JP2004282495A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 励振電極を設けた圧電振動片の表面を覆って感応膜を形成する工程と、
   前記励振電極の外形に沿って前記感応膜に切断溝を形成して励振電極被覆部を他から区画する工程と、
   を有することを特徴とする質量測定用圧電振動子の製造方法。
2. 請求項１に記載の質量測定用圧電振動子の製造方法において、
   前記励振電極被覆部を区画したのち、励振電極被覆部の一部を励振電極とともに除去することを特徴とする質量測定用圧電振動子の製造方法。
3. 請求項２に記載の質量測定用圧電振動子の製造方法において、
   前記励振電極被覆部の除去は、前記圧電振動片の結晶軸のＸ軸方向端部であることを特徴とする質量測定用圧電振動子の製造方法。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の質量測定用圧電振動子の製造方法を用いて製造したことを特徴とする質量測定用圧電振動子。
5. 請求項４に記載の質量測定用圧電振動子において、
   前記圧電振動片は、片側面にのみ感応膜を有する液中測定用であることを特徴とする質量測定用圧電振動子。
6. 請求項４に記載の質量測定用圧電振動子において、
   前記圧電振動片は、両側面に感応膜を有する気中測定用であることを特徴とす
   る質量測定用圧電振動子。
7. 請求項４ないし請求項６のいずれかに記載の質量測定用圧電振動子と、
   この質量測定用圧電振動子を共振させる回路と、
   を有することを特徴とする質量測定装置。