KR100647585B1 - 증착원 및 이를 이용한 증착 방법 - Google Patents

증착원 및 이를 이용한 증착 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 복수 개의 증발원, 상기 증발원의 상부로, 상기 증발원으로부터 증발되는 물질의 유동 경로 상에 배치되고, 상기 증발원으로부터 증발되는 물질이 뭉치는 것을 방지하기 위한 하나 이상의 배플로 구성되는 배플부, 상기 복수 개의 증발원과 상기 배플부를 내포하고, 상기 증발 물질을 지면에 수직하게 배치된 기판을 향하여 배출시키기 위해 일 측면에 형성된 배출구를 포함하는 외곽부, 상기 외곽부의 적어도 일부를 형성하며, 상기 증발원으로부터의 복사열을 차단하는 열원 차단 방열부, 상기 배출구에 근접하게 위치하여, 상기 배출되는 증발 물질의 증발량을 측정하기 위한 증착률 측정부; 그리고 상기 외곽부의 일면 상에 배치되어, 상기 외곽부를 상기 기판에 평행한 평면 상에서 이송시키는 이송 수단을 구비하는, 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원이다.

Description

증착원 및 이를 이용한 증착 방법{Effusion cell and method for depositing substrate with the effusion cell}
도 1은 종래 기술에 따른 원형의 도가니형 증착원,
도 2는 본 발명에 따른 증착원의 개략적인 부분 사시 단면도,
도 3a는 종래 기술에 따른 선형 증발원의 개략적인 사시도,
도 3b는 본 발명의 일 실시예로서의 일렬로 배치된 복수 개의 증발원을 구비하는 다원 일체형 증착원.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명>
100...포인트형 증착원 110...도가니(증발원)
120...발열부 130...열전대 접촉부
140...방열판 200...증착원
210...증발원 220...열원 차단 방열부
230...배플부 231,232...배플
240...증착률 측정기 241...프루브
250...외곽부 251...배출구
260...이송 수단
본 발명은 증착원에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기물과 같은 증발 물질을 기판에 증착시키기 위한 증착원 및 증착원을 제어하는 방법에 관한 것이다.
유기 전계 발광 디스플레이 장치는 유기물 박막에 음극과 양극을 통하여 주입된 전자와 정공(hole)이 재결합하여 여기자(exiton)를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생하는 현상을 이용하는 자발광형 디스플레이 장치이다. 유기 전계 발광 디스플레이 장치는 저전압으로 구동이 가능하고, 경량의 박형이고, 시야각이 넓을 뿐만 아니라, 응답 속도 또한 빠르다는 장점을 구비한다.
이러한 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 유기 전계 발광 소자는 기판 상에 적층식으로 형성되는 양극, 유기막, 및 음극으로 구성된다. 유기막은 유기 발광층(EML, emitting layer)을 구비하는데, 이 유기 발광층에서 정공과 전자가 재결합하여 여기자를 형성하고 빛이 발생한다. 발광 효율을 보다 높이기 위해서는 정공과 전자를 유기 발광층으로 보다 원활하게 수송하여야 하고, 이를 위해 음극과 유기 발광층 사이에는 전자 수송층(ETL, electron transport layer)이 배치될 수 있고 양극과 유기 발광층 사이에는 정공 수송층(HTL, hole transport layer)이 배치될 수 있으며, 또한 양극과 정공 수송층 사이에 정공 주입층(HIL, hole injection layer)이 배치될 수도 있고, 음극과 전자 수송층 사이에 전자 주입층(EIL, electron injction layer)이 배치될 수도 있다.
기판에 박막을 형성하는 일반적인 방법으로는 진공 증착법(evaporation), 이온 플래이팅법(ion-plating) 및 스퍼터링(sputtering)법과 같은 물리 기상 증착법(PVD)과, 그리고 가스 반응에 의한 화학 기상 증착(CVD)법 등이 있다. 이 중에서, 유기 전계 발광 소자의 유기막 등의 박막 층 형성에는 진공 증착법이 주로 사용된다. 진공 증착법에 사용되는 증착원으로는 간접 가열 방식의 증착원(effusion cell)이 사용된다.
통상적으로, 진공 증착법에 사용되는 증착원은, 도 1에 도시된 바와 같은 도가니, 즉 포인트형 증착원(100)이 한 개 또는 수 개가 간격을 두고 이격되어 배치된다. 종래 기술에 따른 포인트형 증착원(100)은 증발 물질인 유기물이 배치되는 증발원, 즉 도가니(110)와, 도가니(110)를 둘러싸는 발열부(120)와, 열전대 접촉부(130)와, 발열부(120)로부터 복사되는 열을 차폐시키는 방열판(140)으로 구성된다. 포인트형 증착원(100)은 기판에 박막을 증착시키는 성막실의 하단에 배치되며, 보다 균일한 증착을 위하여 성막 중 기판은 회전되기도 한다. 이러한 포인트형 증착원(100)을 사용하여 기판에 성막하는 경우, 마스크의 패턴이 미세화될수록, 성막층의 스텝 커버리지 및 균일도를 확보하기 위하여 기판과 증착원 간의 거리는 멀어질 수 밖에 없다. 기판과 증착원 간의 거리가 증대되는 경우, 구조적으로 성막실의 높이에 대해 공간적인 제약을 받는다. 또한, 기판의 크기 대형화에 따라, 성막 면적을 증대시키기 위해 도가니(110)의 개구부도 증대되어야 한다. 하지만, 유기물의 경우 열전도율이 금속 물질에 비해 약 10,000배 정도 낮기 때문에 도가니(110)의 개구부가 증대될 경우 도가니(110) 내 유기물의 온도차, 즉 도가니(110)의 내측면과 인접하는 부분의 유기물 온도와 도가니(110) 개구부의 중심부에 위치하는 유기물의 온도 간에는 상당한 온도 차이가 발생하고 그 온도 차이는 시간의 경과에 따라 증대되어, 도가니(110)의 표면에서의 증발 분포는 위치에 따라 상이하게 된다. 결과적으로, 성막층의 균일도가 확보되지 않기 때문에, 도가니(110) 개구부의 직경은 100㎜ 이내로 크기가 제한되는 단점을 수반한다.
이러한 문제점을 해결하고자, 포인트형 증착원의 증발원을 사각형으로 변형시킨 선형 증발원이 사용되기도 한다. 선형 증발원의 경우, 기판의 크기가 증대되더라도 그에 상응하는 스텝 커버리지를 확보할 수 있다는 장점을 구비한다. 하지만, 성막실의 한 부분에 설치되는 증착률 측정기를 통하여 증착률 안정화를 확인한 후에, 비로소 증착원이 수평 방향으로 이동하여 기판에 증발된 형태의 유기물을 증착시키기 때문에, 성막 중에는 중착률을 확인할 수 없어 두께의 재현성 확보가 곤란하다는 문제점을 수반한다. 또한, 종래의 선형 증발원의 경우도 개구부 표면에서 포인트형 증착원이 수반했던 개구부 중심부에서의 증발 분포가 저하되는 문제점을 완전하게 해결하지는 못하였다.
본 발명은, 성막실의 크기를 감소시키고, 복수 개의 증발원을 구비하여 증발 물질인 유기물의 열 분포를 균일화시키고, 증발 물질이 뭉치는 것을 방지하며, 증발원의 발열부로부터 복사되는 열로 인한 기판 및 마스크의 열 변형을 방지하는 증착원을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은, 증발 물질 배출구에 인접 배치되는 증착률 측정기로 부터 측정되는 증착률을 통하여 증착원을 제어하는 방법을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일면에 따르면, 복수 개의 증발원, 상기 증발원의 상부로, 상기 증발원으로부터 증발되는 물질의 유동 경로 상에 배치되고, 상기 증발원으로부터 증발되는 물질이 뭉치는 것을 방지하기 위한 하나 이상의 배플로 구성되는 배플부, 상기 복수 개의 증발원과 상기 배플부를 내포하고, 상기 증발 물질을 지면에 수직하게 배치된 기판을 향하여 배출시키기 위해 일 측면에 형성된 배출구를 포함하는 외곽부, 상기 외곽부의 적어도 일부를 형성하며, 상기 증발원으로부터의 복사열을 차단하는 열원 차단 방열부, 상기 배출구에 근접하게 위치하여, 상기 배출되는 증발 물질의 증발량을 측정하기 위한 증착률 측정부; 그리고 상기 외곽부의 일면 상에 배치되어, 상기 외곽부를 상기 기판에 평행한 평면 상에서 이송시키는 이송 수단을 구비하는, 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원을 제공하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 일면에 따르면, 상기 복수 개의 증발원은 일체로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원을 제공한다.
본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 복수 개의 증발원은 서로 밀접하게 배치되는 개개의 증발원으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원을 제공한다.
본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 열원 차단 방열부는 복수 개의 층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원을 제 공한다.
본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 복수 개의 층 사이에 형성되는 공간 층은 하나 이상의 진공층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원을 제공한다.
본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 복수 개의 층 사이에 형성되는 공간 층은, 냉매가 순환되는 하나 이상의 냉매층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원을 제공한다.
본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 복수 개의 층 사이에 형성되는 공간 층은 진공층 및, 냉매가 순환되는 냉매층 중 하나 이상의 층을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원을 제공한다.
본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 증발원은 방향에 따라 열전도율이 상이한 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원을 제공한다.
본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 증착률 측정기는 상기 배출구에 근접하게 배치되는 프루브를 구비하고, 상기 프루브와 상기 배출구의 상대 위치는 거의 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원을 제공한다.
본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 이송 장치는 상기 기판에 평행하게 배치된 가이드 레일과, 상기 가이드 레일을 따라 이동 가능한 구동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원을 제공한다.
본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 기판에 증발 물질을 증착시키는 방법에 있어서, 길이 방향이 수직하게 배치된 기판에 증착원으로부터 배출되는 증발 물질을, 상기 증착원을 이동시키면서 증착시키고, 증착 과정시, 복수의 증발원을 구비하며 일체형으로 구성된 증착원을 상기 기판에 평행하게 이동시킴과 동시에, 상기 증착원의 증발 물질 배출구에 배치된 증착률 측정기에 의해 측정되는 상기 증발 물질의 증발량을 통하여 상기 증착원을 제어하는 것을 특징으로 하는 증착 방법을 제공한다.
본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 상기 증발 물질의 증발량과 사전 설정된 증발량을 비교하여, 상기 증착원의 이동 속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 증착 방법을 제공한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원 및 이를 이용한 증착 방법을 설명한다.
도 2에는 본 발명에 따른 증착원(200)이 도시되어 있다. 증발 물질의 유동 경로를 형성하는 'ㄱ'자 형태의 외곽부(250) 내에는 복수 개의 증발원(210)이 구비된다. 증발원(210)은 증발 물질을 함유할 수 있는 도가니(211)와 도가니(211) 주위 배치되는 발열부(미도시)를 구비한다. 복수 개의 증발원(210)은 도 2에 도시된 바와 같이, 수 개의 도가니를 구비하는 다원 일체형 증발원(210)일 수도 있고, 경우에 따라서는 서로 밀접하게 배치되는 수 개의 개별적인 분리 가능한 증발원일 수도 있다. 이러한 복수 개의 증발원(210)의 도가니 배치는 예를 들어, 일렬형 또는 지그재그형과 같이 다양한 형태를 구비할 수도 있다. 도 3a에 도시된 바와 같이 단지 한 개의 증발원만을 구비하는 종래의 선형 증발원과는 달리, 도 3b에 도시된 본 발명의 일실시예로서의 선형 증발원은 복수 개의 증발원(210)을 구비하여, 증발원(210)의 내측면과 증발 물질과의 접촉 면적이 증대된다.
한편, 복수 개의 증발원(210)이 일체로 형성되는 경우, 각각의 도가니에 대하여 개별적인 발열부를 구비할 수도 있고, 증발원(210) 전체를 둘러싸는 발열부가 형성될 수도 있다. 개개의 도가니(증발원) 내측면에 접하는 증발 물질에 대한 열 분포를 균일화시키기 위하여, 도가니가 수평한 방향에서 보다 우수한 열전도성을 구비하도록, 즉 다른 방향의 열전도성보다 증발원(210)의 길이 방향에 수직한 평면 상에서의 열전도성이 훨씬 우수하도록 선택된 재료로 이루어질 수도 있다.
복수 개의 증발원(210)의 상부로, 복수 개의 증발원(210)으로부터 증발되는 물질, 예를 들어 유기 물질의 유동 경로 상에는 하나 이상의 배플(baffles, 231, 232))이 배치되는 배플부(230)가 위치하는데, 배플(231, 232)은 외곽부의 상부 측 측벽에 고정 장착되어, 크랙킹 효과(cracking effect)를 유발하여 복수 개의 증발원(210)으로부터 증발되는 유기 물질이 외곽부(250) 내의 유기 물질 유동 경로 상에서 서로 응집되어 뭉치는 것(저밀도의 cluster cloud가 형성되는 것)을 방지한다. 예를 들어, 본 발명에 사용되는 유기물 입자의 평균 자유 행로(mean free path)와 성막 실내의 압력(P)가
Figure 112003038444831-pat00001
와 같은 관계를 갖고, 증착원 내의 진공도가 5×10-4torr인 경우, 평균 자유 행로는 약 10㎝ 이내인데, 본 발명에 따른 증착원(200)의 외곽부(250) 내에 하나 이상의 배플(231, 232)을 설치함으로써 뭉쳐진 증발 물질의 입자가 배플(231, 232)과 충돌하는 가능성을 높여 크랙킹 효과가 증대된다.
외곽부(250)의 전체 또는 적어도 일부에는 열원 차단 방열부(220)가 구비된다. 열원 차단 방열부(220)는 복수 개의 증발원(210)의 도가니를 둘러싸는 방열부로부터 발산되는 복사열을 차폐시켜, 기판 또는 마스크(미도시)에 복사열이 복사되는 것을 최소화하여 증발원의 방열부로 인한 기판 또는 마스크의 열변형을 감소시킨다. 열원 차단 방열부(220)는 예를 들어, 단열재 등과 같은 재료로 단층 형성될 수도 있고, 복수 개의 층으로 형성될 수도 있다. 복수 개의 층 사이에는 공간 층이 형성될 수도 있는데, 이 공간 층은 진공층 및 냉매가 유동하는 냉매층 중 적어도 하나 이상의 층으로 구성될 수도 있다.
외곽부(250)의 일측 상단에는 증기 물질의 배출구(251)가 형성되는데, 배출구(251)에 근접하게 증착률 측정부(240)가 구비되며, 증착률 측정부(240)는 배출구(251)의 인접부에 배치되는 프루브(241)를 구비한다. 증발 물질이 배출구(251)를 통하여 배출되는, 즉 기판(미도시)을 성막하는 과정 중에 프루브(241)가 배출구(251)에서의 유기물 증기압 및 증발량을 검출하고, 증착률은 증기압에 비례한다는 Langmuir-Knudsen의 증기압 법칙 등을 이용함으로써, 기판 성막 공정 중 증착률의 실시간 제어, 예를 들어 증착원의 속도 제어 및 증발원의 온도 제어와 같은 실시간 제어가 이루어질 수도 있다. 즉, 사전 측정된 유기물 증기압 또는 증발량에 상응하는 증착률과, 실시간으로 프루브(241)로부터 측정되는 유 기물의 증기압 또는 증발량을 비교하여, 비교값을 도시되지 않은 제어기의 입력 신호로 사용하여 제어기를 통해 출력되는 제어 신호에 의해 증착원의 작동 온도, 작동 속도 등과 같은 증착원(200)의 출력을 제어한다. 이러한 증착률 측정기(240)는 이 밖에도 다양한 형태의 증착률 측정기가 모두 채용될 수 있음은 물론이다.
또한, 외곽부(250)의 일측 상에는 이송 수단(260)이 구비되어, 증착원(200)을 기판에 평행한 평면 상에서, 즉 수직한 기판과 평행하게 이동될 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 이송 수단(260)은 기판에 평행하게 설치된 레일(262)과, 레일(262) 상에서 구동 가능한 구동 수단(261)으로 구성될 수도 있다. 이송 수단(260)에 의하여 증착원(200)이 이송되는 경우, 외곽부(250)의 배출구(251)에 인접하게 배치된 증착률 측정기(240)의 프루브(241)도 함께 이동하여, 프루브(241)와 배출구(251)의 상대 위치, 즉 양자 간의 거리는 일정하게 유지될 수도 있다. 경우에 따라서, 증착률 측정기(240)의 도시되지 않은 측정 장비는 이송 수단(260)에 고정 장착될 수도 있다.
상기한 구성을 갖는, 본 발명은 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 발명에 따른 증착원은, 복수 개의 증착원을 구비하여 종래의 선형 증발원과는 달리 증발 물질과 증발원의 내측면과의 보다 큰 접촉 면적을 확보하여 유기물의 열 분포를 보다 균일하게 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 증착원은, 하나 또는 그 이상의 배플로 구성되는 배플부를 구비하여 뭉쳐진 증착 물질의 크랙킹 효과를 증대시켜 뭉쳐진 증발 물질이 기 판 상에 증착되어 불균일한 증착 표면을 형성하는 것을 방지할 수도 있다.
증착원의 외곽부는 전체적으로 또는 적어도 일부분이 복수 개의 층으로 구성되는 열원 차단 방열부를 구비하여, 증발원의 발열부로부터의 복사열이 기판 또는 마스크에 복사되어 기판 또는 마스크를 열변형시키는 것을 방지할 수도 있다.
균일한 증착을 달성하기 위하여 기판을 회전시키도록 큰 성막실 공간을 요구하는 종래의 증착 장치와는 달리, 본 발명에 따른 증착원은 수직한 기판에 평행한 방향으로 이송 가능한 이송 수단을 구비하고, 기판에 대하여 증착원이 이송 가능하게 하는 구조를 채택하여, 기판의 회전을 요하지 않는 구조를 취함으로써, 성막실의 공간을 소형화시켜 본 발명에 따른 증착원을 구비하는 보다 컴팩트한 구조의 증착 장치를 구성할 수도 있다.
또한, 증착률 측정이 종료된 후 성막 과정이 이루어지는 종래 기술과는 달리 성막 과정 중에도 증착률 측정을 가능하게 함으로써, 측정된 증착률에 기초하여 증착원을 실시간 제어할 수도 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 기술되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 보호 범위는 이하 첨부되는 청구 범위의 기술적 사상에 의해 정해질 것이다.

Claims (12)

  1. 복수 개의 증발원;
    상기 증발원의 상부로, 상기 증발원으로부터 증발되는 물질의 유동 경로 상에 배치되고, 상기 증발원으로부터 증발되는 물질이 뭉치는 것을 방지하기 위한 하나 이상의 배플로 구성되는 배플부;
    상기 복수 개의 증발원과 상기 배플부를 내포하고, 상기 증발 물질을 지면에 수직하게 배치된 기판을 향하여 배출시키기 위해 일 측면에 형성된 배출구를 포함하는 외곽부;
    상기 외곽부의 적어도 일부를 형성하며, 상기 증발원으로부터의 복사열을 차단하는 열원 차단 방열부;
    상기 배출구에 근접하게 위치하여, 상기 배출되는 증발 물질의 증발량을 측정하기 위한 증착률 측정부; 그리고
    상기 외곽부의 일면 상에 배치되어, 상기 외곽부를 상기 기판에 평행한 평면 상에서 이송시키는 이송 수단을 구비하는, 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 복수 개의 증발원은 일체로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 복수 개의 증발원은 각각 도가니 및 발열부를 갖고, 서로 인접하여 배치되는 증발원들로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 열원 차단 방열부는 복수 개의 층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 복수 개의 층 사이에 형성되는 공간 층은 하나 이상의 진공층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 복수 개의 층 사이에 형성되는 공간 층은, 냉매가 순환되는 하나 이상의 냉매층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원.
  7. 제 4항에 있어서, 상기 복수 개의 층 사이에 형성되는 공간 층은 진공층 및, 냉매가 순환되는 냉매층 중 하나 이상의 층을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 증발원은 방향에 따라 열전도율이 상이한 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 증착률 측정기는 상기 배출구에 근접하게 배치되는 프루브를 구비하고, 상기 프루브와 상기 배출구의 상대 위치는 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 이송 장치는 상기 기판에 평행하게 배치된 가이드 레일과, 상기 가이드 레일을 따라 이동 가능한 구동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판에 증발 물질을 증착시키기 위한 증착원.
  11. 지면에 수직하게 배치된 기판에 증착원으로부터 배출되는 증발 물질을, 상기 증착원을 이동시키면서 증착시키고,
    증착 과정시, 복수의 증발원을 구비하며 일체형으로 구성된 증착원을 상기 기판에 평행하게 이동시킴과 동시에, 상기 증착원의 증발 물질 배출구에 배치된 증착률 측정기에 의해 측정되는 상기 증발 물질의 증발량을 통하여 상기 증착원을 제어하는 것을 특징으로 하는 증착 방법.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 증발 물질의 증발량과 사전 설정된 증발량을 비교하여, 상기 증착원의 이동 속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 증착 방법.
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