JP2004325257A - 振動子を用いた分析方法 - Google Patents

振動子を用いた分析方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2004325257A
JP2004325257A JP2003120370A JP2003120370A JP2004325257A JP 2004325257 A JP2004325257 A JP 2004325257A JP 2003120370 A JP2003120370 A JP 2003120370A JP 2003120370 A JP2003120370 A JP 2003120370A JP 2004325257 A JP2004325257 A JP 2004325257A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
frequency
value
equation
change
conductance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003120370A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4083621B2 (ja
Inventor
Atsushi Ito
敦 伊藤
Motoko Ichihashi
素子 市橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Priority to JP2003120370A priority Critical patent/JP4083621B2/ja
Priority to US10/739,397 priority patent/US7111500B2/en
Priority to EP03029796.4A priority patent/EP1434047B1/en
Publication of JP2004325257A publication Critical patent/JP2004325257A/ja
Priority to US11/502,404 priority patent/US7201041B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4083621B2 publication Critical patent/JP4083621B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

【課題】液体の粘性変化を求める分析方法を提供する。
【解決手段】振動子3を液体7中に浸漬し、交流信号を印加し、コンダクタンスの極大値を求める。その極大値を与える共振周波数と、その極大値の1/2である半値コンダクタンスを与える第一、第二の半値周波数の三種類の周波数のうち、二種類の周波数から粘性効果による周波数変化を求める。質量効果の影響を除去できるので、粘度変化の測定を正確に行うことができる。
【選択図】 図5

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動子を用い、液体中に含まれる微量物質を分析する技術にかかり、特に、その分析が高精度で行われるようにした分析技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
DNA・タンパク質など生体物質の相互作用を測定する方法として、また抗原抗体反応を応用した測定などにQCMの原理が使われている。
【0003】
従来QCMを用いたバイオセンサーは、センサーである圧電素子(水晶振動子など)を発振させて共振周波数を連続で測定するか、インピーダンスアナライザーを用い共振点(インーピーダンスが最小となる点)の周波数を連続で測定し、その周波数変化より、圧電素子表面への吸着した物質の量を測定していた。
【0004】
ところが液中に浸された圧電素子(水晶振動子)の共振周波数は、質量が変化した場合の他、粘性が変化した場合にも変動する。質量の変化による周波数変動を質量効果と呼び、粘性変化による周波数変動を粘性効果と呼ぶと、周波数変動のうち、質量効果による変動量と粘性効果による変動量は、共振周波数の変動のみを測定している従来方式では分離することができない。
【0005】
例えば、周波数変動を測定し、DNA・タンパク質など生体物質の相互作用を調べようとしたり、周波数変動によって抗原抗体反応を調べようとする場合は、しばしば測定系に注入する試料と、使用されているバッファー液(生化学用緩衝液であり、主な含有物はNaClとKCL等である)の粘性が異なるために、測定された周波数変動の値が、DNA・タンパク質などの結合または抗原抗体の結合によって生じた質量効果によるものか、温度変化や試料の添加によって生じた粘性効果によるものなのか区別がつかず、正確な測定ができない。
【0006】
なお、振動子を用いた分析技術は下記のような先行技術がある。
【0007】
【特許文献1】特開2002−148295
【特許文献2】特開2002−156368
【特許文献3】特開平4−1554
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、粘性効果の影響が無く、振動子の質量変化を正確に求める技術を提供する。
【0009】
【課題を解決するための手段】
先ず、本願のような振動子を使用した分析方法の原理を説明する。下記は、基本文献(Anhong Zhou, et al., Impedance analysis for the investigation of the behaviors of piezoelectric quartz crystal in the liquid at harmonic resonance, Sensors and Actuators B 67(2000)68−75)の概要であり、本願発明の前提となる技術である。
【0010】
<概要>
1.調波共振(harmonic resource)におけるSauerbrey方程式の導出
結晶の発振周波数fは、
【0011】
【数1】
Figure 2004325257
【0012】
で表すことができる。ここで、hは調波数(h = 1、3、5...)、(μおよびρはそれぞれ水晶のせん断弾性係数および密度、tは結晶の厚さである。
数式(1)のtに関する偏導関数f、および結晶表面の質量の少量変化(< 1%)dm,dm = ρAdt,について考えると、周波数変化Δfmと質量変化Δmの間の関係は、簡単に導出することができる。
【0013】
【数2】
Figure 2004325257
【0014】
ここで、Aは電極の圧電作用面積、Nは液体と接触している面数である。N = 1且つh = 1であるときに、数式(2)がSauerbrey方程式[4]になることは明らかである。
数式(2)では、電極表面上の異物膜が剛性であり、かつ十分に薄いものと仮定している。
【0015】
実際には、粘性液体中のPQCの周波数変化は、質量アドレイヤのみに関係するのではなく、例えば液体の密度および粘性など、物理化学的特性[3]にも関係している。
【0016】
2.調波共振における粘性効果
PQC(piezoelectric quartz crystals)は、図1に示すように、Butterworth−Van Dyke(BVD)等価回路モデル[17、18]で電気的に表すことができる。電極面積をA、調波数をhとすると、インピーダンスZは次のように表すことができる[19]。
【0017】
【数3】
Figure 2004325257
【0018】
ここで、
【0019】
【数4】
Figure 2004325257
【0020】
である。ここで、Zの実数部はレジスタンス(R)、虚数部はリアクタンス(X)であり、ρおよびηはそれぞれ液体の絶対密度および絶対粘性である。
【0021】
結晶が理想粘性液体(ニュートン液体)中にある場合、Mason[20]によれば、(機械的)せん断インピーダンスは、
【0022】
【数5】
Figure 2004325257
【0023】
によって与えられる。ここで、mは結晶にかかる粘性液体負荷の等価振動質量であり、数式(3)と数式(4)を組み合わせることによって得られる。
【0024】
【数6】
Figure 2004325257
【0025】
この場合、数式(4a)のmは、数式(2)のmと同じである。数式(4a)を数式(2)に代入すると、液体負荷による周波数変化Δfが得られる(パラメータNを考慮する)。
【0026】
【数7】
Figure 2004325257
【0027】
N = 1、h = 1の場合、数式(5)は、KanazawaおよびGordon[7]が水晶中のせん断波と液体中の減衰応力波とを結合するモデルから導出した予測と一致する。
【0028】
数式(5)は、液相中のPQCの周波数応答に対する粘性効果を表している。したがって、液体負荷および質量効果によるおおよその全周波数変化(Δf)が得られる。
【0029】
【数8】
Figure 2004325257
【0030】
この結果は、Martinら[16]によって導出された、連続体電気機械モデルに基づく結果と合致している。
【0031】
ただし、発振器方式によってモニターされる周波数変化は、ΔfでもΔfでもなく、全周波数変化(Δf)のみに限定されていることを強調しておく。
【0032】
3.ΔfとRの関係
インピーダンス解析では、Martinらのモデル[16]は、PQCを効果的に同時質量および液体負荷で特徴づけることができる。液体負荷のかかった状態にあるPQCの動抵抗Rは、次のように表される[16]。
【0033】
【数9】
Figure 2004325257
【0034】
ここで、Lは真空中の動インダクタンスを表し、
【0035】
【数10】
Figure 2004325257
【0036】
で与えられる。
数式(8)を(7)に代入すると、
【0037】
【数11】
Figure 2004325257
【0038】
が得られる。ここで、Kは、参照[16]で定義されている定数である。K =e 26/(c66ε22)であり、c66は、圧電強化(piezoelectrically stiffend)水晶弾性定数、e26およびε22はそれぞれ水晶の圧電応力定数および誘電率である。
【0039】
液体中の結晶の場合、Martinのモデルでは、動抵抗Rは2つの部分に分割され、R = R + Rとされた。Rは、非摂動PQC(すなわち真空中または空気中で共振するPQC)の動抵抗である。例えば、空気中で測定したRは、既存の9MHz結晶では約15.0Ωである。これに対して、純水(20℃)中の同じ結晶について測定したRは、約228 Ωである。Δf対Rの関係を簡単に得るために、質量効果および粘性効果のみを考慮する場合には、本研究では、RとRとは略等しい(R≒R)と見なすことが妥当である。したがって、おおよそのΔf対Rの関係は、数式(6)と数式(7)を組み合わせることによって得ることができる。
【0040】
【数12】
Figure 2004325257
【0041】
数式(8)のLを考慮すると、数式(10)の傾きは、
【0042】
【数13】
Figure 2004325257
【0043】
で表される。
【0044】
この傾きは、Nやhではなく、f、K、C(またはL)にのみ関係している。真空中(または空気中)のLを測定すれば、この傾きの理論値が得られる。
【0045】
下記は、参照文献である。
[3]:D.A.Buttry,M.D.Ward, Measurement of interfacial processes at electrode surfaces with the electrochemical quartz crystal microbalance, Chem. Rev. 92 (1992) 1355−1379.
[4]:G.Sauerbrey,Verwendung von schwingquarzen zur wagung dunner schichten und zur mikrowagung, Z. Phys. 155(1959)206−222.
[7]:K.K.Kanazawa, J.G. Gordon II, The oscillation frequency of a quartz resonator in contact with a liquid, Anal. Chem. Acta 175 (1985)99−105.
[16]:S.J. Martin, V.E. Granstaff, G.C.Frye, Characterizaiton of a quartz microbalance with simultaneous mass and liquid loading, Anal.Chem. 63 (1991)2272−2281
[17]:W.G.Cady,Piezoelectricity, Dover, New York, 1964.
[18]:V.E. Bottom, in: Introduction to Crystal Unit Design, Van Nostrand−Reinhold, New York, 1982, p, 120.
[19]:W.P. Mason, Piezoelectric Crystals and Their Applications to Ultrasonics, Van Nostrand, Princeton, NJ, p. 339.
[20]:W.P. Mason, Electromechanical Transducers and Wave Filters, Van Nostrand−Reinhold, New York, 1948.
<周波数に関する考察>
次に、アドミタンスを符号Y、コンダクタンスを符号G、サセプタンスを符号Bで表し(アドミタンスY=コンダクタンスG+j・サセプタンスB)、角周波数を符号ωで表したとき、コンダクタンスGとサセプタンスBは、図1の等価回路の等価直列レジスタンスRと、等価直列キャパシタンスCと、等価直列インダクタンスLとから、下記(a)、(b)式のように表すことができる。
【0046】
【数14】
Figure 2004325257
【0047】
直列共振状態を与える角周波数を共振角周波数ωとすると、h=1のときの共振角周波数ωでは、ω−1/(ω)=0が成り立つから、共振角周波数ωは下記(c)式で表される。
【0048】
【数15】
Figure 2004325257
【0049】
角周波数ωに対応する周波数をf(f=ω/(2π))で表すと、共振周波数fは、下記(d)式で表される。
【0050】
【数16】
Figure 2004325257
【0051】
h=1の共振状態のときのコンダクタンスGは1/Rである。
ここで、共振状態のときのコンダクタンスGの値を符号Gで表し、その半分の値を半値コンダクタンスG/2とし、半値コンダクタンスG/2を与える角周波数を半値角周波数とすると、半値角周波数には、共振周波数fよりも低周波の第一の半値角周波数ωと、共振周波数fよりも高周波の第二の半値角周波数ωの二種類が存在する(ω<ω)。
【0052】
第一、第二の半値角周波数ω、ωは下記(e)、(f)式で与えられる。
【0053】
【数17】
Figure 2004325257
【0054】
図2は、h=1のときの共振角周波数ωと、第一、第二の半値角周波数ω、ωと、コンダクタンスGの関係を示すグラフである。
【0055】
第一、第二の半値角周波数ω、ωに対応する第一、第二の半値周波数f、fは、下記(g)、(g)式で表される。
【0056】
【数18】
Figure 2004325257
【0057】
<質量効果>
先ず、質量変化の影響、即ち、質量効果による周波数変化の項を説明する。
上記(g)、(g)式の第2項中、Cの値は小さいからR は微小量であり、無視できる。従って、(g)、(g)式は下記(h)、(h)式に書き直すことができる。
【0058】
【数19】
Figure 2004325257
【0059】
上記(h)、(h)式中の第2項は、共振周波数fに等しいから、第一、第の二半値周波数f、fは、下記(i)、(i)式で表される。
【0060】
【数20】
Figure 2004325257
【0061】
粘性効果と質量効果の両方が等価回路に影響する場合、等価直列キャパシタンスCは変化せず、等価直列インダクタンスLと等価直列レジスタンスRとが変化するものとすると、RとLとfは、ΔRとΔLとΔfになるので、(i)、(i)式は、下記(i12)、(i22)式に書き換えられる。
【0062】
【数21】
Figure 2004325257
【0063】
ここで、上記(d)式においてLのみ変化する場合にはΔfは、
【0064】
【数22】
Figure 2004325257
【0065】
となるため、上式を用いて、(i12)式を書き換えると下記(i13)式のようにΔfが得られる。同様に、(i22)式を書き替え、下記(i23)式のようにΔfが得られる。
【0066】
【数23】
Figure 2004325257
【0067】
実際にf=27MHzの水晶振動子は液中でR1≒200Ω、L≒2×10−3Hの値となるので、(i13)式のR/(8πL)は下記値となる。
【0068】
【数24】
Figure 2004325257
【0069】
上記値は1よりも十分小さいので、(i13)式は下記(j)式に近似することができる。同様に、(i22)式は、下記(j)式に近似することができる。
【0070】
【数25】
Figure 2004325257
【0071】
ここで、質量効果と粘性効果だけを考慮する場合、周波数変動Δfは、上記(10)式で表されるから、共振周波数fの微小変化量Δfは、上記(10)式を用い、直ちに下記(k)式で表すことができる。
【0072】
【数26】
Figure 2004325257
【0073】
(k)式を(j)、(j)式に代入すると、第一、第二の半値周波数f、fの微小な周波数変化量Δf、Δfは、下記(l)、(l)式で表すことができる。
【0074】
【数27】
Figure 2004325257
【0075】
上記(l)、(l)式から、(j)式では、(j)式の第1項が2倍になるが、(j)式では第1項は(k)式の第2項で消去されており、上記(l)式では、等価直列抵抗Rの微小変化量ΔRを含む項が消去され、質量mの微小変化量Δmを変数とする項だけが残っている。即ち、粘性変化による影響の項が消去され、質量負荷のみによる周波数変化となる。
【0076】
従って共振周波数fを測定するのではなく第二の半値周波数fを測定することにより、粘性の影響を排除した質量負荷による周波数変化のみを測定することが可能となる。
【0077】
なお、質量変化により、共振状態のときのコンダクタンスGの値も変化するため、第二の半値周波数fを測定する際には、第二の半値周波数fを測定する直前に共振状態のコンダクタンスGを測定し、その値から半値コンダクタンスG/2を算出し、半値コンダクタンスG/2を与える周波数のうちの低周波の方を第二の半値周波数fとして求めるとよい。
【0078】
<粘性効果>
次に、質量効果を除外した周波数変化、即ち、粘性効果による周波数変化を求める。
【0079】
上記(l)式は質量効果による周波数変化を表しており、上記(k)式は、質量効果による周波数変化と粘性効果による周波数変化を加算した変化量であるから、(k)式から(l)式を減じると、粘性効果による周波数変化が求められる。
【0080】
即ち、(k)式から(l)式を減じ|Δf−Δf|を求めると、(k)式の第1項が消去され、粘性効果による周波数変化Δfは、下記(m)式で表される。
【0081】
【数28】
Figure 2004325257
【0082】
従って、共振周波数変化Δfと第二の半値周波数fの周波数変化Δfを測定すれば、上記(m)式から、粘性効果による周波数変化Δfを求め、溶液の粘性変化を求めることができる。
【0083】
また、第一、第二の半値周波数f、fの差の周波数|f−f|を差周波数fとすると、該差周波数fは(g)、(g)式から直ちに求められ、その値は下記(n)式で表される。
【0084】
【数29】
Figure 2004325257
【0085】
質量効果と粘性効果の影響だけを考えた場合、差周波数fの周波数変化Δfは、下記(o)式で表される。
【0086】
【数30】
Figure 2004325257
【0087】
上記(o)式と(m)式とから、下記(p)式が得られる。
【0088】
【数31】
Figure 2004325257
【0089】
従って、第一、第二の半値周波数f、fを継続して測定し、差周波数fの周波数変化Δfを求めれば、上記(p)式から、共振周波数fの粘性効果による周波数変化Δfを求めることができる。また、(l)、(l)式から、(m)式を求めることもできる。
【0090】
以上はh=1の場合であって、基本共振周波数での直列共振状態のときのコンダクタンスG及びその半値コンダクタンスG/2を考えたが、2以上のh場合についても同様に、粘性効果による周波数変化を求めることができる。
【0091】
hを考慮した場合の共振周波数をf(h)、第一、第二の半値周波数をf(h)、f(h)と表すと、hを奇数(1,3,5,……)とすると、図3に示したように、各hに対して直列共振状態を与える共振周波数をf(h)が存在し、共振状態のとき、コンダクタンスはそれぞれ極大値G(h)をとる(h=1では、極大値はコンダクタンスGの最大値となる)。
【0092】
そして、用いるhの値が決まったら、そのhの値に対応するコンダクタンスの極大値G(h)の半分の値である半値コンダクタンスG(h)/2を与える第一、第二の半値周波数f(h)、f(h)が求められる。
【0093】
そして、共振周波数f(h)の周波数変化Δf(h)や、第一、第二の半値周波数f(h)、f(h)の差f(h)の周波数変化Δf(h)等から、hを考慮した場合の粘性効果による周波数変化Δf(h)を求めることができる。
【0094】
ここで、粘性効果による周波数変化Δf(h)と浸漬する液体の密度ηとの関係や、h=1の場合の周波数変化Δf(1)との関係は、下記(q)式のように表される。
【0095】
【数32】
Figure 2004325257
【0096】
また、同様に、hを考慮した場合の質量効果による周波数変化Δf(h)は、電極面積Aや振動子の質量m、h=1の場合の周波数変化Δf(1)と下記(r)式の関係にある。
【0097】
【数33】
Figure 2004325257
【0098】
従って、1以外のhでも質量効果の影響による周波数変動を求め、その値から振動子の質量変化を求めることができる。
【0099】
本発明は上記の原理に基いており、請求項1記載の発明は、発振可能な振動子を液体中に浸漬し、前記振動子に交流信号を印加し、前記振動子を直列共振状態に置く共振周波数と、前記振動子が共振状態にあるときのコンダクタンスの半分の大きさの半値コンダクタンスを与える第一、第二の半値周波数とで構成される三種類の周波数のうち、少なくとも二種類の周波数から前記液体の粘性変化を求める分析方法である。
請求項2記載の発明は、前記交流信号を、前記共振周波数を含むと予想される周波数範囲で前記振動子に繰り返し入力し、時間経過に対する前記二種類の周波数の差の周波数変化を求め、前記差の周波数変化から前記粘性変化を求める請求項1記載の分析方法である。
請求項3記載の発明は、前記振動子は、結晶板と、前記結晶板の両面に配置された第1、第2の電極を有し、前記交流信号は、前記第1、第2の電極間に印加する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の分析方法である。
請求項4記載の発明は、前記第一、第二の半値周波数のうちの高周波の方の第二の周波数を用い、前記振動子の質量変化の影響による周波数変化を求める請求項3記載の分析方法である。
請求項5記載の発明は、前記振動子のコンダクタンスの値と周波数の関係を測定し、前記三種類の周波数のうちのいずれか二種類以上の周波数を求める請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の分析方法である。
請求項6記載の発明は、前記コンダクタンスの最大値を用いる請求項5記載の分析方法である。
請求項7記載の発明は、前記振動子の共振周波数と等価回路の定数を用いる請求項5記載の分析方法である。
【0100】
【発明の実施の形態】
本発明の測定方法を、本発明に用いる振動子及び測定装置と共に説明する。
図4(a)は、本実施の形態の測定用セル2の断面図、同図(b)は、同測定用セルの水晶振動子3の平面図、同図(c)は断面図である。
【0101】
振動子3は、図4(b)、(c)に示すように、結晶板30を有しており、この結晶板30の表面側と裏面側とは、第1、第2の電極31、32がそれぞれ配置されている。結晶板30は、例えば水晶や石英等の結晶が円板状に成形されて構成されており、第1、第2の電極31、32は、金属薄膜が所定形状にパターンニングされて構成されており、第1の電極31は、一部が裏面側まで回り込んでいる。
【0102】
第1、第2の電極31、32は、結晶板30の裏面位置で、第1、第2のスプリング24、25の一端に接続されている。第1、第2のスプリング24、25の他端は、第1、第2の端子ピン26、27に接続されている。第1、第2のスプリング24、25は金属製であり、第1、第2の電極31、32は、第1、第2のスプリング24、25によって、第1、第2の端子ピン26、27に電気的に接続されている。
【0103】
符号23は、絶縁性を有する台座であり、第1、第2の接続ピン26、27は、ガラスシール28によって、この台座23に固定されている。
【0104】
次に、セル2は、図4(a)に示すように、例えばアクリル樹脂が円筒形に成形されて成るセル本体20を有している。
【0105】
セル本体20の底部よりもやや上の位置には、フランジ部21が形成されており、振動子3は、セル本体20の底面側からセル本体20の内部に挿入されており、振動子3の外周部分がフランジ部21に当接されている。
【0106】
その状態では、第1、第2のスプリング24、25は圧縮され、その復元力によって振動子3がフランジ部21に押圧される。
【0107】
振動子3とフランジ部21とが接触する部分には、接着剤が配置されており、第1、第2のスプリング24、25によって振動子3の外周がフランジ部21に押圧された状態で、台座23がセル本体20の底面に固定されると、振動子3は、接着剤によってフランジ部21に固定される。
【0108】
この状態では、振動子3を底面とし、セル本体20の上部を側面とする液密な有底円筒容器状の収容部20aが構成される。
【0109】
第1、第2の端子ピン26、27は、台座23の底面から、セル本体20の外部に導出されており、第1、第2の端子ピン26、27を測定機器等の外部回路に接続すると、第1、第2の電極31、32は、その外部回路に接続される。
【0110】
第1、第2の電極31、32のうち、ここでは、結晶板30の表面側、即ち、収容部20aの底面に露出する位置には第1の電極31が配置されており、その第1の電極31の表面には、反応膜33が配置されている。反応膜33は、測定対象である特定成分と反応し、又はその特定成分を吸着する材料で構成されている。
【0111】
そして、図5に示すように、台29の上にセル2を配置し、測定対象である特定成分を溶解させる溶媒、あるいは特定成分を分散させる液体であって、その特定成分が含まれていない状態の液体を、収容部20a内に注入する。
【0112】
図5の符号7は、その液体を示しており、この状態では、反応膜33は液体7に接触する。第1の電極31の反対側に位置する第2の電極32は、液体7には接触しない。従って、この例では上記各式((1)〜(10)式)中のNは1である。
【0113】
図6の符号1は測定装置であり、上述したセル2と、ネットワークアナライザーやインピーダンスアナライザー等から成る分析装置4と、分析装置4を制御し、その測定値を演算する制御装置5とを有している。
【0114】
セル2は分析装置4に接続されており、分析装置2は所望周波数の交流信号をセル2に出力し、その周波数下でのセル2のコンダクタンスGを測定できるように構成されている。
【0115】
ここで、制御装置5は、分析装置4の動作を制御し、分析装置4がセル2に出力する信号の周波数を変化させると共に、周波数と測定結果とを対応させ、演算結果と共に記憶するように構成されている。
【0116】
本実施例では、予め、上記セル2の共振周波数fと、第一、第二の半値周波数f、fを含む周波数範囲を設定し、その範囲内で周波数を変化させ、コンダクタンスGの値を測定し、セル2に入力した周波数fと、その周波数fに対するコンダクタンスGの値とを対応づけて記憶する。
【0117】
測定に用いる周波数範囲内では、共振状態は1個だけであるとすると、測定に用いた周波数範囲内で、コンダクタンスGの最大値Gmaxを与える周波数fが共振周波数fであることになる。
【0118】
また、記憶された周波数fとコンダクタンスGの関係から、コンダクタンスGの最大値Gmaxの1/2、即ち、半値コンダクタンスG/2を与える第一、第二の半値周波数f、fが求められる。
【0119】
試料投入前の共振周波数fと、第一、第二の半値周波数f、fの測定値は初期値となる。
【0120】
次に、液体7中に、測定対象である特定成分を含む液体を試料として注入すると、特定成分が反応膜33と反応又は吸着し、反応膜33の重量が増加すると共に、反応の進行に伴い、粘性が変化する。
【0121】
試料投入後、セル2に、共振周波数fと第一、第二の半値周波数とを含むと予想される周波数範囲の信号を印加し、初期値を求めたときと同様に、コンダクタンスGの最大値Gmaxを求め、半値コンダクタンスG/2から、第一、第二の半値周波数f、fを求める。
【0122】
試料投入後、一定間隔(例えば1秒毎)にこれを繰り返すと、試料投入後の周波数の測定値から初期値を減じた値が、各測定時に対する周波数変化となる。従って、共振周波数fの周波数変化Δfと第二の半値周波数fの周波数変化Δfに着目した場合には、(m)式から粘性効果による周波数変化Δfが求められ、第一、第二の半値周波数f、fの周波数変化Δf、Δfに着目した場合には(p)式から粘性効果による周波数変化Δfが求められる。
【0123】
また、第二の半値周波数fの周波数変化Δfから質量効果による周波数変化を求めることができる。質量効果による周波数変化からは、測定対象の液体中の特定成分の濃度が分かる。
【0124】
なお、測定する度に周波数変化Δf、Δf、Δfを求めてもよいし、測定結果は記録しておき、測定終了後、一括して求めることもできる。
【0125】
上記セル2は反応膜33を有し、試料中の測定対象である特定成分を反応膜33に反応又は吸着させたが、温度変動による液体の粘性変化を求める場合等、質量効果による周波数変化を求める必要がない場合は、上記セル2の反応膜33は不要であり、反応膜を有さないセルを用いることができる。
【0126】
また、上記例では、直列共振状態のときにコンダクタンスGと周波数fの関係を測定し、最大値Gmaxの1/2の半値コンダクタンスG/2の値から第一、第二の半値周波数f、fを求めたが、直列共振状態のときにコンダクタンスGを測定せず、共振周波数fの測定値や等価回路の定数R、L、Cを用いて第一、第二の半値周波数f、fを算出することもできる。
【0127】
例えば、振動子3のレジスタンスR、インダクタンスL、及び共振周波数fを測定すれば、コンダクタンスGを測定しなくても、(i)式から第一、第二の半値周波数f、fを算出することができる。従って、コンダクタンスGを測定しなくても粘性効果による周波数変化Δfを求めることができる。
【0128】
また、インピーダンスアナライザー等でQ値(Q=f/(f−f))やD値(D=1/Q)を測定すれば、共振周波数fとQ値(又はD値)から粘性効果による周波数変化Δfを求めることができる。
【0129】
要するに、本発明は、コンダクタンスGを実測し、共振周波数fや第一又は第二の半値周波数f、fを求める場合に限定されるものではない。
【0130】
また、上記例では、第一の半値周波数fと共振周波数fの組合せ、又は、第一、第二の半値周波数f、fを組合せ、(m)式や(n)式等に基いて、粘性効果による周波数変化Δfを求めたが、(k)式と(l)式から、(k)式第1項及び(l)式第2項は消去できるので、共振周波数fと第一の半値周波数fを組合わせても粘性効果による周波数変化Δfを求めることができる。
【0131】
要するに、共振周波数fと第一、第二の半値周波数f、fの三種類の周波数のうち、どの二種類の周波数を選択しても、粘性効果による周波数変化Δfを求めることができる。
【0132】
【発明の効果】
試料の粘度変化を簡単に求めることができる。
【0133】
また、同一の試料に対し、質量効果による周波数変化と粘性効果による周波数変化の両方を一緒に求めることができるので試料の詳しい分析が可能になる。従って、本発明は、粘性の高い血液の検査や、食品に含まれる菌の検査において高い効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】振動子の等価回路
【図2】信号の周波数と振動子のコンダクタンスとの関係を示すグラフ
【図3】高次の共振状態を説明するためのグラフ
【図4】(a)〜(c):本発明の用いる振動子、及びその振動子を用いた測定セルを説明するための図
【図5】測定装置全体を説明するための図
【符号の説明】
3……振動子
30……結晶板
31……第1の電極
32……第2の電極
G……コンダクタンス
/2……半値コンダクタンス
……第一の半値周波数
……第二の半値周波数
……共振周波数

Claims (7)

  1. 発振可能な振動子を液体中に浸漬し、前記振動子に交流信号を印加し、
    前記振動子を直列共振状態に置く共振周波数と、前記振動子が共振状態にあるときのコンダクタンスの半分の大きさの半値コンダクタンスを与える第一、第二の半値周波数とで構成される三種類の周波数のうち、少なくとも二種類の周波数から前記液体の粘性変化を求める分析方法。
  2. 前記交流信号を、前記共振周波数を含むと予想される周波数範囲で前記振動子に繰り返し入力し、時間経過に対する前記二種類の周波数の差の周波数変化を求め、前記差の周波数変化から前記粘性変化を求める請求項1記載の分析方法。
  3. 前記振動子は、結晶板と、前記結晶板の両面に配置された第1、第2の電極を有し、
    前記交流信号は、前記第1、第2の電極間に印加する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の分析方法。
  4. 前記第一、第二の半値周波数のうちの高周波の方の第二の周波数を用い、前記振動子の質量変化の影響による周波数変化を求める請求項3記載の分析方法。
  5. 前記振動子のコンダクタンスの値と周波数の関係を測定し、前記三種類の周波数のうちのいずれか二種類以上の周波数を求める請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の分析方法。
  6. 前記コンダクタンスの最大値を用いる請求項5記載の分析方法。
  7. 前記振動子の共振周波数と等価回路の定数を用いる請求項5記載の分析方法。
JP2003120370A 2002-12-26 2003-04-24 振動子を用いた分析方法 Expired - Fee Related JP4083621B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003120370A JP4083621B2 (ja) 2003-04-24 2003-04-24 振動子を用いた分析方法
US10/739,397 US7111500B2 (en) 2002-12-26 2003-12-19 Analysis method using piezoelectric resonator
EP03029796.4A EP1434047B1 (en) 2002-12-26 2003-12-23 Analysis method using piezoelectric resonator
US11/502,404 US7201041B2 (en) 2002-12-26 2006-08-11 Analysis method using piezoelectric resonator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003120370A JP4083621B2 (ja) 2003-04-24 2003-04-24 振動子を用いた分析方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004325257A true JP2004325257A (ja) 2004-11-18
JP4083621B2 JP4083621B2 (ja) 2008-04-30

Family

ID=33499307

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003120370A Expired - Fee Related JP4083621B2 (ja) 2002-12-26 2003-04-24 振動子を用いた分析方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4083621B2 (ja)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1605257A1 (en) * 2004-06-11 2005-12-14 Ulvac Inc. Two-frequency measuring method using surface acoustic wave device, and surface acoustic wave device and biosensor device with analysis liquid agitating means
JP2005351798A (ja) * 2004-06-11 2005-12-22 Ulvac Japan Ltd 表面弾性波素子による測定方法
JP2006275798A (ja) * 2005-03-29 2006-10-12 Ulvac Japan Ltd 圧電素子の電極への細胞の固定化方法、細胞容積の測定方法及び細胞容積の測定装置
WO2007004376A1 (ja) * 2005-06-30 2007-01-11 Ulvac, Inc. 水晶振動子を用いた測定方法及び測定装置
JP2007071722A (ja) * 2005-09-07 2007-03-22 Tokyo Institute Of Technology 弾性波素子のパラメータ測定方法
JP2008256518A (ja) * 2007-04-04 2008-10-23 Ulvac Japan Ltd 圧電素子又は表面弾性波素子の質量負荷の変化を測定する方法
WO2011114684A1 (ja) * 2010-03-16 2011-09-22 株式会社アルバック 粘弾性の測定方法及び粘弾性の測定装置
WO2012053189A1 (ja) * 2010-10-20 2012-04-26 株式会社アルバック 物質の粘弾性係数の測定方法及び物質の粘弾性係数の測定装置
JP2012208007A (ja) * 2011-03-29 2012-10-25 Ulvac Japan Ltd 含水量の測定方法
JP2012242327A (ja) * 2011-05-23 2012-12-10 Ulvac Japan Ltd 圧電素子を用いた物質の吸着量又は解離量の計測方法
JP2014134396A (ja) * 2013-01-08 2014-07-24 Ulvac Japan Ltd 物質の粘弾性係数の測定方法
JP2014219338A (ja) * 2013-05-10 2014-11-20 京セラクリスタルデバイス株式会社 振動粘度計
JP2016223867A (ja) * 2015-05-29 2016-12-28 東北電子産業株式会社 粘弾性特性の測定方法および測定装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110022598A (ko) * 2008-05-14 2011-03-07 가부시키가이샤 알박 수정진동자 및 이것을 사용한 측정방법
JP4555368B2 (ja) 2008-07-10 2010-09-29 株式会社セコニック 液体の粘弾性測定法
JP6478975B2 (ja) * 2013-04-26 2019-03-06 マイクロ モーション インコーポレイテッド 振動式センサ及び振動式センサにて振動を変える方法

Cited By (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1605257A1 (en) * 2004-06-11 2005-12-14 Ulvac Inc. Two-frequency measuring method using surface acoustic wave device, and surface acoustic wave device and biosensor device with analysis liquid agitating means
JP2005351798A (ja) * 2004-06-11 2005-12-22 Ulvac Japan Ltd 表面弾性波素子による測定方法
US7398685B2 (en) 2004-06-11 2008-07-15 Ulvac, Inc. Measuring method using surface acoustic wave device, and surface acoustic wave device and biosensor device
JP4504106B2 (ja) * 2004-06-11 2010-07-14 株式会社アルバック 表面弾性波素子による測定方法
JP2006275798A (ja) * 2005-03-29 2006-10-12 Ulvac Japan Ltd 圧電素子の電極への細胞の固定化方法、細胞容積の測定方法及び細胞容積の測定装置
JP4594148B2 (ja) * 2005-03-29 2010-12-08 株式会社アルバック 細胞容積の測定方法及び細胞容積の測定装置
WO2007004376A1 (ja) * 2005-06-30 2007-01-11 Ulvac, Inc. 水晶振動子を用いた測定方法及び測定装置
JP2007010519A (ja) * 2005-06-30 2007-01-18 Ulvac Japan Ltd 水晶振動子を用いた測定方法及び測定装置
US7874211B2 (en) 2005-06-30 2011-01-25 Ulvac, Inc. Measuring method and measuring device using quartz oscillator
JP4669749B2 (ja) * 2005-06-30 2011-04-13 株式会社アルバック 水晶振動子を用いた測定方法及び測定装置
JP2007071722A (ja) * 2005-09-07 2007-03-22 Tokyo Institute Of Technology 弾性波素子のパラメータ測定方法
JP2008256518A (ja) * 2007-04-04 2008-10-23 Ulvac Japan Ltd 圧電素子又は表面弾性波素子の質量負荷の変化を測定する方法
WO2011114684A1 (ja) * 2010-03-16 2011-09-22 株式会社アルバック 粘弾性の測定方法及び粘弾性の測定装置
CN102782473A (zh) * 2010-03-16 2012-11-14 株式会社爱发科 粘弹性的测定方法以及粘弹性的测定装置
JP5379909B2 (ja) * 2010-03-16 2013-12-25 株式会社アルバック 粘弾性の測定方法及び粘弾性の測定装置
CN102782473B (zh) * 2010-03-16 2014-07-02 株式会社爱发科 粘弹性的测定方法以及粘弹性的测定装置
US9146187B2 (en) 2010-03-16 2015-09-29 Ulvac, Inc. Viscoelasticity measuring method and viscoelasticity measuring apparatus
WO2012053189A1 (ja) * 2010-10-20 2012-04-26 株式会社アルバック 物質の粘弾性係数の測定方法及び物質の粘弾性係数の測定装置
JP5372263B2 (ja) * 2010-10-20 2013-12-18 株式会社アルバック 物質の粘弾性係数の測定方法及び物質の粘弾性係数の測定装置
US9360409B2 (en) 2010-10-20 2016-06-07 Ulvac, Inc. Method for measuring viscoelastic modulus of substance, and apparatus for measuring viscoelastic modulus of substance
JP2012208007A (ja) * 2011-03-29 2012-10-25 Ulvac Japan Ltd 含水量の測定方法
JP2012242327A (ja) * 2011-05-23 2012-12-10 Ulvac Japan Ltd 圧電素子を用いた物質の吸着量又は解離量の計測方法
JP2014134396A (ja) * 2013-01-08 2014-07-24 Ulvac Japan Ltd 物質の粘弾性係数の測定方法
JP2014219338A (ja) * 2013-05-10 2014-11-20 京セラクリスタルデバイス株式会社 振動粘度計
JP2016223867A (ja) * 2015-05-29 2016-12-28 東北電子産業株式会社 粘弾性特性の測定方法および測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP4083621B2 (ja) 2008-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7201041B2 (en) Analysis method using piezoelectric resonator
JP2004325257A (ja) 振動子を用いた分析方法
JP4669749B2 (ja) 水晶振動子を用いた測定方法及び測定装置
Auge et al. New design for QCM sensors in liquids
JP2007010519A5 (ja)
WO1996035103A9 (en) A piezoelectric crystal microbalance device
EP2529207B1 (en) Bi-stable oscillator
JP6175434B2 (ja) 圧電ユニット、圧電装置、圧電判定装置及び状態判定方法
JP5379909B2 (ja) 粘弾性の測定方法及び粘弾性の測定装置
JP4387896B2 (ja) Qcmセンサおよびqcmセンサによる測定方法
Kao et al. Fabrication and performance characteristics of high-frequency micromachined bulk acoustic wave quartz resonator arrays
JP4009221B2 (ja) 振動子を用いた分析方法
Zainuddin et al. Verification of quartz crystal microbalance array using vector network analyzer and OpenQCM
US7331232B2 (en) Measurement method and biosensor apparatus using resonator
JP4755965B2 (ja) 水晶振動子を使用した液状物の撹拌方法
JP4437022B2 (ja) 生化学、医療及び食品分野における化学反応の追跡や状態分析等に使用される振動子を使用した測定方法及びバイオセンサー装置
Zhou et al. Impedance analysis for the investigation of the behaviors of piezoelectric quartz crystal in the liquid at harmonic resonance
Johannsmann et al. Simple frequency-based sensing of viscosity and dielectric properties of a liquid using acoustic resonators
JP5066404B2 (ja) バイオセンサを使用した物性の測定方法
JPH02226044A (ja) 検体セル
JP2003315235A (ja) 分析方法
A Barzinjy et al. Mathematical Modeling of Mass Change in Biosensor Quartz Crystal Microbalance Using Matlab
Datta Modelling Of The Response Of Bulk Acoustic Wave Based Devices In Bio Sensor Applications
Aziz et al. Quartz Crystal Microbalance a Powerful Technique for Nanogram Mass Sensing
Han et al. MULTISIM-simulation process for the resonant frequency measurement of quartz crystal microbalance

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20051222

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060905

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071002

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071203

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20071203

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080212

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080213

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4083621

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140222

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees