単であり、かつ半導体プロセスによる一体形成が可能であることから、小型化や低コスト化が可能であり、また小型化により高速化が可能である等の利点を有する。

　ＭＥＭＳ技術による光走査ミラーは、振れ角を大きくするために、一般的に、構造体の共振周波数と駆動周波数とを一致させて駆動される（共振駆動）。
　光走査ミラーの共振周波数ｆｒは、梁部のねじり弾性係数をｋとし、光走査ミラーの慣性モーメントをＩ_ｍとすると、以下の式（１）で与えられる。
　ｆｒ＝１／（２π）・（ｋ／Ｉ_ｍ）^１／２　　　（１）
　共振駆動における光走査ミラーの振れ角θは、光走査ミラーに加わる駆動力をＴとすると、以下の式（２）で与えられる。
　θ＝ＱＴ／ｋ　　　（２）
　式（２）において、Ｑは系の品質係数であり、空気中での典型的な値は１００程度、真空中での典型的な値は１０００程度である。
　従って、共振駆動における光走査ミラーは、比較的小さな駆動力でも大きく振れさせることが可能である。

　一方、ある種の光走査装置では、上述の光走査ミラーは、構造体の共振周波数と駆動周波数とを一致させずに駆動される（非共振駆動）。
　非共振駆動における光走査ミラーの振れ角θは、以下の式（３）で与えられる。
　θ＝Ｔ／ｋ　　　（３）
　式（３）によれば、品質係数Ｑを援用できないため、式（２）と比較して、光走査ミラーの振れ角θが小さい。そこで、光走査ミラーの振れ角θを大きくするためには、駆動力Ｔを大きくするか、又は梁部のねじり弾性係数ｋを小さくする必要がある。しかし、式（１）から導かれるように、梁部のねじり弾性係数ｋを小さくすると、光走査ミラーの共振周波数ｆｒが低下する。そして、光走査ミラーの共振周波数ｆｒが非共振駆動における駆動周波数（通常６０Ｈｚ）と接近することにより、光走査ミラーの振動波形に共振モードが乗ってしまう場合がある。これを避けるためには、典型的には、光走査ミラーの共振周波数ｆｒを１ｋＨｚ程度以上に設定する必要がある。従って、光走査ミラーの振れ角θを大きくするためには、梁部のねじり弾性係数ｋを小さくすることよりも、駆動力Ｔを大きくすることが望ましい。

　このような非共振タイプの光走査装置として、磁気力型駆動装置を用いた光走査装置が知られている。

　例えば、特許文献１及び２には、ムービングコイル型（ＭＣ型）磁気力型駆動装置を用いた光走査装置が開示されている。これらの光走査装置は、複数の永久磁石の間に配置された光走査ミラーにコイルを搭載し、このコイルに電流を流すことによって生じるローレンツ力を利用して、光走査ミラーを駆動する。

　また、特許文献３及び４には、ムービングマグネット型（ＭＭ型；可動磁石型）磁気力型駆動装置を用いた光走査装置が開示されている。これらの光走査装置は、光走査ミラーに永久磁石を搭載し、光走査ミラーの近傍に配置されたコイルに電流を流すことによって生じる磁気的相互作用を利用して、光走査ミラーを駆動する。

特開２００７－０１４１３０号公報特開２００８－１２２９５５号公報特開２００５－１６９５５３号公報特開２００７－０９４１０９号公報

　特許文献１及び２の光走査装置では、光走査ミラーに加わる駆動力を大きくするためには、コイルに流す電流を大きくするか、あるいはコイルの巻数を大きくする必要がある。しかし、コイルに流す電流を大きくすると、コイルの発熱により、光走査ミラーの光学的な性能が劣化するという問題がある。また、コイルの巻数には光走査ミラーのサイズに応じた限界があり、例えば、１ｍｍ角程度のミラーに１００ターン程度以上のコイルを搭載することは難しい。そのため、光走査ミラーに加わる駆動力を大きくすることは難しい。

　また、特許文献３の光走査装置では、光走査ミラーが傾斜した状態でも永久磁石に十分な磁場を印加できるように、永久磁石の下方に配置された２つのコイルを傾斜させて配置する等の工夫がなされている。しかしながら、２つのコイルの端部の間隔が大きいために、永久磁石に印加される磁場を大きくすることは難しく、例えば１００［Ｏｅ］程度以上とすることは難しい。そのため、光走査ミラーに加わる駆動力を大きくすることは難しい。

　また、特許文献４に記載された光走査装置では、永久磁石を挟むようにヨークを配置することにより、永久磁石に印加される磁場を比較的大きくすることができる。しかしながら、光走査ミラーの下方に配置された支柱は、非磁性体であるため、光走査ミラーに加わる駆動力に寄与することができない。また、駆動力を大きくするためには、コイルをヨークの内部だけでなく外部にも配置する必要がある。そのため、光走査装置のサイズを抑制しながら、光走査ミラーに加わる駆動力を大きくすることは難しい。

　すなわち、従来の磁気力型駆動装置では、駆動力を増大し、可動部の振れ角を増大することが困難であった。そして、この磁気力型駆動装置を用いた光走査装置では、可動部に搭載された光走査ミラーの振れ角を増大することが困難であった。また、この光走査装置を用いた画像表示装置では、光の走査範囲を拡大し、薄型化や大画面化を実現することが困難であった。

　上記課題に鑑み、本発明は、可動部の振れ角が大きな磁気力型駆動装置を提供すると共に、これを備える光走査装置及び画像表示装置を提供することを目的とする。

　上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る磁気力型駆動装置は、
　非磁性材料で形成された第１の可動板と、前記第１の可動板に固定され、前記第１の可動板の主面と略平行な方向に磁化した永久磁石と、を有する第１の可動部と、
　前記第１の可動部の周縁を囲むように形成された第１の枠体と、
　前記第１の枠体と前記第１の可動板とを接続し、前記第１の可動部を、前記第１の枠体に対し、前記第１の可動板の主面と略平行かつ前記永久磁石の磁化方向と略垂直な第１の軸の回りに揺動可能に支持する第１の一対の梁部と、
　ヨークと、前記ヨークを磁化させるコイルと、を有する第１の駆動部と、を備え、
　前記ヨークは、前記永久磁石の近傍に配置された第１の端部を有する第１のヨーク部と、前記永久磁石の一方の磁極に対して前記第１の端部の反対側に配置された第２の端部を有する第２のヨーク部と、を備え、
　前記第１の端部と前記第２の端部とは、互いに異種の極性に磁化することにより、前記第１の可動部を同一の揺動方向に駆動する、
　ことを特徴とする。

　また、本発明の第２の観点に係る光走査装置は、
　上述の磁気力型駆動装置と、
　前記第１の可動部に設けられ、入射した光を反射するミラーと、を備える、
　ことを特徴とする。

　また、本発明の第３の観点に係る画像表示装置は、
　変調された光束を生成する光束生成装置と、
　前記光束を反射及び走査する上述の光走査装置と、を備える、
　ことを特徴とする。

　本発明によれば、可動部の振れ角が大きな磁気力型駆動装置を提供すると共に、これを備える光走査装置及び画像表示装置を提供することができる。

本発明の第１の実施形態に係る画像表示装置を示すブロック図。（ａ）は、図１に示された光走査装置を示す上面図。（ｂ）は、（ａ）のＩ－Ｉ線断面図（ａ）は、図２（ｂ）に示された光走査装置の左偏向状態を示す断面図。（ｂ）は、図２（ｂ）に示された光走査装置の右偏向状態を示す断面図。（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係る光走査装置を示す断面図。（ｂ）は、（ａ）に示されたストッパを示す上面図。（ｃ）は、（ａ）に示されたスペーサを示す上面図。（ａ）は、本発明の第３の実施形態に係る光走査装置を示す断面図。（ｂ）は、（ａ）に示された第１の可動板を示す上面図。本発明の第４の実施形態に係る光走査装置を示す断面図。本発明の第４の実施形態に係る光走査装置を示す断面図。本発明の第４の実施形態に係る光走査装置を示す断面図。本発明の第４の実施形態に係る光走査装置を示す断面図。（ａ）は、本発明の第５の実施形態に係る光走査装置を示す断面図。（ｂ）は、（ａ）に示された第１の可動部、第２の可動部、及び第２の駆動部を示す上面図。（ｃ）は、（ｂ）のＩＩ－ＩＩ線断面図。

　以下、本発明を実施するための形態を、図面を用いて説明する。

（第１の実施形態）
　始めに、図１を参照して、第１の実施形態に係る画像表示装置１について説明する。なお、画像表示装置１は、後述する磁気力型駆動装置７（図２参照）から構成された非共振タイプの光走査装置５を備え、外部機器８から入力される画像信号Ｓ１に基づいて、変調された赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の光束を生成、合成、及び走査することにより、スクリーン９に映像を表示させるものである。

　画像表示装置１は、光束生成装置１０と、コリメート光学系２０と、合成光学系３０と、水平走査部４０と、垂直走査部５０と、から構成されている。

　光束生成装置１０は、主に、信号処理回路１１と、赤色レーザ１２と、緑色レーザ１３と、青色レーザ１４と、赤色レーザ駆動回路１５と、緑色レーザ駆動回路１６と、青色レーザ駆動回路１７と、から構成されている。

　信号処理回路１１は、外部機器８から入力される画像信号Ｓ１に応じて変調された赤色、緑色、青色の光束を生成するための赤色、緑色、青色映像信号Ｓ２Ｒ，Ｓ２Ｇ，Ｓ２Ｂをそれぞれ生成し、赤色、緑色、青色レーザ駆動回路１５，１６，１７にそれぞれ出力する。また、信号処理回路１１は、水平、垂直走査部４０，５０の動作と光束生成装置１０の動作とを同期させるための水平、垂直同期信号ＳＨ，ＳＶをそれぞれ生成し、後述する水平、垂直同期回路４５，５５にそれぞれ出力する。

　赤色、緑色、青色レーザ駆動回路１５，１６，１７は、それぞれ、信号処理回路１１から入力される赤色、緑色、青色映像信号Ｓ２Ｒ，Ｓ２Ｇ，Ｓ２Ｂに応じて、赤色、緑色、青色レーザ１２，１３，１４を駆動する。

　赤色、緑色、青色レーザ１２，１３，１４は、例えば、半導体レーザ、高調波発生機構（ＳＨＧ）付き固体レーザ等から構成されており、それぞれ、赤色、緑色、青色映像信号Ｓ２Ｒ，Ｓ２Ｇ，Ｓ２Ｂに応じて変調された赤色、緑色、青色の光束を生成し、コリメート光学系２０に出射する。

　コリメート光学系２０は、３つのコリメータレンズ２１，２２，２３から構成されており、光束生成装置１０から入射した赤色、緑色、青色の光束をそれぞれ平行光化し、合成光学系３０に出射する。

　合成光学系３０は、光束を波長選択的に反射又は透過する３つのダイクロイックミラー３１，３２，３３から構成されており、コリメート光学系２０から入射した赤色、緑色、青色の光束を合成し、水平走査部４０の後述する光走査ミラー４１に出射する。

　水平走査部４０は、合成光学系３０から入射した光束を水平方向に走査するための光走査ミラー４１を有する共振タイプの光走査装置４と、光走査装置４を駆動するための水平走査駆動回路４２と、光走査装置４の共振周波数を調整するための共振周波数調整回路４３と、から構成されている。

　垂直走査部５０は、水平走査部４０から入射した光束を垂直方向に走査するための光走査ミラー（以下、ミラー）５１を有する非共振タイプの光走査装置５と、光走査装置５を駆動するための垂直走査駆動回路５２と、から構成されている。

　水平同期回路４５は、信号処理回路１１から入力された水平同期信号ＳＨに基づいて、水平走査部４０の動作が光束生成装置１０の動作と同期するように、水平走査駆動回路４２及び共振周波数調整回路４３を制御する。

　垂直同期回路５５は、信号処理回路１１から入力された垂直同期信号ＳＶに基づいて、垂直走査部５０の動作が光束生成装置１０の動作と同期するように、垂直走査駆動回路５２を制御する。

　次に、図２及び図３を参照して、上述の光走査装置５について詳細に説明する。

　光走査装置５は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、入射した光を反射するための上述のミラー５１と、ミラー５１を駆動するための磁気力型駆動装置７と、から構成されている。

　磁気力型駆動装置７は、第１の可動板１１１と、第１の枠体１１２と、第１の一対の梁部１１３（図２（ａ）参照）と、永久磁石１２０（図２（ｂ）参照）と、ヨーク２１０と、コイル２２０と、から構成されている。なお、図２（ｂ）に示すように、第１の可動板１１１、永久磁石１２０、及びミラー５１は、第１の可動部１００を構成する。また、ヨーク２１０及びコイル２２０は、第１の駆動部２００を構成する。

　図２（ａ）に示す第１の可動板１１１、第１の枠体１１２、及び第１の一対の梁部１１３は、例えば単結晶シリコン基板やステンレスその他の金属基板等、適度な剛性を有する非磁性材料基板で、相互に一体に形成されている。第１の可動板１１１は、所定の幅、奥行き、及び厚みを有する矩形板状に形成されている。第１の枠体１１２は、第１の可動板１１１の周縁を囲むように矩形枠状に形成され、後述する支持部２３０に支持されている。第１の一対の梁部１１３は、第１の可動板１１１の平面（上面及び下面）と略平行なＹ軸（第１の軸）に沿って延在し、第１の可動板１１１と第１の枠体１１２とを接続している。

　図２（ｂ）に示す永久磁石１２０は、例えばサマリウムコバルト磁石やネオジム磁石等から構成されており、第１の可動板１１１と略同一の幅及び奥行きを有する矩形板状に形成され、接着剤等により第１の可動板１１１の下面に固定されている。そして、永久磁石１２０は、矢印Ｍにより示すように、第１の可動板１１１の平面（上面及び下面）と略平行かつＹ軸と略垂直な方向に磁化している。

　ミラー５１は、例えば銀合金やアルミニウム合金等で、第１の可動板１１１と略同一の幅及び奥行きを有する矩形板状に形成されており、第１の可動板１１１の上面に接着剤等により固定されている。なお、ミラー５１は、例えば、スパッタ法等を用いて、第１の可動板１１１の上面に薄膜状に形成されていても良い。そして、ミラー５１の上面は、入射する光に対して十分な反射率を有するように、十分に平坦に形成されている。

　ヨーク２１０は、例えば鉄系材料、フェライト材料、又はパーマロイ材料等を含む磁性材料で形成されており、第１のヨーク部２１１と、第２のヨーク部２１２と、第３のヨーク部２１３と、第４のヨーク部２１４と、から構成されている。第１のヨーク部２１１は、永久磁石１２０の下面と対向して配置された一端部（以下、第１の端部）２１１ａを有する。第２のヨーク部２１２は、第１の端部２１１ａの反対側において永久磁石１２０のＮ極と対向して配置された一端部（以下、第２の端部）２１２ａを有する。第３のヨーク部２１３は、第１の端部２１１ａの反対側において永久磁石１２０のＳ極と対向して配置された一端部（以下、第３の端部）２１３ａを有する。第４のヨーク部２１４は、第１のヨーク部２１１の他端部２１１ｂと、第２のヨーク部２１２の他端部２１２ｂと、第３のヨーク部２１３の他端部２１３ｂと、を磁気的に結合している。すなわち、第１～第４のヨーク部２１１～２１４は、相互に磁気的に結合されて、一つの磁気回路を構成している。なお、第４のヨーク部２１４には、上述の第１の枠体１１２を支持する一対の支持部２３０が設けられている。

　コイル２２０は、第１のヨーク部２１１に巻回されており、幅方向及び厚み方向においてはヨーク２１０の内側に配置されている。コイル２２０に電流を流すと、ヨーク２１０が磁化し、第１の端部２１１ａと、第２の端部２１２ａと、第３の端部２１３ａと、にそれぞれ磁極が現れる。このとき、第１の端部２１１ａに現れる磁極は、第２の端部２１２ａ及び第３の端部２１３ａに現れる磁極に対して、異なる極性を有する。

　次に、上述の光走査装置５の動作について説明する。

　図２（ａ）において、コイル２２０に右回りの電流を流すと、図３（ａ）に示すように、第１のヨーク２１１から第２のヨーク２１２及び第３のヨーク２１３に向かう磁力線が発生し、第１の端部２１１ａにＳ極が現れ、第２の端部２１２ａ及び第３の端部２１３ａにＮ極が現れる。そして、第１の端部２１１ａと第２の端部２１２ａとの間に発生する磁場が永久磁石１２０のＮ極に作用すると共に、第１の端部２１１ａと第３の端部２１３ａとの間に発生する磁場が永久磁石１２０のＳ極に作用することにより、第１の可動部１００は、第１の一対の梁部１０３のねじれを伴いながら、Ｙ軸を中心として左に傾斜する（左偏向状態）。

　また、図２（ａ）において、コイル２２０に左回りの電流を流すと、図３（ｂ）に示すように、第２のヨーク２１２及び第３のヨーク２１３から第１のヨーク２１１に向かう磁力線が発生し、第１の端部２１１ａにＮ極が現れ、第２の端部２１２ａ及び第３の端部２１３ａにＳ極が現れる。そして、第１の端部２１１ａと第２の端部２１２ａとの間に発生する磁場が永久磁石１２０のＮ極に作用すると共に、第１の端部２１１ａと第３の端部２１３ａとの間に発生する磁場が永久磁石１２０のＳ極に作用することにより、第１の可動部１００は、第１の一対の梁部１０３のねじれを伴いながら、Ｙ軸を中心として右に傾斜する（右偏向状態）。

　なお、第１の可動部１００の慣性モーメントを低減し、これにより第１の可動部１００の振れ角を増大するために、永久磁石１２０の厚みは１ｍｍ程度以下に設計されていることが望ましい。また、コイル２２０に流す電流が所定の周波数（例えば６０Ｈｚ）を有する場合に、第１の可動部１００に共振モードが励起されることを防止するため、第１の一対の梁部１１３は、第１の可動部１００の共振周波数が１ｋＨｚ程度となるように設計されていることが望ましい。

　上記構成の磁気力型駆動装置７によれば、ヨーク２１０の第１の端部２１１ａと第２の端部２１２ａとを、永久磁石１２０の一方の磁極（Ｎ極）を挟んで対向するように配置すると共に、互いに異なる磁極を有するように磁化させることにより、従来の磁気力型駆動装置と比較して、永久磁石１２０に印加される磁場を増大することができる。従って、第１の可動部１００に加わる駆動力を増大し、第１の可動部１００の振れ角を増大することができる。

　さらに、ヨーク２１０の第１の端部２１１ａと第３の端部２１３ａとを、永久磁石の他方の磁極（Ｓ極）を挟んで対向するように配置すると共に、互いに異なる磁極を有するように磁化させることにより、永久磁石１２０に印加される磁場をより増大することができる。従って、第１の可動部１００に加わる駆動力をより増大し、第１の可動部１００の振れ角をより増大することができる。

　また、永久磁石１２０を挟んで対向する第１の端部２１１ａと第２の端部２１２ａとの間隙、及び第１の端部２１１ａと第３の端部２１３ａとの間隙を、容易に小さくすることができる。これにより、永久磁石１２０に印加される磁場が増大し、第１の可動部１００に加わる駆動力が増大することから、第１の可動部１００の振れ角を容易に増大することができる。また、第１の可動部１００の振れ角に余裕がある場合には、さらに、磁気力型駆動装置７を小型化することや、磁気力型駆動装置７の消費電力を抑制することもできる。

　また、第１～第３のヨーク２１１～２１３を相互に磁気的に結合し、一つの磁気回路を構成することにより、第１の駆動部２００をより簡単に構成することができる。具体的には、第１のヨーク２１１にのみコイル２２０を巻回し、コイル２２０に流す電流の大きさ及び方向を制御することにより、第１の可動部１００を駆動することができる。また、コイル２２０がヨーク２１０の内側にのみ配置された構成とすることで、駆動部２００のサイズを抑制し、磁気力型駆動装置７を小型化することができる。

　また、磁気力型駆動装置７の第１の可動部１００にミラー５１を搭載することにより、ミラー５１の振れ角が大きい、すなわち光の走査範囲が大きい光走査装置５を構成することができる。

　そして、光走査装置５を備える画像表示装置１によれば、光の走査範囲が大きいことから、省スペース化（小型化、薄型化）及び大画面化等を実現することができる。

　以下、上述の第１の実施形態に係る光走査装置５について、実施例に基づいて、より詳細に説明する。

　光走査装置５の第１の可動部１００については、例えば、以下のように構成することができる。

　第１の可動板１１１は、単結晶シリコンで形成し、その幅、奥行き、厚みを、それぞれ２［ｍｍ］、６［ｍｍ］、１００［μｍ］とした。

　永久磁石１２０は、ネオジム磁石とし、その幅、奥行き、厚みを、それぞれ２［ｍｍ］、６［ｍｍ］、３００［μｍ］とした。

　ミラー５１の幅、奥行き、厚みを、それぞれ２［ｍｍ］、６［ｍｍ］、５０［μｍ］とした。なお、ミラー５１は、第１の可動板１１１の上面に接着剤により固定した。

　第１の一対の梁部１１３は、単結晶シリコンで形成し、その寸法は、第１の可動部１００の共振周波数が８００［Ｈｚ］程度となるように、第１の可動部を構成する第１の可動板１１１、永久磁石１２０、及びミラー５１の寸法に従って決定した。

　また、光走査装置５の第１の駆動部２００については、例えば、以下のように構成することができる。

　ヨーク２１０の第１の端部２１１ａと第２の端部２１２ａとの間隙、及びヨーク２１０の第１の端部２１１ａと第３の端部２１３ａとの間隙を、２［ｍｍ］とした。

　コイル２２０の巻数を２００とした。また、コイル２２０に流す電流を２００［ｍＡ］とした。

　コイル２２０の巻数をＮ、コイル２２０に流す電流をＩ［Ａ］、ヨーク２１０の磁極間のギャップをｇ［ｍ］とすると、ヨーク２１０の磁極間に発生する磁場Ｈ［Ａ／ｍ］は、概ね、以下の（４）式で与えられる。
　Ｈ＝ＮＩ／ｇ　　　（４）
　本実施例では、（４）式により、ヨーク２１０の第１の端部２１１ａと第２の端部２１２ａとの間、及びヨーク２１０の第１の端部２１１ａと第３の端部２１３ａとの間に発生する磁場Ｈは、概ね、２×１０^４［Ａ／ｍ］≒２５０［Ｏｅ］となる。

　また、第１の可動部１００（第１の可動板１１１、永久磁石１２０、及びミラー５１）の慣性モーメントをＩ、永久磁石１２０に印加される磁場をＨ（ｔ）（簡単のため、一様とする）、第１の可動部１００の磁気モーメントをＭ（水平左向き）、第１の一対の梁部１１３のねじり弾性係数をＫ_θ、磁場Ｈ（ｔ）（上向き）が鉛直方向と成す角度をθ_０（時計回り）、第１の可動部１００の静止位置（水平）からの傾きをθ（ｔ）（時計回り）とすると、第１の可動部１００の運動方程式は、以下の式（５）で与えられる。
　Ｉ・（ｄ^２／ｄｔ^２）θ（ｔ）＋Ｋ_θ・θ（ｔ）
　　－Ｍ・Ｈ（ｔ）・ｃｏｓ（θ_０－θ（ｔ））＝０　　　（５）
　本実施例では、（５）式により、第１の可動部１００の振れ角θは、概ね、±２０［°］となる。従って、光の走査範囲は、概ね、±４０［°］となる。

　また、本実施例では、必要となる磁場の大きさが２５０［Ｏｅ］程度と比較的小さいことから、コイル２２０の消費電力が比較的小さい。コイル２２０に流す電流が所定の周波数（例えば６０［Ｈｚ］）を有する場合、コイル２２０には、配線抵抗に加えてインダクタンスＬに応じたインピーダンスが発生するが、本実施例では、コイル２２０に発生するインピーダンスは１［Ω］程度である。従って、コイル２２０に流す電流を２００［ｍＡ］とした場合、コイル２２０の消費電力は、４０［ｍＷ］程度と、比較的小さくなる。

　以上説明したように、本実施例によれば、ヨーク２１０の第１の端部２１１ａと第２、第３の端部２１２ａ，２１３ａとの間隙をｍｍスケールに小さくすることができるため、これらの間隙に生成される磁場が増大し、第１の可動部１００に搭載された永久磁石１２０とヨーク２１０との磁気的相互作用が増大する。従って、第１の可動部１００に加わる駆動力を増大し、第１の可動部１００に搭載されたミラー５１の振れ角を増大することができる。

（第２の実施形態）
　次に、第２の実施形態に係る画像表示装置及び光走査装置５Ａについて説明する。第２の実施形態の画像表示装置は、基本的構成については第１の実施形態の画像表示装置１と同様であるが、光走査装置５Ａの構成において第１の実施形態の画像表示装置１と異なる。従って、本実施形態では、光走査装置５Ａについて説明し、画像表示装置についての説明を省略する。また、第１の実施形態の光走査装置５と共通する構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。

　図４（ａ）に示すように、光走査装置５Ａは、第１のヨーク部２１１と永久磁石１２０との間に配置されたストッパ２３１Ａと、ストッパ２３０Ａと第１の枠体１１２との間に配置されたスペーサ２３２Ａと、を備える点において、第１の実施形態の光走査装置５と異なる。

　ストッパ２３１Ａは、非磁性材料で形成されており、図４（ｂ）に示すように、円孔２３１ａを有する矩形板状に形成されている。ストッパ２３１Ａは、図４（ａ）に示すように、第１のヨーク部２１１に支持されると共に、接着剤等により第１のヨーク部２１１に固定されており、第１の可動部１００の揺動を所定の角度で強制的に止める役割を果たす。なお、ストッパ２３１Ａは、非磁性材料で形成されているため、永久磁石１２０に印加される磁場の大きさには影響しない。なお、円孔２３１ａは、光走査装置５Ａの動作不良が発生した際に、永久磁石１２０が第１の可動板１１１に正常に接着されているか否かを目視にて確認するために形成されている。

　スペーサ２３２Ａは、非磁性材料で形成されており、図４（ｃ）に示すように、矩形枠状に形成されている。スペーサ２３２Ａは、図４（ａ）に示すように、ストッパ２３１Ａに支持され、接着剤又はねじ等によりストッパ２３１Ａに固定されており、第１の枠体１１２を支持する役割を果たしている。第１の枠体１１２は、スペーサ２３２Ａに支持され、接着剤又はねじ等によりストッパ２３１Ａに固定されている。従って、本実施形態の光走査装置５Ａでは、第１の実施形態の光走査装置５に設けられていた支持部２３０は、省略されている。

　なお、ミラー５１及び第１の一対の梁部１０３等の損傷を防止するため、第１の可動部１００（第１の可動板１１１、永久磁石１２０、ミラー５１）、第１の枠体１１２、及び第１の一対の梁部１０３は、スペーサ２３２Ａ及びストッパ２３１Ａと一体に組み立てられた後に、第１の駆動部２００に装着されることが望ましい。

　上記構成の光走査装置５Ａによれば、ストッパ２３１Ａを設けることにより、可動部１００が過大に振れることを防止し、第１の一対の梁部１１３が破壊されること等を防止することができる。従って、光走査装置５Ａの信頼性を向上することができる。

　第１の可動板１１１の幅、奥行き、厚みは、例えば、２［ｍｍ］、６［ｍｍ］、１００［μｍ］とすることができる。また、永久磁石１２０の幅、奥行き、厚みは、例えば、２［ｍｍ］、６［ｍｍ］、３００［μｍ］とすることができる。また、ミラー５１の幅、奥行き、厚みは、例えば、２［ｍｍ］、６［ｍｍ］、５０［μｍ］とすることができる。そして、スペーサ２３２Ａの厚みは、例えば、５００［μｍ］とすることができる。これにより、第１の可動部１００の傾斜を、概ね、±１０［°］の位置で止めることができる。

（第３の実施形態）
　次に、第３の実施形態に係る画像表示装置及び光走査装置５Ｂについて説明する。第３の実施形態の画像表示装置は、基本的構成については第１の実施形態の画像表示装置１と同様であるが、光走査装置５Ｂの構成において第１の実施形態の画像表示装置１と異なる。従って、本実施形態では、光走査装置５Ｂについて説明し、画像表示装置についての説明を省略する。また、第１及び第２の実施形態の光走査装置５，５Ａと共通する構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。

　図５（ａ）に示すように、光走査装置５Ｂは、主に、第１の可動板１１１Ｂと永久磁石１２０とが嵌合している点において、第２の実施形態の光走査装置５Ａと異なる。

　図５（ｂ）に示すように、第１の可動板１１１Ｂは、空孔部１１１ａを有して矩形枠状に形成されている。図５（ａ）に示すように、永久磁石１２０は、第１の可動板１１１Ｂの空孔部１１１ａに嵌入し、接着剤等により固定されている。また、ミラー５１は、永久磁石１２０の上面に、接着剤等により固定されている。これにより、第１の可動板１１１Ｂと永久磁石１２０とミラー５１とを、第１の可動部１００の重心がその揺動軸であるＹ軸と略一致するように、配置することができる。

　上記構成の光走査装置５Ｂによれば、第１の可動部１００の重心をその揺動軸であるＹ軸と略一致させることにより、第１の可動部１００の慣性モーメントを低減することができる。従って、第１の一対の梁部１０３のねじり弾性係数を低減することができると共に、ミラー５１の振れ角をより増大することができる。

（第４の実施形態）
　次に、第４の実施形態に係る画像表示装置及び光走査装置５Ｃ～５Ｆについて説明する。第４の実施形態の画像表示装置は、基本的構成については第１の実施形態の画像表示装置１と同様であるが、光走査装置５Ｃ～５Ｆの構成において第１の実施形態の画像表示装置１と異なる。従って、本実施形態では、光走査装置５Ｃ～５Ｆについて説明し、画像表示装置についての説明を省略する。また、第１～第３の実施形態の光走査装置５，５Ａ，５Ｂと共通する構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。

　図６～図９に示すように、光走査装置５Ｃ～５Ｆは、ヨーク２１０Ｃ～２１０Ｆの第１、第２、第３の端部２１１ａ，２１２ａ，２１３ａの少なくとも１つが鋭角化されている点において、第２の実施形態の光走査装置５Ａと異なる。

　図６に示す光走査装置５Ｃでは、ヨーク２１０Ｃの第２及び第３の端部２１２ａ，２１３ａが、それぞれ永久磁石１２０の一方及び他方の磁極（Ｎ極及びＳ極）に向けて、鋭角化されている。

　図７に示す光走査装置５Ｄでは、ヨーク２１０Ｄの第１の端部２１１ａが、永久磁石１２０の一方及び他方の磁極の略中央に向けて、鋭角化されている。

　図８に示す光走査装置５Ｅでは、ヨーク２１０Ｅの第１の端部２１１ａに、２つの鋭角の突起２１１ｃ、２１１ｄが、それぞれ永久磁石１２０の一方、他方の磁極（Ｎ極，Ｓ極）に向けて、形成されている。

　図９に示す光走査装置５Ｆでは、ヨーク２１０Ｆの第１～第３の端部２１１ａ～２１３ａがそれぞれ鋭角化されている。

　なお、図６～図９に示す光走査装置５Ｄ～５Ｆでは、ヨーク２１０Ｄ～２１０Ｆの第１の端部２１１ａが鋭角に形成されているため、ストッパ２３１を支持するために、第１の実施形態において示された支持部２３０が設けられている。

　上記構成の光走査装置５Ｃ～５Ｆによれば、ヨーク２１０Ｃ～２１０Ｆの第１、第２、第３の端部２１１ａ，２１２ａ，２１３ａの少なくとも一つを鋭角化することで、その端部の磁束密度を増大し、永久磁石１２０の磁極に印加される磁場を増大することができる。その結果、第１の可動部１００に加わる駆動力を増大し、ミラー５１の振れ角をより増大することができる。

　なお、第４の実施形態では、第１、第２、第３の端部２１１ａ，２１２ａ，２１３ａの何れかが鋭角状の断面を有して形成されていたが、本発明の第１、第２、第３の端部はこれに限定されず、永久磁石に向けて断面積が縮小されるならば、例えば凹凸状の断面を有して形成されていても良い。

（第５の実施形態）
　次に、第５の実施形態に係る画像表示装置及び光走査装置５Ｇについて説明する。第１の実施形態の画像表示装置１は、水平、垂直走査部４０，５０に設けられた光走査装置４，５を備えていたが、第５の実施形態の画像表示装置は、画像表示装置１の光走査装置４，５に代えて、単一の２軸タイプの光走査装置５Ｇを備える点において、第１の実施形態の画像表示装置１と異なる。従って、本実施形態では、光走査装置５Ｇについて説明し、画像表示装置についての説明を省略する。また、第１～第４の実施形態の光走査装置５，５～５Ｆと共通する構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。

　図１０（ａ）に示すように、光走査装置５Ｇは、第１の可動部１００Ｇを除く構成については、第４の実施形態の光走査装置５Ｃと同様である。

　第１の可動部１００Ｇは、第１の可動板１１１Ｇと、永久磁石１２０と、第２の可動部３００Ｇと、第２の駆動部４００Ｇと、を備える。第２の可動部３００Ｇは、図１０（ｂ）に示すように、第２の可動板３１１Ｇと、ミラー５１Ｇと、から構成されている。また、第１の可動部１００Ｇは、第２の枠体３１２Ｇと、第２の一対の梁部３１３Ｇと、をさらに備える。

　第２の可動板３１１Ｇ、第２の枠体３１２Ｇ、及び第２の一対の梁部３１３Ｇは、例えば単結晶シリコン基板等、微細加工が可能で適度な剛性を有する非磁性材料基板で形成されており、相互に一体に形成されている。また、これらの構造体は、単結晶シリコン基板に代えて、ステンレス等の金属基板で形成することもできる。第２の可動板３１１Ｇは、所定の長辺及び短辺を有する楕円板状に形成されている。第２の枠体３１２Ｇは、第２の可動板３１１Ｇの周縁を囲むように矩形枠状に形成されている。第２の一対の梁部３１３Ｇは、第２の可動板３１１Ｇの平面（上面及び下面）と略平行かつＹ軸と略垂直なＸ軸（第２の軸）に沿って延在し、第２の可動板３１１Ｇと第２の枠体３１２Ｇとを接続している。そして、第２の枠体３１２Ｇは、図１０（ｃ）に示すように、第１の可動板１１１Ｇの上面に積層されている。なお、第１の可動板１１１Ｇは、第２の可動部３００の揺動を許容するように、矩形枠状に形成されている。

　ミラー５１Ｇは、例えば銀合金やアルミニウム合金等で形成されており、図１０（ｂ）に示すように、第２の可動板３１１Ｇと略同一の長辺及び短辺を有する楕円板状に形成され、第２の可動板３１１Ｇの上面に接着剤等により固定されている。なお、ミラー５１Ｇは、例えば、スパッタ法等を用いて、第２の可動板３１１Ｇの上面に薄膜状に形成されていても良い。そして、ミラー５１Ｇの上面は、入射する光に対して十分な反射率を有するように、十分に平坦に形成されている。

　第２の可動部３００Ｇ（第２の可動板３１１Ｇ、ミラー５１Ｇ）と、第２の一対の梁部３１３Ｇとは、第２の可動部３００Ｇが所定の共振周波数を有するように、設計されている。

　第２の駆動部４００Ｇは、図１０（ｃ）に示すように、下部電極４１０Ｇと、圧電素子４２０Ｇと、上部電極４２０Ｇと、の積層体から構成されており、図略の酸化膜を介して第２の枠体３１２Ｇの上面に形成されている。圧電素子４２０Ｇは、電圧の印加により、Ｘ軸と略平行な方向に歪むように配向されている。なお、上部電極４３０Ｇの上面には、例えばＡｌ（アルミニウム）薄膜からなる図略の電極パッドが形成されている。電極パッドは、例えば、スパッタ法等を用いてマスク成膜されている。また、下部電極４１０Ｇは、圧電素子４２０Ｇが積層されない部分（図示せず）を有して形成されており、その上面には、上部電極４３０Ｇと同様に、図略の電極パッドが形成されている。なお、電極パッドは、十分な密着性と、シリコン基板との導通が得られるならば、Ａｌに限られず、例えばＰｔ（白金）等の他の材料から成膜しても良い。また、スパッタ法に限らず、他の方法で成膜しても良い。

　次に、光走査装置５Ｇの動作について説明する。

　下部電極４１０Ｇと上部電極４３０Ｇとの間に電極パッドを介して交流電圧を印加すると、圧電素子４２０Ｇは、Ｘ軸と略平行な方向に振動を生じる。そして、圧電素子４２０Ｇは、その形状及び配置等が適当に設計されることにより、第２の一対の梁部３１３Ｇにねじれ振動を誘起する。これにより、第２の可動部３００Ｇを、Ｘ軸の回りに振動させることができる。さらに、交流電圧の周波数（駆動周波数）を第２の可動部３００Ｇの共振周波数と一致させることにより、第２の可動部３００Ｇに共振モードを誘起し、第２の可動部３００Ｇの振れ角を大きくすることができる。

　また、第２の可動部３００Ｇが搭載された第１の可動部１００Ｇは、第１の実施形態と同様に、第１の駆動部２００のコイル２２０に電流を流すことにより、Ｙ軸の回りに駆動することができる。

　上記構成の光走査装置５Ｇによれば、ミラー５１Ｇが搭載された第２の可動部３００Ｇを、互いに垂直なＸ軸とＹ軸との回りに、それぞれ駆動することができる。従って、単一のミラー５１Ｇにより、光を２次元的に走査することができる。

　そして、光走査装置５Ｇを備える画像表示装置は、２つの光走査装置４，５を備える第１実施形態の画像表示装置１と比較して、小型化及び低コスト化することができる。

　なお、第２の駆動部４００Ｇは、圧電素子４２０Ｇの圧電効果を利用して第２の可動部３００Ｇを駆動するように構成されていたが、本発明の第２の駆動部はこれに限定されず、例えば、電磁力又は静電力を利用して第２の可動部３００Ｇを駆動するように構成されていても良い。

　本発明は上記各実施形態及び実施例に限定されるものではなく、各実施形態及び実施例が本発明の技術的思想の範囲内において適宜変更され得ることは明らかである。

　上記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載され得るが、以下には限られない。

（付記１）
　非磁性材料で形成された第１の可動板と、前記第１の可動板に固定され、前記第１の可動板の主面と略平行な方向に磁化した永久磁石と、を有する第１の可動部と、
　前記第１の可動部の周縁を囲むように形成された第１の枠体と、
　前記第１の枠体と前記第１の可動板とを接続し、前記第１の可動部を、前記第１の枠体に対し、前記第１の可動板の主面と略平行かつ前記永久磁石の磁化方向と略垂直な第１の軸の回りに揺動可能に支持する第１の一対の梁部と、
　ヨークと、前記ヨークを磁化させるコイルと、を有する第１の駆動部と、を備え、
　前記ヨークは、前記永久磁石の近傍に配置された第１の端部を有する第１のヨーク部と、前記永久磁石の一方の磁極に対して前記第１の端部の反対側に配置された第２の端部を有する第２のヨーク部と、を備え、
　前記第１の端部と前記第２の端部とは、互いに異種の極性に磁化することにより、前記第１の可動部を同一の揺動方向に駆動する、
　ことを特徴とする磁気力型駆動装置。

（付記２）
　前記ヨークは、前記永久磁石の他方の磁極に対して前記第１の端部の略反対側に配置された第３の端部を有する第３のヨーク部を更に備え、
　前記第１の端部と前記第３の端部とは、互いに異種の極性に磁化することにより、前記第１の可動部を同一の揺動方向に駆動する、
　ことを特徴とする付記１に記載の磁気力型駆動装置。

（付記３）
　前記第１及び第２のヨーク部は、相互に磁気的に結合されて磁気回路を構成する、
　ことを特徴とする付記１に記載の磁気力型駆動装置。

（付記４）
　前記第１、第２、及び第３のヨーク部は、相互に磁気的に結合されて磁気回路を構成する、
　ことを特徴とする付記２に記載の磁気力型駆動装置。

（付記５）
　前記第１及び第２の端部の少なくとも一方は、前記永久磁石に向けて鋭角に形成されている、
　ことを特徴とする付記１又は３に記載の磁気力型駆動装置。

（付記６）
　前記第１、第２、及び第３の端部の少なくとも１つは、前記永久磁石に向けて鋭角に形成されている、
　ことを特徴とする付記２又は４に記載の磁気力型駆動装置。

（付記７）
　前記第１の端部は、複数の突起を有して形成されている、
　ことを特徴とする付記１乃至６の何れかに記載の磁気力型駆動装置。

（付記８）
　前記第１の可動板には、前記永久磁石が配置される空孔部が形成され、
　前記永久磁石は、前記第１の可動部の重心が前記第１の軸と略一致するように、前記空孔部に配置されている、
　ことを特徴とする付記１乃至７の何れかに記載の磁気力型駆動装置。

（付記９）
　前記第１の端部と前記第１の可動部との間には、非磁性材料で形成され、前記第１の可動部の揺動を所定の角度で規制する板状のストッパが配置されている、
　ことを特徴とする付記１乃至８の何れかに記載の磁気力型駆動装置。

（付記１０）
　前記ストッパと前記第１の枠体との間には、非磁性材料で形成されたスペーサが配置されている、
　ことを特徴とする付記９に記載の磁気力型駆動装置。

（付記１１）
　前記コイルは、前記第１のヨーク部にのみ巻回されている、
　ことを特徴とする付記１乃至１０の何れかに記載の磁気力型駆動装置。

（付記１２）
　前記第１の可動板と前記第１の枠体と前記第１の一対の梁部とは、単結晶シリコン基板で一体形成されている、
　ことを特徴とする付記１乃至１１の何れかに記載の磁気力型駆動装置。

（付記１３）
　前記第１の可動板と前記第１の枠体と前記第１の一対の梁部とは、金属基板で一体形成されている、
　ことを特徴とする付記１乃至１１の何れかに記載の磁気力型駆動装置。

（付記１４）
　前記第１の可動板と前記第１の枠体と前記第１の一対の梁部とは、ステンレス基板で一体形成されている、
　ことを特徴とする付記１乃至１１の何れかに記載の磁気力型駆動装置。

（付記１５）
　前記永久磁石の厚さは、１ｍｍ以下である、
　ことを特徴とする付記１乃至１４の何れかに記載の磁気力型駆動装置。

（付記１６）
　前記永久磁石は、サマリウムコバルト磁石から構成されている、
　ことを特徴とする付記１乃至１５の何れかに記載の磁気力型駆動装置。

（付記１７）
　前記永久磁石は、ネオジム磁石から構成されている、
　ことを特徴とする付記１乃至１５の何れかに記載の磁気力型駆動装置。

（付記１８）
　前記ヨークは、鉄系材料を含んで形成されている、
　ことを特徴とする付記１乃至１７の何れかに記載の磁気力型駆動装置。

（付記１９）
　前記ヨークは、フェライト材料を含んで形成されている、
　ことを特徴とする付記１乃至１７の何れかに記載の磁気力型駆動装置。

（付記２０）
　前記ヨークは、パーマロイ材料を含んで形成されている、
　ことを特徴とする１乃至１７の何れかに記載の磁気力型駆動装置。

（付記２１）
　付記１乃至２０の何れかに記載の磁気力型駆動装置と、
　前記第１の可動部に設けられ、入射した光を反射するミラーと、を備える、
　ことを特徴とする光走査装置。

（付記２２）
　前記第１の可動部は、
　非磁性材料で形成された第２の可動板を有する第２の可動部と、
　前記第１の可動板に固定され、前記第２の可動部の周縁を囲むように形成された第２の枠体と、
　前記第２の枠体と前記第２の可動板とを接続し、前記第２の可動部を、前記第２の枠体に対し、前記第１の軸と略垂直かつ前記第２の可動板の主面と略平行な第２の軸の回りに揺動可能に支持する第２の一対の梁部と、を更に備え、
　前記ミラーは、前記第２の可動部に設けられている、
　ことを特徴とする付記２１に記載の光走査装置。

（付記２３）
　前記第２の一対の梁部に接続され、前記第２の可動部を駆動する第２の駆動部を更に備える、
　ことを特徴とする付記２２に記載の光走査装置。

（付記２４）
　前記第２の駆動部は、圧電材料を備える、
　ことを特徴とする付記２３に記載の光走査装置。

（付記２５）
　前記ミラーは、銀合金で形成されている、
　ことを特徴とする付記２１乃至２４の何れかに記載の光走査装置。

（付記２６）
　前記ミラーは、アルミニウム合金で形成されている、
　ことを特徴とする付記２１乃至２４の何れかに記載の光走査装置。

（付記２７）
　変調された光束を生成する光束生成装置と、
　前記光束を反射及び走査する付記２１乃至２６の何れかに記載の光走査装置と、を備える、
　ことを特徴とする画像表示装置。

　本出願は、２０１０年３月２４日に出願された日本国特許出願２０１０－０６７８７７号に基づく。本明細書中に、それらの明細書、特許請求の範囲、図面全体を参照として取り込むものとする。

　本発明は、投射型ディスプレー等の画像表示装置に好適に適用される。

１　画像表示装置
４　光走査装置
５，５Ａ～５Ｇ　光走査装置
７，７Ａ～７Ｇ　磁気力型駆動装置
８　外部機器
９　スクリーン
１０　光束生成装置
１１　信号処理回路
１２　赤色レーザ
１３　緑色レーザ
１４　青色レーザ
１５　赤色レーザ駆動回路
１６　緑色レーザ駆動回路
１７　青色レーザ駆動回路
２０　コリメート光学系
２１，２２，２３　コリメータレンズ
３０　合成光学系
３１，３２，３３　ダイクロイックミラー
４０　水平走査部
４１　光走査ミラー
４２　水平走査駆動回路
４３　共振周波数調整回路
４５　水平走査同期回路
５０　垂直走査部
５１，５１Ｇ　光走査ミラー（ミラー）
５２　垂直走査駆動回路
５５　垂直走査同期回路
１００，１００Ｇ　第１の可動部
１１１，１１１Ｂ，１１１Ｇ　第１の可動板
１１１ａ　空孔部
１１２　第１の枠体
１１３　第１の一対の梁部
１２０　永久磁石
２００　第１の駆動部
２１０，２１０Ｃ～Ｆ　ヨーク
２１１　第１のヨーク部
２１１ａ　第１の端部
２１１ｂ　他端部
２１１ｃ，ｄ　突起
２１２　第２のヨーク部
２１２ａ　第２の端部
２１２ｂ　他端部
２１３　第３のヨーク部
２１３ａ　第３の端部
２１３ｂ　他端部
２１４　第４のヨーク部
２２０　コイル
２３０　支持部
２３１Ａ　ストッパ
２３１ａ　円孔
２３２Ａ　スペーサ
３００Ｇ　第２の可動部
３１１Ｇ　第２の可動板
３１２Ｇ　第２の枠体
３１３Ｇ　第２の一対の梁部
４００Ｇ　第２の駆動部
４１０Ｇ　下部電極
４２０Ｇ　圧電素子
４３０Ｇ　上部電極

Claims

　非磁性材料で形成された第１の可動板と、前記第１の可動板に固定され、前記第１の可動板の主面と略平行な方向に磁化した永久磁石と、を有する第１の可動部と、
　前記第１の可動部の周縁を囲むように形成された第１の枠体と、
　前記第１の枠体と前記第１の可動板とを接続し、前記第１の可動部を、前記第１の枠体に対し、前記第１の可動板の主面と略平行かつ前記永久磁石の磁化方向と略垂直な第１の軸の回りに揺動可能に支持する第１の一対の梁部と、
　ヨークと、前記ヨークを磁化させるコイルと、を有する第１の駆動部と、を備え、
　前記ヨークは、前記永久磁石の近傍に配置された第１の端部を有する第１のヨーク部と、前記永久磁石の一方の磁極に対して前記第１の端部の反対側に配置された第２の端部を有する第２のヨーク部と、を備え、
　前記第１の端部と前記第２の端部とは、互いに異種の極性に磁化することにより、前記第１の可動部を同一の揺動方向に駆動する、
　ことを特徴とする磁気力型駆動装置。
　前記ヨークは、前記永久磁石の他方の磁極に対して前記第１の端部の略反対側に配置された第３の端部を有する第３のヨーク部を更に備え、
　前記第１の端部と前記第３の端部とは、互いに異種の極性に磁化することにより、前記第１の可動部を同一の揺動方向に駆動する、
　ことを特徴とする請求項１に記載の磁気力型駆動装置。
　前記第１及び第２の端部の少なくとも一方は、前記永久磁石に向けて鋭角に形成されている、
　ことを特徴とする請求項１に記載の磁気力型駆動装置。
　前記第１、第２、及び第３の端部の少なくとも１つは、前記永久磁石に向けて鋭角に形成されている、
　ことを特徴とする請求項２に記載の磁気力型駆動装置。
　前記第１の端部は、複数の突起を有して形成されている、
　ことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の磁気力型駆動装置。
　前記第１の可動板には、前記永久磁石が配置される空孔部が形成され、
　前記永久磁石は、前記第１の可動部の重心が前記第１の軸と略一致するように、前記空孔部に配置されている、
　ことを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の磁気力型駆動装置。
　前記第１の端部と前記第１の可動部との間には、非磁性材料で形成され、前記第１の可動部の揺動を所定の角度で規制する板状のストッパが配置されている、
　ことを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の磁気力型駆動装置。
　請求項１乃至７の何れか１項に記載の磁気力型駆動装置と、
　前記第１の可動部に設けられ、入射した光を反射するミラーと、を備える、
　ことを特徴とする光走査装置。
　前記第１の可動部は、
　非磁性材料で形成された第２の可動板を有する第２の可動部と、
　前記第１の可動板に固定され、前記第２の可動部の周縁を囲むように形成された第２の枠体と、
　前記第２の枠体と前記第２の可動板とを接続し、前記第２の可動部を、前記第２の枠体に対し、前記第１の軸と略垂直かつ前記第２の可動板の主面と略平行な第２の軸の回りに揺動可能に支持する第２の一対の梁部と、を更に備え、
　前記ミラーは、前記第２の可動部に設けられている、
　ことを特徴とする請求項８に記載の光走査装置。
　変調された光束を生成する光束生成装置と、
　前記光束を反射及び走査する請求項８又は９に記載の光走査装置と、を備える、
　ことを特徴とする画像表示装置。