JP5491004B2

JP5491004B2 - 光走査装置及び該光走査装置を用いた画像形成装置、画像読取装置及びディスプレイ装置

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Publication number: JP5491004B2
Application number: JP2008162580A
Authority: JP
Inventors: 成己鈴木; 真志内山
Original assignee: Canon Electronics Inc
Current assignee: Canon Electronics Inc
Priority date: 2008-06-20
Filing date: 2008-06-20
Publication date: 2014-05-14
Anticipated expiration: 2028-06-20
Also published as: JP2010002782A

Description

本発明は、例えばレーザビームプリンタやディスプレイ等に用いられる光走査装置及び該光走査装置を用いた画像形成装置、画像読取装置及びディスプレイ装置に関するものである。

従来から、レーザービームプリンタやディスプレイ等に用いられる光走査装置において、ガルバノミラーやポリゴンミラーにより光ビームを走査させる機構が知られている。また、シリコンプロセスを使ったＭＥＭＳ技術によるマイクロミラーも用いられ、その駆動方法として電磁駆動、静電駆動、圧電駆動など幾つかの方法が提案され、実用化されている。

一方、これらとは異なる駆動方式の光走査装置として、板波を利用したものが提案されている（特許文献１）。この方式は、基板に捩れ梁を設け、そこにミラー部を支持し、その状態で基板に板波を発生させると、この板波により捩れ梁を介してミラー部に捩れ振動が励起され、ミラー部により反射された光ビームが走査するというものである。この駆動方式は構造が簡単で、プレス加工による金属板を基板として使用できるため光走査装置の低コスト化が可能な技術として注目されている。

図１は、この駆動方式を説明する図である。

基板１０は、捻り梁１２と、この梁１２の支持部１９を有し、捻り梁１２にはミラー部１３が形成されている。この基板１０を固定部材１６に固定し、基板１０上に設けられた圧電膜（圧電素子）１１を振動させて基板１０に板波を発生させ、ミラー部１３に回転振動を励起する。図中のｘは、捻り梁１２の中心軸を示しており、この中心軸１２は板波の節１４からずれた位置に設定されている。

ここで基板１０の厚みは５０μｍ程度、ミラー部１３の長手方向の長さは約１ｍｍ、梁１２の幅は約１００μｍｍで、基板１０の最大長さが１０ｍｍ以下と小型である。圧電膜１１は、２０ＫＨｚを超える周波数で振動するとき、ミラー部１３の振れ角は約４０°となっている（非特許文献１参照）。

上記方式では、基本的に、捩れ梁１２と基板１０との接続位置と、基板に発生した板波の節１４の位置とを一致させて、ミラー部１３には捻り振動のみを励起するのが理想的であるが、その構造上、捻り振動の立ち上げに非常に時間がかかる。即ち、圧電膜１１の振動を開始してからミラー部１３の振動が正規の振動状態に到達するまでの時間が長くなる。そこで、この立ち上がり時間を短縮するために、ミラー部１３の重心を捻り梁１２の位置から若干ずらしている。
特開２００６−２９３１１６号公報 Jae-Hyuk Park, et al.,MEMS 2006,Istanbul, 19th IEEE Int. Conf.,pp730-733

捻り梁１２の振動、即ち、ミラー部１３の回転軸の変動は、プリンタやディスプレイ用途において表示品質や印刷品質の低下を招く大きな問題となる。それを考慮すると、従来の光走査装置において、捻り梁１２に加えることができる上下動は微少であり、立ち上がり時間の短縮は充分ではなかった。

また基板１０に金属板などを用いた場合は、金属板はシリコン基板に比べて降伏応力が小さく、回転振幅を大きくすると疲労などにより特性が劣化し易いという問題もある。

本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決することにある。

本発明の目的は、ミラー回転軸の変動を抑えながら、立ち上がり時間の短い、特性の安定した光走査装置及び該光走査装置を用いた画像形成装置、画像読取装置及びディスプレイ装置を提供することにある。

上記目的を達成するために本発明の一態様に係る光走査装置は以下のような構成を備える。即ち、
基板に設けられた支持部により支持されたミラー部を揺動させ、光源からの光を当該ミラー部により反射させて走査させる光走査装置であって、
前記基板を前記ミラー部が設けられた側の反対側端部で固定する固定部材と、
前記基板上に設けられ、前記基板に当該基板の変形を伴う板波を発生させるための振動源と、
前記振動源を駆動する駆動手段と、
前記駆動手段による前記振動源の駆動を制御すると共に、前記ミラー部を揺動させる駆動の立ち上げ時、通常駆動時とは異なる板波を前記基板に発生させるように前記駆動手段を制御する制御手段と、
前記光源からの光が前記ミラー部で反射されたことを所定位置で検出する検出手段とを有し、
前記制御手段は、前記検出手段により前記光が検出されると、前記通常駆動時の板波を前記基板に発生させるように前記駆動手段を制御することを特徴とする。

上記目的を達成するために本発明の一態様に係る光走査装置は以下のような構成を備える。即ち、
基板に設けられた支持部により支持されたミラー部を揺動させ、光源からの光を当該ミラー部により反射させて走査させる光走査装置であって、
前記基板を前記ミラー部が設けられた側の反対側端部で固定する固定部材と、
前記基板上に設けられ、前記基板に当該基板の変形を伴う板波を発生させるための第１及び第２の振動源と、
前記第１及び第２の振動源を駆動する駆動手段と、
前記駆動手段による前記第１及び第２の振動源の駆動を制御すると共に、前記ミラー部を揺動させる駆動の立ち上げ時、前記駆動手段により前記第１及び第２の振動源を駆動するように制御する制御手段と、
前記光源からの光が前記ミラー部で反射されたことを所定位置で検出する検出手段とを有し、
前記制御手段は、前記検出手段により前記光が検出されると前記第２の振動源の駆動を停止するように制御することを特徴とする。

本発明によれば、ミラー部を揺動させる駆動の立ち上げ時に、定常作動時に必要とされる振動とは異なる振動を基板に与えることにより、ミラーの回転振動の立ち上げに要する時間を短縮できる。

以下、添付図面を参照して本発明の好適な実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る本発明を限定するものでなく、また本実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが本発明の解決手段に必須のものとは限らない。以下の説明では、振動源として圧電素子を用いるが、本発明はこれに限定されるものではなく、磁歪素子や、磁石を配置した電磁駆動などであってもよい。尚、以下の説明で使用される基板や振動源である圧電素子の材質や寸法、形成方法などについては、特許文献１に記載されているものを同様に適用できるが、本発明はそれに限定されないことはもちろんである。

［実施形態１］
図２は、本実施形態１に係る光走査装置のミラーを振動させるミラー振動部１の構成を説明する図で、図２（Ａ）は、このミラー振動部１の上面図、図２（Ｂ）は、このミラー振動部１を駆動する原理を説明する図である。

図２（Ａ）において、１００は基板、１１０は基板上に設けられた圧電素子（圧電膜）、１２０はミラー１３０が取り付けられている梁を示している。１６０は、この基板１００を、ミラー１３０が取り付けられている側の反対側端部で光走査装置に固定するための固定部である。尚、これら基板１００、圧電素子１１０、梁１２０、ミラー１３０は、上述した基板１０、圧電膜１１、梁１２、ミラー部１３と原理的に同様である。またここでは、圧電素子１１０の中心とミラー１３０の重心中心とを略一致させている。

図２（Ｂ）において、２００は圧電素子１１０の駆動回路を示している。この駆動回路２００により圧電素子１１０を所定の周波数で電圧を印加して駆動する。この電圧の印加により圧電素子１１０が伸縮して図２（Ｂ）の上下方向に基板１００を振動させる。尚、この圧電素子１１０は、基板１００上に直接形成された圧電膜であると基板１００の板波の励起効率をより良くすることができる。この圧電素子１１０は、図２（Ａ）において圧電素子１１０の上側に正の電圧を印加すると圧電素子１１０は伸び、負の電圧を印加すると縮むように構成されている。これにより基板１００上で板波が発生し、基板１００の一端が固定部１６０により固定されているため、その板波の振動エネルギーが梁１２０で支持されたミラー１３０を揺動させ、より効率的にミラー１３０に回転モーメントを与えることができる。

図３は、本実施形態１に係る、圧電素子１１０の振動によって基板１００に発生された板波による基板１００の変形とミラー１３０の回転振動の様子を説明する図である。

この図では、基板１００の長さ方向をｘ軸、基板１００の厚み方向をｚ軸とし、ｚ軸方向のスケールをｘ軸に比べて大きくして描画している。ここでは基板１００とミラー１３０の交点が梁１２０の位置、即ち、ミラー１３０の回転軸としている。またミラー１３０の回転軸の中心を板波の節に一致させている。図において、実線と点線は、夫々、圧電素子１１０に正と負の電圧が印加されたときの最大振幅時の状態を示している。

図４（Ａ）（Ｂ）は、基板に発生する板波の波長と、板波の節の位置との関係を示す図である。

いま板波の波長をλとすると、板波の節は基板１００の開放端（図１の基板１００の左端）からλ／４の位置にある。

図４（Ａ）は、板波の波長をλ'としたとき、距離λ'／４と、基板１００の端からミラー１３０の回転軸の位置までの距離ｄとが一致しない場合を示している。この場合は、ミラー１３０の回転軸は、ｚ軸方向に±Δｚ変動する。

図４（Ｂ）は、板波の波長をλとしたとき、距離λ／４と、基板１００の端からミラー１３０の回転軸の位置までの距離ｄとが一致している場合を示している。

この場合は、ｄ＝（２ｎ−１）×λ／４［ｎ＝１，２，...］の関係が満たされ、図４（Ｂ）に示すように、板波の節とミラー１３０との回転軸とが一致し、ミラー１３０の回転軸が安定する。

図５は、本実施形態１に係る光走査装置の概略構成を示すブロック図である。

図において、レーザ光源４０３から射出されたレーザ光は、図示していない光学系を通過してミラー１３０で反射され、ミラー１３０の回転振動に応じて走査される。ＢＤセンサ４０４は、このミラー１３０で反射されたレーザ光を有効走査範囲（実際に画像形成或いは画像読み取り等で使用される領域）の外で、最大走査角の位置（所定位置）に設けられており、レーザ光を検出すると検出信号を出力する。

制御部４００は、ＣＰＵ４１０、ＣＰＵ４１０により実行されるプログラム等を記憶するＲＯＭ４１１、ＣＰＵ４１０による制御処理時にワークエリアを提供して、各種データを記憶するＲＡＭ４１２を有している。レーザ駆動回路４０２は、制御部４００から供給されるＰＷＭ信号に応じてレーザ光源４０３を駆動する。駆動回路２００は、制御部４００からの指令信号に応じて圧電素子１１０の駆動周波数、及び／或いは駆動電圧を変更して圧電素子１１０を駆動することができる。

この実施形態１では、ミラーの揺動の起動時には、通常の作動状態での駆動周波数よりも低い周波数で圧電素子を振動させ、その後、ＢＤセンサ４０４よりの検出信号に応じて、その駆動周波数を通常の作動状態での駆動周波数にしている。尚、ここでは通常の作動状態での駆動周波数よりも低い周波数としているが、通常の作動状態での駆動周波数よりも高い周波数で圧電素子を振動させてもよい。

図６は、基板に発生する板波の特性を示すグラフ図である。

この図は、横軸は基板の板厚と周波数の積［Ｈｚ・ｍ］、縦軸は位相速度［ｍ／ｓ］を示している。このグラフで示される特性に基づいて、通常の作動状態での駆動周波数が決定される。

図７は、本実施形態１に係る制御部４００によるレーザ走査の立ち上げ時の処理を説明するフローチャートである。この処理を実行するプログラムはＲＯＭ４１１に記憶されており、ＣＰＵ４１０の制御の下に実行される。

この処理は、プリンタの場合はプリントが指示されてレーザ走査を開始する時、或いはスキャナの場合には画像の読み取りが指示されてレーザ走査を開始する時、或いはディスプレイの場合には画像の表示が指示されてレーザ走査を開始することにより開始される。先ずステップＳ１で、レーザ駆動回路４０２にレーザ駆動信号を出力してレーザ光源４０３からレーザ光を発光させる。次にステップＳ２に進み、圧電素子１１０を駆動する周波数を、通常の駆動周波数とは異なる（ここでは低い）周波数ｆiにするように駆動回路２００に指示して圧電素子１１０を駆動する。次にステップＳ３に進み、ＢＤセンサ４０４からの検知信号が入力されるのを待つ。即ち、ＢＤセンサ４０４がレーザ光を検知したかどうかをみる。ＢＤセンサ４０４によりレーザ光が検知されるとステップＳ４に進み、レーザ光源４０３によるレーザ光の発光を停止する。次にステップＳ５に進み、圧電素子１１０を駆動する周波数を、通常駆動時の周波数ｆs（ｆs＞ｆi）に戻すように駆動回路２００に指示する。

図８は、上述した本実施形態１に係る圧電素子の駆動信号の一例を示す図である。

図のＢＤは、ＢＤセンサ４０４の検出信号を示し、ｆは、圧電素子１１０の駆動信号の周波数を表している。レーザ光の走査開始時には、定常のレーザ光走査の場合の駆動信号の周波数ｆsよりも低い周波数ｆiの駆動信号を圧電素子１１０に印加している（ステップＳ２）。そして検出信号が所定の閾値Ｖthを越えた時点（ｔ＝ｔ'）で（ステップＳ３でＹＥＳの判定）、圧電素子１１０の駆動周波数を、通常駆動時の周波数ｆs間で上昇させている（ステップＳ５）。尚、周波数ｆsは、ミラー１３０の回転軸と板波の節が一致する波長が得られる周波数であり、図６に示す板波の速度の分散性により決まる。

このような駆動を行うことにより、図８の時間ｔ＝０からｔ'までは図４（Ａ）に示すようなｚ方向の振動が発生する。そして、ミラー１３０で必要な回転振動が得られた時点で、図４（Ｂ）のミラー１３０の回転軸が安定した状態に移行する。

このように本実施形態１によれば、ミラー１３０に過剰な回転振幅を与えることなく、速やかにミラー１３０の回転を起動することができる。

尚、本実施形態１では、ＢＤセンサ４０４がレーザ光を検知すると直ぐに圧電素子１１０の駆動周波数を通常の周波数に戻している。しかし、これ以外にも、ＢＤセンサ４０４によるレーザ光の検知周期が所定の周期になったかどうかを判定し、所定の周期になったときに、圧電素子１１０の駆動周波数を通常の周波数に戻すようにしても良い。

また、周波数ｆｉの起動時の信号を、周波数ｆｓの通常駆動時の信号と比べて大きくしても良い。これにより、通常駆動時よりも板波によるミラー回転軸の回転振動を大きくすることができ、ｚ軸方向の振動の効果と併せて、起動時間をより短縮することができる。

［実施形態２］
図９は、本発明の実施形態２に係る光走査装置のミラーを振動させるミラー振動部３の構成を説明する図で、図９（Ａ）は、このミラー振動部３の上面図、図９（Ｂ）は、このミラー振動部３を駆動する原理を説明する図である。ここで図２と共通する部分は同じ記号で示している。

この実施の形態２では、前述の実施形態１の圧電素子１１０（第１の振動源）以外に、起動時の駆動力を大きくするための圧電素子１１１（第２の振動源）を設けている点に特徴がある。この実施形態２に係る光走査装置の構成は、図５に圧電素子１１１とその駆動回路２０１が追加されるだけで、前述の実施形態１と基本的に同じである。

ここで圧電素子１１１は、駆動信号Ｖ２で駆動されて基板１００を板厚方向に振動させ、ミラー１３０の回転軸を上下に変動させてミラー１３０の回転振動の励起を促進する役割を果たしている。

図１０（Ａ）（Ｂ）は、本実施形態２において、２つの圧電素子１１０，１１１で発生された板波による基板１００の変形の様子を説明する図である。これら図１０（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ正負の最大振幅時の状態を示している。

この図から明らかなように、ミラー１３０の回転軸は、正負の最大振幅時にｚ軸方向に±Δｚ変動する。

このようにして、ミラー１３０の起動時、基板１００の振動を大きくしてミラー１３０の回転振動が励起されるのを速める作用をする。そしてＢＤセンサ４０４がレーザ光を検出して必要な回転振動が得られたと判断されたときは、圧電素子１１１の駆動が停止される。

図１１は、本実施形態２に係る圧電素子の駆動信号の一例を示す図である。

圧電素子１１０は、電源投入時から通常動作時の駆動信号である駆動信号Ｖ１で駆動される。一方、圧電素子１１１は、駆動信号Ｖ２で駆動される。ここで駆動信号Ｖ１の駆動周波数ｆ１は定常作動状態での駆動周波数であり、駆動信号Ｖ２もそれと同じ周波数ｆ１とする。尚、ここで駆動信号Ｖ１とＶ２の振幅は同じであっても、或いは互いに異なっていてもよい。また、Ｖ１の振幅は起動時と通常動作時で変えてもよい。起動時の振幅を通常駆動時よりも大きくすれば、ミラー回転軸の回転振動が大きくなり、起動時間をより短縮することができる。

図１２は、本実施形態２に係る制御部４００によるレーザ走査の立ち上げ時の処理を説明するフローチャートである。この処理を実行するプログラムはＲＯＭ４１１に記憶されており、ＣＰＵ４１０の制御の下に実行される。

この処理は、プリンタの場合はプリントが指示されてレーザ走査を開始する時、或いはスキャナの場合には画像の読み取りが指示されてレーザ走査を開始する時、或いはディスプレイの場合には画像の表示が指示されてレーザ走査を開始することにより開始される。先ずステップＳ１１で、レーザ駆動回路４０２にレーザ駆動信号を出力してレーザ光源４０３からレーザ光を発光させる。次にステップＳ１２に進み、駆動信号Ｖ１に設定して駆動回路２００により圧電素子１１０を駆動する。次にステップＳ１３に進み、駆動信号Ｖ２に設定して駆動回路２０１により圧電素子１１０を駆動する。次にステップＳ１４に進み、ＢＤセンサ４０４からの検知信号が入力されるのを待つ。即ち、ＢＤセンサ４０４がレーザ光を検知したかどうかをみる。ＢＤセンサ４０４によりレーザ光が検知されるとステップＳ１５に進み、レーザ光源４０３によるレーザ光の発光を停止する。次にステップＳ１６に進み、圧電素子１１１の駆動を停止するように指示する。

以上説明したように本実施形態２によれば、レーザ光の走査起動時におけるミラー１３０の回転振動の励起を速めることができ、ミラー１３０に過剰な応力が加わることも防止できる。

尚、実施形態２においても、ＢＤセンサ４０４によるレーザ光の検知周期が所定の周期になったかどうかを判定し、所定の周期になったときに、圧電素子１１１の駆動を停止するようにしても良い。

尚図７及び図１２のフローチャートにおいて、レーザ光の発光開始を圧電素子の駆動よりも先に行っても、後で行ってもいずれでも良い。また図７のステップＳ４とＳ５、また図１２のステップＳ１５とＳ１６の順序は逆でも良い。

［実施形態３］
図１３は、本発明の実施形態３に係る光走査装置のミラーを振動させるミラー振動部４の構成を説明する図で、図１３（Ａ）は、このミラー振動部４の上面図、図１３（Ｂ）は、このミラー振動部４を駆動する原理を説明する図である。ここで前述の図２と共通する部分は同じ記号で示している。

このミラー振動部４では、固定部材を兼ねてバルク材の振動源（圧電素子）１１２が配置され、駆動回路２０２に接続されている。この圧電素子１１２は、前述の実施形態２と同様に、基板１００を板厚方向に振動させ、ミラー１３０の回転軸を上下方向に変動させて回転振動の励起を促進している。

図１４（Ａ）（Ｂ）は、本実施形態３において、２つの圧電素子１１０，１１２で発生された板波による基板１００の変形の様子を説明する図である。これら図１４（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ正負の最大振幅時の状態を示している。

このようにして、ミラー１３０の起動時、基板１００の振動を大きくしてミラー１３０の回転振動が励起されるのを速める作用をする。そしてＢＤセンサ４０４がレーザ光を検出して必要な回転振動が得られたと判断されたときは、圧電素子１１２の駆動が停止される。

これら圧電素子の駆動信号は、前述の実施形態２の図１１と同様であり、その場合の制御も図１２のフローチャートと同様にして実現できる。

以上説明したように本実施形態３によれば、レーザ光の走査起動時におけるミラー１３０の回転振動の励起を速めることができ、ミラー１３０に過剰な応力が加わることも防止できる。

以上説明したように本実施形態によれば、ミラー部を揺動させる駆動の立ち上げ時、通常駆動時とは異なる板波を基板に発生させることにより、ミラーの回転振動の立ち上げに要する時間を短縮できる。

また、ミラーにより反射された光を検出して駆動信号を切り替えることにより、梁等に余分な応力が加わった状態が持続されるのを防止でき、速やかに通常の動作状態を作り出すことができる。

これにより例えば、電源のＯＮ／ＯＦＦを頻繁に繰り返す省電力モードで使用した場合にも、起動時間を短くでき、安定性、耐久性に優れた光走査装置を実現できる。

図１５は、本実施の形態１〜３に係る光走査装置を用いたレーザビームプリンタ（ＬＢＰ）の全体構成を示す模式断面図である。

ピックアップローラ（給送ローラ）１１００は、その回転により、カセット１１０１に積載されたシート（記録媒体）を最上側より送り出す。１１０２はリタードローラ対であり、ピックアップローラ１１００の回転により送り出されたシートを一枚ずつに分離して搬送する。１１０３，１１０４は、こうして１枚ずつに分離されたシートを本体内で搬送する搬送ローラである。

１１０５は、画像形成に関する公知のプロセス手段を内蔵したプロセスカートリッジで、このプリンタ装置本体に着脱可能に設けられている。このプロセスカートリッジ１１０５には像担持体としての感光体ドラム１１０６が内蔵されている。１１０７は帯電器で、感光体ドラム１１０６の表面を一様に帯電する。帯電器１１０７により帯電された感光体ドラム１１０６の表面に、上述した本実施形態１〜３に係る光走査装置１１１０から画像情報に応じたレーザ光が照射されることにより、その表面に静電潜像が形成される。現像器１１０８は、静電潜像が形成された感光体ドラム１１０６の表面にトナーを付着させることによりその静電潜像をトナー像にする。この感光体ドラム１１０６には転写ローラ１１１１が押圧されており、搬送ローラ１１０４により搬送されたシートが感光体ドラム１１０６と転写ローラ１１１１との間を通過する際に、このドラム表面のトナー像がシートに転写される。定着装置１１１２は、こうして画像が転写・形成された後のシートに対して熱及び圧力を印加して転写画像を定着させる。そして、画像が定着された後のシートが搬送されて、排出ローラ対１１１３により装置上面に形成された排出トレイ１１１４に画像面を下側にして排出される。１１０９はクリーニング器で、転写されずに感光体ドラム１１０６の表面に残ったトナーを回収してドラム表面を清掃する。１１１５は、両面印刷用のシート搬送路である。

こうして本実施形態に係る光走査装置は、レーザ光により画像を形成する画像形成装置（プリンタ）にも適用できる。

またこの光走査装置は、原稿上に光を走査させて、その原稿を読み取るスキャナ（画像読み取り装置）にも適用できる。

またこの光走査装置は、スクリーンや網膜に光を走査させて、画像を表示するディスプレイにも適用できる。

周知の駆動方式を説明する図である。本実施形態１に係る光走査装置のミラーを振動させるミラー振動部の構成を説明する図である。本実施形態１に係る、圧電素子の振動によって基板に発生された板波による基板の変形とミラーの回転振動の様子を説明する図である。基板に発生する板波の波長と、板波の節の位置との関係を示す図である。本実施形態１に係る光走査装置の概略構成を示すブロック図である。基板に発生する板波の特性を示すグラフ図である。本実施形態１に係る制御部によるレーザ走査の立ち上げ時の処理を説明するフローチャートである。本実施形態１に係る圧電素子の駆動信号の一例を示す図である。本発明の実施形態２に係る光走査装置のミラーを振動させるミラー振動部３の構成を説明する図である。本実施形態２において、２つの圧電素子で発生された板波による基板の変形の様子を説明する図である。本実施形態２に係る圧電素子の駆動信号の一例を示す図である。本実施形態２に係る制御部によるレーザ走査の立ち上げ時の処理を説明するフローチャートである。本発明の実施形態３に係る光走査装置のミラーを振動させるミラー振動部の構成を説明する図である。本実施形態２において、２つの圧電素子で発生された板波による基板の変形の様子を説明する図である。本実施の形態１〜３に係る光走査装置を用いたレーザビームプリンタ（ＬＢＰ）の全体構成を示す模式断面図である。

符号の説明

１００基板
１１０，１１１，１１２圧電素子（振動源）
１２０捩れ梁
１３０ミラー
１６０固定部材
２００，２０１駆動回路

Claims

基板に設けられた支持部により支持されたミラー部を揺動させ、光源からの光を当該ミラー部により反射させて走査させる光走査装置であって、
前記基板を前記ミラー部が設けられた側の反対側端部で固定する固定部材と、
前記基板上に設けられ、前記基板に当該基板の変形を伴う板波を発生させるための振動源と、
前記振動源を駆動する駆動手段と、
前記駆動手段による前記振動源の駆動を制御すると共に、前記ミラー部を揺動させる駆動の立ち上げ時、通常駆動時とは異なる板波を前記基板に発生させるように前記駆動手段を制御する制御手段と、
前記光源からの光が前記ミラー部で反射されたことを所定位置で検出する検出手段とを有し、
前記制御手段は、前記検出手段により前記光が検出されると、前記通常駆動時の板波を前記基板に発生させるように前記駆動手段を制御することを特徴とする光走査装置。
基板に設けられた支持部により支持されたミラー部を揺動させ、光源からの光を当該ミラー部により反射させて走査させる光走査装置であって、
前記基板を前記ミラー部が設けられた側の反対側端部で固定する固定部材と、
前記基板上に設けられ、前記基板に当該基板の変形を伴う板波を発生させるための振動源と、
前記振動源を駆動する駆動手段と、
前記駆動手段による前記振動源の駆動を制御すると共に、前記ミラー部を揺動させる駆動の立ち上げ時、通常駆動時とは異なる板波を前記基板に発生させるように前記駆動手段を制御する制御手段とを有し、
前記制御手段は、前記ミラー部を揺動させる駆動の立ち上げ時、前記通常駆動時の周波数とは異なる周波数で前記振動源を駆動するように前記駆動手段を制御することを特徴とする光走査装置。
基板に設けられた支持部により支持されたミラー部を揺動させ、光源からの光を当該ミラー部により反射させて走査させる光走査装置であって、
前記基板を前記ミラー部が設けられた側の反対側端部で固定する固定部材と、
前記基板上に設けられ、前記基板に当該基板の変形を伴う板波を発生させるための圧電素子からなる振動源と、
前記振動源を駆動する駆動手段と、
前記駆動手段による前記振動源の駆動を制御すると共に、前記ミラー部を揺動させる駆動の立ち上げ時、通常駆動時とは異なる板波を前記基板に発生させるように前記駆動手段を制御する制御手段と、
前記光源からの光が前記ミラー部で反射されたことを所定位置で検出する検出手段とを有し、前記制御手段は、前記検出手段により前記光が検出されると、前記通常駆動時の板波を前記基板に発生させるように前記駆動手段を制御することを特徴とする光走査装置。
前記制御手段は、前記ミラー部を揺動させる駆動の立ち上げ時、前記駆動手段から前記振動源に供給する駆動信号を通常駆動時よりも大きくするように前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項２に記載の光走査装置。
基板に設けられた支持部により支持されたミラー部を揺動させ、光源からの光を当該ミラー部により反射させて走査させる光走査装置であって、
前記基板を前記ミラー部が設けられた側の反対側端部で固定する固定部材と、
前記基板上に設けられ、前記基板に当該基板の変形を伴う板波を発生させるための第１及び第２の振動源と、
前記第１及び第２の振動源を駆動する駆動手段と、
前記駆動手段による前記第１及び第２の振動源の駆動を制御すると共に、前記ミラー部を揺動させる駆動の立ち上げ時、前記駆動手段により前記第１及び第２の振動源を駆動するように制御する制御手段と、
前記光源からの光が前記ミラー部で反射されたことを所定位置で検出する検出手段とを有し、
前記制御手段は、前記検出手段により前記光が検出されると前記第２の振動源の駆動を停止するように制御することを特徴とする光走査装置。
基板に設けられた支持部により支持されたミラー部を揺動させ、光源からの光を当該ミラー部により反射させて走査させる光走査装置であって、
前記基板を前記ミラー部が設けられた側の反対側端部で固定する固定部材と、
前記基板上に設けられ、前記基板に当該基板の変形を伴う板波を発生させるための第１及び第２の振動源と、
前記第１及び第２の振動源を駆動する駆動手段と、
前記駆動手段による前記第１及び第２の振動源の駆動を制御すると共に、前記ミラー部を揺動させる駆動の立ち上げ時、前記駆動手段により前記第１及び第２の振動源を駆動するように制御する制御手段とを有し、
前記第２の振動源は、前記第１の振動源と前記固定部材との間の前記基板上に設けられていることを特徴とする光走査装置。
前記第２の振動源は、前記基板に対して前記基板の厚み方向の振動を与えるために駆動されることを特徴とする請求項５又は６に記載の光走査装置。
前記制御手段は、前記ミラー部を揺動させる駆動の立ち上げ時、前記駆動手段から前記第１の振動源に供給する駆動信号を通常駆動時よりも大きくするように前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の光走査装置。
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の光走査装置と、
前記光走査装置から照射される画像情報に応じたレーザ光により記録媒体に像を形成する手段と、
を有することを特徴とする画像形成装置。
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の光走査装置を備えたことを特徴とする画像読取装置。
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の光走査装置を備えたことを特徴とするディスプレイ装置。