JP2009041983A5 - - Google Patents

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或いは、反転法等を使用して、零点誤差を算出して、その零点誤差を補償するようにしている（特許文献１参照）。
しかし、一旦、零点誤差を解消したり、或いは、反転法等を使用して零点誤差を補償しても、時間が経過した場合、変位センサの取付け位置がドリフトなどによって、３つの変位センサ間の零点誤差が変動していることがある。
特開２００６−３３７１１２号公報
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5252649B2 (ja) * 2009-06-15 2013-07-31 株式会社ナガセインテグレックス 校正装置及び真直形状測定装置
JP2014137274A (ja) * 2013-01-16 2014-07-28 Sumitomo Heavy Ind Ltd 幾何学量取得装置及び幾何学量取得方法
CN105937886B (zh) * 2015-03-04 2020-01-10 住友重机械工业株式会社 形状测量装置、加工装置及形状测量装置的校正方法
JP6444783B2 (ja) * 2015-03-18 2018-12-26 住友重機械工業株式会社 形状計測装置、加工装置及び形状計測装置の校正方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001041733A (ja) * 1999-07-30 2001-02-16 Univ Chuo 表面形状計測装置
JP3790961B2 (ja) * 2001-11-26 2006-06-28 株式会社東北テクノアーチ 表面形状測定装置
EP1828715A1 (en) * 2004-12-16 2007-09-05 Koninklijke Philips Electronics N.V. Sequential multi-probe method for measurement of the straightness of a straightedge
JP4452651B2 (ja) * 2005-05-31 2010-04-21 株式会社ナガセインテグレックス 逐次３点法における零点誤差補正方法及び零点誤差補正装置
JP4866807B2 (ja) * 2007-07-30 2012-02-01 株式会社岡本工作機械製作所 表面形状校正装置および表面形状校正方法

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