JP5939037B2 - 圧力センサー素子および電子機器 - Google Patents
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Description
本適用例に係る圧力センサー素子は、
基台と、
前記基台と平面視で重なっていて前記基台に固定されており、厚肉部と、前記厚肉部よりも厚さの小さい薄肉部とを含んでいて圧力を受けて変形する受圧部を有するダイヤフラムと、
前記厚肉部の前記基台側の面側で、平面視において前記厚肉部の外縁に囲まれた位置に配置されている感圧素子と、
を備えている。
本適用例に係る圧力センサー素子によれば、
前記感圧素子は、
前記厚肉部に固定されている一対のベース部と、
前記一対のベース部の一方から他方まで、互いに離間して延出している一対の振動梁部と、
を備えていてもよい。
本適用例に係る圧力センサー素子によれば、
前記一対の振動梁部は、前記一対の振動梁部に挟まれている軸に沿って延びており、
前記薄肉部の前記軸上の長さは、前記受圧部の前記軸上の長さの20%以上60%以下であってもよい。
本適用例に係る圧力センサー素子によれば、
前記薄肉部の前記軸上の長さは、前記受圧部の前記軸上の長さの30%以上50%以下であってもよい。
本適用例に係る圧力センサー素子によれば、
前記薄肉部の厚さは、前記厚肉部の厚さの30%以上70%以下であってもよい。
本適用例に係る圧力センサー素子によれば、
前記薄肉部の厚さは、前記厚肉部の厚さの40%以上60%以下であってもよい。
本適用例に係る圧力センサー素子によれば、
前記感圧素子の材質は、水晶であってもよい。
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係る圧力センサー素子を含む。
まず、本実施形態に係る圧力センサー素子について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る圧力センサー素子100を模式的に示す断面図である。図2は、本実施形態に係る圧力センサー素子100を模式的に示す平面図である。なお、図1は、図2のI−I線断面図である。また、図1および図2では、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸、Z軸を図示している。
次に、本実施形態に係る圧力センサー素子の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図4〜図6は、本実施形態に係る圧力センサー素子の製造工程を模式的に示す断面図である。
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る電子機器は、本発明に係る圧力センサー素子を含む。以下では、本発明に係る圧力センサー素子として、圧力センサー素子100を含む電子機器について、説明する。
Claims (8)
- 基台と、
厚肉部と、前記厚肉部よりも厚さの小さい薄肉部と、を含む受圧部を有し、前記受圧部の厚み方向からの平面視において少なくとも一部が前記基台と重なるように前記基台に固定されているダイヤフラムと、
前記厚肉部と前記基台との間の位置であって、且つ前記平面視において前記厚肉部の外縁に囲まれた位置に配置されている感圧素子と、
を備え、
前記薄肉部の厚さは、前記厚肉部の厚さの30%以上70%以下であることを特徴とする圧力センサー素子。 - 前記感圧素子は、
圧電素子であることを特徴する請求項1に記載の圧力センサー素子。 - 前記感圧素子は、
前記厚肉部に固定されている一対のベース部と、
前記一対のベース部の一方から他方まで、互いに離間して延出している一対の振動梁部と、
を備えていることを特徴する請求項1または2に記載の圧力センサー素子。 - 前記感圧素子の前記一対のベース部は、
前記厚肉部の前記基台に対向している面に突出する形状で設けられている一対の載置部に固定されていることを特徴する請求項3に記載の圧力センサー素子。 - 基台と、
厚肉部と、前記厚肉部よりも厚さの小さい薄肉部と、を含む受圧部を有し、前記受圧部の厚み方向からの平面視において少なくとも一部が前記基台と重なるように前記基台に固定されているダイヤフラムと、
前記厚肉部に固定されている一対のベース部と、前記一対のベース部の一方から他方まで、互いに離間して延出している一対の振動梁部と、を備え、前記厚肉部と前記基台との間の位置であって、且つ前記平面視において前記厚肉部の外縁に囲まれた位置に配置されている感圧素子と、
を備え、
前記一対の振動梁部は、前記一対の振動梁部に挟まれている軸に沿って延びており、
前記薄肉部の前記軸上の長さは、前記受圧部の前記軸上の長さの20%以上60%以下であることを特徴とする圧力センサー素子。 - 前記薄肉部の厚さは、前記厚肉部の厚さの30%以上70%以下であることを特徴とする請求項5に記載の圧力センサー素子。
- 前記感圧素子の材質、前記ダイヤフラムの材質および前記基台の材質は、水晶であることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の圧力センサー素子。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の圧力センサー素子を含むことを特徴する電子機器。
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JP2012122790A JP5939037B2 (ja) | 2012-05-30 | 2012-05-30 | 圧力センサー素子および電子機器 |
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JP2012122790A JP5939037B2 (ja) | 2012-05-30 | 2012-05-30 | 圧力センサー素子および電子機器 |
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JP2013250063A5 JP2013250063A5 (ja) | 2015-07-16 |
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