WO2022180822A1 - アクチュエーター - Google Patents

アクチュエーター Download PDF

Info

Publication number
WO2022180822A1
WO2022180822A1 PCT/JP2021/007501 JP2021007501W WO2022180822A1 WO 2022180822 A1 WO2022180822 A1 WO 2022180822A1 JP 2021007501 W JP2021007501 W JP 2021007501W WO 2022180822 A1 WO2022180822 A1 WO 2022180822A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
electromagnet
axis
mirror
actuator
reference plane
Prior art date
Application number
PCT/JP2021/007501
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
新吾 岩崎
清朗 大島
友崇 矢部
Original Assignee
パイオニア株式会社
パイオニアスマートセンシングイノベーションズ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by パイオニア株式会社, パイオニアスマートセンシングイノベーションズ株式会社 filed Critical パイオニア株式会社
Priority to US18/277,876 priority Critical patent/US20240126068A1/en
Priority to JP2023501983A priority patent/JPWO2022180822A1/ja
Priority to PCT/JP2021/007501 priority patent/WO2022180822A1/ja
Priority to EP21927922.1A priority patent/EP4300795A1/en
Publication of WO2022180822A1 publication Critical patent/WO2022180822A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/085—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners

Definitions

  • the present invention relates to actuators.
  • Movable mirrors are used in measuring devices that scan and measure a predetermined area with light, in order to change the direction of light emission.
  • Patent Document 1 describes an optical scanning device that causes a permanent magnet fixed to a mirror and an electromagnet to interact with each other to generate driving torque on the mirror.
  • the miniaturization of the actuator that drives the mirror is important for the miniaturization of the entire measuring device including it.
  • two sets of electromagnets are required, which poses a problem of increasing the size of the actuator.
  • One example of the problem to be solved by the present invention is miniaturization of the actuator that biaxially drives the mirror.
  • the invention according to claim 1, a mirror provided with a permanent magnet and capable of swinging with respect to a reference plane with a first axis and a second axis non-parallel to the first axis as swing axes; a first electromagnet for oscillating the mirror about the first axis; a second electromagnet for swinging the mirror about the second axis; (A) the first electromagnet is not symmetrical about the first axis when viewed in a direction perpendicular to the reference plane; and (B) when viewed in a direction perpendicular to the reference plane, the first electromagnet
  • the second electromagnet is an actuator that satisfies at least one of the following conditions: the second electromagnet is not line-symmetrical with respect to the second axis.
  • FIG. 3 is a plan view illustrating a structure including mirrors, an outer frame, and an inner frame; 3 is a perspective view illustrating structures of a first electromagnet and a second electromagnet;
  • FIG. 10 is a diagram showing a comparative example of arrangement of electromagnets;
  • FIG. 10 is a diagram showing a comparative example of arrangement of electromagnets;
  • FIG. 10 is a diagram showing a modification of the cross-sectional shape of the yoke of the second electromagnet; It is a figure which shows the modification of the winding method of a coil.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating the shape of a second electromagnet according to the second embodiment; It is a figure which shows the modification of the shape of the 2nd electromagnet which concerns on 2nd Embodiment. It is a figure which shows the modification of the shape of the 2nd electromagnet which concerns on 2nd Embodiment. It is a figure which shows the modification of the shape of the 2nd electromagnet which concerns on 2nd Embodiment. It is a figure which shows the modification of the shape of the 2nd electromagnet which concerns on 2nd Embodiment. It is a figure which shows the modification of the shape of the 2nd electromagnet which concerns on 2nd Embodiment.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating the configuration of an actuator according to a third embodiment; It is a figure which illustrates the structure of the 1st electromagnet which concerns on 4th Embodiment.
  • FIG. 1 and 2 are diagrams illustrating the configuration of an actuator 10 according to the first embodiment.
  • 1 is a plan view of the actuator 10
  • FIG. 2 is a side view of the actuator 10.
  • FIG. In each figure, an x-axis, a y-axis, and a z-axis are also shown as three mutually orthogonal axes.
  • the x-axis is parallel to the first axis 201 and the y-axis is parallel to the second axis 202 .
  • 3 is a plan view illustrating structure 12 including mirror 20, outer frame 50, and inner frame 60.
  • FIG. 4 is a perspective view illustrating the structure of the first electromagnet 30 and the second electromagnet 40.
  • the actuator 10 includes a mirror 20 , a first electromagnet 30 and a second electromagnet 40 .
  • a permanent magnet 21 is provided on the mirror 20 .
  • the mirror 20 can swing with respect to the reference plane 101 with a first axis 201 and a second axis 202 as swing axes.
  • the first axis 201 and the second axis 202 are non-parallel.
  • the first electromagnet 30 swings the mirror 20 about the first axis 201 .
  • the second electromagnet 40 causes the mirror 20 to oscillate about the second axis 202 . At least one of the following (A) and (B) is established in the actuator 10 .
  • the first electromagnet 30 is not line-symmetrical with respect to the first axis 201 when viewed from the direction (z-axis direction) perpendicular to the reference plane 101 .
  • the second electromagnet 40 is not line-symmetrical with respect to the second axis 202 when viewed from the direction perpendicular to the reference plane 101 .
  • the mirror 20 has a reflecting surface 22, and a permanent magnet 21 is fixed at the center of the surface opposite to the reflecting surface 22.
  • a first pole 211 which is one pole of the permanent magnet 21, faces the mirror 20, and a second pole 212, which is the other pole, faces the opposite side of the mirror 20, that is, the first electromagnet 30 and the second pole. It faces the side where the electromagnet 40 is provided.
  • the reference plane 101 is a plane including the reflecting surface 22 of the mirror 20 in a state in which no current is flowing in the coils of all the electromagnets provided in the actuator 10, that is, in a reference state in which the permanent magnets 21 are not subjected to force. . 1 and 2 both show the reference state.
  • a reference plane 101 is parallel to the xy plane.
  • the actuator 10 is a biaxial actuator and can swing the mirror 20 about the first axis 201 and the second axis 202 . Thereby, the direction of the light reflected by the reflecting surface 22 of the mirror 20 can be changed two-dimensionally.
  • the first axis 201 and the second axis 202 are substantially vertical or vertical.
  • the coil 32 is wound around at least part of the yoke 34.
  • a magnetic flux is generated between the ends 341 and 342 by the current flowing through the coil 32 .
  • the mirror 20 can be oscillated about the first axis 201 .
  • the coil 42 is wound around at least part of the yoke 44 .
  • a magnetic flux extending from the first end 441 and the second end 442 is generated by the current flowing through the coil 42 .
  • the mirror 20 can be oscillated about the second axis 202 .
  • FIGS. 5 and 6 are diagrams showing comparative examples of the arrangement of electromagnets. 5 and 6 each show two electromagnets for oscillating a mirror (not shown) about two axes.
  • the electromagnet 91 drives the mirror with the axis 910 as the swing axis
  • the electromagnet 92 drives the mirror with the axis 920 as the swing axis.
  • the electromagnet 91 is symmetrical about the axis 910 and the electromagnet 92 is symmetrical about the axis 920 .
  • FIG. 5 each show two electromagnets for oscillating a mirror (not shown) about two axes.
  • the electromagnet 91 drives the mirror with the axis 910 as the swing axis
  • the electromagnet 92 drives the mirror with the axis 920 as the swing axis.
  • the electromagnet 91 is symmetrical about the axis 910
  • the electromagnet 92 is symmetrical about the axis 920
  • the electromagnet 93 drives the mirror with the axis 930 as the swing axis
  • the electromagnet 94 drives the mirror with the axis 940 as the swing axis.
  • the electromagnet 93 is symmetrical about the axis 930
  • the electromagnet 94 is symmetrical about the axis 940 .
  • two magnetic flux generating ends are provided for each of the swing shafts and arranged symmetrically. As a result, one electromagnet must straddle the other to avoid structural interference with each other. Such a structure inevitably results in an increase in size as a whole.
  • the actuator 10 by arranging a plurality of electromagnets asymmetrically, it is possible to avoid increasing the size of the actuator 10 .
  • first electromagnet 30 and the second electromagnet 40 each have a coil and a yoke.
  • first electromagnet 30 comprises coil 32 and yoke 34 .
  • a second electromagnet 40 comprises a coil 42 and a yoke 44 .
  • the first electromagnet 30 is U-shaped or C-shaped and the second electromagnet 40 is I-shaped.
  • both ends (end portion 341 and end portion 342) of the yoke 34 of the first electromagnet 30 face each other with at least part of the permanent magnet 21 interposed therebetween when viewed from the direction perpendicular to the reference plane 101.
  • the yoke 44 of the second electromagnet 40 has a first end 441 located on the side of the reference plane 101 with the coil 42 of the second electromagnet 40 as a reference when viewed in a direction parallel to the reference plane 101 and and a second end 442 located on the opposite side. At least a portion of the first end portion 441 overlaps the second end portion 442 when viewed from the direction perpendicular to the reference plane 101 .
  • End 341, end 342, first end 441, and second end 442 are all magnetic flux generating ends.
  • (A) above does not hold, and (B) holds. However, it may be a configuration in which (A) holds and (B) does not hold, or a configuration in which both (A) and (B) hold.
  • the first electromagnet 30 does not surround the second electromagnet 40. Specifically, the first electromagnet 30 and the second electromagnet 40 do not overlap each other when viewed from at least one direction parallel to the reference plane 101 (for example, the y-axis direction).
  • the portion of the yoke 34 of the first electromagnet 30 around which the coil 32 is wound extends parallel to the reference plane 101 .
  • the coil 32 is located on the opposite side of the second electromagnet 40 with respect to the second axis 202 when viewed from the direction perpendicular to the reference plane 101 .
  • the ends 341 and 342 are closer to the mirror 20 than the coil 32 is.
  • a yoke 44 of the second electromagnet 40 extends in a direction perpendicular to the reference plane 101 , and only one end of the yoke 44 faces the mirror 20 .
  • the cross section of the yoke 44 around which the coil 42 is wound is square.
  • the number of magnetic flux generating ends facing structure 12 differs between first electromagnet 30 and second electromagnet 40 .
  • FIG. Actuator 10 further comprises outer frame 50 , torsion bars 52 , inner frame 60 and torsion bars 62 .
  • the outer frame 50 and inner frame 60 are connected via two torsion bars 52 .
  • the inner frame 60 and mirror 20 are connected via two torsion bars 62 .
  • Outer frame 50, torsion bar 52, inner frame 60, torsion bar 62, and mirror 20 are integrally formed by, for example, microfabrication of a semiconductor wafer, and actuator 10 is a MEMS actuator.
  • the first electromagnet 30 and the second electromagnet 40 are mounted on one side of the structure 12 including the outer frame 50, the torsion bar 52, the inner frame 60, the torsion bar 62, and the mirror 20. is located.
  • the outer frame 50 is fixed to the housing (not shown) of the actuator 10.
  • the inner frame 60 can swing with respect to the outer frame 50 with the first shaft 201 as a swing axis.
  • Two torsion bars 52 coincide with the first axis 201 . That is, the two torsion bars 52 overlap along the first axis 201 , and the inner frame 60 swings with respect to the outer frame 50 as the torsion bars 52 twist.
  • the mirror 20 can swing with respect to the inner frame 60 with the second axis 202 as a swing axis.
  • Two torsion bars 62 coincide with the second axis 202 .
  • the two torsion bars 62 overlap along the second axis 202 , and the mirror 20 swings with respect to the inner frame 60 as the torsion bars 62 twist.
  • the torsion bars 52 and 62 are not twisted, and one surface of the outer frame 50 , the inner frame 60 and the mirror 20 are positioned on the same plane as the reference surface 101 .
  • the magnetic flux is applied not only to the surfaces of the ends 341 and 342 facing each other (the surfaces perpendicular to the y-axis in the example of this figure) but also to the sides of the ends 341 and 342 (in the example of this figure). It can extend from the plane perpendicular to the x-axis) or the upper surface (the plane perpendicular to the z-axis in the example of this figure). These magnetic fluxes act on permanent magnet 21 to drive mirror 20 .
  • the center of the first end 441 and the center of the mirror 20 do not overlap. That is, the first end 441 and the mirror 20 are misaligned. Specifically, in the example of this figure, the center of the first end portion 441 is shifted from the center of the mirror 20 in the direction perpendicular to the second axis 202 (x-axis direction). On the other hand, the center of the first end portion 441 is not deviated from the center of the mirror 20 in the direction parallel to the second axis 202 (y-axis direction).
  • the magnetic flux is applied to the upper surface of the first end portion 441 (the surface perpendicular to the z-axis in the example of this drawing), the lower surface of the second end portion 442 (the surface perpendicular to the z-axis in the example of this drawing), and the first end It can extend from the side surface of the portion 441 and the second end portion 442 (the plane perpendicular to the y-axis or the x-axis in the example of this figure). These magnetic fluxes act on permanent magnet 21 to drive mirror 20 .
  • the reflecting surface 22 can be oriented in a desired direction.
  • the second electromagnet 40 drives the mirror 20 to oscillate at the resonance frequency.
  • the mirror 20 drives the mirror 20 to oscillate at the resonance frequency.
  • the driving force tends to be smaller than in the case.
  • the mirror 20 can be sufficiently driven with a small force.
  • FIG. 7 is a diagram showing a modification of the cross-sectional shape of the yoke of the second electromagnet 40.
  • FIG. 8 is a diagram showing a modification of the winding method of the coil 42.
  • the coil 42 is lap wound around the yoke 44 in the second electromagnet 40 .
  • the magnetic force generated by the second electromagnet 40 can be strengthened.
  • the mirror 20 can be sufficiently driven.
  • At least one of the above (A) and (B) is established.
  • the degree of freedom in arranging the two electromagnets in the design is increased, and the actuator 10 can be miniaturized.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating the shape of the second electromagnet 40 according to the second embodiment.
  • the actuator 10 according to this embodiment is the same as the actuator 10 according to the first embodiment except for the shape of the second electromagnet 40 described below. 9 to 16 described below, the upper portion of each drawing shows a plan view of the second electromagnet 40, and the lower portion thereof shows a side view.
  • At least one of the first end portion 441 and the second end portion 442 is provided with a protruding portion 444 protruding toward the permanent magnet 21 when viewed from the direction perpendicular to the reference plane 101 .
  • the protruding portion 444 By providing the protruding portion 444 , the magnetic flux generating end portion of the yoke 44 and the permanent magnet 21 can be brought closer, and the driving force of the mirror 20 can be strengthened.
  • the portion where the coil 42 is wound becomes thick, and it becomes necessary to separate the central axis of the yoke 44 from the permanent magnet 21 . Even in such a case, the magnetic flux can sufficiently act on the permanent magnet 21 by providing the projecting portion 444 .
  • the first end portion 441 is provided with the projecting portion 444 .
  • the driving force can be strengthened more effectively.
  • the size and weight of the actuator 10 can be reduced as compared with the case where the projecting portion 444 is provided.
  • 10 to 16 are diagrams showing modified examples of the shape of the second electromagnet 40 according to this embodiment. They will be explained in order below.
  • the protruding portion 444 protrudes not only toward the permanent magnet 21 but also toward the y-axis direction.
  • the projecting portion 444 also projects to the side opposite to the permanent magnet 21 side. By widening the projecting portion 444, the driving force can be increased.
  • the second end 442 is provided with the projecting portion 444 . Even with such a configuration, the driving force of the mirror 20 by the second electromagnet 40 can be strengthened.
  • the shape of the projecting portion 444 on the second end portion 442 side is also not particularly limited, and may be, for example, as shown in FIG. 10 or 11 .
  • protrusions 444 are provided on both the first end 441 and the second end 442 . By doing so, the driving force can be stronger than in the case where only one of the protrusions 444 is provided.
  • the projecting portion 444 on the first end portion 441 side and the projecting portion 444 on the second end portion 442 side have the same shape.
  • the projecting portion 444 on the first end portion 441 side and the projecting portion 444 on the second end portion 442 side have different shapes.
  • the same actions and effects as those of the first embodiment can be obtained.
  • at least one of the first end portion 441 and the second end portion 442 is provided with a protruding portion 444 protruding toward the permanent magnet 21 when viewed from the direction perpendicular to the reference plane 101 .
  • the magnetic flux of the second electromagnet 40 can be made to act more strongly on the permanent magnet 21 to strengthen the driving force of the mirror 20 .
  • FIG. 17 is a diagram illustrating the configuration of the actuator 10 according to the third embodiment.
  • the actuator 10 according to this embodiment is the same as the actuator 10 according to at least one of the first and second embodiments, except that the first electromagnet 30 drives the mirror 20 to oscillate at the resonance frequency. is.
  • the inner frame 60 can swing with respect to the outer frame 50 with the second shaft 202 as the swing axis.
  • Two torsion bars 52 coincide with the second axis 202 . That is, the two torsion bars 52 overlap along the second axis 202 , and the inner frame 60 swings with respect to the outer frame 50 as the torsion bars 52 twist.
  • the mirror 20 can swing with respect to the inner frame 60 with the first axis 201 as a swing axis.
  • Two torsion bars 62 coincide with the first axis 201 . That is, the two torsion bars 62 overlap along the first axis 201 and the mirror 20 swings with respect to the inner frame 60 as the torsion bars 62 twist.
  • FIG. 18 is a diagram illustrating the structure of the first electromagnet 30 according to this embodiment.
  • the actuator 10 according to this embodiment is the same as the actuator 10 according to at least one of the first to third embodiments except for the points described below.
  • the permanent magnets 21 are indicated by dashed lines.
  • the first electromagnet 30 consists of two electromagnets, an electromagnet 70 and an electromagnet 80 .
  • the yoke 34 of the first electromagnet 30 is split in two.
  • the first electromagnet 30 as a whole is line-symmetrical with respect to the first axis 201 .
  • Electromagnet 70 and electromagnet 80 each extend parallel to first axis 201 when viewed from a direction perpendicular to reference plane 101 .
  • the first electromagnet 30 does not overlap the first axis 201 when viewed from the direction perpendicular to the reference plane 101 .
  • the electromagnet 70 has a coil 72 and a yoke 74
  • the electromagnet 80 has a coil 82 and a yoke 84.
  • Coil 72 is wound around at least a portion of yoke 74
  • Coil 82 is wound around at least a portion of yoke 84 .
  • the first electromagnet 30 functions in the same manner as the first electromagnet 30 according to the first embodiment. Specifically, the end portion 741 and the end portion 841 are opposed to form a pair.
  • the end 741 of the electromagnet 70 functions as the end 341 described in the first embodiment
  • the end 841 of the electromagnet 80 functions as the end 342 described in the first embodiment.
  • the same actions and effects as those of the first embodiment can be obtained.
  • the yoke 34 of the first electromagnet 30 is split in two. By doing so, the degree of freedom in arranging the two electromagnets in the design is further increased, and the actuator 10 can be made more compact.
  • the actuator 10 may further include, in addition to the constituent elements shown in the drawing, a portion that supports each constituent element, wiring, a control section, and the like. Further, the shapes of the mirror 20, the first electromagnet 30, the second electromagnet 40, the structure 12, etc. are not limited to the example of this embodiment.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

アクチュエーター（１０）は、ミラー（２０）、第１の電磁石（３０）、および第２の電磁石（４０）を備える。ミラー（２０）には、永久磁石（２１）が設けられている。ミラー（２０）は、基準面（１０１）に対し、第１の軸（２０１）と第１の軸（２０１）に非平行な第２の軸（２０２）とを揺動軸として揺動可能である。第１の電磁石（３０）は、ミラー（２０）を、第１の軸（２０１）に対して揺動させる。第２の電磁石（４０）は、ミラー（２０）を、第２の軸（２０２）に対して揺動させる。そして、アクチュエーター（１０）において、以下の（Ａ）および（Ｂ）の少なくともいずれかが成り立つ。（Ａ）基準面（１０１）に垂直な方向から見て、第１の電磁石（３０）は第１の軸（２０１）に対して線対称ではない。（Ｂ）基準面（１０１）に垂直な方向から見て、第２の電磁石（４０）は第２の軸（２０２）に対して線対称ではない。

Description

アクチュエーター
　本発明は、アクチュエーターに関する。
　光で所定の領域を走査して測定する測定装置等では、光の出射方向を可変とするために可動ミラーが用いられる。
　特許文献１には、ミラーに固定された永久磁石と、電磁石とを相互作用させて、ミラーに駆動トルクを生じさせる光走査装置が記載されている。
特開２００９－６９６７６号公報
　ミラーを駆動するアクチュエーターの小型化が、それを含む測定装置等の全体の小型化のために重要である。一方、ミラーを二軸に対して駆動しようとすると、二組の電磁石が必要となり、アクチュエーターが大型化するという問題があった。
　本発明が解決しようとする課題としては、ミラーを二軸駆動するアクチュエーターを小型化することが一例として挙げられる。
　請求項１に記載の発明は、
　永久磁石が設けられ、基準面に対し、第１の軸と前記第１の軸に非平行な第２の軸とを揺動軸として揺動可能なミラーと、
　前記ミラーを、前記第１の軸に対して揺動させる第１の電磁石と、
　前記ミラーを、前記第２の軸に対して揺動させる第２の電磁石とを備え、
　（Ａ）前記基準面に垂直な方向から見て、前記第１の電磁石は前記第１の軸に対して線対称ではない、および（Ｂ）前記基準面に垂直な方向から見て、前記第２の電磁石は前記第２の軸に対して線対称ではない、の少なくともいずれかが成り立つ
アクチュエーターである。
第１の実施形態に係るアクチュエーターの構成を例示する図である。 第１の実施形態に係るアクチュエーターの構成を例示する図である。 ミラー、外側フレーム、および内側フレームを含む構造体を例示する平面図である。 第１の電磁石および第２の電磁石の構造を例示する斜視図である。 電磁石の配置の比較例を示す図である。 電磁石の配置の比較例を示す図である。 第２の電磁石のヨークの断面形状の変形例を示す図である。 コイルの巻き方の変形例を示す図である。 第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状を例示する図である。 第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。 第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。 第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。 第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。 第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。 第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。 第２の実施形態に係る第２の電磁石の形状の変形例を示す図である。 第３の実施形態に係るアクチュエーターの構成を例示する図である。 第４の実施形態に係る第１の電磁石の構造を例示する図である。
　以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
（第１の実施形態）
　図１および図２は、第１の実施形態に係るアクチュエーター１０の構成を例示する図である。図１はアクチュエーター１０の平面図であり、図２は、アクチュエーター１０の側面図である。各図には互いに直交する３軸としてｘ軸、ｙ軸、およびｚ軸をあわせて示している。本実施形態において、ｘ軸は第１の軸２０１に平行であり、ｙ軸は第２の軸２０２に平行である。また、図３は、ミラー２０、外側フレーム５０、および内側フレーム６０を含む構造体１２を例示する平面図である。図４は、第１の電磁石３０および第２の電磁石４０の構造を例示する斜視図である。
　本実施形態に係るアクチュエーター１０は、ミラー２０、第１の電磁石３０、および第２の電磁石４０を備える。ミラー２０には、永久磁石２１が設けられている。ミラー２０は、基準面１０１に対し、第１の軸２０１と第２の軸２０２とを揺動軸として揺動可能である。第１の軸２０１と第２の軸２０２とは非平行である。第１の電磁石３０は、ミラー２０を、第１の軸２０１に対して揺動させる。第２の電磁石４０は、ミラー２０を、第２の軸２０２に対して揺動させる。そして、アクチュエーター１０において、以下の（Ａ）および（Ｂ）の少なくともいずれかが成り立つ。
（Ａ）基準面１０１に垂直な方向（ｚ軸方向）から見て、第１の電磁石３０は第１の軸２０１に対して線対称ではない。
（Ｂ）基準面１０１に垂直な方向から見て、第２の電磁石４０は第２の軸２０２に対して線対称ではない。
　以下に詳しく説明する。
　ミラー２０は、反射面２２を有し、反射面２２とは反対側の面の中心には永久磁石２１が固定されている。永久磁石２１の一方の極である第１の極２１１がミラー２０側に向き、他方の極である第２の極２１２がミラー２０とは反対側、すなわち、第１の電磁石３０および第２の電磁石４０が設けられている側に向いている。基準面１０１は、アクチュエーター１０に設けられた全ての電磁石においてコイルに電流が流れていない状態、すなわち、永久磁石２１が力を受けていない基準状態における、ミラー２０の反射面２２を含む平面である。なお、図１および図２はいずれも基準状態を示している。基準面１０１はｘｙ平面に平行である。
　アクチュエーター１０は２軸アクチュエーターであり、ミラー２０を第１の軸２０１と第２の軸２０２に対して揺動させる事ができる。それにより、ミラー２０の反射面２２で反射された光の方向を２次元的に変化させることができる。本実施形態において、第１の軸２０１と第２の軸２０２とは略垂直または垂直である。
　第１の電磁石３０では、コイル３２がヨーク３４の少なくとも一部に巻きつけられている。コイル３２に電流が流れることにより、端部３４１と端部３４２との間に磁束が発生する。この磁束が永久磁石２１に作用することにより、ミラー２０を第１の軸２０１に対して揺動させる事ができる。また、第２の電磁石４０では、コイル４２がヨーク４４の少なくとも一部に巻きつけられている。コイル４２に電流が流れることにより、第１端部４４１および第２端部４４２から伸びる磁束が発生する。この磁束が永久磁石２１に作用する事により、ミラー２０を第２の軸２０２に対して揺動させる事ができる。
　上記した通り、本実施形態のアクチュエーター１０では、上記（Ａ）および（Ｂ）の少なくともいずれかが成り立つ。このように複数の電磁石を非対称に配置することにより、アクチュエーター１０の小型化を実現できる。
　図５および図６はそれぞれ、電磁石の配置の比較例を示す図である。図５および図６には、それぞれ、ミラー（不図示）を２軸について揺動させるための２つの電磁石が示されている。図５において、電磁石９１は軸９１０を揺動軸としてミラーの駆動を行い、電磁石９２は軸９２０を揺動軸としてミラーの駆動を行う。２つの電磁石をｚ軸方向から見ると、電磁石９１は軸９１０に対して線対称であり、かつ、電磁石９２は軸９２０に対して線対称である。また図６において、電磁石９３は軸９３０を揺動軸としてミラーの駆動を行い、電磁石９４は軸９４０を揺動軸としてミラーの駆動を行う。２つの電磁石をｚ軸方向から見ると、電磁石９３は軸９３０に対して線対称であり、かつ、電磁石９４は軸９４０に対して線対称である。これらの例では、揺動軸に対して磁束発生端部を２つずつ設け、対称的に配置している。その結果、互いの構造的な干渉を避けるために一方の電磁石を他方の電磁石がまたぐ必要が生じる。このような構造では、全体として大型化が避けられない。
　それに対し、本実施形態に係るアクチュエーター１０では、複数の電磁石を非対称に配置する事により、アクチュエーター１０の大型化を避けることができる。
　　図１、図２、および図４を参照し、第１の電磁石３０および第２の電磁石４０についてさらに説明する。本実施形態に係るアクチュエーター１０では、第１の電磁石３０および第２の電磁石４０はそれぞれコイルとヨークとを有する。具体的には、第１の電磁石３０はコイル３２およびヨーク３４を備える。第２の電磁石４０は、コイル４２およびヨーク４４を備える。第１の電磁石３０はＵ字型またはＣ字型であり、第２の電磁石４０はＩ字型である。具体的には、第１の電磁石３０のヨーク３４の両端（端部３４１および端部３４２）は、基準面１０１に垂直な方向から見て、永久磁石２１の少なくとも一部を挟んで互いに対向している。第２の電磁石４０のヨーク４４は、基準面１０１に平行な方向から見て、第２の電磁石４０のコイル４２を基準に、基準面１０１側に位置する第１端部４４１と、基準面１０１側とは反対側に位置する第２端部４４２とを有する。基準面１０１に垂直な方向から見て、第１端部４４１は少なくとも一部が第２端部４４２に重なる。端部３４１、端部３４２、第１端部４４１、および第２端部４４２はいずれも磁束発生端部である。
　図１の例においては、上記の（Ａ）が成り立たず、（Ｂ）が成り立つ。ただし、（Ａ）が成り立ち、（Ｂ）が成り立たない構成であっても良いし、（Ａ）と（Ｂ）の両方が成り立つ構成であっても良い。
　本実施形態において、第１の電磁石３０は第２の電磁石４０を囲っていない。具体的には、基準面１０１に平行な少なくともいずれかの方向（たとえばｙ軸方向）から見て、第１の電磁石３０と第２の電磁石４０とは互いに重ならない。本実施形態において、第１の電磁石３０のヨーク３４のうちコイル３２が巻かれている部分は基準面１０１に平行に延在している。基準面１０１に垂直な方向から見て、コイル３２は、第２の軸２０２を基準に第２の電磁石４０とは反対側に位置している。また、端部３４１および端部３４２はコイル３２よりもミラー２０に近い。第２の電磁石４０のヨーク４４は、基準面１０１に垂直な方向に延在しており、ヨーク４４の両端のうち、一方のみがミラー２０に対向している。本図の例において、コイル４２が巻かれている部分のヨーク４４の断面は正方形である。構造体１２に対向する磁束発生端部の数は、第１の電磁石３０と第２の電磁石４０とで異なっている。
　次に、図１および図３を参照し、ミラー２０、外側フレーム５０、および内側フレーム６０を含む構造体１２について説明する。アクチュエーター１０は、外側フレーム５０、トーションバー５２、内側フレーム６０、およびトーションバー６２をさらに備える。外側フレーム５０と内側フレーム６０は２つのトーションバー５２を介して接続されている。内側フレーム６０とミラー２０とは、２つのトーションバー６２を介して接続されている。外側フレーム５０、トーションバー５２、内側フレーム６０、トーションバー６２およびミラー２０は、たとえば半導体ウエハを微細加工することにより一体に構成されており、アクチュエーター１０はＭＥＭＳアクチュエーターである。本実施形態において、第１の電磁石３０および第２の電磁石４０は、外側フレーム５０、トーションバー５２、内側フレーム６０、トーションバー６２、およびミラー２０を含む構造体１２の一方の面側に、全体が位置している。
　たとえば外側フレーム５０は、アクチュエーター１０の筐体（不図示）に対して固定されている。内側フレーム６０は外側フレーム５０に対して第１の軸２０１を揺動軸として揺動可能である。２つのトーションバー５２は第１の軸２０１に一致する。すなわち２つのトーションバー５２は第１の軸２０１に沿って重なり、トーションバー５２のねじれを伴って内側フレーム６０が外側フレーム５０に対して揺動する。また、ミラー２０は内側フレーム６０に対して第２の軸２０２を揺動軸として揺動可能である。２つのトーションバー６２は第２の軸２０２に一致する。すなわち２つのトーションバー６２は第２の軸２０２に沿って重なり、トーションバー６２のねじれを伴ってミラー２０が内側フレーム６０に対して揺動する。上記した基準状態において、トーションバー５２およびトーションバー６２にはねじれが生じておらず、外側フレーム５０、内側フレーム６０およびミラー２０の一方の面は基準面１０１と同一平面上に位置する。
　図１および図２を参照し、第１の電磁石３０によるアクチュエーター１０の駆動について以下に説明する。第１の電磁石３０のコイル３２に電流が流れると、端部３４１と端部３４２との間に磁束が発生する。このとき端部３４１と端部３４２とは互いに異なる極となる。そして、端部３４１と端部３４２の内、第２の極２１２とは異極である端部側へ永久磁石２１が向くように、ミラー２０の向きが変化する。コイル３２に流す電流の向きおよび大きさを変化させることによりミラー２０の反射面２２の向きを制御する事ができる。なお、磁束は、端部３４１と端部３４２との互いに向かい合う面（本図の例においてｙ軸に垂直な面）のみならず、端部３４１および端部３４２の各側面（本図の例においてｘ軸に垂直な面）や上面（本図の例においてｚ軸に垂直な面）からも伸びうる。これらの磁束が永久磁石２１に作用してミラー２０を駆動する。
　第２の電磁石４０によるアクチュエーター１０の駆動について以下に説明する。基準面１０１に垂直な方向から見て、第１端部４４１の中心とミラー２０の中心とは重なっていない。すなわち、第１端部４４１とミラー２０とがずれている。本図の例において、具体的には、第１端部４４１の中心は、ミラー２０の中心から、第２の軸２０２と垂直な方向（ｘ軸方向）にずれている。一方、第１端部４４１の中心は、ミラー２０の中心から、第２の軸２０２と平行な方向（ｙ軸方向）にはずれていない。第２の電磁石４０のコイル４２に電流が流れると、第１端部４４１から伸びる磁束が発生する。この第１端部４４１からの磁束が永久磁石２１に作用する事によりミラー２０を第２の軸２０２に対して揺動させる。具体的には、第１端部４４１の極性が第２の極２１２と異極である場合、永久磁石２１が第１端部４４１側に向くようにミラー２０の向きが変化する。一方、第１端部４４１の極性が第２の極２１２と同極である場合、永久磁石２１が第１端部４４１から離れる方向に向くようにミラー２０の向きが変化する。コイル４２に流す電流の向きおよび大きさを変化させることによりミラー２０の反射面２２の向きを制御する事ができる。なお、磁束は、第１端部４４１の上面（本図の例においてｚ軸に垂直な面）、第２端部４４２の下面（本図の例においてｚ軸に垂直な面）や第１端部４４１および第２端部４４２の側面（本図の例においてｙ軸またはｘ軸に垂直な面）から伸びうる。これらの磁束が永久磁石２１に作用してミラー２０を駆動する。
　上記した第１の電磁石３０と第２の電磁石４０による駆動を同時に行うことにより、反射面２２を所望の方向へ向ける事ができる。
　本実施形態において、第２の電磁石４０はミラー２０を共振周波数で揺動するよう駆動する。第２の電磁石４０のように１つの磁束発生端部のみを永久磁石２１側に向けて駆動する場合、第１の電磁石３０のように２つの磁束発生端部を永久磁石２１に向けて駆動する場合よりも、駆動力が小さくなりやすい。それに対し、ミラー２０を共振周波数で揺動するよう駆動することで、小さな力でも十分にミラー２０を駆動する事ができる。
　図７は、第２の電磁石４０のヨークの断面形状の変形例を示す図である。本図の例では、第２の電磁石４０においてコイル４２が巻かれている部分のヨーク４４の断面は長方形である。そうすることにより、ヨークの断面積を大きくして第２の電磁石４０が発生させる磁力を強める事ができる。その結果、１つの磁束発生端部のみを永久磁石２１側に向けて駆動する場合でも、ミラー２０を十分に駆動することができる。
　図８は、コイル４２の巻き方の変形例を示す図である。本図の例では、第２の電磁石４０において、コイル４２はヨーク４４に対して重ね巻きされている。そうすることにより、第２の電磁石４０が発生させる磁力を強める事ができる。その結果、１つの磁束発生端部のみを永久磁石２１側に向けて駆動する場合でも、ミラー２０を十分に駆動することができる。
　以上、本実施形態によれば、上記した（Ａ）および（Ｂ）の少なくともいずれかが成り立つ。そうすることにより、設計における２つの電磁石の配置自由度が増し、アクチュエーター１０を小型化することができる。
（第２の実施形態）
　図９は、第２の実施形態に係る第２の電磁石４０の形状を例示する図である。本実施形態に係るアクチュエーター１０は、以下に説明する第２の電磁石４０の形状を除いて第１の実施形態に係るアクチュエーター１０と同じである。以下に説明する図９～図１６において、各図の上部分には第２の電磁石４０の平面図を示し、下部分には側面を示している。
　本実施形態において、第１端部４４１および第２端部４４２の少なくとも一方には、基準面１０１に垂直な方向から見て永久磁石２１側に突き出た突出部４４４が設けられている。突出部４４４が設けられていることにより、ヨーク４４の磁束発生端部と永久磁石２１とをより近づけて、ミラー２０の駆動力を強めることができる。また、コイル４２を重ね巻きした場合、コイル４２が巻かれた部分が太くなり、ヨーク４４の中心軸を永久磁石２１から離す必要が生じる。その場合でも、突出部４４４を設けることにより、永久磁石２１へ十分に磁束を作用させる事ができる。
　図９の例では、第１端部４４１のみに突出部４４４が設けられている。第１端部４４１に突出部４４４を設ける事により、より効果的に駆動力を強める事ができる。また、第２端部４４２に突出部４４４を設けない事により、設ける場合よりもアクチュエーター１０の小型化および軽量化を図れる。
　図１０～図１６は、本実施形態に係る第２の電磁石４０の形状の変形例をそれぞれ示す図である。以下に順に説明する。
　図１０の例では、突出部４４４は永久磁石２１側のみならず、ｙ軸方向側にも突出している。また、図１１の例では、突出部４４４はさらに永久磁石２１側とは反対側へも突出している。突出部４４４を広げる事により、駆動力をより強くする事ができる。
　図１２の例では、第２端部４４２のみに突出部４４４が設けられている。このような構成でも第２の電磁石４０によるミラー２０の駆動力を強める事ができる。なお、第２端部４４２側の突出部４４４の形状も特に限定されず、たとえば図１０または図１１の様であってもよい。
　図１３～図１６の例では、第１端部４４１と第２端部４４２の両方に突出部４４４が設けられている。そうすることにより、どちらか一方のみに突出部４４４を設ける場合よりも駆動力を強める事ができる。　図１３～図１５の例では、第１端部４４１側の突出部４４４と第２端部４４２側の突出部４４４とは、同じ形状である。図１６の例では、第１端部４４１側の突出部４４４と第２端部４４２側の突出部４４４とは、形状が異なる。
　以上、本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の作用および効果が得られる。くわえて、第１端部４４１および第２端部４４２の少なくとも一方に、基準面１０１に垂直な方向から見て永久磁石２１側に突き出た突出部４４４が設けられている。そうすることにより、第２の電磁石４０の磁束をより強く永久磁石２１に作用させてミラー２０の駆動力を強めることができる。
（第３の実施形態）
　図１７は、第３の実施形態に係るアクチュエーター１０の構成を例示する図である。本実施形態に係るアクチュエーター１０は、第１の電磁石３０がミラー２０を共振周波数で揺動するよう駆動する点を除いて、第１および第２の実施形態の少なくともいずれかに係るアクチュエーター１０と同じである。
　本実施形態において、内側フレーム６０は外側フレーム５０に対して第２の軸２０２を揺動軸として揺動可能である。２つのトーションバー５２は第２の軸２０２に一致する。すなわち２つのトーションバー５２は第２の軸２０２に沿って重なり、トーションバー５２のねじれを伴って内側フレーム６０が外側フレーム５０に対して揺動する。また、ミラー２０は内側フレーム６０に対して第１の軸２０１を揺動軸として揺動可能である。２つのトーションバー６２は第１の軸２０１に一致する。すなわち２つのトーションバー６２は第１の軸２０１に沿って重なり、トーションバー６２のねじれを伴ってミラー２０が内側フレーム６０に対して揺動する。
　以上、本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の作用および効果が得られる。
（第４の実施形態）
　図１８は、本実施形態に係る第１の電磁石３０の構造を例示する図である。本実施形態に係るアクチュエーター１０は、以下に説明する点を除いて第１から第３の実施形態の少なくともいずれかに係るアクチュエーター１０と同じである。本図において、永久磁石２１を破線で示している。
　本実施形態において、第１の電磁石３０は、電磁石７０および電磁石８０の２つの電磁石からなる。言い換えると、第１の電磁石３０のヨーク３４は２つに別れている。第１の電磁石３０は、全体として第１の軸２０１に対し線対称である。電磁石７０および電磁石８０は、それぞれ、基準面１０１に垂直な方向から見て第１の軸２０１に平行に延在している。基準面１０１に垂直な方向から見て、第１の電磁石３０は第１の軸２０１と重なっていない。
　電磁石７０はコイル７２およびヨーク７４を備え、電磁石８０はコイル８２およびヨーク８４を備える。コイル７２はヨーク７４の少なくとも一部に巻きつけられている。コイル８２はヨーク８４の少なくとも一部に巻きつけられている。本実施形態に係る構成でも、第１の電磁石３０は、第１の実施形態に係る第１の電磁石３０と同様に機能する。具体的には、端部７４１と端部８４１が対向して対を構成する。電磁石７０の端部７４１が第１の実施形態で説明した端部３４１として機能し、電磁石８０の端部８４１が第１の実施形態で説明した端部３４２として機能する。
　以上、本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の作用および効果が得られる。くわえて、第１の電磁石３０のヨーク３４は２つに別れている。そうすることにより、設計における２つの電磁石の配置自由度がさらに増し、アクチュエーター１０をより小型化することができる。
　以上、図面を参照して実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。たとえばアクチュエーター１０は、図に示した構成要素の他、各構成要素を支持する部分や配線、制御部等をさらに含んでも良い。また、ミラー２０、第１の電磁石３０、第２の電磁石４０、構造体１２等の形状は本実施形態の例に限定されない。
１０　アクチュエーター
１２　構造体
２０　ミラー
２１　永久磁石
２２　反射面
３０　第１の電磁石
３２　コイル
３４　ヨーク
４０　第２の電磁石
４２　コイル
４４　ヨーク
５０　外側フレーム
５２　トーションバー
６０　内側フレーム
６２　トーションバー
７０　電磁石
７２　コイル
７４　ヨーク
８０　電磁石
８２　コイル
８４　ヨーク
１０１　基準面
２０１　第１の軸
２０２　第２の軸
２１１　第１の極
２１２　第２の極
３４１　端部
３４２　端部
４４１　第１端部
４４２　第２端部
４４４　突出部

Claims (7)

  1. 　永久磁石が設けられ、基準面に対し、第１の軸と前記第１の軸に非平行な第２の軸とを揺動軸として揺動可能なミラーと、
    　前記ミラーを、前記第１の軸に対して揺動させる第１の電磁石と、
    　前記ミラーを、前記第２の軸に対して揺動させる第２の電磁石とを備え、
    　（Ａ）前記基準面に垂直な方向から見て、前記第１の電磁石は前記第１の軸に対して線対称ではない、および（Ｂ）前記基準面に垂直な方向から見て、前記第２の電磁石は前記第２の軸に対して線対称ではない、の少なくともいずれかが成り立つ
    アクチュエーター。
  2. 　請求項１に記載のアクチュエーターにおいて、
    　前記第１の電磁石および前記第２の電磁石はそれぞれコイルとヨークとを有し、
    　前記第１の電磁石のヨークの両端は、前記基準面に垂直な方向から見て、前記永久磁石の少なくとも一部を挟んで互いに対向し、
    　前記第２の電磁石のヨークは、前記基準面に平行な方向から見て、前記第２の電磁石のコイルを基準に、前記基準面側に位置する第１端部と、前記基準面側とは反対側に位置する第２端部とを有する
    アクチュエーター。
  3. 　請求項２に記載のアクチュエーターにおいて、
    　前記第２の電磁石は前記ミラーを共振周波数で揺動するよう駆動する
    アクチュエーター。
  4. 　請求項２または３に記載のアクチュエーターにおいて、
    　前記基準面に垂直な方向から見て、前記第１端部の中心と前記ミラーの中心とが重ならない
    アクチュエーター。
  5. 　請求項２～４のいずれか一項に記載のアクチュエーターにおいて、
    　前記第１端部および前記第２端部の少なくとも一方には、前記基準面に垂直な方向から見て前記永久磁石側に突き出た突出部が設けられている
    アクチュエーター。
  6. 　請求項２～５のいずれか一項に記載のアクチュエーターにおいて、
    　前記第２の電磁石においてコイルが巻かれている部分のヨークの断面は長方形である
    アクチュエーター。
  7. 　請求項２～６のいずれか一項に記載のアクチュエーターにおいて、
    　前記第２の電磁石において、コイルは重ね巻きされている
    アクチュエーター。
PCT/JP2021/007501 2021-02-26 2021-02-26 アクチュエーター WO2022180822A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US18/277,876 US20240126068A1 (en) 2021-02-26 2021-02-26 Actuator
JP2023501983A JPWO2022180822A1 (ja) 2021-02-26 2021-02-26
PCT/JP2021/007501 WO2022180822A1 (ja) 2021-02-26 2021-02-26 アクチュエーター
EP21927922.1A EP4300795A1 (en) 2021-02-26 2021-02-26 Actuator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2021/007501 WO2022180822A1 (ja) 2021-02-26 2021-02-26 アクチュエーター

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022180822A1 true WO2022180822A1 (ja) 2022-09-01

Family

ID=83049023

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2021/007501 WO2022180822A1 (ja) 2021-02-26 2021-02-26 アクチュエーター

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20240126068A1 (ja)
EP (1) EP4300795A1 (ja)
JP (1) JPWO2022180822A1 (ja)
WO (1) WO2022180822A1 (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009069676A (ja) 2007-09-14 2009-04-02 Ricoh Co Ltd 光走査装置
KR20100063997A (ko) * 2008-12-04 2010-06-14 삼성전자주식회사 광 주사 장치 및 주사 동기 신호 검출 방법
JP5720673B2 (ja) * 2010-03-24 2015-05-20 日本電気株式会社 磁気力型駆動装置、光走査装置、及び画像表示装置
JP6014234B2 (ja) * 2012-05-10 2016-10-25 パイオニア株式会社 駆動装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009069676A (ja) 2007-09-14 2009-04-02 Ricoh Co Ltd 光走査装置
KR20100063997A (ko) * 2008-12-04 2010-06-14 삼성전자주식회사 광 주사 장치 및 주사 동기 신호 검출 방법
JP5720673B2 (ja) * 2010-03-24 2015-05-20 日本電気株式会社 磁気力型駆動装置、光走査装置、及び画像表示装置
JP6014234B2 (ja) * 2012-05-10 2016-10-25 パイオニア株式会社 駆動装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20240126068A1 (en) 2024-04-18
EP4300795A1 (en) 2024-01-03
JPWO2022180822A1 (ja) 2022-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2013168264A1 (ja) 駆動装置
WO2013168266A1 (ja) 駆動装置
US8988750B2 (en) Optical scanner, mirror chip, method of manufacturing optical scanner, and image forming apparatus
WO2012070610A1 (ja) 光走査装置
JP2005173411A (ja) 光偏向器
US20070268099A1 (en) Actuator and two-dimensional scanner
WO2011061833A1 (ja) 駆動装置
WO2012172652A1 (ja) 駆動装置
JP2008000880A (ja) ２軸駆動型ｍｅｍｓデバイス
WO2014192193A1 (ja) 駆動装置
WO2013005527A1 (ja) 光走査装置、画像表示装置および光走査方法
JP6014234B2 (ja) 駆動装置
WO2022180822A1 (ja) アクチュエーター
JP2009109778A (ja) ミラーデバイス
JP6424477B2 (ja) Ｍｅｍｓ装置
JP4286553B2 (ja) プレーナー型アクチュエータ
JP2007094109A (ja) 光スキャナ
JP2021033087A (ja) ミラースキャナ
WO2022180736A1 (ja) アクチュエーター
JP5923933B2 (ja) ミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置
WO2022186178A1 (ja) アクチュエーター
WO2013168273A1 (ja) 駆動装置
WO2013168486A1 (ja) 駆動装置
JP5806089B2 (ja) プレーナ型電磁アクチュエータ
WO2013168275A1 (ja) 駆動装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 21927922

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 18277876

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2023501983

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2021927922

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2021927922

Country of ref document: EP

Effective date: 20230926