JP4213061B2 - Qcmセンサーおよびqcmセンサー装置 - Google Patents
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- G01G3/00—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances
- G01G3/12—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing
- G01G3/13—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing having piezoelectric or piezoresistive properties
Description
(ただし、Kは水晶の材料の弾性定数、密度、および電極面積により決まる定数である。)
はじめに、本発明の実施の形態1を説明する。図1は、本発明の実施の形態1にかかるQCMセンサー装置に用いられるQCMセンサーを示す図である。図2は、QCMセンサーを用いたセンサー装置の構成例を示す図である。
1.非線形最小二乗法を用いて、アドミッタンス特性から複数の水晶振動子X(X1〜X4)の等価回路定数を求める。
2.上記1.により得られた等価回路定数により複数の水晶振動子X(X1〜X4)それぞれの共振周波数foとQ値を計算で求める。
水晶振動子の数学モデルを定めて最小二乗法を適用する。数学モデルは等価回路の周波数に対するアドミッタンスの変化を式で表したものである。今、求めたい未知数は等価回路定数なので、アドミッタンスは等価回路定数の関数として考える。等価回路におけるLx,Cx,Rx,Cpは、それぞれ直列インダクタンス、直列容量、直列抵抗、並列容量である。そして、アドミッタンスデータ4として周波数範囲でのアドミッタンスの測定値が得られている。この測定値に対して最も確からしい等価回路定数を求めるために最小二乗法を用いる。
上記の処理で得られた等価回路定数をLx,Cx,Rx,Cpとすると、下記式(2),式(3)により得ることができる。
Q値=2π・f・Lx/Rx=1/(2π・f・Cx・Rx) …(3)
はじめに、アドミッタンス計測手段2で測定したアドミッタンスデータ4が示すアドミッタンス特性に基づいて、最小二乗法に用いる初期値を取得する(ステップS21)。次に、初期値に対する補正量を最小二乗法で計算する(ステップS22)。この後、収束判定を行う(ステップS23)。ここでは、補正量が初期値と比較して十分小さくなったかどうかを判断し、もし補正量が十分小さければ収束と判断し(ステップS23:Yes)、大きければまだ収束していないと判断する(ステップS23:No)。この場合には、さらに補正を継続する。
共振点が一つの場合は、測定したアドミッタンス特性から特徴的な3個所の周波数を選び出し、各点でのアドミッタンス値に基づく演算により等価回路定数の初期値を求めることができる。初期値は、アドミッタンス計測手段2から出力されるアドミッタンスデータ4のアドミッタンス特性に基づいて特徴的な3個所の周波数を選び出し、各点でのアドミッタンス値から計算して求める。図4に示したアドミッタンス特性上に描いた3つの周波数fo,f1,f2を選択して行う。
2.アドミッタンスの虚数部Bが最大になる周波数f1の虚数部Bの値をBmaxとする。
3.アドミッタンスの虚数部Bが最小になる周波数f2の虚数部Bの値をBminとする。
以上の各値から次式(4)〜式(9)を用いて等価回路定数の初期値を求める。
直列抵抗Rx=1/Gmax …(5)
Q値(Q)=f/(f2−f1) …(6)
直列インダクタンスLx=Q・Rx/(2π・f) …(7)
直列容量Cx=1/(2π・f・Q・Rx) …(8)
並列容量Cp=B0/(2π・f)または
=(Bmax+Bmin)/(4π・f)…(9)
図13は、共振点が複数ある場合における等価回路定数の初期値を求める手順を示すフローチャートである。図14は、複数の水晶振動子Xの各共振状態を説明するためのアドミッタンス特性を示す図である。また、等価回路は、図5に示す回路と同じである。但し、並列容量Cp1〜Cp4は、1つにまとめることができるので、その値をCpとする。以後、個々の水晶振動子のパラメータは添え字1〜4をつけて表現する。
または、
Cp=(Bmax+Bmin)/(4π・f)…(11)
直列容量Cx1=1/(2π・f1・Q1・Rx1)…(13)
次に、本発明の実施の形態2を説明する。実施の形態2において、実施の形態1と異なるのは、複数の水晶振動子X1〜X4の共振周波数を、ほぼ同一にしたものである。例えば、4チャンネルのQCMセンサー装置において、4つの水晶振動子X1〜X4の共振周波数に、すべて38.000MHz近傍のものを用いる。
次に、本発明の実施の形態3について説明する。実施の形態3において、実施の形態1、2と異なるのはQCMセンサー部1の構成である。図23は、本発明の実施の形態3によるQCMセンサーの構成を示す平面図であり、図24は、図23の側面図である。実施の形態3では、1枚の水晶基板40上に4つの振動領域53a1〜53a4を設け、それぞれの振動領域53a1〜53a4を駆動するための電極を振動子の表面、および裏面に設けることで、水晶基板40上に4つの水晶振動子X1〜X4を形成したものである。
次に、本発明の実施の形態4について説明する。実施の形態4では、複数(2つ)の水晶振動子X1,X2の一方を基準測定用(リファレンス)として用いる構成である。前述した水晶振動子Xの共振周波数は、水晶振動子Xの電極上に吸着した質量のみならず、水晶振動子自体の温度や溶液の温度、溶液の粘度などによっても変化するため、共振周波数の測定結果にノイズやドリフト等の周波数変動を生じることが多く、これを取り除くために試料を含む溶液や水晶振動子Xの温度を一定に保つ等の工夫が必要となる。
2 アドミッタンス計測手段
3 情報処理部
3A 表示手段
4 アドミッタンスデータ
11 電圧制御発振器(VCO)
12 出力増幅器
13 入力増幅器
14a,14b 位相検波器(PD1,PD2)
15a,15b A/D変換器(AD1,AD2)
16 制御回路(CONT)
25 基板
26 ブロック
26a1,26a2,26a3,26a4 試料保持部
27 共通配線部
29a 表面電極
29b 裏面電極
29c,29d 取り出し配線
40 水晶基板
53a1,53a2,53a3,53a4 振動領域
54a1,54a2,54a3,54a4 試料
X(X1,X2,X3,X4) 水晶振動子
TA,TB 接続端子
PA,PB 接続パッド
Claims (17)
- 圧電振動子の表面に対する物質の吸着による当該圧電振動子の共振周波数の変化に基づいて前記物質の質量を測定するQCMセンサー装置において、
一対の電極を有する複数の圧電振動子を並列接続し、接続端子を設けてなるQCMセンサー部と、
前記QCMセンサー部の前記接続端子に接続され、前記複数の圧電振動子それぞれの前記共振周波数の共振周波数の変化量に基づいて前記物質の量または物理特性の変化を演算出力する共振周波数測定手段とを備え、
前記共振周波数測定手段は、
前記2つの接続端子を介して前記圧電振動子の合成アドミッタンスまたは合成インピーダンスの周波数依存性の情報を計測する計測手段と、
前記計測手段により計測された情報に基づいて前記複数の圧電振動子それぞれの前記共振周波数を求める演算処理部とを備え、
前記計測手段は、
前記複数の圧電振動子の前記共振周波数をカバーする範囲で周波数を掃引して前記複数の圧電振動子それぞれのインピーダンスまたはアドミッタンスを計測し、
前記演算処理部は、
前記計測手段により計測された情報に基づいて、合成アドミッタンスまたは合成インピーダンスの等価回路定数を求め、前記複数の圧電振動子それぞれの共振周波数を求めることを特徴とするQCMセンサー装置。 - 前記演算処理部は、
前記計測手段により計測された前記複数の圧電振動子それぞれのインピーダンスまたはアドミッタンスの情報を用いた最小二乗法に基づく演算の実行により、合成アドミッタンスまたは合成インピーダンスの等価回路定数を求めることを特徴とする請求項1に記載のQCMセンサー装置。 - 1つの圧電素子基板上、または複数の圧電振動子基板上毎に少なくとも2つ以上複数の振動領域と、
前記複数の振動領域を駆動するための複数の電極とを備え、
前記複数の振動領域のうち一つを基準用の振動領域とし、
前記複数の振動領域のうち残りを試料測定用の振動領域として用い、
前記共振周波数測定手段は、
前記試料測定用の振動領域によって計測された情報を、前記基準用の振動領域によって補正することを特徴とする請求項1に記載のQCMセンサー装置。 - 前記基準用の振動領域と、前記試料測定用の振動領域毎に同じ試料を保持する試料保持部を設けたことを特徴とする請求項3に記載のQCMセンサー装置。
- 請求項1に記載のQCMセンサー装置に用いるQCMセンサーであって、
前記複数の圧電振動子に設けられる前記一対の電極の一方を一括して接続し、前記一対の電極の他方を一括して接続する共通配線部と、
前記共通配線部を接続する接続端子と、
を備えたことを特徴とするQCMセンサー。 - 前記電極は、前記圧電振動子の表裏両面にそれぞれ配設され、
前記共通配線部は、前記表面の前記電極を一括して接続する第1の共通配線部と、前記裏面の前記電極を一括して接続する第2の共通配線部と、
を有することを特徴とする請求項5に記載のQCMセンサー。 - 前記圧電振動子の表裏両面に前記電極をそれぞれ配設し、
前記圧電振動子の表面に配設された電極を裏面に導出させる取り出し配線を備えたことを特徴とする請求項5に記載のQCMセンサー。 - 前記圧電振動子基板上に、複数の振動領域を形成する前記複数の電極を設けたことを特徴とする請求項5に記載のQCMセンサー。
- 前記複数の振動領域には、それぞれ試料を保持する試料保持部が設けられたことを特徴とする請求項8に記載のQCMセンサー。
- 前記試料保持部毎に一対以上の前記振動領域を設け、
当該振動領域の一つを前記試料測定時の基準用振動領域として用いることを特徴とする請求項9に記載のQCMセンサー。 - 一対の電極を有する複数の圧電振動子と、
前記複数の圧電振動子の前記一対の電極の一方と他方がそれぞれ一括して接続される接続端子とを備え、
前記複数の圧電振動子が、
各圧電振動子基板上毎に少なくとも2つ以上複数の振動領域と、
前記複数の振動領域を駆動するための複数の電極とを備え、
前記複数の振動領域のうち一つを基準用の振動領域とし、
前記複数の振動領域のうち残りを試料測定用の振動領域として用いることを特徴とする請求項5に記載のQCMセンサー。 - 前記基準用振動領域に設けられる前記電極の表面には、前記試料中の被測定物質と特異的に結合するセンサー膜が形成されていることを特徴とする請求項10または11に記載のQCMセンサー。
- 前記複数の振動領域は、それぞれ共振周波数が異なるよう構成されたことを特徴とする請求項8に記載のQCMセンサー。
- 前記複数の振動領域は、前記電極の面積あるいは形状が異なることを特徴とする請求項13に記載のQCMセンサー。
- 前記複数の振動領域は、いずれも共振周波数が略同一となるよう構成されたことを特徴とする請求項8に記載のQCMセンサー。
- 前記圧電振動子の基板上に前記共通配線部を形成したことを特徴とする請求項5に記載のQCMセンサー。
- 前記圧電振動子の基板外で前記共通配線部を配線したことを特徴とする請求項5に記載のQCMセンサー。
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