JP5064864B2 - 光偏向装置、画像形成装置、及び光偏向装置の駆動方法 - Google Patents

Description

本発明は、マイクロ構造体を有する光偏向装置、及び光偏向装置の駆動方法、及びこれを使用したレーザビームプリンタ等の画像形成装置に関するものである。

近年、光ビームを走査する光偏向装置は、光ディスク、バーコードリーダ、レーザビームプリンタやデジタル複写機等の画像形成装置などで用いられている。

このような光偏向装置として、代表的にはシリコンマイクロマシンニング技術を利用した、極小ミラーが共振駆動されるような共振型の光偏向装置が提案されている。

共振型光偏向装置は、ポリゴンミラー等の回転多面鏡を使用したものに比べて、光偏向装置を大幅に小型化することが可能である。また、消費電力が少ないこと、面倒れが理論的に存在しないこと、特に半導体プロセスによって製造されるＳｉ単結晶からなる光偏向装置は理論上金属疲労が無く耐久性にも優れていること等の特徴がある。

特許文献１では、基本周波数とその３倍の周波数の振動モードを有する共振型偏向器を用いることで、三角波駆動を実現している。図７に略三角波駆動を実現したマイクロミラーを示す。光偏向装置１２は、揺動体１４、１６、ねじりバネ１８、２０、駆動部２３、５０、検出部１５、３２、制御回路３０から構成される。このマイクロミラーは基本共振周波数と略３倍の共振周波数を持ち、基本周波数と３倍の周波数との合成周波数で駆動する。これにより、ミラー面を持つ揺動体１４は三角波駆動で駆動し、その偏向角は正弦駆動に比べ角速度の変化が少ない光偏向を実現する。その際、検出部１５、３２により揺動体１４の振動を検出し、制御回路３０により三角波実現のために必要な駆動信号を生成し、駆動部２３、５０によりマイクロミラーを駆動している。

また、特許文献２では、複数のねじりバネと複数の可動子からなる系が、分離した複数の固有振動モードを有するマイクロ揺動体が開示されている。このマイクロ揺動体では、分離した複数の固有振動モードの中に、基準周波数の固有振動モードである基準振動モードと、基準周波数の略偶数倍の周波数の固有振動モードである偶数倍振動モードが存在する。特許文献２では、これらの振動モードでマイクロ揺動体を振動させることで、鋸波駆動などを実現している。

また、特許文献３では、正弦波で駆動する偏向ミラーにより偏向された光ビームの走査位置を検知するために、偏向走査された光ビームが所定の位置を通過するときの時間を光センサにより検出し、当該時間を用いて偏向ミラーを制御している。

一方、共振型光偏向器の共振周波数は光偏向器を構成する揺動体の質量と、ねじりバネのバネ定数で決定されるが、このねじりバネのバネ定数は温度など環境変化により変動するため、共振型の光偏向器の共振周波数も環境変化により変動する。

このような光偏向器の共振周波数のずれを補正するために、光偏向器に発熱部を設けてねじりバネを加熱し共振周波数を調整する技術もある（特許文献４）。
米国特許４８５９８４６号 特開２００５−２０８５７８号公報 特開２００５−２９２６２７号公報 特開平９−１９７３３４号公報

上記文献により光偏向装置の揺動体の三角波駆動や鋸波駆動が実現しているが、揺動体の偏向角の制御性に関しては更なる改善が求められる。

特に、環境変化により光偏向器の共振周波数がずれた場合において、その偏向角の制御が重要な課題となる。

よって本発明は、光偏向器の共振周波数がずれた場合であっても、光偏向装置を精度よく制御することを目的としている。

上記課題に鑑み本発明に係る光偏向装置は次のように構成されている。

本発明に係る光偏向装置は、光ビームを発生する光源と、第１の揺動体と、第２の揺動体と、該第１の揺動体と該第２の揺動体とを接続する第１のねじりバネと、前記第２の揺動体に接続され且つ前記第１のねじりバネのねじり軸と共通するねじり軸を有する第２のねじりバネとを含み構成される光偏向器とを有する。更に、光偏向器に駆動力を印加する駆動部と、駆動部に駆動信号を供給する駆動制御部と、揺動体の偏向角を検出する偏向角検出部とを備える。

前記揺動体の一つの変位は、Ａ _１ 、Ａ _２ を振幅、φを相対位相差、ωを角周波数、ｔを時間とした場合、Ａ _１ ｓｉｎωｔ＋Ａ _２ ｓｉｎ（ｎωｔ＋φ）項を少なくとも含む数式（ｎは２以上の整数）で表され、前記揺動体の一つは第１及び第２の偏向角をとり、前記偏向角検出部は前記揺動体の一つが前記第１の偏向角をとるときの異なる第１及び第２の時間と、前記第２の偏向角をとるときの異なる第３及び第４の時間を検出可能であり、前記第２の時間と前記第１の時間の差を△ｔ _２ とし、前記第３の時間と前記第１の時間の差を△ｔ _３ とし、前記第４の時間と前記第１の時間の差を△ｔ _４ とした場合、
前記駆動制御部は、光偏向器の共振周波数に基づいて光偏向器を駆動する駆動信号の基準周波数を設定する。更に駆動制御部は、前記基準周波数に基づいて、前記△ｔ _２ 、△ｔ _３ 、△ｔ _４ の目標時間を算出し、前記揺動体の一つが前記目標時間で駆動するように前記Ａ _１ 、Ａ _２ 、φが設定された駆動信号を供給する。

また、本発明に係る画像形成装置は、前記のように構成される光偏向装置と光学系と感光体とを少なくとも有する。そして、本発明の画像形成装置は光源からの光ビームを光偏向器により走査し、光学系により感光体の目標位置に走査光を集光する。

また、本発明に係る複数の固有振動モードを有する光偏向器を含み構成される光偏向装置の駆動方法は、前記光偏向器の共振周波数を測定する工程、測定した共振周波数に基づいて前記光偏向器を駆動する基準周波数を設定する工程、を有し、前記光偏向器から変更された偏向光の変位は、Ａ _１ 、Ａ _２ を振幅、φを相対位相差、ωを角周波数、ｔを時間とした場合、Ａ _１ ｓｉｎωｔ＋Ａ _２ ｓｉｎ（ｎωｔ＋φ）項を少なくとも含む数式（ｎは２以上の整数）で表され、前記偏向光は第１及び第２の偏向角をとり、前記第１の偏向角をとるときの異なる第１及び第２の時間とし、前記第２の偏向角をとるときの異なる第３及び第４の時間とし、前記第２の時間と前記第１の時間の差を△ｔ _２ とし、前記第３の時間と前記第１の時間の差を△ｔ _３ とし、前記第４の時間と前記第１の時間の差を△ｔ _４ とした場合、前記基準周波数に基づいて、前記△ｔ _２ 、△ｔ _３ 、△ｔ _４ の目標時間を設定する工程と、前記光偏向器が前記目標時間で駆動するように前記Ａ _１ 、Ａ _２ 、φが設定された駆動信号を供給する工程と、を有する。

本発明により、光偏向器の共振周波数がずれた場合であっても、光偏向装置を精度よく制御することができる。

（装置全体構成）
本発明による光偏向装置のブロック図を図１に示す。光偏向器１００は、第１の揺動体１０１と、第２の揺動体１０２と、第１の揺動体と第２の揺動体とを接続する第１のねじりバネ１１１と、第２の揺動体に接続され且つ前記第１のねじりバネのねじり軸と共通するねじり軸を有する第２のねじりバネ１１２とを有する。

駆動部１２０は光偏向器１００に、電磁・静電・圧電などにより駆動力を印加することができるように構成されている。図１では、第２の揺動体１０２とその近傍に駆動部１２０を設けており、これらの駆動部１２０の組み合わせにより第２の揺動体１０２に駆動力を印加する。電磁力により光偏向器を駆動する場合は、例えば第２の揺動体１０２に磁石を設け、この磁石に駆動力を印加できる距離にコイルを設けてもよい。逆に、第２の揺動体１０２にコイルを設け、その近傍に磁石を設けてもよい。図１では第２の揺動体１０２に駆動部１２０を設けているが、本発明では第１の揺動体１０１に駆動部１２０を設けてもよい。

揺動体１０１は表面に反射ミラーを有し、光源１３１からの光ビーム１３２を偏向する。

光偏向器１００により偏向された偏向光１３３は受光素子を有する偏向角検出部１４０で受光され、そのタイミング情報を駆動制御部１５０へ出力する。

駆動制御部１５０は光偏向器１００を駆動するための駆動信号を生成し、この駆動信号を駆動部１２０に供給する。

更に駆動制御部１５０は、光偏向器を駆動する駆動信号の基準周波数を設定し、この基準周波数に基づいて、第１及び第２の揺動体の一つが所定の偏向角をとるときの目標時間を算出し、揺動体の一つが目標時間に所定の偏向角を通過するような駆動信号を供給する。

以下で本発明に係る光偏向装置について詳細に説明する。

（光偏向器）
本発明に係る光偏向器は、図１のように２つの揺動体１０１、１０２と２つのねじりバネ１１１、１１２とを含み構成される。

本実施形態の光偏向器の動作原理を説明する。一般に、ｎ個の揺動体とｎ個のねじりバネを含む振動系の自由振動の方程式は以下で与えられる。

ただし、Ｉ_ｋ：揺動体の慣性モ−メント、ｋ_ｋ：ねじりバネのバネ定数、θ_ｋ：揺動体のねじれ角である（ｋ＝１・・・ｎ）。この系のＭ^−１Ｋの固有値をλ_ｋとすると（ｋ＝１乃至ｎ）、固有振動モードの角振動数（角周波数）ω_ｋは、ω_ｋ＝√（λ_ｋ）で与えられる。

本発明の光偏向器は、２個の揺動体と２個のねじりバネとを含む２個の振動モードを有する振動系において、これらω_ｋの中に基本周波数とその整数倍の周波数があるように構成することで、揺動体に対して様々な運動をさせることができる。尚、本発明において整数倍とは略整数倍も含み、略整数倍とは基本周波数の０．９８ｎ〜１．０２ｎ倍程度（ｎは任意の整数）の数値範囲をいう。

特に、本実施形態の光偏向器を２個の揺動体と２個のねじりバネとで構成し、ω_ｋの中に基本周波数とその略２倍の周波数があるように構成することで、所定の範囲での揺動体の角速度の変動を抑えた略等角速度駆動を実現することができる。つまり、図４（ａ）に示すように基本周波数の正弦波であるＡ_１ｓｉｎωｔと、その２倍の周波数である正弦波Ａ_２ｓｉｎ（2ωｔ＋φ）との合成波Ａ_１ｓｉｎωｔ＋Ａ_２ｓｉｎ（2ωｔ＋φ）で駆動する。すると、図４（ｂ）に示すように、正弦波Ａ_１ｓｉｎωｔで駆動した場合よりも広い略等角速度領域で光偏向器を駆動することが可能となる。

図３は本発明の光偏向装置の具体的な構成図の一例である。図３（ａ）は光偏向器の上面図である。プレート部材３００はシリコンウェハをエッチング加工することで作製される。平板状の揺動体３０１は、図中の上下を２本のねじりバネ３１１ａ、３１１ｂで支持されている。揺動体３０１の上面には、光反射膜が成膜されている。枠形状の揺動体３０２は、その内側にねじりバネ３１１ａ、３１１ｂを支持しており、図中の上下を２本のねじりバネ３１２ａ、３１２ｂで支持されている。枠形状の支持枠は、その内側においてねじりバネ３１２ａ、３１２ｂを支持している。ここで、ねじりバネ３１１ａ、３１１ｂ、３１２ａ、３１２ｂのねじり軸は同一である。揺動体３０１、３０２及びねじりバネ３１１ａ、３１１ｂ、３１２ａ、３１２ｂは、上述の原理から２つの振動モードを有するが、それらの周波数が略２倍になるように調整が施される。

図３（ｂ）は、光偏向装置の駆動部を説明するための模式図である。図中プレート部材３００は、図３（ａ）の切断線３９０で切断した断面を図示している。揺動体３０２の下面には永久磁石３４１が接着されている。図中プレート部材３００は、透磁率の高い材料で作成されたヨーク３４４に接着されている。ヨーク３４４の、永久磁石３４１に相対する部位には、透磁率の高い材料で作成されたコア３４３が配置され、コア３４３の周囲にはコイル３４２が周回されている。永久磁石３４１、コイル３４２、コア３４３、ヨーク３４４は、電磁アクチュエータ３４０を構成しており、コイル３４２に電流を流すと、永久磁石３４１にトルクが作用し、揺動体３０１、３０２を駆動する。

（偏向角検出部）
図２を用いて偏向角検出部について説明する。揺動体１０１は表面に反射ミラーを有し、光源１３１からの光ビーム１３２を偏向する。

本発明に係る光偏向装置は例えば、図２（ａ）のように、第１及び第２の偏向角にそれぞれ第１及び第２の受光素子１４１、１４２を配置する構成としてもよい。

また、図２（ｂ）のように、第１及び第２の偏向角に反射部材１６０を設けて、それぞれの反射部材１６０で反射された光（反射光）を第１及び第２の受光素子１４１、１４２で受光する構成としてもよい。

また、図３（ｃ）のように、第１及び第２の偏向角に反射部材１６０を設けて、それぞれの反射部材１６０で反射された光（反射光）を１つの受光素子１４３で受光する構成としてもよい。この場合、受光素子は揺動体に対して、光源と反対側の領域に設ける。

尚、本実施形態では第１及び第２の偏向角で走査光の通過時間を測定する形態に限定されることなく、それよりも多くの偏向角で走査光の通過時間を測定してもよい。

更に、揺動体の偏向角を検出する手段として、上記以外にピエゾ抵抗体を用いる方法がある。ピエゾ抵抗体を用いて揺動体の偏向角を検出する場合は、例えばねじりバネ１１１、１１２にピエゾ抵抗体を設け、このピエゾ抵抗体から出力される信号に基づき揺動体がある偏向角をとるときの時間を検出する。ピエゾ抵抗体は例えばｐ型の単結晶シリコンにリンを拡散することで作製する。ピエゾ抵抗体は、ねじりバネのねじれ角に応じて信号を出力する。したがって、揺動体の偏向角を測定する場合は、ピエゾ抵抗体を複数のねじりバネに設け、複数のねじりバネのねじれ角の情報に基づいて揺動体の偏向角を求めると精度良く測定することができる。

上記手段により検知された、揺動体が所定の偏向角をとるときの時間情報は駆動制御部１５０に出力される。

（駆動制御部）
駆動制御部１５０は、光偏向器の共振周波数に基づいて駆動信号の基準周波数を設定する。ここで、基準周波数は基本的には光偏向器１００の共振周波数である。ただし、光偏向器を十分効率よく駆動できる場合は、基準周波数を光偏向器の共振周波数のピークはから若干ずれた値に設定してもよい。

光偏向器１００の共振周波数は光偏向器を構成する揺動体１０１、１０２の慣性モーメントとねじりバネ１１１、１１２のバネ定数で決定される。また、光偏向器の共振周波数は温度などによっても変動する。

本発明の場合、共振周波数を予測して光偏向器を設計することができ、例えば環境温度に対する光偏向器の共振周波数のテーブルを予め用意し、光偏向器の温度を測定することでこのテーブルから共振周波数を得ることができる。例えば、このテーブルを駆動制御部１５０に格納し、光偏向器の近くに温度センサを設ける構成とすることで、駆動制御部１５０は共振周波数の情報を得ることができる。

また、光偏向器をある程度の幅の周波数で駆動し、そのときに得られる駆動周波数と変位量の関係から（つまり変位量が最大になる周波数が共振周波数）求めることもできる。

また、光偏向器を駆動した後、駆動を停止して、光偏向器の減衰から求めてもよい。この場合、例えば駆動コイルの逆起電力から共振周波数を測定することができる。

共振周波数を測定する場合は、共振周波数測定部（図示しない）を別途設けてもよい。

駆動制御部１５０は、設定した基準周波数に基づいて、揺動体の一つが所定の偏向角をとるときの目標時間を算出する。

この場合、図４（ｂ）のようにその駆動周波数において広範囲の略等角速度領域を得ることができるような目標時間を設定する。

そして、駆動制御部１５０は、揺動体の一つが目標時間に所定の偏向角を通過するような駆動信号を駆動部１２０に供給する。

また、揺動体の一つの変位は、Ａ_１、Ａ_２を振幅、φを相対位相差、ωを角周波数、ｔを時間とした場合、Ａ_１ｓｉｎωｔ＋Ａ_２ｓｉｎ（ｎωｔ＋φ）項を少なくとも含む数式（ｎは２以上の整数）で表すことができる。

また駆動制御部１５０は、基準周波数に基づいて算出した目標時間と、揺動体が所定の偏向角をとるときの時間情報とに基づき、駆動信号を決定することができる。つまり、基準周波数に基づいて算出した目標時間と、駆動信号を変更する前に検出される揺動体が所定の偏向角をとるときの時間情報とを比較して、その差の値から目標時間で駆動するための駆動信号を求めることができる。

また駆動制御部１５０は、基準周波数に基づいて算出した目標時間と揺動体が所定の偏向角をとるときの時間情報に基づき、Ａ_１ｓｉｎωｔ＋Ａ_２ｓｉｎ（ｎωｔ＋φ）項を少なくとも含む数式のＡ_１、Ａ_２、φが所定の値となるような駆動信号を供給可能である。この様に、変更後の駆動信号で駆動することで、揺動体を目標とするＡ_１ｓｉｎωｔ＋Ａ_２ｓｉｎ（ｎωｔ＋φ）項を少なくとも含む数式で表されるような変位で駆動することができる。

また、揺動体の一つが第１及び第２の偏向角をとるとき、偏向角検出部は揺動体の一つが前記第１の偏向角をとるときの異なる第１及び第２の時間と、前記第２の偏向角をとるときの異なる第３及び第４の時間を検出可能である。

駆動制御部は、光偏向器の共振周波数に基づいて駆動信号の基準周波数を設定し、この基準周波数に基づいて上記第１乃至第４の時間の目標時間を算出することができる。そして、駆動制御部１５０は揺動体の一つが前記目標時間で駆動するような駆動信号を駆動部１２０に供給する。

また、例えば第２の時間と第1の時間の差を△ｔ_２、第３の時間と第1の時間の差を△ｔ_３、第４の時間と第1の時間の差を△ｔ_４とする。この場合、駆動制御部は、光偏向器の共振周波数に基づいて駆動信号の基準周波数を設定し、この基準周波数に基づいて３つの時間△ｔ_２、△ｔ_３、△ｔ_４の目標時間を算出することもできる。そして、駆動制御部１５０は、揺動体の一つが前記目標時間（△ｔ_２、△ｔ_３、△ｔ_４）で駆動するような駆動信号を駆動部１２０に供給する。

（駆動方法）
次に本発明に係る光偏向装置の駆動方法について図５を用いて説明する。本発明に係る光偏向装置も上述したような構成であり、以下の工程にしたがって駆動制御される。

まず、光偏向器の共振周波数を測定する。共振周波数は共振周波数測定回路４９０で測定される。

そして、設定した基準周波数に基づいて光偏向器から偏向された偏向光が所定の偏向角をとるときの目標時間を設定する。目標時間はコントローラ４００で算出され、算出された目標時間（４１０、４１１、４１２）はレジスタに設定される。

一方、時間測定部４２０は、第１、第２の受光素子１４１、１４２の出力から駆動中の光偏向器が所定の偏向角をとるときの時間情報を測定し、検出時間（４２１、４２２、４２３）として記憶される。

そして、設定した目標時間（４１０、４１１、４１２）と光偏向器が所定の偏向角をとるときの時間情報（検出時間（４２１、４２２、４２３））とから光偏向器を駆動する駆動信号を決定する。

駆動信号は、例えば目標時間（４１０、４１１、４１２）と検出時間（４２１、４２２、４２３）の差を求め、その値から求めることができる。

この様にして求めた駆動信号は、駆動部１２０へ供給され光偏向装置を駆動する。

（第１の実施例）
本発明の実施例１に係る光偏向装置について説明する。実施例１の光偏向装置のブロック図は図１に示されるものと同じである。また、偏向角検出部には２つの受光素子を用いる。受光素子の配置は、図２（ａ）に示す様な配置とする。

実施例１の光偏向器は、図３に示すものと同様である。本実施例においては、揺動体３０１、３０２及びねじりバネ３１１、３１２を含む光偏向器は、２つの振動モードを有するが、それらの周波数の一方が他方の略２倍になる様に調整が施されている。例として、揺動体３０１、３０２の慣性モ−メントをＩ_１、Ｉ_２とし、ねじりバネ３１１ａ、３１１ｂからなるバネ定数をｋ_１、ねじりバネ３１２ａ、３１２ｂからなるバネ定数をｋ_２とすると、２つの固有角振動数（固有振動モード）は一意に決まる。本実施例では、ω_１＝２π×２０００［ｒａｄ／ｓ］、ω_２＝２π×４０００［ｒａｄ／ｓ］となるように慣性モーメントをＩ_１、Ｉ_２、及びバネ定数ｋ_１、ｋ_２を調整している。

本光偏向装置の偏向角θは、次の様に表現される。第１の振動運動の振幅、角周波数を夫々Ａ_１、ω_１、第２の振動運動の振幅、角周波数を夫々Ａ_２、ω_２、２つの周波数の相対位相をφとする。そして、時間をｔとして、
θ（ｔ）＝Ａ_１ｓｉｎ（ω_１ｔ）＋Ａ_２ｓｉｎ（ω_２ｔ＋φ） 式２
のように表すことができる。

ここで、Ａ_１＝１、Ａ_２＝０．２、φ＝０、ω_１＝２π×２０００、ω_２＝２π×４０００とすると、本光偏向装置の偏向角θ及び角速度θ’の時間変化は図４に示す様になる。図４（ａ）の実線で示す偏向角θは正弦波（破線で示す）に比べ鋸波に近くなり、図４（ｂ）の実線で示す角速度θ’は正弦波のそれ（破線で示す）に比べ、略等角速度領域において変化量が少なくなる。なお、図４における縦軸の単位は任意である。

本実施例ではＡ_１＝１、Ａ_２＝０．２、φ＝０、ω_１＝２π×２０００、ω_２＝２π×４０００としたが、角速度θ’の変化量が正弦波に比べ略等角速度領域において少なくなる如何なるＡ_１、Ａ_２、φ、ω_１、ω_２としてもよい。好ましくは、第１の周波数の１周期内の２０％以上の連続した時間において、その時間内での前記反射ミラーの角速度θ’の最大値と最小値が（最大値−最小値）／（最大値＋最小値）＜０．１の関係を満たすことが望ましい。

この際、第１及び第２の受光素子１４１、１４２をＡ_１の８割、つまり偏向角θが０．８（最大偏向角を１として）となる光偏向装置の走査中心から対称の位置に夫々配置すると、次の様になる。すなわち、第１及び第２の受光素子１４１、１４２を偏向光１３３が通過する目標時間ｔ_１０、ｔ_２０、ｔ_３０、ｔ_４０の内ｔ_１０を基準時間とする。すると、基準時間からの目標時間ｔ_２０−ｔ_１０、ｔ_３０−ｔ_１０、ｔ_４０−ｔ_１０はそれぞれ０．１０２ｍｓｅｃ，０．２９４ｍｓｅｃ，０．３９６ｍｓｅｃとなる。このようなタイミングで光偏向器を制御すると、光偏向器の偏向角θおよび角速度θ’の時間変化は図４に示すようになる。偏向角θは正弦波に比べ鋸波に近くなり、角速度θ’は正弦波に比べ略等角速度領域において変化量が少ない。

次に本実施例の光偏向装置の具体的な制御方法について説明する。

第１、第２の受光素子１４１、１４２の位置に相当する偏向角をそれぞれθ_ＢＤ１、θ_ＢＤ２とした場合、
ある時間ｔ１およびｔ２において
θ（ｔ_１）＝θ（ｔ_２）＝θ_ＢＤ１ 式３
ある時間ｔ３およびｔ４において
θ（ｔ_３）＝θ（ｔ_４）＝θ_ＢＤ２ 式４
となる。

よって、第１、第２の受光素子１４１、１４２を偏向光１３３が通過する３つの検出時間ｔ_２−ｔ_１、ｔ_３−ｔ_１、ｔ_４−ｔ_１が、上記目標時間の値になるように制御することで、図４に示す光スキャナの偏向角θを得ることができる。

一方、光スキャナのＡ_１、Ａ_２、φのいずれかを含む制御パラメータＸが目標値から微小に変化したとする。この場合、第１、第２の受光素子１４１、１４２を走査光１３３が通過する検出時間ｔ_２−ｔ_１、ｔ_３−ｔ_１、ｔ_４−ｔ_１の変化を表す係数、及び行列Ｍは以下のように表される。

したがって、ミラーの振幅と位相の操作量△Ａ_１、△Ａ_２、△φは，３つの検出時間ｔ_２−ｔ_１、ｔ_３−ｔ_１、ｔ_４−ｔ_１と３つの目標時間ｔ_２０−ｔ_１０、ｔ_３０−ｔ_１０、ｔ_４０−ｔ_１０との時間差△ｔ_２、△ｔ_３、△ｔ_４によって、次の式で求まる。

上記関係式から目標時間ｔ_２０−ｔ_１０、ｔ_３０−ｔ_１０、ｔ_４０−ｔ_１０からの時間差△ｔ_２、△ｔ_３、△ｔ_４から操作量△Ａ_１、△Ａ_２、△φが算出される。そして、その値に基づき駆動信号を変更することで、所望の光偏向装置の偏向角θを得ることができる。

図５は、光スキャナの制御部１５０の詳細なブロック図を示す。

まず、コントローラ４００は、共振周波数測定回路４９０で求めた共振周波数の値に基づいて、光偏向器を駆動する基準周波数を設定する。

決定された基準周波数の情報は、波形発生器４５０に出力され、波形発生器４５０は基準周波数であるω_１、ω_２を設定する。

波形発生器はω_１、ω_２の周波数をもつ正弦波を出力する。上述した振動系を制御する場合、その初期値は、およそ２０００Ｈｚと４０００Ｈｚに設定される。

振幅Ａ_１、Ａ_２、相対位相差φは、演算部４３０により演算され、積分器４４０を通って出力される。

生成された２つの正弦波はそれぞれの振幅Ａ_１、およびＡ_２を乗算器によりかけられ、加算器で足し合わされた後に駆動部１２０に入力し、コイル３４２に電流を流す。

一方、第１、第２の受光素子１４１、１４２の出力は時間測定部４２０に取り込まれ、検出時間ｔ_２−ｔ_１、ｔ_３−ｔ_１、ｔ_４−ｔ_１（４２１、４２２、４２３）として記憶される。

また、コントローラ４００は、設定された基準周波数に応じた目標時間ｔ_２０−ｔ_１０、ｔ_３０−ｔ_１０、ｔ_４０−ｔ_１０（この場合、０．１０２ｍｓｅｃ，０．２９４ｍｓｅｃ，０．３９６ｍｓｅｃ）を目標時間レジスタ４１０、４１１、４１２に設定する。この場合、基準周波数は２０００Ｈｚと４０００Ｈｚであり、また目標時間ｔ_２０−ｔ_１０、ｔ_３０−ｔ_１０、ｔ_４０−ｔ_１０は、それぞれ０．１０２ｍｓｅｃ，０．２９４ｍｓｅｃ，０．３９６ｍｓｅｃである。

そして、時間測定部４２０の検出時間と、コントローラ４００の目標時間の時間差△ｔ_２、△ｔ_３、△ｔ_４が引き算器で演算され、その結果が演算部４３０に入力される。

そして、演算部４３０では、時間差△ｔ_２、△ｔ_３、△ｔ_４の値に基づいて行列Ｍによる演算を行い、操作量△Ａ_１、△Ａ_２、△φを算出する。

積分器４４０は、操作量量△Ａ_１、△Ａ_２、△φをそれぞれ積分し、Ａ_１、Ａ_２、φとして出力する。この積分器４４０は低周波領域で積分特性をもち、高周波領域では周波数特性がフラットとなっている。

Ａ_１、Ａ_２は、波形発生器４５０の２つの出力それぞれと乗算器でかけられ正弦波の振幅を制御し、φは、波形発生器４５０に入力され、２つの正弦波の位相を変更する。

以上を繰り返すことでｔ_２−ｔ_１、ｔ_３−ｔ_１、ｔ_４−ｔ_１が、目標時間ｔ_２０−ｔ_１０、ｔ_３０−ｔ_１０、ｔ_４０−ｔ_１０になるように制御され、所望の偏向角θを得ることができる。

次に、共振周波数が変化した場合の動作について説明する。

上記制御を行いながら、コントローラ４００は、定期的に共振周波数測定回路４９０の出力をチェックする。

共振周波数測定回路４９０は、次のような方法で光偏向器の共振周波数を測定することができる。つまり、光偏向器を駆動している途中で、駆動部１２０の出力をゼロとし、非駆動状態にする。そして、このときの振動周波数を逆起電力により検出することで振動系１００の共振周波数測定することができる。

コントローラ４００は、共振周波数が変化したことを検出したら、検出した共振周波数と同じ周波数を波形発生器４５０に設定する。例えば、低い方の共振周波数（ω_１）が２０００Ｈｚから２０１０Ｈｚに変化した場合、波形発生回路４５０には、２０１０Ｈｚと４０２０Ｈｚを設定する。

また、コントローラ４００は、同時に、目標時間レジスタに設定する目標時間ｔ_２０−ｔ_１０、ｔ_３０−ｔ_１０、ｔ_４０−ｔ_１０を、変更した周波数での偏向角θが０．８となる時間に変更する。この時の値は、波形発生器４５０に設定した周波数からコントローラ４００が計算（所定周波数での目標時間に、設定周波数との比の逆数を掛ける計算など）で求めても良いが、周波数対目標時間のテーブルを用いる方法でもよい。

また、コントローラ４００は、同時に、目標時間レジスタに設定する目標時間ｔ_２０−ｔ_１０、ｔ_３０−ｔ_１０、ｔ_４０−ｔ_１０を、変更した周波数での偏向角θが０．８となる時間に変更する。

具体的には、基準周波数が２０００Ｈｚの場合の目標時間ｔ_２０−ｔ_１０、ｔ_３０−ｔ_１０、ｔ_４０−ｔ_１０のそれぞれの値、０．１０２ｍｓｅｃ，０．２９４ｍｓｅｃ，０．３９６ｍｓｅｃに対して以下のように新たに目標時間を設定する。

古い基準周波数（２０００Ｈｚ）と新たに設定した基準周波数（２０１０Ｈｚ）の比は、１．００５である（２０１０Ｈｚは、２０００Ｈｚに対して１．００５倍となる）。

そして、古い基準周波数の時の目標時間０．１０２ｍｓｅｃ，０．２９４ｍｓｅｃ，０．３９６ｍｓｅｃを、古い基準周波数と新たに設定した基準周波数の比１．００５で割る。

すると、新たに設定した基準周波数の時の目標時間は、０．１０１５ｍｓｅｃ、０．２９２５ｍｓｅｃ、０．３９４ｍｓｅｃとなり、この時間を目標時間ｔ_２０−ｔ_１０、ｔ_３０−ｔ_１０、ｔ_４０−ｔ_１０として設定する。この場合コントローラが記憶しておく値は所定周波数での目標時間だけでよい。

また、別の方法として、コントローラ４００は、駆動周波数対目標時間のテーブルを持ち、設定した駆動周波数に応じてテーブルを参照し、その値を目標時間ｔ_２０−ｔ_１０、ｔ_３０−ｔ_１０、ｔ_４０−ｔ_１０に設定する方法もある。

この場合、２０００Ｈｚの目標時間は、０．１０２ｍｓｅｃ，０．２９４ｍｓｅｃ，０．３９６ｍｓｅｃ、であり、２０１０Ｈｚの目標時間は、０．１０１５ｍｓｅｃ、０．２９２５ｍｓｅｃ、０．３９４ｍｓｅｃのように、テーブルの値として記憶しておく。

この方法においては、設定可能な周波数範囲で目標値のテーブルを持てば良い。この場合、前述の方法のように小数点以下の複雑な計算を必要としないので、安価なコントローラでも実現可能である。

以上を繰り返すことで、共振周波数が変化した場合においても、ｔ_２−ｔ_１、ｔ_３−ｔ_１、ｔ_４−ｔ_１が、目標時間ｔ_２０−ｔ_１０、ｔ_３０−ｔ_１０、ｔ_４０−ｔ_１０になるように制御され、所望の偏向角θを得ることができる。

本実施例ではｔ_２０−ｔ_１０、ｔ_３０−ｔ_１０、ｔ_４０−ｔ_１０を決まった値としたが、誤差範囲を持った値としても良い。

また、本実施例では、偏向角θが０．８となる光偏向装置の走査中心から対称の位置に第１及び第２の受光素子１４１、１４２を配置したが、任意の偏向角θの所でもよい。好ましくは、略等速領域における光学的な干渉を避けるため、偏向角θの絶対値が０．６以上で、１．０未満の範囲に第１及び第２の受光素子１４１、１４２を夫々配置することが望ましい。ここで偏向角θの絶対値が０．６以上で、１．０より小さい範囲とは、偏向角θが＋０．６以上で＋１．０より小さい範囲と、−１．０より大きく−０．６以下の範囲である。なお、反射ミラーの偏向中心を零とし最大偏向角を±１としている。

本実施例では、２つの振動モードをもつ振動体の例をあげたが、単一の振動モードをもつ振動体においても、適用可能である。この場合、ω_１の周波数で駆動し、Ａ_１のみを変化させるフィードバック制御系を構成する。検出時間ｔ_３−ｔ_２と目標時間ｔ_３０−ｔ_２０の差を演算し、積分器等で増幅しＡ_１を生成することで制御可能である。この場合も同様に単一モードの振動体の共振周波数を測定し、測定周波数にあわせて駆動周波数および目標時間を変更する。

本実施例では、共振周波数と駆動周波数を一致させたが、完全に同じ周波数でなく多少ずらした周波数に設定しても良い。その場合も、設定した駆動周波数に応じて、目標時間を設定すればよい。

（第２の実施例）
本発明の実施例２に係る光偏向装置について説明する。実施例２の光偏向装置は実施例１の場合とほぼ同様である。実施例１と異なる点は、実施例２では４つの時間を用いて駆動制御している点である。

第１の振動運動の振幅、角周波数、位相を夫々Ａ_１、ω_１、φ_１、第２の振動運動の振幅、角周波数、位相を夫々Ａ_２、ω_２、φ_２、適当な時間を原点ないし基準時間としたときの時間をｔとしたときに、揺動体の一つの偏向角は次式の様に表現できる。
θ（ｔ）＝Ａ_１ｓｉｎ（ω_１ｔ＋φ_１）＋Ａ_２ｓｉｎ（ω_２ｔ＋φ_２） 式８
この式８は、式２と同様の振動を示す式である。つまり、式２では式８のφ_１、φ_２を相対位相差φに置き換えている。

第１、第２の受光素子１４１、１４２の位置に相当する偏向角をそれぞれθ_ＢＤ１、θ_ＢＤ２とする。すると、ある時間ｔ_１およびｔ_２において、θ（ｔ_１）＝θ（ｔ_２）＝θ_ＢＤ１（式２）、ある時間ｔ_３およびｔ_４においてθ（ｔ_３）＝θ（ｔ_４）＝θ_ＢＤ２（式３）となる。

本実施例では、上記４つの時間（ｔ_１、ｔ_２、ｔ_３、ｔ_４）を用いた駆動方法について説明する。

本実施例においても光偏向器の振動は式１のように表すことができる。そして、本実施例においても、Ａ_１＝１、Ａ_２＝０．２、φ_１＝０、φ_２＝０（φ＝０）、ω_１＝２π×２０００、ω_２＝２π×４０００とする。光偏向装置の偏向角θ及び角速度θ’の時間変化は図４に示す様になる。

そして、第１及び第２の受光素子１４１、１４２をＡ_１の８割、つまり偏向角θが０．８となる夫々異なる位置に配置すると、偏向角θが０（走査中心）の時間を０とした場合、次の様になる。すなわち、第１及び第２の受光素子１４１、１４２を走査光１３３が通過する目標時間ｔ_１０、ｔ_２０、ｔ_３０、ｔ_４０は０．０５２ｍｓｅｃ、０．１５４ｍｓｅｃ、０．３４６ｍｓｅｃ、０．４４８ｍｓｅｃとなる。このようなタイミングで光偏向器を駆動すると、光偏向器の偏向角θおよび角速度θ’の時間変化は図４に示すようになる。偏向角θは正弦波に比べ鋸波に近くなり、角速度θ’は正弦波に比べ略等角速度領域において変化量が少ない。

一方、光スキャナのＡ_１、Ａ_２、φ_１、φ_２のいずれかを含む制御パラメータＸが目標値から微小に変化した場合の第１、第２の受光素子１４１、１４２を走査光１３３が通過する検出時間ｔ_１、ｔ_２、ｔ_３、ｔ_４の変化を表す係数、及び行列Ｍは以下のようになる。

したがって、ミラーの振幅と位相の操作量△Ａ_１、△φ_１、△Ａ_２、△φ_２は，４つの検出時間ｔ_１、ｔ_２、ｔ_３、ｔ_４と４つの目標時間ｔ_１０、ｔ_２０、ｔ_３０、ｔ_４０との時間△ｔ_１、△ｔ_２、△ｔ_３、△ｔ_４によって、次の式で求まる。

上記関係式から目標時間ｔ_１０、ｔ_２０、ｔ_３０、ｔ_４０からの時間差△ｔ_１、△ｔ_２、△ｔ_３、△ｔ_４から操作量△Ａ_１、△Ａ_２、△φ１、△φ２が算出される。そして、その値に基づき駆動信号を変更することで、所望の光偏向装置の偏向角θを得ることができる。

図５に光スキャナの制御部１５０の詳細なブロック図を示す。図５についても実施例１の場合とほぼ同様である。異なる点は、時間測定部４２０において、検出時間として４つの時間（ｔ_１、ｔ_２、ｔ_３、ｔ_４）を扱う点と、コントローラ４００が４つの目標時間（ｔ_１０、ｔ_２０、ｔ_３０、ｔ_４０）を扱う点である。

つまり、本実施例では時間測定部４２０の検出時間と、コントローラ４００の目標時間の時間が引き算器で演算され、その結果が演算部４３０に入力される。

そして、演算部４３０では、時間差△ｔ_１、△ｔ_２、△ｔ_３、△ｔ_４の値に基づいて行列Ｍによる演算を行い、操作量△Ａ_１、△Ａ_２、△φ_１、△φ_２を算出する。

積分器４４０は、操作量量△Ａ_１、△Ａ_２、△φ_１、△φ_２をそれぞれ積分し、Ａ_１、Ａ_２、φ_１、φ_２として出力する。この積分器４４０は低周波領域で積分特性をもち、高周波領域では周波数特性がフラットとなっている。

Ａ_１、Ａ_２は、波形発生器４５０の２つの出力それぞれと乗算器でかけられ正弦波の振幅を制御し、φ_１、φ_２は、波形発生器４５０に入力され、２つの正弦波の位相を変更する。

以上を繰り返すことでｔ_１、ｔ_２、ｔ_３、ｔ_４が、目標時間ｔ_１０、ｔ_２０、ｔ_３０、ｔ_４０になるように制御され、所望の偏向角θを得ることができる。

次に、共振周波数が変化した場合の動作について説明する。

上記制御を行いながら、コントローラ４００は、定期的に共振周波数測定回路４９０の出力をチェックする。共振周波数の測定方法は実施例１の場合と同様である。

コントローラ４００は、共振周波数が変化したことを検出したら、検出した共振周波数と同じ周波数を波形発生器４５０に設定する。例えば、低い方の共振周波数（ω）が２０００Ｈｚから２０１０Ｈｚに変化した場合、波形発生回路４５０には、２０１０Ｈｚと４０２０Ｈｚを設定する。

また、コントローラ４００は、同時に、目標時間レジスタに設定する目標時間ｔ_１０、ｔ_２０、ｔ_３０、ｔ_４０を、変更した周波数での偏向角θが０．８となる時間に変更する。この時の値は、波形発生器４５０に設定した周波数からコントローラ４００が計算で求めても良いが、周波数対目標時間のテーブルを用いる方法でもよい。

以上を繰り返すことで、共振周波数が変化した場合においても、ｔ_１、ｔ_２、ｔ_３、ｔ_４が、目標時間ｔ_１０、ｔ_２０、ｔ_３０、ｔ_４０になるように制御され、所望の偏向角θを得ることができる。

（第３の実施例）
図６は、本発明の光偏向装置を用いた画像形成装置の概略斜視図である。図６において、５００は本発明の光偏向器であり、本実施例では入射光を１次元に走査する。５１０はレーザ光源である。５２０は光学系であるコリメータレンズであり、５３０は同じく光学系である結合レンズ、５４０はドラム状の感光体である。

レーザ光源５１０から射出されたレーザ光は、光の偏向走査のタイミングと関係した所定の強度変調を受けている。この強度変調光は、コリメータレンズ５２０を通って、光走査系（光偏向器）５００により１次元的に走査される。この走査されたレーザ光は、結合レンズ５３０により、感光体５４０上の目標位置に集光され画像を形成する。

走査方向と直角な方向に回転軸の回りに回転される感光体５４０は、図示しない帯電器により一様に帯電されており、この上に光を走査することによりその走査部分に静電潜像が形成される。次に、図示しない現像器により静電潜像の画像部分にトナー像が形成され、これを、例えば、図示しない用紙に転写・定着することで用紙上に画像が形成される。

本発明の画像形成装置では、感光体５４０の有効領域上以外の光偏向器５００の偏向角上に受光素子５５０を配置し、上で説明した駆動方法とによって、光スキャナの偏向角の角速度を感光体３４０上で略等角速度になるように駆動制御する。本発明の光偏向器を用いた画像形成装置により、良好に印字することができる。

本発明に係る光偏向装置を示すブロック図である。 本発明に係る光偏向装置の受光素子の配置を示す図である。 本発明に係る光偏向器の一例を示す図である。 （ａ）本発明に係る光偏向装置の偏向角と時間変化の関係を示す図である。（ｂ）本発明に係る光偏向装置の略等角速度領域を示す図である。 本発明に係る光偏向装置の制御ブロック図である。 本発明に係る画像形成装置を示す図である。 従来の光偏向器を示す図である。

符号の説明

１００ 光偏向器
１０１ 第１の揺動体
１０２ 第２の揺動体
１１１ 第１のねじりバネ
１１２ 第２のねじりバネ
１２０ 駆動部
１２１ 支持部
１３１ 光源
１３２ 光ビーム
１３３ 偏向光
１４０ 受光素子
１４１ 第１の受光素子
１４２ 第２の受光素子
１４３ 受光素子
１５０ 駆動制御部
３００ プレート部材
３０１ 第１の揺動体
３０２ 第２の揺動体
３１１ａ、ｂ 第１のねじりバネ
３１２ａ、ｂ 第２のねじりバネ
３４１ 永久磁石
３４２ コイル
３４３ コア
３４４ ヨーク
３９０ 切断線
４００ コントローラ
４１０、４１１，４１２ 目標時間
４２０ 時間測定部
４２１，４２２，４２３ 検出時間
４３０ 演算部
４４０ 積分器
４５０ 波形発生器
４９０ 共振周波数測定回路
５００ 光偏向器
５１０ 光源
５２０ コリメータレンズ
５３０ 結像レンズ
５４０ 感光ドラム
５５０ 受光素子

Claims (5)

1. 光ビームを発生する光源と、
   第１の揺動体と、第２の揺動体と、該第１の揺動体と該第２の揺動体とを接続する第１のねじりバネと、前記第２の揺動体に接続され且つ前記第１のねじりバネのねじり軸と共通するねじり軸を有する第２のねじりバネとを含み構成される光偏向器と、
   前記光偏向器に駆動力を印加する駆動部と、
   前記駆動部に駆動信号を供給する駆動制御部と、
   前記揺動体の偏向角を検出する偏向角検出部と、を備え、
   前記揺動体の一つの変位は、Ａ _１ 、Ａ _２ を振幅、φを相対位相差、ωを角周波数、ｔを時間とした場合、Ａ _１ ｓｉｎωｔ＋Ａ _２ ｓｉｎ（ｎωｔ＋φ）項を少なくとも含む数式（ｎは２以上の整数）で表され、
   前記揺動体の一つは第１及び第２の偏向角をとり、
   前記偏向角検出部は前記揺動体の一つが前記第１の偏向角をとるときの異なる第１及び第２の時間と、前記第２の偏向角をとるときの異なる第３及び第４の時間を検出可能であり、
   前記第２の時間と前記第１の時間の差を△ｔ _２ とし、
   前記第３の時間と前記第１の時間の差を△ｔ _３ とし、
   前記第４の時間と前記第１の時間の差を△ｔ _４ とした場合、
   前記駆動制御部は、
   前記光偏向器の共振周波数に基づいて前記光偏向器を駆動する駆動信号の基準周波数を設定し、
   前記基準周波数に基づいて、前記△ｔ _２ 、△ｔ _３ 、△ｔ _４ の目標時間を算出し、
   前記揺動体の一つが前記目標時間で駆動するように前記Ａ _１ 、Ａ _２ 、φが設定された駆動信号を供給することを特徴とする光偏向装置。
2. 光ビームを発生する光源と、
   第１の揺動体と、第２の揺動体と、該第１の揺動体と該第２の揺動体とを接続する第１のねじりバネと、前記第２の揺動体に接続され且つ前記第１のねじりバネのねじり軸と共通するねじり軸を有する第２のねじりバネとを含み構成される光偏向器と、
   前記光偏向器に駆動力を印加する駆動部と、
   前記駆動部に駆動信号を供給する駆動制御部と、
   前記揺動体の偏向角を検出する偏向角検出部と、を備え、
   前記揺動体の一つの変位は、Ａ _１ 、Ａ _２ を振幅、φ _１ 、φ _２ を相対位相差、ω _１ 、ω _２ を角周波数、ｔを時間とした場合、Ａ _１ ｓｉｎ（ω _１ ｔ＋φ _１ ）＋Ａ _２ ｓｉｎ（ω _２ ｔ＋φ _２ ）項を少なくとも含む数式（ｎは２以上の整数）で表され、
   前記揺動体の一つは第１及び第２の偏向角をとり、
   前記偏向角検出部は前記揺動体の一つが前記第１の偏向角をとるときの異なる第１及び第２の時間と、前記第２の偏向角をとるときの異なる第３及び第４の時間を検出可能であり、
   前記駆動制御部は、
   前記光偏向器の共振周波数に基づいて前記光偏向器を駆動する駆動信号の基準周波数を設定し、
   前記基準周波数に基づいて前記第１乃至第４の時間の目標時間を算出し、
   前記揺動体の一つが前記目標時間で駆動するように前記Ａ _１ 、Ａ _２ 、φ _１ 、φ _２ が設定された駆動信号を前記駆動部に供給することを特徴とする光偏向装置。
3. 請求項１又は２に記載の光偏向装置と光学系と感光体とを少なくとも含み、前記光源からの光ビームを前記光偏向器により走査し、前記光学系により前記感光体の目標位置に走査光を集光することを特徴とする画像形成装置。
4. 複数の固有振動モードを有する光偏向器を含み構成される光偏向装置の駆動方法であって、
   前記光偏向器の共振周波数を測定する工程、
   前記測定した共振周波数に基づいて前記光偏向器を駆動する基準周波数を設定する工程、
   を有し、
   前記光偏向器から変更された偏向光の変位は、Ａ _１ 、Ａ _２ を振幅、φを相対位相差、ωを角周波数、ｔを時間とした場合、Ａ _１ ｓｉｎωｔ＋Ａ _２ ｓｉｎ（ｎωｔ＋φ）項を少なくとも含む数式（ｎは２以上の整数）で表され、
   前記偏向光は第１及び第２の偏向角をとり、
   前記第１の偏向角をとるときの異なる第１及び第２の時間とし、前記第２の偏向角をとるときの異なる第３及び第４の時間とし、
   前記第２の時間と前記第１の時間の差を△ｔ _２ とし、
   前記第３の時間と前記第１の時間の差を△ｔ _３ とし、
   前記第４の時間と前記第１の時間の差を△ｔ _４ とした場合、
   前記基準周波数に基づいて、前記△ｔ _２ 、△ｔ _３ 、△ｔ _４ の目標時間を設定する工程と、
   前記光偏向器が前記目標時間で駆動するように前記Ａ _１ 、Ａ _２ 、φが設定された駆動信号を供給する工程と、
   を有することを特徴とする光偏向装置の駆動方法。
5. 複数の固有振動モードを有する光偏向器を含み構成される光偏向装置の駆動方法であって、
   前記光偏向器の共振周波数を測定する工程、
   前記測定した共振周波数に基づいて前記光偏向器を駆動する基準周波数を設定する工程、
   を有し、
   前記前記光偏向器から変更された偏向光の変位は、Ａ _１ 、Ａ _２ を振幅、φ _１ 、φ _２ を相対位相差、ω _１ 、ω _２ を角周波数、ｔを時間とした場合、Ａ _１ ｓｉｎ（ω _１ ｔ＋φ _１ ）＋Ａ _２ ｓｉｎ（ω _２ ｔ＋φ _２ ）項を少なくとも含む数式（ｎは２以上の整数）で表され、
   前記偏向光は第１及び第２の偏向角をとり、
   前記第１の偏向角をとるときの異なる時間を第１及び第２の時間とし、
   前記第２の偏向角をとるときの異なる時間を第３及び第４の時間とした場合、
   前記第１乃至第４の時間の目標時間を設定する工程と、
   前記光偏向器が前記目標時間で駆動するように前記Ａ _１ 、Ａ _２ 、φ _１ 、φ _２ が設定された駆動信号を供給する工程と、
   を有することを特徴とする光偏向装置の駆動方法。

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