JP2005338021A - 波長測定方法およびこれを用いた分光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被測定光を波長分散素子によって波長ごとに分光し、波長演算手段により被測定光の波長を求める分光装置において、波長演算手段が求めた波長に対し、温度変化に対する波長変化を補正する第1の補正演算処理を行い、任意の温度における波長誤差特性から波長誤差係数を求め、さらに各温度における波長誤差係数より、温度変化に対する波長誤差の温度係数を求め、第1の補正演算処理により求めた波長に対して、前記波長誤差の温度係数をかけて波長を補正する第2の補正演算処理を行う。
【選択図】 図1
Description
1A 温度センサ
2 波長演算部
3 補正参照データ保持部
4、4A、4B 波長補正演算部
5 表示部
Claims (8)
- 被測定光を波長分散素子によって波長ごとに分光し、波長演算手段により被測定光の波長を求める分光装置において、
波長演算手段が求めた波長に対し、温度変化に対する波長変化を補正する第1の補正演算処理を行い、
第1の補正演算処理により求めた波長に対して、波長誤差の温度係数をかけて波長を補正する第2の補正演算処理を行うことを特徴とする波長測定方法。 - 前記波長誤差の温度係数は、任意の温度における波長誤差特性から波長誤差係数を求め、さらに各温度における波長誤差係数より、近似式を求めて得ることを特徴とする請求項1記載の波長測定方法。
- 前記波長誤差係数は、前記第1の補正演算処理による結果と、複数の温度における前記第1の補正演算処理による結果から各波長ごとの誤差を求め、その傾きと切片より近似式を求めて得ることを特徴とする請求項1および2記載の波長測定方法。
- 被測定光を入射し、波長分散素子により波長ごとに分光する分光器と、前記分光器の出力を入力とし、被測定光の波長を演算する波長演算部を備える分光装置であって、
前記分光器近傍に設ける温度センサと、
波長誤差係数と基準温度係数と基準波長と波長誤差の温度係数を保持する補正参照データ保持部と、
前記波長演算部の出力を入力とし、前記温度センサの検出温度により得られる前記基準温度係数と演算する第1の波長補正演算部と、
前記第1の波長補正演算部の出力を入力とし、前記波長誤差の温度係数と演算する第2の波長補正演算部と、
を備えることを特徴とする分光装置。 - 前記補正参照データ保持部は、あらかじめ演算されたデータが格納され、前記温度センサのデータに応じた値を出力することを特徴とする請求項4記載の分光装置。
- 前記補正参照データ保持部は、係数を算出する式が格納され、前記温度センサのデータを参照して演算を行い、得られた値を出力することを特徴とする請求項4記載の分光装置。
- 前記温度センサを複数備え、それぞれの検出結果を参照して適切なデータを出力するとともに、検出結果の差が大きいときは、温度センサ不良と判定し通知することを特徴とする請求項4乃至6記載の分光装置。
- 前記分光器はアレイ型ポリクロメータ方式分光器であることを特徴とする請求項4乃至7記載の分光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004160572A JP4247742B2 (ja) | 2004-05-31 | 2004-05-31 | 波長測定方法およびこれを用いた分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005338021A true JP2005338021A (ja) | 2005-12-08 |
JP4247742B2 JP4247742B2 (ja) | 2009-04-02 |
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ID=35491751
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004160572A Expired - Fee Related JP4247742B2 (ja) | 2004-05-31 | 2004-05-31 | 波長測定方法およびこれを用いた分光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4247742B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014141666A1 (ja) | 2013-03-12 | 2014-09-18 | 国立大学法人大阪大学 | 光波長測定方法および光波長測定装置 |
US9915568B2 (en) | 2014-03-28 | 2018-03-13 | Seiko Epson Corporation | Circuit device, temperature detection device, electronic device, and temperature detection method |
WO2019039025A1 (ja) * | 2017-08-22 | 2019-02-28 | コニカミノルタ株式会社 | 波長シフト補正システムおよび波長シフト補正方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102669993B1 (ko) | 2018-10-17 | 2024-05-27 | 삼성전자주식회사 | 대상체의 온도 변화에 따른 스펙트럼 처리 장치 및 방법 |
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2004
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014141666A1 (ja) | 2013-03-12 | 2014-09-18 | 国立大学法人大阪大学 | 光波長測定方法および光波長測定装置 |
US9846081B2 (en) | 2013-03-12 | 2017-12-19 | Osaka University | Light wavelength measurement method and light wavelength measurement apparatus |
US10481004B2 (en) | 2013-03-12 | 2019-11-19 | Osaka University | Light wavelength measurement method and light wavelength measurement apparatus |
US9915568B2 (en) | 2014-03-28 | 2018-03-13 | Seiko Epson Corporation | Circuit device, temperature detection device, electronic device, and temperature detection method |
WO2019039025A1 (ja) * | 2017-08-22 | 2019-02-28 | コニカミノルタ株式会社 | 波長シフト補正システムおよび波長シフト補正方法 |
JPWO2019039025A1 (ja) * | 2017-08-22 | 2020-07-30 | コニカミノルタ株式会社 | 波長シフト補正システムおよび波長シフト補正方法 |
US10996108B2 (en) | 2017-08-22 | 2021-05-04 | Konica Minolta, Inc. | Wavelength shift correction system and wavelength shift correction method |
JP7047846B2 (ja) | 2017-08-22 | 2022-04-05 | コニカミノルタ株式会社 | 波長シフト補正システムおよび波長シフト補正方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4247742B2 (ja) | 2009-04-02 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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