JP5082622B2 - 分光特性測定装置、分光特性測定システム - Google Patents

分光特性測定装置、分光特性測定システム Download PDF

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Description

本発明は、測定試料の分光反射特性を測定する分光測色計などの分光特性測定装置の技術分野に関する。
測定試料の分光反射特性を測定する分光測色計などの分光特性測定装置は、その製造時に、レーザなどの輝線スペクトルや温度管理された色基準板を用いて受光手段の分光感度の振幅や中心波長、半値幅を校正した上で出荷される。ところが、出荷後に、経時変化や環境変化などによって受光手段の分光感度が波長分光方向にシフトすると、測定精度が低下するという問題がある。
例えば、一般に受光手段として、該分光手段の波長分光方向に所定間隔で配列され、それぞれ異なる波長の光を受光して光強度に応じた電気信号を出力する複数の光電変換素子を有するものが用いられるが、その場合、経時変化などによって受光手段と分光手段との相対位置が波長分光方向に変化すると、受光手段の分光感度が波長分光方向にシフトすることとなる。
この問題に対し、一般的には、分光反射率が既知の色基準板を測定し、得られた測定値と既知の測定値(基準値)との差から波長ずれ量を推定して補正することが行われている。
具体的には、通常、分光特性測定装置の製造者(メーカ)は、商品として出荷する分光特性測定装置における測定精度の管理を行うために、その基準となる分光特性測定装置(以下、マスタ機という)を用意しており、商品用の分光特性測定装置を出荷する際に、当該商品用の分光特性測定装置で前記色基準板の測定動作を行い、その測定値が前記マスタ機の測定動作で得られた前記色基準板の測定値(基準値)に略一致するように校正される。
そして、ユーザは、分光特性測定装置の経時変化や周囲温度変化などによる精度の変動を確認する精度管理を行うため、前記色基準板をメーカに請求し、使用している分光特性測定装置にメーカから送付された色基準板に対する測定動作を行わせ、この測定値と前記マスタ機による測定値との差を確認する(下記特許文献1参照)。また、この方法とは別に、ユーザは、自らが使用している分光特性測定装置をメーカに送付し、メーカに前記精度管理を依頼する方法も利用されている。
米国特許第6559944号明細書
しかしながら、前者の精度管理方法にあっては、メーカから送付される色基準板がユーザに到着した後、該色基準板の状態が変化してしまうと、分光特性測定装置の正確な精度管理を行うことができないため、ユーザは、色基準板の表面が損傷したり退色したりしないように色基準板の管理を厳密に行う必要がある。
また、後者の精度管理方法にあっては、ユーザが分光特性測定装置をメーカに返却している期間、ユーザは当該分光特性測定装置を用いて測定動作を行うことができなくなるため、精度管理をこまめに行うことは実質的に困難であり、常に高い精度で測定動作を行うことができなくなるという懸念が生じる。
さらに、両者の精度管理方法に共通して、色基準板が複数種類存在する場合に、ユーザ又はメーカは精度管理を行うに際して色基準板ごとに測定動作を行う必要があり、非常に手間暇がかかるという問題もある。
本発明は、これに鑑みてなされたものであり、ユーザが容易に測定精度の管理を行うことのできる分光特性測定装置及び分光特性測定システムを提供する。
請求項1に記載の発明は、光を発光する照明部と、前記照明部の照明動作による測定試料からの反射光又は透過光を各波長の光に分光する分光部と、前記分光部による波長分光方向に所定間隔で配列された複数の光電変換素子を有し、各光電変換素子がそれぞれ異なる波長の光を受光して光強度に応じた受光信号を出力する受光部と、前記各光電変換素子から出力される受光信号に基づいて分光プロファイルを生成する分光プロファイル生成部とを備え、前記分光プロファイル生成部により生成された分光プロファイルから前記測定試料の分光特性を算出する分光特性測定装置において、当該分光特性測定装置で予め測定された色基準板の分光特性を予め記憶する第1の記憶部と、予め定められた時点の前記受光部の分光感度特性に対する現在の前記受光部の分光感度特性の変化を波長ずれ量として算出する波長ずれ量算出部と、前記波長ずれ量算出部により算出された波長ずれ量と前記第1の記憶部に記憶された分光特性とに基づき、前記現在の前記受光部の分光感度特性で前記色基準板の分光特性を測定した場合に得られる色基準板の分光特性を算出する算出部と、前記算出部により算出された分光特性と、予め定められた他の分光特性測定装置で予め測定された前記色基準板の分光特性とを比較して両者の誤差を算出する誤差算出部とを備えるものである。
この発明によれば、まず、波長ずれ量算出部により、予め定められた時点の前記受光部の分光感度特性に対する現在の前記受光部の分光感度特性の変化が波長ずれ量として算出される。次に、第1の記憶部に予め記憶された、当該分光特性測定装置で予め測定された色基準板の分光特性と、前記波長ずれ量算出部で算出された波長ずれ量とに基づき、前記現在の前記受光部の分光感度特性で前記色基準板の分光特性を測定した場合に得られる色基準板の分光特性が算出部により算出され、誤差算出部により、この算出された分光特性と、予め定められた他の分光特性測定装置で予め測定された色基準板の分光特性とを比較して両者の誤差が算出される。
このように、本発明では、前記現在の前記受光部の分光感度特性で前記色基準板の分光特性を測定した場合に得られる色基準板の分光特性と、予め定められた他の分光特性測定装置で予め測定された色基準板の分光特性との誤差が分光特性測定装置で算出される。なお、前記予め定められた他の分光特性測定装置は、本発明に係る分光特性測定装置の精度管理を行うための装置が好ましく、予め定められた他の分光特性測定装置で予め測定された色基準板の分光特性は、前記精度管理を行う際に利用する基準の分光特性が好ましい。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の分光特性測定装置において、前記他の分光特性測定装置で予め測定された前記色基準板の分光特性を記憶する第2の記憶部をさらに備え、前記誤差算出部は、前記第2の記憶部から前記他の分光特性測定装置で予め測定された前記色基準板の分光特性を読み出して前記誤差を算出するものである。
この発明によれば、分光特性測定装置が、前記他の分光特性測定装置(マスタ機)で予め測定された前記色基準板の分光特性を記憶しているので、記録媒体から取得したり、通信により他の装置から取得したりする構成に比して、ユーザの手間をより一層省くことができる。
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の分光特性測定装置において、前記誤差算出部により算出された誤差を表示する表示部をさらに備えるものである。
この発明によれば、前記誤差算出部により算出された誤差を表示部に表示するようにしたので、ユーザは、表示部により表示される誤差を確認し、経時変化や環境変化などによる受光部の分光感度の変化や、当該分光測定装置で測定された色基準板の分光特性に含まれる誤差を把握することができる。
請求項4に記載の発明は、請求項1または2に記載の分光特性測定装置と、前記誤差算出部により算出された誤差を表示する表示部とを備えてなる分光特性測定システムである。
この発明によれば、分光特性測定システムにおいて、請求項1または2に記載の発明の効果と、ユーザは、表示部により表示される誤差を確認して経時変化や環境変化などによる受光部の分光感度の変化や当該分光測定装置で測定された色基準板の分光特性に含まれる誤差を把握することができるという効果とが得られる。
本発明によれば、前記現在の受光部の分光感度特性で色基準板の分光特性を測定した場合に得られる色基準板の分光特性と、予め定められた他の分光特性測定装置で予め測定された色基準板の分光特性との誤差が分光特性測定装置で算出されるので、ユーザが色基準板の厳密な管理を行うことが不要になる。また、ユーザが現在の分光特性測定装置の状態を知るために、該ユーザがその分光測定装置を用いて前記色基準板の分光特性を測定する作業を行う必要がない。したがって、従来のような面倒な作業や多大な時間を要することなく容易に分光特性測定装置の精度管理を行うことができる。
本発明に係る分光特性測定装置の実施形態について説明する。図1は、本発明に係る分光特性測定装置の一実施形態(第1の実施形態)である分光測色計を模式的に示す構成図、図2は、分光測色計の発光回路の電気的構成を示す図である。
図1に示すように、分光測色計1は、積分球10、発光回路20、試料光測定部30、参照光測定部40、入力操作部50、制御部60を備えており、これらを用いて測定試料2の分光反射特性を測定するものである。
積分球10は、その内壁11に高拡散性、高反射率の例えば酸化マグネシウムや硫酸バリウム等の白色拡散反射塗料が塗布された中空の球であり、当該積分球10の内部に設置された光源としてのキセノンフラッシュランプ12(前記照明部の一例)からの光線を前記内壁11で多重反射して拡散光を生成するものである。なお、図1は、積分球10の側面断面図を示している。
積分球10は、下端に穿設された試料用開口13と、この試料用開口13の開口面の法線13nに対して所定角度(例えば8°)傾斜した方向に穿設された受光用開口14とを有する。キセノンフラッシュランプ12の下方には遮光壁15が配置されており、キセノンフラッシュランプ12からの光線が直接試料用開口13を照射しないように構成されている。
発光回路20はキセノンフラッシュランプ12を発光させるものであり、図2に示すように、数百Vの直流高電圧をキセノンフラッシュランプ12の電極に印加するためのメインコンデンサ21、このメインコンデンサ21を充電するための充電回路22、キセノンフラッシュランプ12に密着して巻かれた金属ワイヤからなるトリガ電極12aに数万Vの瞬時高電圧を印加するためのトリガ発生回路23、ダイオード24、例えばIGBTからなる半導体スイッチ素子25、この半導体スイッチ素子25に駆動電圧を印加するための駆動回路26を備えている。
半導体スイッチ素子25をオンにしておき、メインコンデンサ21によりキセノンフラッシュランプ12の両端電極に直流高電圧を印加した状態で、トリガ発生回路23のトリガコンデンサによりトリガトランスを介してトリガ電極12aに高電圧を瞬間的に印加すると、メインコンデンサ21から直流電流が流れてキセノンフラッシュランプ12が発光する。キセノンフラッシュランプ12の発光開始後に半導体スイッチ素子25をオフにするタイミングを制御することで、キセノンフラッシュランプ12の発光時間を制御することが可能になっている。
図1に戻り、試料光測定部30は、受光光学系31、光ファイバ32、試料光分光部33を備えている。受光光学系31は、積分球10の受光用開口14の近傍に配設されており、試料用開口13に配設され拡散照明された試料2からの反射光(以下「試料光」という)のうち法線13nに対する前記所定角度(8°)方向の成分14aを集束して光ファイバ32の入射端に結像させるものであり、測定試料2の反射光像は、光ファイバ32により試料光分光部33に導かれる。
試料光分光部33は、赤外光遮断フィルタ34、回折格子35、試料光センサアレイ36を備えている。赤外光遮断フィルタ34は、光ファイバ32の射出端に近接して配設されており、例えば800nm以上の波長域の光を遮断する。回折格子35は、分光部の一例であり、赤外光遮断フィルタ34を介して入射する試料光を波長ごとに分光して反射するものである。なお、本実施形態では反射型凹面回折格子を用いているが、透過型回折格子を用いてもよい。
試料光センサアレイ36は、回折格子35により分光される波長分光方向に配列された複数の光電変換素子からなり、それぞれ異なる波長の光を受光して光強度に応じた電気信号を出力するものである。試料光センサアレイ36は、受光部の一例である。
本実施形態においては、測定波長域が380nm〜780nm、測定ピッチが10nmピッチで、測定試料2の分光反射率特性(分光特性の一例)を測定するようにし、試料光センサアレイ36は、41個の光電変換素子(以下「センサ」という。)を備えている。試料光センサアレイ36の各センサに付されたセンサ番号iと測定波長域内の波長に付された波長番号jとを用いて各センサおよび波長を特定するものとすると、試料光センサアレイ36は、センサ番号i=0からセンサ番号i=40まで41個のセンサを備えていることとなる。また、測定波長域は波長番号j=0から波長番号j=40まで10nmピッチで測定することとなり、波長番号jの波長をλjと表すと、λjの値は10nmピッチとなり、例えばλ0=380nm、λ40=780nmとなる。積分球10および試料光測定部30により、d/8ジオメトリの分光測色計1が構成されている。
参照光測定部40は、光ファイバ41と参照光分光部42とを備えている。光ファイバ41の入射端は、積分球10の適所(例えばキセノンフラッシュランプ12からの光線や試料光が直射しない位置)に配設され、積分球10内の拡散光が参照光として光ファイバ41により参照光分光部42に導かれる。
参照光分光部42は、試料光分光部33と略同様の構成を有する。すなわち、例えば800nm以上の波長域の光を遮断する赤外光遮断フィルタ43、この赤外光遮断フィルタ43を介して入射する参照光を波長ごとに分光して反射する凹面回折格子44、凹面回折格子44により分光される波長分光方向に配列された複数の光電変換素子からなる参照光センサアレイ45を備えている。なお、凹面回折格子44に代えて透過型回折格子を用いてもよい。参照光分光部42は、後述する白色校正時に利用される。
入力操作部50は、装置本体の表面に配設され、分光測色計1の電源のオンオフを切り替える電源スイッチ51、分光反射率特性の測定開始の指示を行うための測定スイッチ52、当該分光測色計1を後述の精度確認モードに設定するための精度確認スイッチ53を備えている。
また、入力操作部50は、図略の白色校正スイッチを備え、この白色校正スイッチが操作されると、公知の白色校正、例えば特開2003−90761号公報に開示されているような白色校正板を用いた白色校正が実行される。前記白色校正板は、この白色校正を行うために、通常分光測色計1に付属されているものである。分光測色計1は、測定結果などを表示するためのLCDなどからなる表示部80を備えている。
制御部60は、予め求められた基準分光プロファイルや制御プログラムなどが格納されたROMまたはEEPROMやデータを一時的に保管するためのRAMなどの書換え可能なメモリを備えた記憶部と、該記憶部に格納された制御プログラムに従って動作するCPUとを備えてなり、分光測色計1全体の動作を制御するものである。
また、制御部60は、機能的に、照明制御部61と、分光プロファイル生成部62と、モード設定部63と、特徴量算出部64と、波長ずれ量算出部65と、第1分光反射率特性記憶部66と、第2分光反射率特性記憶部67と、換算部68と、誤差算出部69と、表示制御部70とを備える。
照明制御部61は、測定スイッチ52又は精度確認スイッチ53が押されると、発光回路20に制御信号を送出してキセノンフラッシュランプ12の発光を制御するものである。
分光プロファイル生成部62は、前記分光プロファイル生成部に相当するものであり、試料光センサアレイ36における各センサのセンサ番号iと、当該センサ番号iのセンサから得られた出力(分光強度)との対応を示す分光プロファイルを生成するものである。
モード設定部63は、当該分光測色計1の動作モードを前記入力操作部50の操作状況に応じて設定するものである。本実施形態の分光測色計1は、測定試料2の測定を行う通常測定モードと、前記波長ずれ量を導出して当該分光測色計1の現時点での測定精度の確認を行うための精度確認モードとを有し、モード設定部63は、精度確認スイッチ53が操作された場合に当該分光測色計1を前記精度確認モードに設定し、それ以外のとき(主に測定スイッチ52が操作されたとき)には前記通常測定モードに設定する。
特徴量算出部64は、前記モード設定部63により前記精度確認モードに設定された場合において、分光プロファイル生成部62により生成された分光プロファイルに基づき、前記波長ずれ量の導出に用いる特徴量を算出するものである。以下、この特徴量の算出方法の一例について説明する。
本実施形態では、前述したように、前記通常測定モードだけでなく前記精度確認モードにおいても、キセノンフラッシュランプ12を発光させるように構成しており、このキセノンフラッシュランプ12の出力光に含まれる輝線、例えば530nmの波長を有する輝線を利用して特徴量Aを算出する。
図4(a)は、試料光センサアレイ36を構成する各センサの分光感度特性を説明するための図であり、一部のセンサ(例えば41個中3個のセンサ)の分光感度特性を抽出して示した図である。また、図4(b)は、特定の波長域におけるキセノンフラッシュランプの分光分布を示す図、(c)は、分光プロファイルを示す図である。
図4(a)に示すように、各センサは、互いに異なる波長域でピークを有する分光感度特性を有している。各センサの分光感度特性におけるピーク値は、従来周知の方法で正規化する。
今、図4(b)に示すように、試料光センサアレイ36の分光感度特性が波長分光方向にシフトする状態が発生していない場合において、約530nmの波長を有する輝線の波長域と、センサ番号iのセンサの分光感度特性におけるピーク値に相当する波長域とが略対応付けられているものとし、例えばセンサ番号i−1のセンサの出力をXi−1、センサ番号iのセンサの出力をXi、センサ番号i+1のセンサの出力値をXi+1と表すものとすると、図4(c)に示すように、前記約530nmの波長を有する輝線を受光したセンサ番号iのセンサの出力値Xiは非常に大きな値となり、また、そのセンサの両側に位置するセンサ番号i−1、i+1のセンサの出力値Xi−1,Xi+1は、前記出力値Xi+1より大幅に小さな値となる。
ここで、本実施形態では、前記約530nmの波長を有する輝線を受光したセンサ番号iのセンサの両側に位置するセンサ番号i−1、i+1のセンサの出力値Xi−1,Xi+1の差(Xi+1−Xi−1)を特徴量Aとして導出する。
これは、(1)輝線スペクトルが存在する波長域を挟むセンサの出力値の差を用いると、前記分光感度特性のシフトが発生した場合、一方の出力値は増加し、他方の出力値は減少することにより、前記センサの出力値の差が比較的大きく変化する。したがって、このセンサの出力値の差は、前記シフトの発生を明確に捉えることができるパラメータとして非常に有効なものと考えられる、(2)2つのセンサの出力値の差を用いて特徴量を算出することは、それぞれのセンサ出力が持つオフセット量を相殺することができるという理由に因る。
なお、本実施形態では、約530nmの波長を有する輝線を用いたが、これに限らず、約542nmの波長を有する輝線を用いてもよく、520nm〜550nmの波長域の輝線に基づいて特徴量を算出するようにするとよい。
このように520nm〜550nmの波長域の輝線に基づいて特徴量を算出するのは、波長分光方向と試料光センサアレイ36の受光面とに略直交する方向(図1の矢印Cの方向)に試料光センサアレイ36が移動(位置ずれ)した場合、端部に位置するセンサほど、当該試料光センサアレイ36に入射するべき光の前記波長分光方向における相対的な位置ずれが大きくなり、中央側に位置するセンサは前記位置ずれが最も小さくなるからである。
したがって、前述したように、試料光センサアレイ36の測定波長域が380nm〜780nmであり、520nm〜550nmの範囲の波長域に対応するセンサが、波長分光方向において試料光センサアレイ36の略中央部分に位置することから、この光電変換素子の受光信号を用いて特徴量Aを算出することで、波長分光方向と交差する方向に試料光センサアレイ36が移動(位置ずれ)した場合であっても、波長分光方向に発生した位置ずれ忠実な特徴量を算出することができる。
波長ずれ量算出部65は、試料光センサアレイ36の分光感度特性の波長分光方向の波長ずれ量Δλを導出するものである。波長ずれ量算出部65は、特徴量算出部64により特徴量Aが導出されると、この特徴量Aと予め導出しておいた分光プロファイルの初期状態(例えば工場出荷時における状態など)における特徴量A0とを比較してその変化量ΔA(=A−A0)を算出し、次式に基づいて波長ずれ量Δλを導出する。
Δλ=a×ΔA ・・・(1)
なお、aは、特徴量Aの変化量に対する波長ずれ量の変化量の割合を示す定数である。
第1分光反射率特性記憶部66は、工場出荷時に当該分光測色計1で測定した色基準板(例えばオレンジタイル)の分光反射率特性を記憶するものである。第2分光反射率特性記憶部67は、マスタ機M(図7参照)で測定した前記色基準板の分光反射率特性を記憶するものである。マスタ機Mは、ユーザが使用する分光測色計1(商品として出荷する分光測色計1)の測定精度の管理を行うための基準となる機器である。色基準板は、分光測色計1の測定精度を測定する際に用いられる部材である。
換算部68は、前記算出部に相当するものであり、前記波長ずれ量算出部65により導出された波長ずれ量Δλを所定の換算式を用いて、第1分光反射率記憶部66に記憶されている、工場出荷時に測定した前記色基準板の分光反射率特性(図3の矢印Aで示す分光反射率特性)を前記波長ずれ量Δλだけシフトした分光反射率特性(図3の矢印Bで示す分光反射率特性)に換算するものである。すなわち、換算部68は、制御部60内に格納されている試料光センサアレイ36の分光感度特性から前記波長ずれ量Δλだけシフトした分光感度特性(現在の試料光センサアレイ36の分光感度特性)を有する試料光センサアレイ36で測定したものと仮定した場合の前記色基準板の分光反射率特性を算出する。
誤差算出部69は、前記第2分光反射率記憶部67に記憶されている、マスタ機Mで測定した前記色基準板の分光反射率特性に対する、換算部68による換算処理後の分光反射率特性の誤差を算出するものである。
表示制御部70は、誤差算出部69により算出された誤差を表示部80に表示させるものである。表示部80は、LCD(Liquid Crystal Display)などからなり、測定した測定試料の分光反射率特性(測定結果)を表示するとともに、前記誤差算出部69により算出された誤差を表示するものである。
図5は、工場出荷時に行われる処理を示すフローチャート、図6は、図5に示す処理を経た分光測色計1で行われる誤差表示処理を示すフローチャート、図7は、工場出荷時に行われる処理及び前記誤差表示処理の全体像を示す図である。
図5、図7に示すように、作業者は、工場出荷時に、オレンジタイル等の色基準板をセットし、当該分光測色計1を用いてセットした前記色基準板の分光反射率特性を測定し(ステップ♯1)、この測定により得られた分光反射率特性(b)を当該分光測色計1に格納させる(ステップ♯2)。
また、図7に示すように、当該分光測色計1を出荷するまでの間に、前記色基準板の分光反射率特性(a)をマスタ機Mにより測定し、この分光反射率特性(a)のデータが分光測色計1に格納される。なお、分光測色計1は、工場出荷時の測定動作により得られた色基準板の分光反射率特性(b)がマスタ機Mの測定動作により得られた分光反射率特性(a)となるように試料光センサアレイ36の分光感度特性が校正された状態で出荷される。
分光測色計1が図5に示す処理を経てユーザの利用に供された場合において、図6、図7に示すように、ユーザにより白色校正板がセットされた状態で精度確認スイッチ53が押されると(ステップ♯11でYES)、制御部60は、当該分光測色計1を精度確認モードに設定し(ステップ♯12)、通常測定モード時の発光時間より短い前記所定時間τ(例えばτ=50μs)だけキセノンフラッシュランプ12を発光させる(ステップ♯13)。
そして、制御部60は、試料光センサアレイ36の各センサの出力に基づき、例えば図4(c)に示すような分光プロファイルを生成し(ステップ♯14)、この分光プロファイルに基づいて特徴量Aを算出する(ステップ♯15)。この特徴量Aは、前述したように、輝線を受光したセンサを検出し、該センサの両側に位置するセンサの出力値の差に関連した値を求めることにより得られる。
次に、制御部60は、算出した特徴量Aと初期状態における特徴量A0とを比較してそれらの変化量ΔAを算出し(ステップ♯16)、この変化量ΔAを用いて、前記式(1)に基づき波長ずれ量Δλを算出する(ステップ♯17)。
さらに、制御部60は、図5のステップ♯2で記憶した分光反射率特性(b)をステップ♯17で算出した波長ずれ量Δλだけシフトさせた分光反射率特性(c)を算出する(ステップ♯18)。そして、制御部60は、この分光反射率特性(c)と、予め記憶している、マスタ機Mによる測定動作で得られた分光反射率特性(a)とを比較し、マスタ機Mによる測定動作で得られた分光反射率特性(a)に対する前記分光反射率特性(c)の誤差を算出し(ステップ♯19)、この誤差を表示部80に表示させる(ステップ♯20)。
以上のように、本実施形態の分光測色計1においては、経時変化や周囲温度変化などにより回折格子35や試料光センサアレイ36の光学的配置が変化し、回折格子35による試料光の分光像と試料光センサアレイ36との相対位置が変化することで、当該分光側色計1で測定した試料光センサアレイ36の分光反射率特性が波長分光方向にシフトしても、該分光反射率特性のマスタ機Mによる測定動作で得られた分光反射率特性に対する誤差をユーザに報知するようにしたので、ユーザは、試料光センサアレイ36の分光感度特性の変化や当該分光側色計1で測定した試料光センサアレイ36の分光反射率特性に含まれる誤差を含んでいるのかを把握することができる。
そして、特に本実施形態によれば、分光反射率特性記憶部66に、工場出荷時に当該分光測色計1で予め測定した色基準板の分光反射率特性(b)と、マスタ機Mで予め測定した前記色基準板の分光反射率特性(a)とを工場出荷前に予め格納しておき、工場出荷後においてユーザにより精度確認スイッチ53が操作されると、試料光センサアレイ36の分光感度特性について、工場出荷時から現在までの変化量を波長ずれ量Δλとして算出する処理と、前記分光反射率特性記憶部66に格納されている前記分光反射率特性(b)を前記波長ずれ量Δλだけシフトした分光反射率特性(c)を算出する処理と、この算出された分光反射率特性(c)と分光反射率特性記憶部66に格納されている前記分光反射率特性(a)との誤差を算出し該誤差を表示部80に表示する処理とを分光測色計1が実行するようにしたので、ユーザが現在の分光測色計1の状態(測定精度)を知るために、該ユーザがその分光測色計1を用いて前記色基準板の分光反射率特性を測定する作業を行わなくても前記誤差が分光測色計1で自動的に算出される。したがって、従来のような色基準板の厳密な管理や装置の校正作業に面倒な作業や多大な時間を要することなく容易に分光測色計1の精度管理を行うことができる。
本件は、前記実施形態に加えて、あるいは前記実施形態に代えて次の変形形態も含むものである。
[1]前記第1の実施形態では、ユーザにより精度確認スイッチ53が操作された場合に、前記誤差を算出及び表示するための処理を実行するようにしたが、本件は、前記処理を実行するトリガがユーザからの指示に基づく形態に限られるものではなく、例えば、分光測色計1が一定の周期で自動的に前記処理を実行する形態や、分光測色計1の環境(例えば環境温度)が比較的大きく変化したことを検知した場合に実行する形態も想定範囲である。
[2]前記第1の実施形態では、分光側色計1に前記誤差を表示する表示部80を備えたが、本件は、これに限られず、例えば表示体と分光測色計1とが通信可能に別体化されており、分光測色計1で算出された誤差を示すデータが前記表示体に送信され、表示体が、受信した前記誤差を示すデータを表示する形態も想定範囲である。また、前記第1の実施形態では、マスタ機Mによる測定動作で得られた分光反射率特性(a)のデータを出荷前に分光測色計1に予め格納するようにしたが、分光反射率特性(a)のデータを出荷前に分光測色計1に予め格納する必要はなく、例えば、外部機器から通信ネットワークを介して或いは記録媒体を介して前記分光反射率特性(a)のデータを取得する形態も想定することができる。
[3]分光プロファイルの初期状態における特徴量A0と算出された特徴量Aとの差分(変化量)ΔAと波長ずれ量Δλとが略比例するものとの想定に基づき、前記式(1)に基づいて波長ずれ量Δλを算出するようにしたが、波長ずれ量Δλを算出するための算出式は前記式(1)に限られるものではない。また、差分ΔAと波長ずれ量Δλとの関係をテーブル形式で記憶しておき、特徴量Aが算出されると、前記テーブルを参照し、この特徴量Aに基づく差分ΔAに対応する波長ずれ量Δλを導出するようにしてもよい。
[4]波長ずれ量Δλの導出方法は、前記第1の実施形態に示す方法に限られるものではなく、例えば本出願人が提案した特開2003−90761号公報に開示されている方法も採用可能である。
[5]前記第1の実施形態では、測定試料からの反射光を測定する分光特性測定装置についての説明をしたが、液体や透過性のある板形状の測定試料などを測定する透過光タイプの分光特性測定装置であっても、本件発明が適用される。この場合、特徴量を算出するときに用いる分光プロファイルとしては、測定試料を置かない状態(素通し)で得られる分光プロファイルを使用すればよく、第1の実施形態における試料の分光反射率特性に代えて、分光透過率特性に対しても全く同様に適用できる。
本発明に係る分光特性測定装置の一実施形態である分光測色計を模式的に示す構成図である。 分光測色計の発光回路の電気的構成を示す図である。 換算部による処理を説明するための図である。 (a)は、試料光センサアレイを構成する各センサの分光感度(分光応答度)を説明するための図、(b)は、特定の波長域におけるキセノンフラッシュランプの分光分布を示す図、(c)は、分光プロファイルを示す図である。 工場出荷時に行われる処理を示すフローチャートである。 図7に示す処理を経た分光測色計で行われる誤差表示処理を示すフローチャートである。 工場出荷時に行われる処理及び前記誤差表示処理の全体像を示す図である。
符号の説明
61 照明制御部
62 分光プロファイル生成部
63 モード設定部
64 特徴量算出部
65 波長ずれ量算出部
66 分光反射率記憶部
67 換算部
68 誤差算出部
69 表示制御部
70 表示部
M マスタ機

Claims (4)

  1. 光を発光する照明部と、
    前記照明部の照明動作による測定試料からの反射光又は透過光を各波長の光に分光する分光部と、
    前記分光部による波長分光方向に所定間隔で配列された複数の光電変換素子を有し、各光電変換素子がそれぞれ異なる波長の光を受光して光強度に応じた受光信号を出力する受光部と、
    前記各光電変換素子から出力される受光信号に基づいて分光プロファイルを生成する分光プロファイル生成部とを備え、
    前記分光プロファイル生成部により生成された分光プロファイルから前記測定試料の分光特性を算出する分光特性測定装置において、
    当該分光特性測定装置で予め測定された色基準板の分光特性を予め記憶する第1の記憶部と、
    予め定められた時点の前記受光部の分光感度特性に対する現在の前記受光部の分光感度特性の変化を波長ずれ量として算出する波長ずれ量算出部と、
    前記波長ずれ量算出部により算出された波長ずれ量と前記第1の記憶部に記憶された分光特性とに基づき、前記現在の前記受光部の分光感度特性で前記色基準板の分光特性を測定した場合に得られる色基準板の分光特性を算出する算出部と、
    前記算出部により算出された分光特性と、予め定められた他の分光特性測定装置で予め測定された前記色基準板の分光特性とを比較して両者の誤差を算出する誤差算出部と
    を備える分光特性測定装置。
  2. 前記他の分光特性測定装置で予め測定された前記色基準板の分光特性を記憶する第2の記憶部をさらに備え、
    前記誤差算出部は、前記第2の記憶部から前記他の分光特性測定装置で予め測定された前記色基準板の分光特性を読み出して前記誤差を算出する請求項1に記載の分光特性測定装置。
  3. 前記誤差算出部により算出された誤差を表示する表示部をさらに備える請求項1または2に記載の分光特性測定装置。
  4. 請求項1または2に記載の分光特性測定装置と、
    前記誤差算出部により算出された誤差を表示する表示部とを備えてなる分光特性測定システム。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011259227A (ja) * 2010-06-09 2011-12-22 Canon Inc 波長校正方法、印刷装置、及びコンピュータプログラム
US10354929B2 (en) * 2012-05-08 2019-07-16 Kla-Tencor Corporation Measurement recipe optimization based on spectral sensitivity and process variation
JP6733667B2 (ja) * 2015-05-14 2020-08-05 コニカミノルタ株式会社 分光測色装置、および分光反射率の算出方法
JP6520529B2 (ja) * 2015-07-29 2019-05-29 コニカミノルタ株式会社 分光装置を校正する方法および校正された分光装置を生産する方法
JP6784292B2 (ja) * 2016-04-19 2020-11-11 コニカミノルタ株式会社 校正システム、校正方法、および校正プログラム
JP2019105463A (ja) * 2017-12-08 2019-06-27 キヤノン株式会社 分光測色器及び画像形成装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0635947B2 (ja) * 1990-01-26 1994-05-11 株式会社島津製作所 分光測定方法
US6043894A (en) * 1998-07-10 2000-03-28 Gretamacbeth Llc Method for maintaining uniformity among color measuring instruments
JP3925301B2 (ja) * 2001-07-12 2007-06-06 コニカミノルタセンシング株式会社 分光特性測定装置および同装置の分光感度の波長シフト補正方法
JP2005189217A (ja) * 2003-12-26 2005-07-14 Topcon Corp 分光特性測定装置
JP2006214968A (ja) * 2005-02-07 2006-08-17 Dainichiseika Color & Chem Mfg Co Ltd 波長シフトを検出する方法、分光測定データを補正する方法および記録媒体
JP4617438B2 (ja) * 2006-01-20 2011-01-26 コニカミノルタセンシング株式会社 分光特性測定装置

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