JP2006184260A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2006184260A5
JP2006184260A5 JP2004381432A JP2004381432A JP2006184260A5 JP 2006184260 A5 JP2006184260 A5 JP 2006184260A5 JP 2004381432 A JP2004381432 A JP 2004381432A JP 2004381432 A JP2004381432 A JP 2004381432A JP 2006184260 A5 JP2006184260 A5 JP 2006184260A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
oscillation
measurement unit
oscillation circuit
unit
sensing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004381432A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4134025B2 (ja
JP2006184260A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from JP2004381432A external-priority patent/JP4134025B2/ja
Priority to JP2004381432A priority Critical patent/JP4134025B2/ja
Priority to PCT/JP2005/024272 priority patent/WO2006070940A1/ja
Priority to CN2005800453585A priority patent/CN101095039B/zh
Priority to US11/793,985 priority patent/US7555952B2/en
Priority to EP05824558A priority patent/EP1832862A4/en
Publication of JP2006184260A publication Critical patent/JP2006184260A/ja
Publication of JP2006184260A5 publication Critical patent/JP2006184260A5/ja
Publication of JP4134025B2 publication Critical patent/JP4134025B2/ja
Application granted granted Critical
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Claims (5)

  1. 感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成され、感知対象物の吸着により固有振動数が変わる圧電板を含むセンサー用振動子を用い、このセンサー用振動子の固有振動数の変化により感知対象物を感知する感知装置において、
    複数のセンサー用振動子と、
    前記複数のセンサー用振動子を夫々発振させるための複数の発振回路と、
    これら複数の発振回路に対して共通に設けられ、発振回路の周波数に関する信号を測定するための測定部と、
    前記複数の発振回路の出力端を前記測定部に順次切り替え接続するための信号切り替え部と、
    前記複数の発振回路の各々と前記信号切り替え部との間に設けられ、各発振回路の出力側を、前記信号切り替え部と、一端が接地されている終端負荷の他端と、の間で切り替えるための負荷切り替え部と、
    前記複数の発振回路の各々を前記測定部に順次接続するように信号切り替え部に制御信号を出力すると共に、測定部に接続される発振回路についてはその出力側を前記信号切り替え部に接続するように、また測定部に接続されない発振回路の中から選択された発振回路についてはその出力側を前記終端負荷に接続するように、前記負荷切り替え部に制御信号を出力する切り替え制御部と、を備え、
    前記終端負荷は、前記測定部に接続されている発振回路と測定部に接続されていない発振回路との各発振周波数を強制的に互に離して互いのスペクトラムの重なりを避けるために設けられていることを特徴とする感知装置。
  2. 前記複数の発振回路と信号切り替え部との間に夫々バッファ回路を設け、前記負荷切り替え部は、各発振回路と各バッファ回路との間に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の感知装置。
  3. 測定部に接続されていない発振回路の中から選択された発振回路は、測定部に接続されていない全部の発振回路であることを特徴とする請求項1に記載の感知装置。
  4. 各センサー用振動子を保持する保持部材と当該センサー用振動子の電極の接続端子とを含むセンサー部と、複数のセンサー部の接続端子が直接着脱されると共に各発振回路と測定部とを含む測定器本体と、を備えたことを特徴とする請求項1に記載の感知装置。
  5. 感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成され、感知対象物の吸着により固有振動数が変わる圧電板を含むセンサー用振動子を用い、このセンサー用振動子の固有振動数の変化により感知対象物を感知する感知装置において、
    複数のセンサー用振動子と、
    前記複数のセンサー用振動子を夫々発振させるための複数の発振回路と、
    これら複数の発振回路に対して共通に設けられ、発振回路の周波数に関する信号を測定するための測定部と、
    前記複数の発振回路と前記測定部との間に設けられ、各発振回路の出力側を、前記測定部に接続される接点Aと、一端が接地されている終端負荷の他端側の接点Bとの間で切り替えるための負荷切り替え部と、
    前記複数の発振回路の中から1個ずつ順番に発振回路の出力端を前記接点A側に接続すると共に前記接点A側に接続される発振回路以外の全ての発振回路の出力端を前記接点B側に接続するように前記負荷切り替え部に制御信号を出力する切り替え制御部と、を備え、
    前記終端負荷は、前記測定部に接続されている発振回路と測定部に接続されていない発振回路との各発振周波数を強制的に互に離して互いのスペクトラムの重なりを避けるために設けられていることを特徴とする感知装置。
JP2004381432A 2004-12-28 2004-12-28 感知装置 Active JP4134025B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004381432A JP4134025B2 (ja) 2004-12-28 2004-12-28 感知装置
EP05824558A EP1832862A4 (en) 2004-12-28 2005-12-28 MEASURING DEVICE
CN2005800453585A CN101095039B (zh) 2004-12-28 2005-12-28 感知装置
US11/793,985 US7555952B2 (en) 2004-12-28 2005-12-28 Sensing device
PCT/JP2005/024272 WO2006070940A1 (ja) 2004-12-28 2005-12-28 感知装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004381432A JP4134025B2 (ja) 2004-12-28 2004-12-28 感知装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2006184260A JP2006184260A (ja) 2006-07-13
JP2006184260A5 true JP2006184260A5 (ja) 2008-05-15
JP4134025B2 JP4134025B2 (ja) 2008-08-13

Family

ID=36615039

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004381432A Active JP4134025B2 (ja) 2004-12-28 2004-12-28 感知装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7555952B2 (ja)
EP (1) EP1832862A4 (ja)
JP (1) JP4134025B2 (ja)
CN (1) CN101095039B (ja)
WO (1) WO2006070940A1 (ja)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101080625B (zh) * 2004-12-15 2011-11-09 日本电波工业株式会社 成分测定装置
CN101084427B (zh) * 2004-12-15 2011-07-20 日本电波工业株式会社 石英传感器和感知装置
WO2006064951A1 (ja) * 2004-12-15 2006-06-22 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd 水晶センサ及び感知装置
JP4134025B2 (ja) 2004-12-28 2008-08-13 日本電波工業株式会社 感知装置
CN101238361B (zh) 2005-08-03 2011-08-03 日本电波工业株式会社 浓度传感器和浓度检测装置
DE102006015512B4 (de) * 2006-03-31 2010-01-21 Andreas Hettich Gmbh & Co. Kg Vorrichtung aus einer Messkammer und einem über einen Schnellverschluss in die Messkammer integrierbaren Resonator für die Flüssigkeitssensorik
JP5060749B2 (ja) * 2006-07-31 2012-10-31 日本電波工業株式会社 感知装置
JP4611954B2 (ja) * 2006-09-29 2011-01-12 日本電波工業株式会社 感知装置
JP4376258B2 (ja) 2006-09-29 2009-12-02 日本電波工業株式会社 感知装置
JP4611959B2 (ja) * 2006-10-24 2011-01-12 日本電波工業株式会社 感知方法
JP4713459B2 (ja) * 2006-12-25 2011-06-29 日本電波工業株式会社 感知装置
JP5100454B2 (ja) * 2007-03-06 2012-12-19 日本電波工業株式会社 感知装置
JP4960171B2 (ja) * 2007-08-08 2012-06-27 日本電波工業株式会社 感知装置
JP5218761B2 (ja) * 2008-12-10 2013-06-26 国立大学法人大阪大学 検出素子、それを備えた検出装置、検出素子に用いられる振動子、および検出装置における検出対象物の検知方法
ES2804799T3 (es) 2010-10-20 2021-02-09 Qorvo Us Inc Aparato y método para medir la cinética de unión y concentración con un sensor resonador
JP5771444B2 (ja) * 2011-05-18 2015-08-26 株式会社アルバック 分析装置
CH713460A2 (de) * 2017-02-15 2018-08-15 Digi Sens Ag Schwingsaitensensor und Schwingsaite für einen Schwingsaitensensor.
CN108760593A (zh) * 2018-05-14 2018-11-06 南开大学 一种振荡天平测量pm2.5的放射性补偿装置

Family Cites Families (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5196347A (en) 1986-07-03 1993-03-23 Terumo Kabushiki Kaisha Method for measuring oxygen concentration
JP2669848B2 (ja) 1988-03-25 1997-10-29 豊栄 森泉 匂検出用の化学センサ
US4991283A (en) 1989-11-27 1991-02-12 Johnson Gary W Sensor elements in multilayer ceramic tape structures
JPH03257346A (ja) 1990-03-08 1991-11-15 Seiko Instr Inc 反応計測装置
JP3041361B2 (ja) 1990-04-17 2000-05-15 セイコーインスツルメンツ株式会社 反応計測装置
JPH049744A (ja) 1990-04-27 1992-01-14 Seiko Instr Inc 水晶振動子セル
JP2555002B2 (ja) 1991-06-27 1996-11-20 株式会社イナックス フローインジェクション方式による尿中成分の連続定量分析方法
DE4334834A1 (de) 1993-10-13 1995-04-20 Andrzej Dr Ing Grzegorzewski Biosensor zum Messen von Viskositäts- und/oder Dichteänderungen
JP3499277B2 (ja) 1993-12-27 2004-02-23 東京電波株式会社 匂い物質センサと匂い測定装置
JP2748246B2 (ja) 1995-11-14 1998-05-06 デベロップメント センター フォー バイオテクノロジー カートリッジ状の圧電センサチップ
JPH09250936A (ja) 1996-01-10 1997-09-22 Ngk Insulators Ltd 包囲空間が形成されたセラミック基体
JP3343030B2 (ja) 1996-05-22 2002-11-11 日本碍子株式会社 センサ素子
JPH10142134A (ja) 1996-11-06 1998-05-29 Yokogawa Electric Corp 匂い測定装置
JPH10332463A (ja) * 1997-03-31 1998-12-18 Nippon Paint Co Ltd 水晶発振子を用いた塗膜評価装置及び塗膜の消耗性の評価方法
JPH11183479A (ja) 1997-10-16 1999-07-09 Fuji Electric Co Ltd 溶液測定用センサ及び溶液成分測定方法
US6321588B1 (en) * 1998-09-11 2001-11-27 Femtometrics, Inc. Chemical sensor array
JP2000338022A (ja) * 1999-05-25 2000-12-08 Hokuto Denko Kk マルチチャンネルqcmセンサデバイス及びマルチチャンネルqcm測定システム
JP3643521B2 (ja) 1999-07-29 2005-04-27 株式会社日立製作所 腐食環境監視装置
DE19936693A1 (de) 1999-08-04 2001-02-08 Lre Technology Partner Gmbh Verfahren zur ampereometrischen Bestimmung der Konzentration einer Substanz in einer Flüssigkeit
JP2001083154A (ja) 1999-09-13 2001-03-30 Agency Of Ind Science & Technol 疾病マーカー物質簡易小型検出装置
DE29918177U1 (de) 1999-10-14 2000-01-05 Kan Chin Mao Chassis zur Drahtverbindung in zwei Ebenen
JP2001201436A (ja) 2000-01-18 2001-07-27 Shimadzu Corp ガス測定装置
DE60128110T2 (de) 2000-08-08 2008-01-10 Akubio Ltd. Quartzkristall Sensorzelle
JP2002148295A (ja) 2000-11-10 2002-05-22 Ulvac Japan Ltd 周波数測定方法、周波数測定装置及び分析装置
JP4387603B2 (ja) * 2001-02-16 2009-12-16 株式会社アルバック 測定装置及び測定方法
DE10203475A1 (de) 2002-01-18 2003-07-31 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Messung der Viskosität und/oder der Dichte
SE0203772D0 (sv) 2002-12-19 2002-12-19 Attana Ab Piezoelectric sensor arrangement
JP2004205392A (ja) 2002-12-26 2004-07-22 Japan Science & Technology Agency Qcm装置及び試料測定方法
JP3876842B2 (ja) 2003-03-04 2007-02-07 セイコーエプソン株式会社 質量測定チップおよび質量測定装置
US20050052813A1 (en) 2003-03-25 2005-03-10 Yoshihiro Kobayashi Mass measurement method, circuit for exciting piezoelectric vibration reed for mass measurement, and mass measurement apparatus
JP4213061B2 (ja) * 2003-03-28 2009-01-21 シチズンホールディングス株式会社 Qcmセンサーおよびqcmセンサー装置
JP2004340766A (ja) 2003-05-16 2004-12-02 Hitachi Ltd 化学物質検出装置
US7331232B2 (en) * 2003-09-25 2008-02-19 Ulvac, Inc. Measurement method and biosensor apparatus using resonator
WO2006064951A1 (ja) * 2004-12-15 2006-06-22 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd 水晶センサ及び感知装置
CN101084427B (zh) * 2004-12-15 2011-07-20 日本电波工业株式会社 石英传感器和感知装置
CN101080625B (zh) * 2004-12-15 2011-11-09 日本电波工业株式会社 成分测定装置
JP4134025B2 (ja) 2004-12-28 2008-08-13 日本電波工業株式会社 感知装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006184260A5 (ja)
JP2007515073A5 (ja)
CN106449966B (zh) 一种压电传感装置及应用
JP2006191517A5 (ja)
JP2015504316A5 (ja)
JP2018502467A5 (ja)
WO2007056679A3 (en) Comformable eddy current array
TW200644417A (en) Low-voltage MEMS oscillator
RU2004114257A (ru) Способ и устройство для генерации сигналов обратной связи
JP2007060465A5 (ja)
WO2005025076A3 (en) Tactile transducers and method of operating
EP1783901A3 (en) Surface acoustic wave device
JP2011027716A5 (ja)
HK1093097A1 (en) Angular speed measuring transducer
US10424719B2 (en) Piezoelectric module, ultrasonic module, and electronic apparatus
WO2007115074A3 (en) Acousto-optic devices having highly apodized acoustic fields and methods of forming the same
RU2008131942A (ru) Активное устройство амортизации вибраций, испытываемых хрупким элементом движущегося оборудования с автоматическим питанием
JP5826557B2 (ja) 感知装置及び感知方法
CN206210845U (zh) 一种压电传感装置
JP2012209764A5 (ja)
JP2009130665A5 (ja)
JP2021021636A5 (ja)
JP2012500978A5 (ja)
JP2009196201A5 (ja)
JP2005086469A5 (ja)