JP2010117343A5 - - Google Patents
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Description
より具体的には、光検出器２５のノイズ特性を示す、補正ダークパターンを予め用意しておき、この補正ダークパターンに通常測定時に測定された振幅を乗じて、補正ダークスペクトルを決定（推定）する。このように決定される補正ダークスペクトルは、通常測定時の周囲温度を反映したものとなる。上述したように、補正ダークスペクトルの振幅（信号強度）は、露光時間に応じて変動するために、本変形例においては、光検出器２５において設定可能な複数の露光時間に対応付けて、複数の補正ダークパターンを用意する構成を採用する。すなわち、各通常測定において、光検出器２５に設定されている露光時間に対応する１つの補正ダークパターンが選択され、この選択された補正ダークパターンに基づいて、補正ダークスペクトルが決定される。
本実施の形態においては、複数の補正ダークパターン２６１は、補正値ΔＭで規格化された値として予め実験的に取得される。これらの複数の補正ダークパターン２６１は、光検出器２５に固有の値となる場合も多いと考えられる。そのため、たとえば、本変形例に従う測定器本体２＃の完成検査時などに実際に測定することで、複数の補正ダークパターン２６１を決定してもよい。
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