JPWO2019039025A1 - 波長シフト補正システムおよび波長シフト補正方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 波長シフト補正用輝線光を放射する波長シフト補正用光源と、
入射光を波長に応じて分散させて分光した各分散分光光を、分散方向に配列された複数の光電変換素子で受光して前記各分散分光光の各光強度に応じた各電気信号を出力する分光部と、前記分光部の温度を測定する温度測定部とを備える被波長シフト補正分光計としての分光計と、
前記波長シフト補正用輝線光を前記入射光として前記被波長シフト補正分光計で測定した場合に、前記複数の光電変換素子のうち、前記波長シフト補正用輝線光を受光する複数の特定光電変換素子から出力される各電気信号、および、前記温度測定部で測定された温度に基づいて、前記波長シフト補正用輝線光に対応する波長シフト補正時輝線波長を求め、前記求めた波長シフト補正時輝線波長と前記波長シフト補正用輝線光の予め既知な輝線波長との差から波長変化量を求める波長シフト補正部とを備える、
波長シフト補正システム。 - 所定の初期校正時に基準温度としての第1温度で求められた前記複数の特定光電変換素子に対応する分光部のゲイン比に前記複数の特定光電変換素子の分光感度比を乗算した乗算結果である感度ゲイン積の比と、波長との波長対応関係を、前記波長シフト補正用輝線光の輝線波長を含む所定の波長範囲において、所定の波長間隔で各波長ごとに表した第1テーブルを記憶する第1テーブル情報記憶部と、
前記初期校正時に前記基準温度で前記波長シフト補正用輝線光を前記入射光として前記被波長シフト補正分光計で測定した場合に、前記複数の特定光電変換素子から出力される各電気信号に基づく基準比としての所定の第1出力比に対する、第2温度で前記波長シフト補正用輝線光を前記入射光として前記被波長シフト補正分光計で測定した場合に、前記複数の特定光電変換素子から出力される各電気信号に基づく所定の第2出力比の比と、第2温度との温度対応関係を、前記基準温度を含む所定の温度範囲において、所定の温度間隔で各温度ごとに表した第2テーブルを記憶する第2テーブル情報記憶部とをさらに備え、
前記波長シフト補正部は、前記第2テーブル情報記憶部に記憶された第2テーブルから、前記温度測定部で測定された温度に対応する前記第1出力比に対する第2出力比を求め、前記第1テーブル情報記憶部に記憶された第1テーブルから、前記求めた前記第1出力比に対する第2出力比、および、前記波長シフト補正用輝線光を前記入射光として前記被波長シフト補正分光計で測定した場合に前記複数の特定光電変換素子から出力される各電気信号、に対応する前記波長シフト補正時輝線波長を求める、
請求項1に記載の波長シフト補正システム。 - 前記波長シフト補正部は、前記求めた波長変化量に基づいて前記被波長シフト補正分光計を波長シフト補正する、
請求項1または請求項2に記載の波長シフト補正システム。 - 前記波長シフト補正部は、前記求めた波長変化量に基づいて波長シフト補正が必要である旨を警告する、
請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の波長シフト補正システム。 - 前記波長シフト補正用光源は、ネオンランプと、前記ネオンランプから放射される複数の輝線光の中から前記波長シフト補正用輝線光を透過するバンドパスフィルタとを備える、
請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の波長シフト補正システム。 - 前記波長シフト補正用光源は、前記被波長シフト補正分光計に内蔵されている、
請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の波長シフト補正システム。 - 前記波長シフト補正用光源は、前記被波長シフト補正分光計と別体である、
請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の波長シフト補正システム。 - 波長シフト補正用輝線光を放射する波長シフト補正用光源と、入射光を波長に応じて分散させて分光した各分散分光光を、分散方向に配列された複数の光電変換素子で受光して前記各分散分光光の各光強度に応じた各電気信号を出力する分光部と、前記分光部の温度を測定する温度測定部とを備える被波長シフト補正分光計としての分光計とを備え、前記被波長シフト補正分光計を波長シフト補正する波長シフト補正方法であって、
前記波長シフト補正用輝線光を前記入射光として前記被波長シフト補正分光計で測定した場合に、前記複数の光電変換素子のうち、前記波長シフト補正用輝線光を受光する複数の特定光電変換素子から出力される各電気信号、および、前記温度測定部で測定された温度に基づいて、前記波長シフト補正用輝線光に対応する波長シフト補正時輝線波長を求める第1工程と、
前記第1工程で求めた波長シフト補正時輝線波長と前記波長シフト補正用輝線光の予め既知な輝線波長との差から波長変化量を求める第2工程とを備える、
波長シフト補正方法。
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