JP2005336527A - 蒸着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】異種材料の放出量を個別に温度管理し得るとともに被蒸着部材に形成された膜厚の成分量比を略均一にし得る蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸発材料を蒸着用容器３内で保持されたガラス基板１に蒸着させる蒸着装置であって、異なる種類の蒸着材料Ａ，Ｂを加熱して蒸発材料を得るための２個の蒸発用容器６，７を設けるとともに、蒸着用容器３内に、蒸発材料を放出するための放出孔４ｂ，５ｂがそれぞれ複数個ずつ設けられた放出用容器４，５を配置し、上記各蒸発用容器で得られた蒸発材料を所定の放出用容器４，５内にそれぞれ導く蒸発材料誘導管８，９を設け、さらに一方の放出用容器４に形成された放出孔４ｂ内に、他方の放出用容器５に突設された放出用ノズル５ｃの先端の放出孔５ｂを同心状に配置したものである。
【選択図】 図１

Description

本発明は、有機ＥＬディスプレイなどの画像表示部を製造するための蒸着装置に関するものである。

近年、ディスプレイの薄型化が進み、この種のディスプレイとしては、液晶ディスプレイの実用化が非常に進んでいる。
この液晶画面については、バックライトを必要とするもので、視野範囲、消費電力などの点で難点があり、最近、自発光性の有機ＥＬ方式のディスプレイが注目されている。

ところで、有機ＥＬディスプレイの基本構造は、ガラス基板上に、陽極（透明電極）を配置し、この上に、ホール輸送層および発光層が順番に配置され、さらに陰極が配置されたものであり、少なくとも、上記発光層については、有機材料が蒸着により形成されている。

そして、基板上に、蒸着により薄膜を形成する場合、真空容器内に有機材料の蒸発源を配置しておき、真空状態で蒸発源を加熱し、その蒸気を同じく真空容器内に配置された基板の表面に付着させることにより薄膜が形成されていた。

ところで、有機材料を蒸着させる際に、主成分に微量成分を混合させる場合があり、２つの異なる材料を異なる割合で且つ均一にガラス基板上に蒸着させる必要がある。
このような異種材料を蒸着させる装置、方法等としては、下記に示すようなものがある。

すなわち、特許文献１に示すように、真空チャンバー内の被蒸着部材に対向する下部位置に２個のセルを配置して、それぞれの放出孔から蒸発材料を放出するようにしたものがある。

また、特許文献２に示すように、別個に設けられた蒸発源で発生した蒸発材料を、バルブおよび移送部を介してそれぞれ放出部に導き、多数の放出孔から被成膜基板に蒸着させるようにしたものがある。

さらに、特許文献３に示すように、別個に設けられた坩堝にて蒸発された蒸発材料をそれぞれ流入口から混合室に導き、ここで混合された蒸発材料を放出孔を介して成膜対象物に蒸着させるようにしたものがある。
特開２００３−２９７５６５ 特開２００２−３０４１８ 特開２００３−１５５５５５

ところで、被蒸着部材に堆積した蒸発材料の膜厚については、所謂、コサイン則による分布を示すことが知られているが、特許文献１に示すように、異種材料を別のセル室に入れて同時に蒸着させようとする場合、その放出孔の位置が離れているため、それぞれのコサイン則による膜厚分布の位置が異なる。したがって、被蒸着部材の表面に堆積した異種材料の成分量比が一定にならないため、品質が一定であるとはいえない。

さらに、放出孔については、被蒸着部材との距離にもよるが、蒸発材料の飛来方向が同じと見なせない場合があり、マスクを用いて被蒸着部材の表面にパターンを形成する場合については、マスクの厚み等の影響を受けて同じパターン上でも、マスクに近い程、その成分量比にムラが出る。

詳しく説明すると、パターンを回路のような細い配線とした場合、配線幅方向の両側のマスク部分のうち、放出孔に近い部分についてはマスクの陰になるため蒸着厚さが不十分となる。したがって、異なる材料の放出孔同士の位置が離れていれば、パターンをなす配線上の幅方向においても異種材料の成分量比が顕著に異なってしまう。

このことを改善する、つまり成分量比を一定にさせ、しかも膜厚分布をより一定となるようにするには、被蒸着部材から十分な距離を設ける必要があるが、そうすると蒸着容器の容積が大きくなり減圧するための時間を要するばかりか、被蒸着部材以外への表面にも多くの蒸発材料が付着することになる。すなわち、蒸着材料の利用効率が低下し、これは所定の膜厚を得るまでに長い時間を要することになる。整理すると、成分量比と膜厚分布の均一性を向上させる代わりに、蒸着させるための準備時間（減圧時間）、材料利用効率および成膜速度を犠牲にすることになる。

これらの点からすると、異種材料の放出孔同士が大きく離れた位置にある特許文献１に示すようなものよりは、特許文献２および特許文献３に示すように、同一の位置から放出されるものの方が望ましい。

特に、特許文献２に示すように、混合後の蒸発材料を、互いに距離を離した多くの放出孔から放出させることで、被蒸着部材と放出孔との間の距離を短くすることができるので、特許文献１で犠牲にした点を改善することができる。

しかしながら、特許文献２および特許文献３に示すように、異なる蒸発材料が混合された後で放出される場合は、温度差の異なる異種材料を取り扱うことが困難になる。
これは、有機ＥＬディスプレイの表示部を製造する場合に用いられる有機材料のような安定性の低い材料について言えることであるが、異種材料間で蒸発温度が異なるとともに分解してその性能を失う分解温度（蒸発温度より高い）も異なることに起因する。それぞれの坩堝での加熱については、収納された材料の蒸発温度以上分解温度未満に設定するだけでよいため、比較的制約は小さいが、坩堝と被蒸着部材への放出孔との間に位置し且つ両蒸発材料を混合している部分においては、混合される材料の全ての蒸発温度以上であって、混合される材料の分解温度未満に保持して、ここでの蒸着と分解とによる材料の劣化を防ぐ必要が生じるため、坩堝にて個別に加熱する場合に比べて制約が大きくなる。

有機ＥＬディスプレイなどは一部製品が出回っているが、確立された分野とはいえず、特に、その材料においてはこれからどのようなものが出てくるかも知れず、蒸発温度と分解温度による制約を装置が大きく受ける構成は望ましいとはいえない。

また、放出孔から蒸発材料を放出する前に異種材料を混合してしまうと、個別にその放出量を検出することができず、計画どおりの成分量比で被蒸着部材に蒸着できているのかが分からなくなるという問題がある。すなわち、放出量を材料ごとにコントロールして、基板の品質を一定に維持するのが困難になってしまう。

そこで、本発明の蒸着装置は、異種材料の放出量を個別に温度管理し得るとともに被蒸着部材に形成された膜厚の成分量比を略均一にし得ることを第１の目的とし、また異種材料の放出量を個別に検出し得ることを第２の目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の請求項１に記載の蒸着装置は、蒸発材料を真空容器内で保持された被蒸着部材に蒸着させる蒸着装置であって、
材料を加熱して蒸発材料を得るための蒸着源を複数個配置するとともに、
これら各蒸着源で得られた蒸発材料を上記被蒸着部材表面に導く蒸発材料誘導路を設け、
且つ上記各蒸発材料誘導路の先端の材料放出用の開口部を同心状に配置したものである。

また、請求項２に係る蒸着装置は、請求項１に記載の蒸着装置における同心状に配置された材料放出用の開口部分を複数箇所に設けたものである。
また、請求項３に係る蒸着装置は、請求項１または２に記載の蒸着装置における材料放出用の開口部分における各蒸発材料の開口面積を、蒸発材料の種類に応じて決定したものである。

また、請求項４に係る蒸着装置は、請求項１乃至３のいずれかに記載の蒸着装置における蒸発材料誘導路を加熱する加熱手段を設けるとともに、各蒸発材料誘導路同士が接近する部分に、減熱部材または断熱部材を配置したものである。

また、請求項５に係る蒸着装置は、請求項１乃至４のいずれかに記載の蒸着装置における各蒸発材料誘導路の先端部に、拡散空間を有する拡散用部材を設けるとともに、これら各拡散用部材に、蒸発材料を放出するための開口部を形成したものである。

また、請求項６に係る蒸着装置は、請求項１乃至４のいずれかに記載の蒸着装置の各蒸発材料誘導路における材料放出用の開口部とは異なる位置に、蒸発材料の放出量を検出するための放出量検出用開口部をそれぞれ設けるとともに、これら各放出量検出用開口部に、放出される蒸発材料量を検出する材料検出手段を設け、さらに上記材料検出手段からの検出信号を入力して各蒸発材料の放出量の比率を求める放出量比検出手段を設けたものである。

さらに、請求項７に係る蒸着装置は、請求項１乃至５のいずれかに記載の蒸着装置における各蒸発材料誘導路の途中に蒸発材料の放出量を調節する放出量調節手段を設けるとともに、各蒸発材料の放出量の比率を求める放出量比検出手段により、上記放出量調節手段を制御するようにしたものである。

上記の構成によると、蒸着用容器内に、複数個の蒸着源にて蒸発された蒸発材料を導き放出させる蒸発材料誘導路をそれぞれ設けるとともに、各蒸発材料誘導路の先端に設けられた材料放出用の開口部を同心状に配置したので、例えば異なる箇所に開口部を配置したものに比べて、異なる種類の蒸発材料をできるだけ均一な共在状態で被蒸着部材の表面に蒸着させることができ、しかも、開口部を異なる位置に配置した場合に、両開口部からの蒸発材料をできるだけ均一な混在状態にさせようとすると、被蒸着部材と開口部との距離を大きくする必要があるのに対し、開口部と被蒸着部材とを接近させることができるので、蒸着装置の小型化にも繋がる。

また、各蒸発材料誘導路の先端部に拡散空間を有する拡散用部材を設けるとともに、この拡散用部材に蒸発材料を放出する開口部を設けたので、開口部が複数箇所に配置される場合でも、蒸発材料は拡散空間にて拡散し均一にされるため、それぞれの開口部から放出される蒸発材料の放出量はそれぞれの開口面積に対応した量となり、したがって放出量の制御を容易に且つ正確に行うことができる。

また、放出量検出用開口部を、材料放出用開口部とは異なる位置に設けるとともに、各蒸発材料の放出量の比率を求める放出量比検出手段を設けたので、各蒸発材料の放出量を検出することができ、したがって成膜状態を監視することができる。

また、各蒸発材料誘導路については、それぞれを加熱する加熱手段および両誘導路同士が接近する部分に減熱部材または断熱部材を配置したので、両者は熱的に独立した状態になっているため、各蒸着材料同士の温度特性が異なっている場合でも、それぞれの温度管理を最適に行うことができ、したがって蒸着膜の品質を損なうことがない。

さらに、各蒸発材料誘導路の途中に蒸発材料の放出量を調節する放出量調節手段を設けるとともに、この放出量調節手段を放出量比検出手段から入力された放出量の比率に基づき制御するようにしたので、異なる蒸着源からの蒸発材料であっても、常に、所定の比率でもって蒸発材料を放出させることができ、したがって蒸発源の温度管理が容易となる。

［実施の形態］
以下、本発明の実施の形態に係る蒸着装置を、図１〜図６に基づき説明する。
本実施の形態においては、有機ＥＬディスプレイの表示部を製造する場合、すなわち有機材料をガラス基板の表面に蒸着させる場合で、且つ異なる２種類の蒸着材料（有機材料である）を蒸着させる場合について説明する。なお、異なる蒸着材料のうち、主成分である材料を第１蒸着材料（ホストともいう）と称するとともに、微量材料を第２蒸着材料（ドーパントともいう）と称し、さらに各蒸着材料を加熱して蒸発させたものを第１および第２蒸発材料と称して説明を行う。

この蒸着装置は、図１に示すように、ガラス基板（被蒸着部材）１が、その蒸着面が下方となるように水平方向で挿入されるとともに保持具２により保持される蒸着用容器（蒸着室ともいう）３と、この蒸着用容器３内の下部で且つ互いに上下に配置されて第１および第２蒸着材料Ａ，Ｂが蒸発されてなる蒸発材料を放出させる第１および第２放出用容器（拡散用部材の一例）４，５と、上記蒸着用容器３の外部に配置されて互いに種類が異なる第１および第２蒸着材料を加熱して蒸発させる２個の第１および第２蒸発用容器（蒸発源、蒸発室ともいう）６，７と、これら各蒸発用容器６，７で蒸発された蒸発材料を蒸着用容器３内に配置された各放出用容器４，５に導く第１および第２蒸発材料誘導管（蒸発材料誘導路の一例で、放出用容器も蒸発材料誘導路の一部を構成するものである）８，９と、蒸発材料の放出量、ガラス基板１の表面に形成される蒸着膜の厚さ（以下、膜厚という）などの蒸着状態を監視する監視制御装置１０とから構成されている。

次に、上記各放出用容器４，５について説明する。
これら各放出用容器４，５は所定厚さで且つ平面視が矩形状（勿論、円形、多角形などであってもよい）にされるとともに内部にそれぞれ拡散空間（バッファ空間ともいい、蒸発材料の濃度の均一化を図り得る）４ａ，５ａを有する箱形状の容器にされている。

そして、第１蒸発材料Ａを放出する方の第１放出用容器４が上方に配置されるとともに、第２蒸発材料Ｂを放出する第２放出用容器５が下方に配置されている。
また、図２〜図４に示すように、第１放出用容器４の上面には、第１蒸発材料の放出孔（開口部）４ｂが所定間隔おきに例えば縦横に複数列でもって複数個形成されるとともに、第２放出用容器５の上面には、第２蒸発材料の放出孔（開口部）５ｂを有する放出ノズル５ｃが上記第１放出用容器４における放出孔４ｂ内に位置するように複数個突設されている。

詳しく説明すれば、図５および図６に示すように、第１放出用容器４の表面に形成される放出孔４ｂについては、円形状の開口部にされるとともに、第２放出用容器５の上面に突設された放出ノズル５ｃは、第１放出用容器４の底壁部を貫通して且つその先端の放出孔５ｂが第１放出用容器４の放出孔４ｂの中心（同心位置）でしかも当該放出孔４ｂと面一となるように設けられている。なお、これら両放出孔４ｂ，５ｂにおける放出用開口面積比（すなわち、放出孔４ｂの環状開口面積と、放出孔５ｂの円形開口面積との比）については、当然に、膜を構成する両者の成分比率に応じて決められている。

また、上記各放出用容器４，５の端縁側には、図１に示すように、各放出用容器４，５から放出される蒸発材料の放出量を検出（測定）するための放出量検出孔（放出量検出用開口部）４ｃ，５ｄがそれぞれ形成されるとともに、その検出に際し、当該放出量検出孔４ｃ，５ｄからの放出量だけを検出するための隔離板１１，１２がそれぞれ設けられている。

上記第１蒸発材料誘導管８は第１蒸発用容器６内で蒸発された第１蒸発材料Ａを第１放出用容器４に導くためのもので、また第２蒸発材料誘導管９は第２蒸発用容器７内で蒸発された第２蒸発材料Ｂを第２放出用容器５に導くためのものであり、さらにそれぞれの途中には、蒸発材料の移送量すなわち放出量の調節および開閉を行い得る流量制御弁（放出量調節手段の一例で、例えば開度の調節機能を有する開閉弁でもよい）１３，１４が設けられている。

また、図２および図３に示すように、各放出用容器４，５および各蒸発材料誘導管８，９の表面の略全体に亘って、保温のための加熱手段（保温手段ともいえる）として例えばシースヒータ１５が配置されており、各蒸発材料をそれぞれ最適な温度に保持（維持）するように考慮されている（なお、図２および図３には、放出用容器４，５に設けた場合についてだけ図示している）。

同様に、上記放出ノズル４ｃについても、図３に示すように、シースヒータ１５が設けられるとともに、第１放出用容器４への放出ノズル５ｃの挿入部分と当該第１放出用容器４の拡散空間４ａ内の蒸発材料との間で相手の分解温度以上の熱が伝わるのを防止するために、筒状減熱材（減熱部材の一例、または筒状断熱材（断熱部材の一例）でもよい）１６が第１放出用容器４側に取り付けられている。

さらに、上記放出ノズル５ｃ以外の部分においても、両蒸発材料同士間で熱が伝わる部分があれば、その部分についても減熱材（または断熱材）が設けられて、各蒸発材料の最適温度が保持されている。

なお、上記各蒸発用容器６，７内には、図示しないが、蒸着材料を収納する材料収納容器がそれぞれ配置されるとともに、これら各材料収納容器を加熱して蒸着材料を蒸発させるための加熱手段（例えば、電熱ヒータが用いられる）が配置され、さらに個別に容器内の空気を排出可能（真空可能）にされている。

次に、上記監視制御装置１０について説明する。
この監視制御装置１０は、図１に示すように、各放出用容器４，５の表面の端縁部に形成された放出量検出孔４ｃ，５ｄから放出された蒸発材料の放出量を検出し得る放出量検出用センサ（放出量検出手段の一例で、放出量測定手段ともいう）２１，２２と、ガラス基板１の直ぐ傍の位置に配置されて蒸発材料が付着した膜厚を検出するための膜厚検出用センサ２３と、上記両放出量検出用センサ２１，２２からの検出信号を入力して両蒸発材料の放出量の比率を求めるための放出量比検出手段２４と、上記膜厚検出用センサ２３からの検出信号を入力してガラス基板１に蒸着された膜厚を求める膜厚検出手段２５と、上記放出量比検出手段２４および膜厚検出手段２５からの検出値（測定値である）を入力して各蒸発材料誘導管８，９に設けられた流量制御弁１３，１４の開度を調節する開度調節手段２６と、同じく上記放出量比検出手段２４および膜厚検出手段２５からの検出値を入力して放出量比および膜厚を表示するモニター（出力手段の一例で、例えばプリンターでもよい）２７とから構成されている。なお、上記各検出用センサ２１〜２３としては、例えば水晶振動子を利用したものが用いられる。

上記構成において、２種類の蒸着材料すなわちホストおよびドーパントを、ガラス基板１に蒸着させる場合について説明する。
すなわち、第１蒸発用容器４および第２蒸発用容器５を、それぞれ所定温度に加熱して、第１蒸着材料であるホストおよび第２蒸着材料であるドーパントを蒸発させ、それぞれ蒸発材料誘導管８，９を介して第１放出用容器４および第２放出用容器５内の拡散空間４ａ，５ａに導く。このとき、蒸発材料誘導管８，９および放出用容器４，５は、シースヒータ１５によりそれぞれ最適な温度に保持されている。なお、蒸発材料をガラス基板１に蒸着させる蒸着用容器３内および各容器４〜７および各誘導管８，９は所定の真空度にされている。

そして、ホストＡは第１放出用容器４の放出孔４ｂから放出されるとともにその中心に配置された第２放出用容器５の放出ノズル５ｃ先端の放出孔５ｂからドーパントが放出され、したがってこれら両蒸発材料は均一な混在状態でガラス基板１の表面に付着して有機材料の膜が形成される。

この膜形成時においては、各検出用センサ２１，２２からの検出信号が放出量比検出手段２４に入力されてホストおよびドーパントの放出量比が求められるとともに、この放出量比が開度調節手段２６に入力されて、この放出量比が所定の値に維持されるように各流量制御弁１３，１４に制御信号が出力される。

また、膜厚検出用センサ２３からの検出信号が膜厚検出手段２５に入力されてガラス基板１の表面に形成された膜厚が求められており、所定の膜厚に達した場合には、開度調節手段２６から両流量制御弁１３，１４に閉鎖信号が出力されて、ホストおよびドーパントの放出が停止される。

勿論、上記膜形成時においては、ホストおよびドーパントの放出量比並びにガラス基板１の表面に形成される膜厚が、モニター２７に表示されている。
上述したように、蒸着用容器３内に２種類の蒸発材料の放出用容器４，５を配置するとともに、それぞれ蒸発材料を放出させる放出孔４ｂ，５ｂを同心状に配置したので、両蒸発材料をできるだけ均一な共在状態でガラス基板１の表面に蒸着させることができる。

例えば、両放出孔４ｂ，５ｂを異なる位置に配置した場合で且つ両蒸発材料をできるだけ均一な混在状態にさせようとすると、どうしてもその放出孔とガラス基板との距離を大きくする必要があるのに対して、上述した実施の形態の構成によると、放出孔とガラス基板とを接近させることができるので、蒸着装置の小型化を図ることができる。

また、各蒸発材料誘導管８，９については、それぞれを加熱するシースヒータ１５および両蒸発材料誘導管８，９同士（正確には、蒸発材料誘導路同士）が接近する部分に減熱材（例えば、１６）を配置したので、両者は熱的に独立した状態になっているため、各蒸着材料同士の温度特性が異なっている場合でも、それぞれの温度管理を最適に行うことができ、したがって蒸着膜の品質を損なうことがない。

また、各蒸発材料誘導管８，９の途中に蒸発材料の放出量を調節する流量制御弁１３，１４を設けるとともに、この流量制御弁１３，１４を放出量比検出手段２４から入力された放出量の比率に基づき制御するようにしたので、異なる蒸発用容器６，７からの蒸発材料であっても、常に、所定の比率でもって蒸発材料を放出させることができ、したがって蒸発用容器６，７での温度管理が容易となる。

また、蒸着用容器３内に、拡散空間４ａ，５ａを有する放出用容器４，５を配置することにより、蒸発用容器６，７からの蒸発材料誘導管８，９よりもその断面積が十分大きい空間を設けることにより、放出孔が複数箇所に設けられている場合でも、拡散空間４ａ，５ａで蒸発材料の分布が均一にされるため、それぞれの放出孔４ｂ，５ｂから放出される蒸発材料の放出量は各放出孔４ｂ，５ｂの開口面積に対応した量となり、放出量の制御を容易に且つ正確に行うことができる。

さらに、放出量検出孔４ｃ，５ｄについては、膜形成用の放出孔４ｂ，５ｂとは別個に設けられているため、放出孔４ｂ，５ｂの開口面積に比べて十分に小さい面積でよく、したがって膜形成に寄与しない放出量検出用の蒸発材料の放出をできるだけ少なくすることができる。

ところで、上記実施の形態においては、各放出用容器４，５の表面に設けられる放出孔４ｂ，５ｂを、縦横に、すなわち二次元的に配置したが、例えば一列（一次元的）に配置してもよい。

また、上記実施の形態においては、放出孔４ｂ，５ｂを箱型状の容器の表面に二次元的に設けたものとして説明したが、例えば図７に示すように、それぞれの蒸発材料誘導管８，９を用いて、それぞれの放出孔８ａ，９ａ（４ｂ，５ｂに相当）を同心状に配置したものでもよい。

この場合、各蒸発材料の蒸発材料誘導管８，９については、途中から二重管構造にする必要があるが、その二重管構造にする範囲は、できる限り、放出孔８ａ，９ａ寄りの方が好ましい。例えば、二重管構造の部分が長いと、構造が複雑になるとともに断熱構造とする部分も長くなり、全体として製造コストが高くなってしまう。つまり、蒸発材料誘導管（蒸発材料誘導路）としては、できるだけ放出孔（放出部分）の近傍まで別個に設け、その放出孔の近傍にて、一方の蒸発材料誘導管に他方の蒸発材料誘導管を挿通させるのが好ましい。

また、上記実施の形態においては、各放出量検出孔の近傍に、隔離板を配置したが、隔離板の替わりに、各放出量検出孔からの蒸発材料だけを導出する管状のガイド部材を配置してもよい。なお、これら各放出量検出孔から放出される蒸発材料が他の放出孔から放出される蒸発材料に量的に影響を与えない場合には、隔離板またはガイド部材を設ける必要はない。

さらに、上記実施の形態においては、第１および第２蒸発用容器６，７を蒸着用容器３の外方に配置したが、これら蒸発用容器６，７を、蒸発材料誘導管８，９を含めて蒸着用容器３内に配置してもよい。

本発明の実施の形態に係る蒸着装置の概略構成を示す断面図である。 同蒸着装置における要部斜視図である。 図２のＣ−Ｃ断面図である。 同蒸着装置の第２放出用容器の斜視図である。 同蒸着装置の放出用容器の要部断面図である。 図５のＤ−Ｄ断面図である。 同蒸着装置の放出用容器の変形例を示す斜視図である。

符号の説明

１ ガラス基板
３ 蒸着用容器
４ 第１放出用容器
４ａ 拡散空間
４ｂ 放出孔
４ｃ 放出量検出孔
５ 第２放出用容器
５ａ 拡散空間
５ｂ 放出孔
５ｃ 放出ノズル
５ｄ 放出量検出孔
６ 第１蒸発用容器
７ 第２蒸発用容器
８ 第１蒸発材料誘導管
９ 第２蒸発材料誘導管
１０ 監視制御装置
１１ 隔離板
１２ 隔離板
１３ 流量制御弁
１４ 流量制御弁
１５ シースヒータ
１６ 筒状減熱材
２１ 放出量検出用センサ
２２ 放出量検出用センサ
２３ 膜厚検出用センサ
２４ 放出量比検出手段
２５ 膜厚検出手段
２６ 開度調節手段
２７ モニター

Claims (7)

1. 蒸発材料を蒸着用容器内で保持された被蒸着部材に蒸着させる蒸着装置であって、
   材料を加熱して蒸発材料を得るための蒸着源を複数個配置するとともに、これら各蒸着源で得られた蒸発材料を上記被蒸着部材表面に導く蒸発材料誘導路をそれぞれ設け、
   さらに上記各蒸発材料誘導路の先端の材料放出用の開口部を同心状に配置したことを特徴とする蒸着装置。
2. 同心状に配置された材料放出用の開口部分を複数箇所に設けたことを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
3. 材料放出用の開口部分における各蒸発材料の開口面積を、蒸発材料の種類に応じて決定したことを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着装置。
4. 各蒸発材料誘導路を加熱する加熱手段を設けるとともに、各蒸発材料誘導路同士が接近する部分に、減熱部材または断熱部材を配置したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の蒸着装置。
5. 各蒸発材料誘導路の先端側に拡散空間を有する拡散用部材を設けるとともに、これら各拡散用部材に蒸発材料を放出するための開口部を形成したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の蒸着装置。
6. 各蒸発材料誘導路における材料放出用の開口部とは異なる位置に、蒸発材料の放出量を検出するための放出量検出用開口部をそれぞれ設けるとともに、これら各放出量検出用開口部に対応する位置に、当該開口部から放出される蒸発材料の放出量を検出する放出量検出手段を設け、
   さらに上記放出量検出手段からの検出信号を入力して各蒸発材料の放出量の比率を求める放出量比検出手段を設けたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の蒸着装置。
7. 各蒸発材料誘導路の途中に蒸発材料の放出量を調節する放出量調節手段を設けるとともに、各蒸発材料の放出量の比率を求める放出量比検出手段により、上記放出量調節手段を制御するようにしたことを特徴とする請求項６に記載の蒸着装置。
   

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