KR102309893B1 - 증착속도 측정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 증착속도 측정장치는, 다수의 증착원이 필요한 증착기에서, 특정 증착원에 대향하여 배치되는 크리스탈 센서와, 상기 크리스탈 센서의 전방부에 배치되어 상기 특정 증착물질의 유입을 보조하기 위한 개구부와, 상기 개구부에서 연장되고, 상기 특정 증착원에 인접한 적어도 1 이상의 증착원으로부터의 적어도 1 이상의 증착물질의 간섭을 차단하기 위해서 상기 크리스탈 센서를 둘러싸는 방착브라켓과, 상기 개구부로부터 상기 방착브라켓 내측으로 소정 길이만큼 이격 설치되는 적어도 1 이상의 가림부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하면, 특정 증착원과, 적어도 1 이상의 인접한 증착원을 갖는 증착기에서, 적어도 1 이상의 인접한 증착원으로부터 기화 또는 승화되는 증착물질의 입사각도를 일정각도 이하로 제한하여 상기 특정 증착원으로부터 기화 또는 승화되는 특정 증착물질의 증착속도를 상기 적어도 1 이상의 인접한 증착원의 영향없이 모니터링이 가능하다.

Description

증착속도 측정장치{DEPOSITION RATE MEASURING APPARATUS}
본 발명은 증착속도 측정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 두 개 이상의 인접한 증착원을 갖는 증착기에 있어서 각각의 증착원에서 기화된 증착물질이 독립적으로 측정될 수 있고, 인접한 증착원에 의해서 영향을 받지 않을 수 있는 증착속도 측정장치에 관한 것이다.
유기 발광 소자(OLED; Organic Light Emitted Diode)는 투명전극이 도포된 유리 기판 상에 여러 층의 유기 박막 및 금속 전극을 형성한 후, 전기를 통하면 유기 박막에서 발광 현상이 발생하는 차세대 디스플레이 소자로서, LCD 이후를 대체할 전망을 가지고 있다.
특히, 유기 박막은 고진공 챔버 내에서 유기물이 담긴 도가니를 가열하여 증발되는 유기물 기체가 유리 기판에 박막의 형태로 형성하게 된다.
유기 발광소자는 기판 상에 유기 박막 및 금속 박막 등 다층의 박막을 적층시켜 제작한다.
이러한 증착을 위한 유기 발광 소자 설비는 다수의 단위 챔버가 연결되는 클러스터 방식이 사용될 수 있으며, 각각의 증착 챔버들 사이에서 기판이 수평으로 배치한 상태에서 기판 이송, 반송 및 소자 공정이 수행되도록 구성되어 있다.
증착원으로부터 증발된 유기물은 상기 피 처리기판으로 이동되어 흡착, 증착, 재 증발 등의 연속적 과정을 거쳐 상기 피 처리기판 위에 고체화되어 얇은 박막을 형성한다. 이때, 피 처리기판 상에 형성되는 박막의 두께는 상기 크리스탈 센서에 의해 성막 속도를 측정하여 결정되는 것이다.
그런데, 크리스탈 센서는 옹스트롱 정도의 물질을 감지하는 민감한 센서로 정확하고 안정적으로 측정되지 않으면 증착기의 실제 막두께 및 제품 성능에 영향을 미치는 문제점이 있다.
특히, 인접한 적어도 2개의 증착원으로 구성된 증착기에 있어서, 증착경로에서 벗어난 일측면에 증착속도 측정장치가 설치되므로 인접한 증착원으로부터 증발된 증착물질이 소정의 각도를 가지고 인접한 크리스탈 센서 내부로 입력되어 증착 속도 간섭 효과 (Cross Talk)를 발생시킬 수 있기 때문에 인접한 증착원으로부터의 간섭을 방지하는 것이 필요하다.
상기 인접한 적어도 2개의 증착원 중 하나가 호스트물질이고 나머지가 도펀트 물질인 경우 많은 양의 호스트 증착물질에 영향을 받지 않고 하나의 도펀트 물질의 증착속도를 모니터링하기는 어렵다.
또한, 인접한 증착원에서 증발된 유기물이 상기 크리스탈 센서에 증착되는 경우 상기 크리스탈 센서의 기능을 더 빨리 악화시킴으로써 유기 박막의 두께 및 성막 속도를 제대로 측정할 수 없게 된다.
또한, 이러한 문제점을 해소하기 위하여 개발된 증착속도 측정장치는 인접한 증착원으로부터 증발된 유기물이 인접한 크리스탈 센서에 증착되는 것을 차단하기 위하여 자동 또는 수동으로 개폐하는 복잡한 구조와 기계적 메커니즘을 필요로 하였다.
본 발명은 이러한 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명은 공간적 제약으로 인해서 인접한 증착원으로부터 증발된 증착물질이 소정의 각도를 가지고 인접한 크리스탈 센서 내부로 입력되는 것을 방지하여 증착 속도 간섭 효과 (Cross Talk)가 발생하지 않아서 개별적인 증착물질의 보다 안정적이고 정확한 모니터링이 가능한 증착속도 측정장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 호스트물질과 도펀트물질을 동시에 증착시키는 경우에 호스트물질의 간섭없이 도펀트 물질의 증착속도를 독립적으로 모니터링할 수 있는 증착속도 측정장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 인접한 증착원에서 증발된 유기물이 크리스탈 센서에 증착되는 것을 방지하여 크리스탈 센서의 수명을 더 증가시키는 증착속도 측정장치를 제공하고자 한다.
본 발명은 간단한 구조로 복잡한 기계적 메커니즘 없이 인접한 증착원으로부터 증발된 유기물이 크리스탈 센서에 증착되는 것을 방지할 수 있는 증착속도 측정장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착속도 측정장치는, 다수의 증착원이 필요한 증착기에서, 특정 증착원에 대향하여 배치되는 크리스탈 센서와, 상기 크리스탈 센서의 전방부에 배치되어 상기 특정 증착물질의 유입을 보조하기 위한 개구부와, 상기 개구부에서 연장되고, 상기 특정 증착원에 인접한 적어도 1 이상의 증착원으로부터의 적어도 1 이상의 증착물질의 간섭을 차단하기 위해서 상기 크리스탈 센서를 둘러싸는 방착브라켓과, 상기 개구부로부터 상기 방착브라켓 내측으로 소정 길이만큼 이격 설치되는 적어도 1 이상의 가림부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 방착브라켓 또는 상기 적어도 1 이상의 가림부의 형상이 적어도 하나의 위치 이상에서 상기 적어도 1 이상의 증착물질의 입사각도를 일정각도 이하로 줄이도록 형성될 수도 있다.
상기 방착브라켓의 외형이 원통형, 상기 개구부로 갈수록 커지는 원추형 또는 상기 개구부로 갈수록 좁아지는 원추형으로 이루어질 수도 있다.
상기 적어도 1 이상의 가림부 중 하나가 상기 크리스탈 센서에 인접한 상기 방착 브라켓 내부 위치에 배치되고, 다른 하나가 상기 크리스탈 센서에서 먼 상기 방착 브라켓 내부 위치에 배치될 수도 있다.
상기 적어도 1 이상의 가림부가 중앙에 특정홀이 형성된 원판상일 수도 있다.
상기 적어도 1 이상의 가림부 중 상기 크리스탈 센서에 인접한 제 1 가림부의 제 1 특정홀의 직경이 상기 크리스탈 센서에서 먼 제 2 가림부의 제 2 특정홀의 직경보다 클 수도 있다.
상기 방착브라켓의 외형이 상기 개구부로 갈수록 좁아지는 원뿔형으로 이루어진 경우, 상기 적어도 1 이상의 가림부가 상기 방착브라켓 내벽에 대해 상기 크리스탈 센서 방향으로 테이퍼질 수도 있다.
상기 방착브라켓의 외형이 상기 개구부로 갈수록 좁아지는 원뿔형으로 이루어진 경우, 상기 적어도 1 이상의 가림부가 중앙에 특정홀이 형성되고 상기 방착브라켓과 반대로 상기 개구부로 갈수록 넓어지는 깔대기 형상일 수도 있다.
상기 방착브라켓의 내벽에 대해 길이방향으로 상기 적어도 1 이상의 가림부의 상대적인 위치를 조절가능할 수도 있다.
상기 특정 증착물질은 도펀트 물질이고, 상기 적어도 1 이상의 증착물질은 호스트 물질로 상기 호스트 물질의 간섭없이 상기 도펀트 물질의 모니터링이 가능한 포함할 수도 있다.
상기 적어도 1 이상의 가림부는 상기 개구부로부터 상기 방착브라켓 내측 길이방향으로 상대적인 위치 이동이 가능할 수도 있다.
이를 위하여, 상기 방착브라켓은 내벽을 따라 길이방향으로 긴 한 쌍의 가이드홈부를 가지며, 상기 적어도 1 이상의 가림부는 중앙에 특정홀이 형성된 원판형 본체 외주부에 상기 한 쌍의 가이드홈부에 대응하는 한 쌍의 체결돌기를 가질 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 공간적 제약으로 인해서 인접한 증착원으로부터 증발된 증착물질이 소정의 각도를 가지고 인접한 크리스탈 센서 내부로 입력되는 것을 방지하여 증착 속도 간섭 효과 (Cross Talk)가 발생하지 않아서 개별적인 증착물질의 보다 안정적이고 정확한 증착속도의 모니터링이 가능한 증착속도 측정장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 호스트물질과 도펀트물질을 동시에 증착시키는 경우에 호스트물질의 간섭없이 도펀트 물질의 증착속도를 독립적으로 모니터링할 수 있는 증착속도 측정장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 인접한 증착원에서 증발된 유기물이 크리스탈 센서에 증착되는 것을 방지하여 크리스탈 센서의 수명을 더 증가시키는 증착속도 측정장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 간단한 구조로 복잡한 기계적 메커니즘 없이 인접한 증착원으로부터 증발된 유기물이 크리스탈 센서에 증착되는 것을 방지할 수 있는 증착속도 측정장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착속도 측정장치가 사용된 진공 증착시스템의 블록도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착속도 측정장치의 개념도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착속도 측정장치의 사시도이다.
도 4a 및 도 4b는 각각 본 발명의 변형 실시예에 따른 증착속도 측정장치를 설명하기 위한 종단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착속도 측정장치의 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예에 따른 진공 증착기에 관하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시 할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다. 본 발명은 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않으며, 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙이도록 한다.
이하 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착속도 측정장치를 상세히 설명한다.
본 발명의 일 실시에 따른 증착속도 측정장치를 적용한 진공 증착시스템(1)은 진공 챔버(300), 상기 진공 챔버(300) 저부에 구비되고 그 내부에 호스트 증착물질과 적어도 2 이상의 도펀트 증착물질을 각각 수용하며 그 외부에 가열장치가 구비된 적어도 2 이상의 증착원(400), 상기 증착원(400)의 상측에 구비되고 상기 증착원(400)으로부터 기화 또는 승화된 증착물질이 증착되는 피 처리기판(500)과 상기 적어도 2 이상의 증착원(400) 사이의 증착경로를 방해하지 않도록 상기 적어도 2 이상의 증착원(400) 각각에 대해서 일측에 구비되고 크리스탈 센서(30)가 마련된 적어도 2 이상의 증착속도 측정장치(100)로 이루어진다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 적어도 2 이상의 증착원(400)이 호스트물질의 증착원인 제 1 증착원(410)과 적어도 2 이상의 도펀트물질의 증착원인 제 2 및 제 3 증착원(420, 430)을 포함할 수 있다.
이 경우, 상기 제 1 내지 제 3 증착원(410, 420, 430) 각각에 대해서 기화 또는 증발되는 호스트물질 또는 도펀트물질만 모니터링할 수 있도록 상기 증착속도 측정장치(100)도 상기 제 1 내지 제 3 증착원(410, 420, 430) 각각의 일 측면에 설치될 수 있도록 서로 다른 각도로 배치되는 제 1 내지 제 3 증착속도 측정장치(110, 120, 130)를 가질 수 있다.
또한, 상기 증착속도 측정장치(100)는, 상기 크리스탈 센서(30)를 둘러싸 고, 인접한 제 1 및 제 3 증착원(410, 430)으로부터 증착물질이 유입되는 것을 차단하는 외형 구조를 갖는 방착브라켓(10)을 상기 크리스탈 센서(30) 전방부에 가질 수 있다.
상기 방착브라켓(10)은 그 외형 구조가 인접한 제 1 및 제 3 증착원(410, 430)으로부터의 증착물질이 입사되는 입사각도가 소정 각도 이하로 줄어들도록 형성될 수 있다.
특히, 상기 방착브라켓(10)은 사각기둥 또는 사각뿔의 형태일 수도 있지만, 상기 크리스탈 센서(30)가 원통형임을 고려할 때 증착물질을 반사시켜 상기 크리스탈 센서(30) 내부로 유입될 수 있도록 원통형으로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 방착브라켓(10)은 모니터링하려는 제 2 증착원(420)으로부터의 특정 증착물질만의 유입을 보조하는 개구부(15)를 그 외형구조의 전방에 형성하고 있다.
상기 증착속도 측정장치(100)는 상기 방착브라켓(10)을 착탈가능하게 결합시키기 위한 결합부(13)를 상기 크리스탈 센서(30)를 감싸도록 외부에 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 방착브라켓(10)은 상기 개구부(15)로부터 상기 방착브라켓(10) 내측으로 소정의 길이(H)만큼 이격 설치되며, 그 이격 위치 및 상기 방착 브라켓(10) 내벽에 대해서 소정 각도로 변형되어 인접한 제 1 및 제 3 증착원(410, 430)으로부터의 증착물질의 입사각도를 일정각도 이하로 하여 그 유입을 차단하기에 적합한 형상의 적어도 1 이상의 가림부(50, 60)를 포함한다.
상기 적어도 1 이상의 가림부(50, 60)은 판상체일 수도 있으며, 개별적인 증착원(410, 420, 430)으로부터 기화 또는 승화된 물질만 안정적, 독립적으로 유입되도록 특성 홀(55, 65)가 형성된 원판상으로 형성될 수도 있다.
이와 같은 구조의 경우에 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 증착원(410)으로부터 호스트물질이 다량 유입되는 경우에도 소정의 입사각도로 유입되는 호스트물질은 대부분 상기 적어도 1 이상의 가림부(50, 60)에 의해서 차단될 수 있다.
또한, 상기 제2 증착속도 측정장치(120)가 상기 제 2 증착원(420)에 대해 일직선으로 배치되어 상기 제 2 증착원(420)으로부터 기화 또는 승화된 특정 도펀트물질만이 안정적으로 독립적으로 상기 특성홀(55, 65)로 유입되어 호스트물질이나 다른 도펀트물질의 간섭없이 특정 도펀트물질의 증착속도가 모니터링됨을 알 수 있다.
이를 위하여, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 적어도 1 이상의 가림부(50, 60)를 상기 방착브라켓(10)의 개구부(15)로부터 소정의 길이(H)만큼 내측에 배치함으로써 인접한 적어도 2 이상의 증착원(410, 430)으로부터 입사되는 입사각(θ1, θ2)을 일정각도 이하로 한정할 수 있다.
상기 적어도 1 이상의 가림부(50, 60)중 제1 가림부(50)를 제 2 가림부(60)보다 더 내측에, 즉 상기 크리스탈 센서(30)에 인접하게 배치하고 상기 제 2 가림부(60)를 상기 크리스탈 센서(30)에 대해 먼 위치에 이격되게 배치함으로써 상기 제 1 가림부(50)의 제1특성홀(55)이 형성하는 제 1 입사각 도(θ1)가 상기 제 2 가림부(60)의 제 2 특성홀(65)이 형성하는 제 2 입사각도(θ2)보다 더 작게 한정할 수 있다.
따라서, 상기 적어도 1 이상의 가림부(50, 60)가 상기 방착브라켓(10) 내측의 어느 위치에 설치되느냐 여부에 따라 인접한 증착원(410,430)으로부터 유입되는 증착물질의 입사각도를 일정각도 이하로 제한할 수 있다.
또한, 상기 적어도 1 이상의 가림부(50, 60)의 이격 거리에 따라 상기 제 2 가림부(60)의 제 2 특성홀(65)을 통해서 간혹 유입된 인접한 증착원(410, 430)으로부터의 증착물질이라도 다른 상기 제 1 가림부(50)에 의해서 차단할 수 있으며, 상기 특성 증발원(420)으로부터 유입되는 특성물질만이 상기 제 1 가림부(50)의 제 1 특성홀(55)을 통해서 유입되어 정확하게 모니터링될 수 있다.
또한, 상기 크리스탈 센서(30)에 유입되어 증착되는 인접한 증착물질을 줄일 수 있기 때문에 상기 크리스탈 센서(30)의 수명을 늘릴 수 있다.
이제 도 4a 및 도 4b를 참조하여, 본 발명의 변형 실시예에 따른 증착속도 측정장치에 대해서 설명한다.
먼저, 본 발명의 변형 실시예에 따른 증착속도 측정장치(100')에 있어서, 방착브라켓(10')은 상기 적어도 2 이상의 증발원(400)으로부터 기화 또는 승화된 증착물질이 유입되는 입사각도를 한정하기 위하여 그 외형을 도 4a에 도시된 바와 같이 개구부(15')가 넓어지는 원추형으로 구성할 수도 있다.
이 경우, 개구부(15')에 더 가까운 제 2 가림부(60')의 제 2 특성홀(65')의 크기를 작게 하여 인접한 증착원(410, 430)으로부터 유입되는 증착물질의 유입을 차단할 수 있다.
다만, 상기 제 2 가림부(60')로부터 소정 길이만큼 내측에 배치되는 상기 제 1 가림부(50')의 제 1 특성홀(55')의 직경을 상기 제 2 특성홀(65')의 직경보다 크게 하여 모니터링하려고 하는 제 2 증착원(420)으로부터 특성 증착물질이 유입되는 것을 도와 모니터링 효율을 증가시킬 수 있다.
또한, 도 4b에 도시된 바와 같이, 개구부(15')가 좁아지는 원추형으로 구성할 수도 있다.
이 경우, 상기 개구부(14')가 좁아져 인접한 제 1 및 제 3증착원(410, 430)으로부터 입사되는 증착물질의 유입을 더 잘 차단할 수 있다.
다만, 상기 제 2 증착원(420)으로부터 거의 입사각 없이 유입되는 특성물질이 유입량만 줄일 수 있으므로, 대신에 상기 제 1 가림부(50')의 제 1 특성홀(55')의 직경을 더 크게 할 수 있다.
이를 위하여, 상기 제 1 가림부(50')을 상기 방음브라켓(10')의 내벽(10a')에 대해 수평하게 배치되지 않고 소정의 기울기를 갖도록 배치할 수도 있다.
바람직하게는 상기 제 1 가림부(50')을 상기 방착브라켓(10')의 내벽(10a')에 대해 상기 크리스탈 센서(30)를 향해 테이퍼져 깔대기 모양으로 상기 크리스탈 센서(30) 로 유입되는 특성 증착물질을 모아서 증착속도 정확도를 높일 수 있다.
이제 도 5를 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착속도 측정장치를 설명한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 증착속도 측정장치(100')는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착속도 측정장치(100)와 마찬가지로 상기 크리스탈 센서(130')를 둘러싸며 전방에 개구부(115')가 형성된 방착브라켓(110')과, 상기 방착브라켓(110')을 착탈가능하게 결합시키기 위한 결합부(113')와, 상기 개구부(115')로부터 상기 방착브라켓(110') 내측으로 소정의 길이(H)만큼 이격 설치되는 적어도 1 이상의 가림부(150', 160')를 포함하며, 상기 방착브라켓(110')의 외형은 원통형, 원추형일 수 있으며, 상기 적어도 1 이상의 가림부(150', 160')이 개구부(115')에 대해 내측으로 이격된 거리, 상기 적어도 1 이상의 가림부(150', 160')의 내벽(110a')에 대한 경사 정도, 특성홀(155', 165')의 직경에 따라 인접한 제 1 및 제3 증착원(410', 430')으로부터 유입되는 증착물질의 입사각을 제한하여 모니터링하려는 제 2 증착원(420')으로부터의 특성 증착물질만 모니터링할 수 있다.
다만, 이를 보다 보조하기 위하여, 상기 방착브라켓(110')의 내벽(110a')은 길이방향을 따라 가이드홈부(111')를 가지며, 상기 적어도 1 이상의 가림부(150', 160')은 상기 가이드홈부(111')에 대응하는 체결 돌기(153', 163')를 외주부에 구비할 수 있다.
따라서, 상기 방착브라켓(110')의 가이드홈부(111')에 상기 적어도 1 이상의 가림부(150', 160')의 체결돌기(153, 163')을 체결하고 상기 가이드홈부(111')를 따라 이동시킴으로써 상기 방착브라켓(110')의 개구부(115')로부터 이격거리(H)를 자유자재로 조절하여 증착물질의 무게, 종류, 특성 등에 따라서 상기 특성홀(155', 165')로 유입되는 입사각(θ1', θ2')을 자유자재로 조절하여 증착속도 측정 정확도를 높일 수 있다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 업이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
100 : 증착속도 측정장치 10 : 방착브라켓
13 : 결합부 15 : 개구부
30 : 크리스탈 센서 50, 60 : 가림부
55, 65 : 특성홀

Claims (11)

  1. 다수의 증착원이 필요한 증착기에서, 특정 증착원에 대향하여 배치되는 크리스탈 센서;
    상기 크리스탈 센서의 전방부에 배치되어 특정 증착물질의 유입을 보조하기 위한 개구부가 형성되고, 상기 개구부에서 연장되고, 상기 특정 증착원에 인접한 적어도 1 이상의 증착원으로부터의 적어도 1 이상의 증착물질의 간섭을 차단하기 위해서 상기 크리스탈 센서를 둘러싸는 방착브라켓;
    상기 개구부로부터 상기 방착브라켓 내측으로 소정 길이만큼 이격 설치되는 적어도 1 이상의 가림부를 포함하고,
    상기 가림부는 상기 방착브라켓의 내벽에 대해 기울어져 있는 증착속도 측정장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 방착브라켓 또는 상기 적어도 1 이상의 가림부의 형상이 적어도 하나의 위치 이상에서 상기 적어도 1 이상의 증착물질의 입사각도를 일정각도 이하로 줄이도록 형성되는 증착속도 측정장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 방착브라켓의 외형이 원통형, 상기 개구부로 갈수록 커지는 원추형 또는 상기 개구부로 갈수록 좁아지는 원추형으로 이루어지는 증착속도 측정장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 적어도 1 이상의 가림부 중 하나가 상기 크리스탈 센서에 인접한 상기 방착 브라켓 내부 위치에 배치되고, 다른 하나가 상기 크리스탈 센서에서 먼 상기 방착 브라켓 내부 위치에 배치되는 증착속도 측정장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 적어도 1 이상의 가림부가 중앙에 특정홀이 형성된 원판상인 증착속도 측정장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 적어도 1 이상의 가림부 중 상기 크리스탈 센서에 인접한 제 1 가림부의 제 1 특정홀의 직경이 상기 크리스탈 센서에서 먼 제 2 가림부의 제 2 특정홀의 직경보다 큰 증착속도 측정장치.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 방착브라켓의 외형이 상기 개구부로 갈수록 좁아지는 원뿔형으로 이루어진 경우, 상기 적어도 1 이상의 가림부가 상기 방착브라켓 내벽에 대해 상기 크리스탈 센서 방향으로 테이퍼진 증착속도 측정장치.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 방착브라켓의 외형이 상기 개구부로 갈수록 좁아지는 원뿔형으로 이루어진 경우, 상기 적어도 1 이상의 가림부가 중앙에 특정홀이 형성되고 상기 방착브라켓과 반대로 상기 개구부로 갈수록 넓어지는 깔대기 형상인 증착속도 측정장치.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 방착브라켓의 내벽에 대해 길이방향으로 상기 적어도 1 이상의 가림부의 상대적인 위치를 조절가능한 증착속도 측정장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 특정 증착물질은 도펀트 물질이고, 상기 적어도 1 이상의 증착물질은 호스트 물질로 상기 호스트 물질의 간섭없이 상기 도펀트 물질의 모니터링이 가능한 포함하는 증착속도 측정장치.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 방착브라켓은 내벽을 따라 길이방향으로 긴 한 쌍의 가이드홈부를 가지며, 상기 적어도 1 이상의 가림부는 중앙에 특정홀이 형성된 원판형 본체 외주부에 상기 한 쌍의 가이드홈부에 대응하는 한 쌍의 체결돌기를 갖는 증착속도 측정장치.
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