JP2008107167A5 - - Google Patents

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  1. 感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成され、感知対象物の吸着により固有振動数が変わる感知用の圧電振動子を含む感知センサと、前記圧電振動子を発振させるための感知用の発振回路と、を備え、前記圧電振動子の固有振動数の変化に基づいて感知対象物を感知する感知装置において、
    感知対象物が吸着されない参照用の圧電振動子を含む基準センサと、
    前記参照用の圧電振動子を発振させるための参照用の発振回路と、
    前記感知用の発振回路の発振出力と参照用の発振回路の発振出力とを時分割して取り込み、各発振回路の発振出力の周波数を測定するための測定部と、
    この測定部にて得られた各発振回路の発振出力の周波数に基づいて、感知センサにおける周波数と基準センサにおける周波数との差分の時系列データを作成するデータ作成手段と、を備えたことを特徴とする感知装置。
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