JP2002195884A - 光検出装置、暗出力補正方法および光スペクトラムアナライザ - Google Patents
光検出装置、暗出力補正方法および光スペクトラムアナライザInfo
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- JP2002195884A JP2002195884A JP2000391708A JP2000391708A JP2002195884A JP 2002195884 A JP2002195884 A JP 2002195884A JP 2000391708 A JP2000391708 A JP 2000391708A JP 2000391708 A JP2000391708 A JP 2000391708A JP 2002195884 A JP2002195884 A JP 2002195884A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定時間の増大をもたらすことなくオフセッ
ト変動をキャンセルすることが可能な光検出装置を提供
する。 【解決手段】 光検出装置に、被測定光を受光可能な第
１の受光セルと、前記被測定光を含む全ての光を遮光し
た第２の受光セルとをもつ受光手段３５と、この受光手
段３５がもつ第１の受光セルからの出力を、第２の受光
セルからの出力を用いて補正する補正手段４２とを備え
た。
ト変動をキャンセルすることが可能な光検出装置を提供
する。 【解決手段】 光検出装置に、被測定光を受光可能な第
１の受光セルと、前記被測定光を含む全ての光を遮光し
た第２の受光セルとをもつ受光手段３５と、この受光手
段３５がもつ第１の受光セルからの出力を、第２の受光
セルからの出力を用いて補正する補正手段４２とを備え
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フォトダイオード
アレイ等の受光手段を備えた光検出装置、この光検出装
置が備えた受光手段の暗出力を補正する暗出力補正方
法、前記光検出装置を備えた光スペクトラムアナライザ
に関する。
アレイ等の受光手段を備えた光検出装置、この光検出装
置が備えた受光手段の暗出力を補正する暗出力補正方
法、前記光検出装置を備えた光スペクトラムアナライザ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】フォトダイオードアレイは、受光した光
電力（光パワー）に比例した出力が得られる受光セルを
複数個備えており、光電力検出器として用いられてい
る。このフォトダイオードアレイを用いて光電力を測定
する際には、フォトダイオードアレイの各受光セルの出
力を光電力に換算するが、各受光セルは、それぞれ異な
る暗出力をもっており、各受光セルの出力から、それぞ
れ異なる暗出力を差し引く必要がある。
電力（光パワー）に比例した出力が得られる受光セルを
複数個備えており、光電力検出器として用いられてい
る。このフォトダイオードアレイを用いて光電力を測定
する際には、フォトダイオードアレイの各受光セルの出
力を光電力に換算するが、各受光セルは、それぞれ異な
る暗出力をもっており、各受光セルの出力から、それぞ
れ異なる暗出力を差し引く必要がある。
【０００３】図５は、従来の光電力測定方法の一例を示
すフローチャートである。まず、外部遮光手段によって
フォトダイオードアレイの全ての受光セルを遮光した上
で、各受光セルの出力Ｘｎを測定し、測定した出力Ｘｎ
をｎ番目の受光セルの暗出力として記憶しておく（ステ
ップＡ１）。
すフローチャートである。まず、外部遮光手段によって
フォトダイオードアレイの全ての受光セルを遮光した上
で、各受光セルの出力Ｘｎを測定し、測定した出力Ｘｎ
をｎ番目の受光セルの暗出力として記憶しておく（ステ
ップＡ１）。
【０００４】光電力を測定するとき（ステップＡ２）に
は、前記外部遮光手段を取り除き、ｎ番目の受光セルの
出力Ｑｎを測定し、出力ＱｎからステップＡ１で記憶し
ておいた暗出力Ｘｎを差し引き、差し引いた結果を記憶
する（ステップＡ３、Ａ４）。すべての受光セルについ
てステップＡ３、Ａ４が完了したら（ステップＡ５）、
各受光セルについて受光電力Ｐｎを演算する（ステップ
Ａ６）。ｎ番目の受光セルの受光電力Ｐｎは、演算に用
いる関数をｆ（ｘ）とすると、 Ｐｎ＝ｆ（Ｑｎ−Ｘｎ） …（１） で求められる。受光電力値の平均化処理を行うため、ス
テップＡ３〜Ａ７を繰り返し、平均化が終了したら（ス
テップＡ７）、測定を終了する（ステップＡ８）。
は、前記外部遮光手段を取り除き、ｎ番目の受光セルの
出力Ｑｎを測定し、出力ＱｎからステップＡ１で記憶し
ておいた暗出力Ｘｎを差し引き、差し引いた結果を記憶
する（ステップＡ３、Ａ４）。すべての受光セルについ
てステップＡ３、Ａ４が完了したら（ステップＡ５）、
各受光セルについて受光電力Ｐｎを演算する（ステップ
Ａ６）。ｎ番目の受光セルの受光電力Ｐｎは、演算に用
いる関数をｆ（ｘ）とすると、 Ｐｎ＝ｆ（Ｑｎ−Ｘｎ） …（１） で求められる。受光電力値の平均化処理を行うため、ス
テップＡ３〜Ａ７を繰り返し、平均化が終了したら（ス
テップＡ７）、測定を終了する（ステップＡ８）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】フォトダイオードアレ
イの暗出力は、測定毎に変動する。特に、図６の符号Ｃ
に示す、全ての受光セルに対して同レベルかつ同方向
（増加または減少）に生じるオフセット変動によって、
記憶しておいた暗出力Ｘｎと実際の暗出力との間に差が
生じ、この差が測定値の雑音成分となり、測定値の再現
性が悪化し、また検出可能な最低光電力が上昇し、測定
装置のダイナミックレンジが狭くなる。
イの暗出力は、測定毎に変動する。特に、図６の符号Ｃ
に示す、全ての受光セルに対して同レベルかつ同方向
（増加または減少）に生じるオフセット変動によって、
記憶しておいた暗出力Ｘｎと実際の暗出力との間に差が
生じ、この差が測定値の雑音成分となり、測定値の再現
性が悪化し、また検出可能な最低光電力が上昇し、測定
装置のダイナミックレンジが狭くなる。
【０００６】従来は、この問題に対して、測定値の平均
化処理を行うことによって対処していたが、この平均化
処理には、大幅な測定時間の増大をもたらすという別の
問題がある。例えば、１０回の測定を行い、平均化処理
を行うと、雑音成分を約１／３（１／√１０）まで低減
させることができるが、測定を１０回繰り返さなければ
ならないので、測定時間が１０倍になり、測定間隔もま
た１０倍になってしまう。このように、平均化処理は大
幅な測定時間の増大をもたらすので、例えば測定時間が
限られているような場合には、演算の速度を向上させざ
るを得なかった。
化処理を行うことによって対処していたが、この平均化
処理には、大幅な測定時間の増大をもたらすという別の
問題がある。例えば、１０回の測定を行い、平均化処理
を行うと、雑音成分を約１／３（１／√１０）まで低減
させることができるが、測定を１０回繰り返さなければ
ならないので、測定時間が１０倍になり、測定間隔もま
た１０倍になってしまう。このように、平均化処理は大
幅な測定時間の増大をもたらすので、例えば測定時間が
限られているような場合には、演算の速度を向上させざ
るを得なかった。
【０００７】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されたもので、測定時間の増大をもたらして測定間隔を
伸ばしてしまうことなく、上記オフセット変動をキャン
セルし、より低い値の光電力の検出を可能とし、光電力
値の再現性および電気的ダイナミックレンジを向上させ
た光検出装置、この光検出装置が備えた受光手段すなわ
ちフォトダイオードアレイの暗出力を補正する暗出力補
正方法、前記光検出装置を備えた光スペクトラムアナラ
イザを提供する。
されたもので、測定時間の増大をもたらして測定間隔を
伸ばしてしまうことなく、上記オフセット変動をキャン
セルし、より低い値の光電力の検出を可能とし、光電力
値の再現性および電気的ダイナミックレンジを向上させ
た光検出装置、この光検出装置が備えた受光手段すなわ
ちフォトダイオードアレイの暗出力を補正する暗出力補
正方法、前記光検出装置を備えた光スペクトラムアナラ
イザを提供する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、被測定光を受光可能な第１の受光セルと、前記被測
定光を含む全ての光を遮光した第２の受光セルとをもつ
受光手段と、この受光手段がもつ第１の受光セルからの
出力を、第２の受光セルからの出力を用いて補正する補
正手段とを備えたことを特徴とする光検出装置である。
は、被測定光を受光可能な第１の受光セルと、前記被測
定光を含む全ての光を遮光した第２の受光セルとをもつ
受光手段と、この受光手段がもつ第１の受光セルからの
出力を、第２の受光セルからの出力を用いて補正する補
正手段とを備えたことを特徴とする光検出装置である。
【０００９】請求項２に記載の発明は、被測定光を受光
可能な第１の受光セルと、前記被測定光を含む全ての光
を遮光した第２の受光セルとをもつ受光手段を用い、前
記第１の受光セルで被測定光を受光し、この第１の受光
セルからの出力を、前記第２の受光セルからの出力を用
いて補正することを特徴とする暗出力補正方法である。
可能な第１の受光セルと、前記被測定光を含む全ての光
を遮光した第２の受光セルとをもつ受光手段を用い、前
記第１の受光セルで被測定光を受光し、この第１の受光
セルからの出力を、前記第２の受光セルからの出力を用
いて補正することを特徴とする暗出力補正方法である。
【００１０】請求項３に記載の発明は、被測定光を波長
毎に分光する分光手段と、この分光手段で分光された被
測定光を波長毎に受光可能な第１の受光セルと、前記被
測定光を含む全ての光を遮光した第２の受光セルとをも
つ受光手段と、この受光手段がもつ第１の受光セルから
の出力を、第２の受光セルからの出力を用いて補正する
補正手段とを備えたことを特徴とする光スペクトラムア
ナライザである。
毎に分光する分光手段と、この分光手段で分光された被
測定光を波長毎に受光可能な第１の受光セルと、前記被
測定光を含む全ての光を遮光した第２の受光セルとをも
つ受光手段と、この受光手段がもつ第１の受光セルから
の出力を、第２の受光セルからの出力を用いて補正する
補正手段とを備えたことを特徴とする光スペクトラムア
ナライザである。
【００１１】上記構成によれば、受光手段（フォトダイ
オードアレイ）の特定の受光セルを常に遮光しておき、
暗出力検出セルとし、測定時には、この暗出力検出セル
によって毎回暗出力を検出するので、測定値の平均化処
理を行わなくても雑音成分を除去することができる。
オードアレイ）の特定の受光セルを常に遮光しておき、
暗出力検出セルとし、測定時には、この暗出力検出セル
によって毎回暗出力を検出するので、測定値の平均化処
理を行わなくても雑音成分を除去することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図１に示すブロック図を参
照し、本発明の一実施形態である光スペクトラムアナラ
イザの構成を説明する。図中の符号３０は、被測定光を
波長毎に分光し、分光した波長毎の光の光量に応じた信
号を出力する分光器である。符号４０は、前記分光器３
０が出力する信号に基づいて被測定光のスペクトラムを
算出する測定装置である。
照し、本発明の一実施形態である光スペクトラムアナラ
イザの構成を説明する。図中の符号３０は、被測定光を
波長毎に分光し、分光した波長毎の光の光量に応じた信
号を出力する分光器である。符号４０は、前記分光器３
０が出力する信号に基づいて被測定光のスペクトラムを
算出する測定装置である。
【００１３】分光器３０は、被測定光を入射する入射口
３１をもち、また、コリメートレンズ３２、回折格子３
３、フォーカシングレンズ３４、フォトダイオードアレ
イ３５、制御装置３６を内蔵している。入射口３１から
分光器３０内に被測定光を入射させると、被測定光は、
コリメートレンズ３２で平行光にされ、回折格子３３に
入射し、波長によって異なる方向に分光される。分光さ
れた光は、フォーカシングレンズ３４により、フォトダ
イオードアレイ３５上に集光される。フォトダイオード
アレイ３５上には、複数の受光セルが設けられていて、
このうち特定の受光セルが常に遮光されている。遮光さ
れた受光セルは、暗出力検出セルとして用いられる。制
御装置３６は、測定装置４０からの測定開始信号を受
け、フォトダイオードアレイ３５の各受光セルの出力を
一定時間毎に測定装置４０へ出力する。
３１をもち、また、コリメートレンズ３２、回折格子３
３、フォーカシングレンズ３４、フォトダイオードアレ
イ３５、制御装置３６を内蔵している。入射口３１から
分光器３０内に被測定光を入射させると、被測定光は、
コリメートレンズ３２で平行光にされ、回折格子３３に
入射し、波長によって異なる方向に分光される。分光さ
れた光は、フォーカシングレンズ３４により、フォトダ
イオードアレイ３５上に集光される。フォトダイオード
アレイ３５上には、複数の受光セルが設けられていて、
このうち特定の受光セルが常に遮光されている。遮光さ
れた受光セルは、暗出力検出セルとして用いられる。制
御装置３６は、測定装置４０からの測定開始信号を受
け、フォトダイオードアレイ３５の各受光セルの出力を
一定時間毎に測定装置４０へ出力する。
【００１４】測定装置４０は、Ａ／Ｄ変換装置４１、演
算装置４２、演算手段４３を内蔵している。前記制御装
置３６が出力する、フォトダイオードアレイ３５の各受
光セルの出力は、測定装置４０に入力され、この測定装
置４０内のＡ／Ｄ変換装置４１でＡ／Ｄ変換され、演算
装置４２、演算手段４３で所定の演算が施され、被測定
光の波長毎のレベルすなわちスペクトラムが算出され
る。
算装置４２、演算手段４３を内蔵している。前記制御装
置３６が出力する、フォトダイオードアレイ３５の各受
光セルの出力は、測定装置４０に入力され、この測定装
置４０内のＡ／Ｄ変換装置４１でＡ／Ｄ変換され、演算
装置４２、演算手段４３で所定の演算が施され、被測定
光の波長毎のレベルすなわちスペクトラムが算出され
る。
【００１５】次に、図２を参照し、本発明の原理を説明
する。図中の受光セル番号０に対応する受光セルは、暗
出力検出セル、すなわち遮光された受光セルであるもの
とする。まず、被測定光の測定の前に、全受光セルを外
部遮光手段を用いて遮光し、全受光セルの暗出力を測定
する。そして、受光セル番号０の暗出力検出セルと、そ
れ以外の各受光セル（受光セル番号１、２、…、ｎ、…
の受光セル）との暗出力の差ΔＸ１、ΔＸ２、…、ΔＸ
ｎ、…を算出し、記憶しておく。
する。図中の受光セル番号０に対応する受光セルは、暗
出力検出セル、すなわち遮光された受光セルであるもの
とする。まず、被測定光の測定の前に、全受光セルを外
部遮光手段を用いて遮光し、全受光セルの暗出力を測定
する。そして、受光セル番号０の暗出力検出セルと、そ
れ以外の各受光セル（受光セル番号１、２、…、ｎ、…
の受光セル）との暗出力の差ΔＸ１、ΔＸ２、…、ΔＸ
ｎ、…を算出し、記憶しておく。
【００１６】被測定光の測定時には、受光セル番号０の
暗出力検出セルの、測定時における暗出力Ｘと、あらか
じめ記憶しておいたΔＸ１、ΔＸ２、…、ΔＸｎ、…と
の和を、各受光セルの暗出力として、各受光セルの測定
値Ｑ１、Ｑ２、…、Ｑｎ、…より差し引き、さらに差し
引いた結果に所定の演算を施すことによって各受光セル
が受光した光の光電力Ｐ１、Ｐ２、…、Ｐｎ、…を求め
る。光電力を求める演算に用いる関数をｆ（ｘ）とする
と、 Ｐｎ＝ｆ｛Ｑｎ−（Ｘ＋ΔＸｎ）｝ …（２） となる。
暗出力検出セルの、測定時における暗出力Ｘと、あらか
じめ記憶しておいたΔＸ１、ΔＸ２、…、ΔＸｎ、…と
の和を、各受光セルの暗出力として、各受光セルの測定
値Ｑ１、Ｑ２、…、Ｑｎ、…より差し引き、さらに差し
引いた結果に所定の演算を施すことによって各受光セル
が受光した光の光電力Ｐ１、Ｐ２、…、Ｐｎ、…を求め
る。光電力を求める演算に用いる関数をｆ（ｘ）とする
と、 Ｐｎ＝ｆ｛Ｑｎ−（Ｘ＋ΔＸｎ）｝ …（２） となる。
【００１７】このようにすれば、全受光セルが同レベル
かつ同方向に変動するオフセット変動が、受光セル番号
０の暗出力検出セルで、被測定光の測定時に毎回検出さ
れる。すなわち、暗出力検出セルの出力Ｘには、被測定
光の測定時におけるオフセット変動が含まれているの
で、暗出力検出セルの出力Ｘを用いて、全ての受光セル
からオフセット変動をキャンセルすることができる。
かつ同方向に変動するオフセット変動が、受光セル番号
０の暗出力検出セルで、被測定光の測定時に毎回検出さ
れる。すなわち、暗出力検出セルの出力Ｘには、被測定
光の測定時におけるオフセット変動が含まれているの
で、暗出力検出セルの出力Ｘを用いて、全ての受光セル
からオフセット変動をキャンセルすることができる。
【００１８】次に、図３に示すフローチャートを参照
し、本実施形態の動作を説明する。なお、以下の文中に
おけるＢ１等の符号は、フローチャート中のステップを
表す。まず、被測定光を測定する前に、入射口３１を外
部遮光手段で遮光し、フォトダイオードアレイ３５の、
暗出力検出セルを含む全受光セルの出力を測定し、暗出
力検出セルの出力と、それ以外の各受光セルの出力との
差を演算装置４２によって演算させ、演算結果を演算装
置４２に記憶させる（ステップＢ１）。
し、本実施形態の動作を説明する。なお、以下の文中に
おけるＢ１等の符号は、フローチャート中のステップを
表す。まず、被測定光を測定する前に、入射口３１を外
部遮光手段で遮光し、フォトダイオードアレイ３５の、
暗出力検出セルを含む全受光セルの出力を測定し、暗出
力検出セルの出力と、それ以外の各受光セルの出力との
差を演算装置４２によって演算させ、演算結果を演算装
置４２に記憶させる（ステップＢ１）。
【００１９】被測定光の測定を開始すると、まず、測定
装置４０から分光器３０へ測定開始信号が送出される
（ステップＢ２）。分光器３０内の制御装置３６は、こ
の測定開始信号を受け、図４に示すタイミングチャート
に従って、一定間隔Ｔで、フォトダイオードアレイ３５
の各受光セルからの出力を測定装置４０へ出力する。こ
のとき、最初の出力を、遮光された暗出力検出セルから
の出力Ｘとし、２番目以降の出力を、それ以外の各受光
セルからの出力Ｑ１、Ｑ２、…、Ｑｎ、…とする。
装置４０から分光器３０へ測定開始信号が送出される
（ステップＢ２）。分光器３０内の制御装置３６は、こ
の測定開始信号を受け、図４に示すタイミングチャート
に従って、一定間隔Ｔで、フォトダイオードアレイ３５
の各受光セルからの出力を測定装置４０へ出力する。こ
のとき、最初の出力を、遮光された暗出力検出セルから
の出力Ｘとし、２番目以降の出力を、それ以外の各受光
セルからの出力Ｑ１、Ｑ２、…、Ｑｎ、…とする。
【００２０】測定装置４０内の演算装置４２は、まず、
暗出力検出セルからの出力Ｘを取得し、記憶する（ステ
ップＢ３）。次に、それ以外の受光セルからの出力Ｑｎ
（ただしｎ＝１、２、…）を取得し、暗出力（Ｘ＋ΔＸ
ｎ）を差し引いて記憶する（ステップＢ４、Ｂ５）。す
なわち、まず、出力Ｑ１を取得し、暗出力（Ｘ＋ΔＸ
１）を差し引いて記憶し、以降、同様の演算を出力Ｑ
２、Ｑ３、…に対して繰り返し行う。すなわち、 Ｒｎ＝Ｑｎ−（Ｘ＋ΔＸｎ） …（３） を各受光セル（受光セル番号が、１、２、…、ｎ、…の
受光セル）について演算し、Ｒｎを記憶する。全ての受
光セルの出力について演算が終了したら（ステップＢ
６）、（２）式の演算によって各受光セルの受光電力Ｐ
ｎを求め（ステップＢ７）、測定を終了する（ステップ
Ｂ８）。ここで、あらかじめ各受光セルの受光セル番号
と分光された光の波長とを関係付けておけば、各受光セ
ルの受光電力Ｐｎから、分光器３０において分光された
光のスペクトラムを得ることができる。
暗出力検出セルからの出力Ｘを取得し、記憶する（ステ
ップＢ３）。次に、それ以外の受光セルからの出力Ｑｎ
（ただしｎ＝１、２、…）を取得し、暗出力（Ｘ＋ΔＸ
ｎ）を差し引いて記憶する（ステップＢ４、Ｂ５）。す
なわち、まず、出力Ｑ１を取得し、暗出力（Ｘ＋ΔＸ
１）を差し引いて記憶し、以降、同様の演算を出力Ｑ
２、Ｑ３、…に対して繰り返し行う。すなわち、 Ｒｎ＝Ｑｎ−（Ｘ＋ΔＸｎ） …（３） を各受光セル（受光セル番号が、１、２、…、ｎ、…の
受光セル）について演算し、Ｒｎを記憶する。全ての受
光セルの出力について演算が終了したら（ステップＢ
６）、（２）式の演算によって各受光セルの受光電力Ｐ
ｎを求め（ステップＢ７）、測定を終了する（ステップ
Ｂ８）。ここで、あらかじめ各受光セルの受光セル番号
と分光された光の波長とを関係付けておけば、各受光セ
ルの受光電力Ｐｎから、分光器３０において分光された
光のスペクトラムを得ることができる。
【００２１】なお、上記実施形態では、測定時間を短縮
するために、各受光セルの出力間隔Ｔ内にステップＢ
４、Ｂ５の処理を行っているが、出力間隔Ｔ内に前記の
処理を行うことができない場合には、出力間隔Ｔ内にス
テップＢ５の処理を行わず、出力Ｑｎ（ただしｎ＝１、
２、…）を記憶しておき、全受光セルの出力の取得が終
わってからステップＢ５の処理を行っても良い。
するために、各受光セルの出力間隔Ｔ内にステップＢ
４、Ｂ５の処理を行っているが、出力間隔Ｔ内に前記の
処理を行うことができない場合には、出力間隔Ｔ内にス
テップＢ５の処理を行わず、出力Ｑｎ（ただしｎ＝１、
２、…）を記憶しておき、全受光セルの出力の取得が終
わってからステップＢ５の処理を行っても良い。
【００２２】逆に、出力間隔Ｔ内にステップＢ４、Ｂ５
の処理以上のことを行うことが可能であれば、この出力
間隔Ｔ内に、出力ＱｎからＲｎを演算し、さらに受光電
力Ｐｎを演算してしまえば、全受光セルの出力の取得が
終わってからの処理時間を短縮することができ、測定時
間をさらに短縮することができる。
の処理以上のことを行うことが可能であれば、この出力
間隔Ｔ内に、出力ＱｎからＲｎを演算し、さらに受光電
力Ｐｎを演算してしまえば、全受光セルの出力の取得が
終わってからの処理時間を短縮することができ、測定時
間をさらに短縮することができる。
【００２３】また、従来は、温度変化によって個々の受
光セルの暗出力が変動する場合には、光スペクトラムア
ナライザに温度センサおよび温度制御装置を設け、フォ
トダイオードアレイ３５の温度を検出および制御する必
要があった。この問題に対処するためには、一定時間毎
に、あるいは温度センサを用い一定値以上の温度変化が
あった場合に、外部遮光手段を用いて全受光セルを遮光
し、暗出力検出セルと、それ以外の各受光セルとの出力
の差ΔＸｎを記憶し直すとよい。このようにすれば、温
度変化に対する暗出力の変化による影響を除去すること
ができる。
光セルの暗出力が変動する場合には、光スペクトラムア
ナライザに温度センサおよび温度制御装置を設け、フォ
トダイオードアレイ３５の温度を検出および制御する必
要があった。この問題に対処するためには、一定時間毎
に、あるいは温度センサを用い一定値以上の温度変化が
あった場合に、外部遮光手段を用いて全受光セルを遮光
し、暗出力検出セルと、それ以外の各受光セルとの出力
の差ΔＸｎを記憶し直すとよい。このようにすれば、温
度変化に対する暗出力の変化による影響を除去すること
ができる。
【００２４】ただし、温度変化による個々の受光セルの
暗出力変動が無視できる場合には、光スペクトラムアナ
ライザの製造時にΔＸｎを記憶しておけばよいので、外
部遮光手段を光スペクトラムアナライザに付帯させる必
要はなくなる。外部遮光手段を光スペクトラムアナライ
ザに付帯させる必要がなければ、可動部品をなくすこと
ができ、光スペクトラムアナライザの信頼性を向上させ
ることができる。
暗出力変動が無視できる場合には、光スペクトラムアナ
ライザの製造時にΔＸｎを記憶しておけばよいので、外
部遮光手段を光スペクトラムアナライザに付帯させる必
要はなくなる。外部遮光手段を光スペクトラムアナライ
ザに付帯させる必要がなければ、可動部品をなくすこと
ができ、光スペクトラムアナライザの信頼性を向上させ
ることができる。
【００２５】また、上記実施形態では、被測定光のコリ
メート及びフォーカシングにレンズを用いているが、レ
ンズの代わりに球面鏡または放物面鏡を用いても良い。
さらに、コリメートおよびフォーカシングを一つのレン
ズあるいは球面鏡あるいは放物面鏡で行う構成とするこ
とも可能である。さらに、入射口３１は、光ファイバの
出射端による構成、あるいは光ファイバの出射端とスリ
ットによる構成のどちらでもよい。
メート及びフォーカシングにレンズを用いているが、レ
ンズの代わりに球面鏡または放物面鏡を用いても良い。
さらに、コリメートおよびフォーカシングを一つのレン
ズあるいは球面鏡あるいは放物面鏡で行う構成とするこ
とも可能である。さらに、入射口３１は、光ファイバの
出射端による構成、あるいは光ファイバの出射端とスリ
ットによる構成のどちらでもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
フォトダイオードアレイの特定の受光セルを暗出力検出
セルとして常に遮光し、測定毎に暗出力を検出すること
により、平均化処理によらず雑音成分を除去することが
でき、光スペクトラムアナライザのレベル再現性または
電気的ダイナミックレンジを向上させることができる。
フォトダイオードアレイの特定の受光セルを暗出力検出
セルとして常に遮光し、測定毎に暗出力を検出すること
により、平均化処理によらず雑音成分を除去することが
でき、光スペクトラムアナライザのレベル再現性または
電気的ダイナミックレンジを向上させることができる。
【図１】 本発明の一実施形態である光スペクトラムア
ナライザの構成を説明するためのブロック図。
ナライザの構成を説明するためのブロック図。
【図２】 本発明の原理を説明するための図。
【図３】 本発明の一実施形態の動作を説明するための
フローチャート。
フローチャート。
【図４】 本発明の一実施形態の動作を説明するための
タイミングチャート。
タイミングチャート。
【図５】 従来の光電力測定方法の一例を示すフローチ
ャート。
ャート。
【図６】 フォトダイオードアレイの暗出力におけるオ
フセット変動を説明するための図。
フセット変動を説明するための図。
３０ 分光器 ３１ 入射口 ３２ コリメートレンズ ３３ 回折格子 ３４ フォーカシングレンズ ３５ フォトダイオードアレイ（受光手段） ３６ 制御装置 ４０ 測定装置 ４１ Ａ／Ｄ変換装置 ４２ 演算装置（補正手段） ４３ 演算手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清水 龍一郎 東京都千代田区有楽町一丁目12番１号 旭 硝子株式会社内 Ｆターム(参考） 2G020 CB04 CC02 CC04 CC63 CD06 CD24 CD37 CD38 2G065 BA09 BA33 BB28 BC10 BC13 BC14 BC16 BC19 BC28 BC33 DA01
Claims (3)
- 【請求項１】 被測定光を受光可能な第１の受光セル
と、前記被測定光を含む全ての光を遮光した第２の受光
セルとをもつ受光手段と、 この受光手段がもつ第１の受光セルからの出力を、第２
の受光セルからの出力を用いて補正する補正手段とを備
えたことを特徴とする光検出装置。 - 【請求項２】 被測定光を受光可能な第１の受光セル
と、前記被測定光を含む全ての光を遮光した第２の受光
セルとをもつ受光手段を用い、 前記第１の受光セルで被測定光を受光し、 この第１の受光セルからの出力を、前記第２の受光セル
からの出力を用いて補正することを特徴とする暗出力補
正方法。 - 【請求項３】 被測定光を波長毎に分光する分光手段
と、 この分光手段で分光された被測定光を波長毎に受光可能
な第１の受光セルと、前記被測定光を含む全ての光を遮
光した第２の受光セルとをもつ受光手段と、 この受光手段がもつ第１の受光セルからの出力を、第２
の受光セルからの出力を用いて補正する補正手段とを備
えたことを特徴とする光スペクトラムアナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000391708A JP2002195884A (ja) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | 光検出装置、暗出力補正方法および光スペクトラムアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000391708A JP2002195884A (ja) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | 光検出装置、暗出力補正方法および光スペクトラムアナライザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002195884A true JP2002195884A (ja) | 2002-07-10 |
Family
ID=18857808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000391708A Withdrawn JP2002195884A (ja) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | 光検出装置、暗出力補正方法および光スペクトラムアナライザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002195884A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20100042227A (ko) * | 2008-10-15 | 2010-04-23 | 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 스펙트럼 측정에 적합한 광학 특성 측정 장치 및 광학 특성 측정 방법 |
-
2000
- 2000-12-22 JP JP2000391708A patent/JP2002195884A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20100042227A (ko) * | 2008-10-15 | 2010-04-23 | 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 스펙트럼 측정에 적합한 광학 특성 측정 장치 및 광학 특성 측정 방법 |
| JP2010117343A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-05-27 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置および光学特性測定方法 |
| TWI468654B (zh) * | 2008-10-15 | 2015-01-11 | Otsuka Denshi Kk | 適合光譜測定之光學特性測定裝置及光學特性測定方法 |
| KR101603344B1 (ko) * | 2008-10-15 | 2016-03-14 | 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 스펙트럼 측정에 적합한 광학 특성 측정 장치 및 광학 특성 측정 방법 |
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|---|---|---|---|
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