JP2008525775A5

JP2008525775A5 -

Info

Publication number: JP2008525775A5
Application number: JP2007547470A
Authority: JP
Filing date: 2005-12-16
Publication date: 2009-02-12

Claims

軌道（３）を備えた測定要素（２）において、軌道（３）が実量器（Ｉ₁〜Ｉ_k）を有し、実量器（Ｉ₁〜Ｉ_k）が少なくとも２つのセンサ（Ｓ₁〜Ｓ_n）によって位置（ｚ）の決定のために走査され、実量器（Ｉ₁〜Ｉ_k）は、センサ（Ｓ₁〜Ｓ_n）がそれぞれの出力信号として変調された正弦波状の軌道信号（ｆ（ｚ））を位置（ｚ）の決定のために出力するように構成され、変調された正弦波状の軌道信号（ｆ（ｚ））が周波数変調され、変調された正弦波状の軌道信号（ｆ（ｚ））は、位置（ｚ）の増大にともなって軌道信号（ｆ（ｚ））の周波数が単調に上昇または単調に下降するように周波数変調されていることを特徴とする測定要素。
軌道（３）を備えた測定要素（２）において、軌道（３）が実量器（Ｉ ₁ 〜Ｉ _k ）を有し、実量器（Ｉ ₁ 〜Ｉ _k ）が少なくとも２つのセンサ（Ｓ ₁ 〜Ｓ _n ）によって位置（ｚ）の決定のために走査され、実量器（Ｉ ₁ 〜Ｉ _k ）は、センサ（Ｓ ₁ 〜Ｓ _n ）がそれぞれの出力信号として変調された正弦波状の軌道信号（ｆ（ｚ））を位置（ｚ）の決定のために出力するように構成され、変調された正弦波状の軌道信号（ｆ（ｚ））が振幅変調され単一周波数であることを特徴とする測定要素。
実量器（Ｉ ₁ 〜Ｉ _k ）は、少なくとも３つのセンサ（Ｓ ₁ 〜Ｓ _n ）によって位置（ｚ）の決定のために走査されることを特徴とする請求項２又は３記載の測定要素。
測定要素が回転対称要素の形で構成され、回転対称要素の外側輪郭が周波数変調された正弦波状の形を有することを特徴とする請求項１又は３記載の測定要素。
請求項１乃至４の１つに記載の測定要素を備えた発信器。
請求項５による発信器を備えた工作機械、生産機械および／またはロボット。
軌道（３）を用いた測定方法において、軌道（３）が実量器（Ｉ ₁ 〜Ｉ _k ）を有し、実量器（Ｉ ₁ 〜Ｉ _k ）が少なくとも２つのセンサ（Ｓ ₁ 〜Ｓ _n ）によって位置（ｚ）の決定のために走査され、実量器（Ｉ ₁ 〜Ｉ _k ）は、センサ（Ｓ ₁ 〜Ｓ _n ）がそれぞれの出力信号として変調された正弦波状の軌道信号（ｆ（ｚ））を位置（ｚ）の決定のために出力するように構成され、変調された正弦波状の軌道信号（ｆ（ｚ））が周波数変調され、変調された正弦波状の軌道信号（ｆ（ｚ））は、位置（ｚ）の増大にともなって軌道信号（ｆ（ｚ））の周波数が単調に上昇または単調に下降するように周波数変調されていることを特徴とする測定方法。
軌道（３）を用いた測定方法において、軌道（３）が実量器（Ｉ ₁ 〜Ｉ _k ）を有し、実量器（Ｉ ₁ 〜Ｉ _k ）が少なくとも２つのセンサ（Ｓ ₁ 〜Ｓ _n ）によって位置（ｚ）の決定のために走査され、実量器（Ｉ ₁ 〜Ｉ _k ）は、センサ（Ｓ ₁ 〜Ｓ _n ）がそれぞれの出力信号として変調された正弦波状の軌道信号（ｆ（ｚ））を位置（ｚ）の決定のために出力するように構成され、変調された正弦波状の軌道信号（ｆ（ｚ））が振幅変調され単一周波数であることを特徴とする測定方法。
位置（ｚ）の決定は、第１のステップにおいてセンサ（Ｓ ₁ 〜Ｓ _n ）の軌道信号（ｆ（ｚ））から大まかな位置が決定されかつ第２のステップにおいて大まかな位置を用いた補間により位置（ｚ）が決定されることによって行なわれることを特徴とする請求項７又は８記載の測定方法。