JP4685404B2 - 有機電界発光素子の垂直蒸着方法,その装置,及び有機電界発光素子の垂直蒸着装置に使用される蒸着源 - Google Patents
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Description
3 シャドーマスクトレイ
5 基板トレイ
7 シャドーマスクトレイホルダ
9 基板トレイホルダ
11 蒸着源
11a 蒸着源用バッファチャンバ
17,23 駆動部
19,25 上側ガイド
A シャドーマスクトレイ運搬手段
B 基板トレイ運搬手段
C シャドーマスク/基板整列手段
Claims (20)
- シャドーマスクを垂直状態で移送してローディングするシャドーマスクローディング工程と,
基板を垂直状態で移送してローディングする基板ローディング工程と,
前記基板及び前記シャドーマスクを垂直状態に整列して合着する整列/合着工程と,
前記整列/合着されたシャドーマスク/基板のシャドーマスク側で垂直移動型線形蒸着源を垂直方向に移動させながら成膜する成膜工程と,
前記成膜されたシャドーマスク/基板を互いに脱着する脱着工程と,
前記脱着された基板を次の工程チャンバに移送する基板移送工程と,
後続の基板と前記脱着された前記シャドーマスクを前記整列/合着工程で整列/合着するために,前記後続の基板を垂直状態で移送してローディングする後続の基板ローディング工程と,
を含み,
前記整列/合着工程と,前記成膜工程と,前記脱着工程と,前記基板移送工程と,前記後続の基板ローディング工程と,を反復することを特徴とする有機電界発光素子の垂直蒸着方法。 - ゲートドアに連結される工程チャンバと,
前記工程チャンバに平行した垂直状態に内蔵されて,前記シャドーマスク及び前記基板を各々装着するシャドーマスクトレイ及び基板トレイと,
前記シャドーマスクトレイ及び前記基板トレイを各々平行な状態で直線移動させるシャドーマスクトレイ運搬手段及び基板トレイ運搬手段と,
前記シャドーマスクトレイ運搬手段及び前記基板トレイ運搬手段によって移動するシャドーマスク及び基板を各々整列するシャドーマスク/基板整列手段と,
前記シャドーマスク/基板整列手段によって整列されたシャドーマスクと基板とを相互合着させるように,前記シャドーマスクトレイと前記基板トレイとを相互対向する方向に移動させるシャドーマスクトレイホルダ及び基板トレイホルダと,
前記シャドーマスクトレイホルダ及び基板トレイホルダによって相互合着されたシャドーマスク/基板のシャドーマスク側で垂直昇降作動しながら成膜工程を行なう蒸着源と,を含む,
ことを特徴とする有機電界発光素子の垂直蒸着装置。 - 前記シャドーマスクトレイ運搬手段は,
前記シャドーマスクトレイの下側に具備される駆動部と,
前記駆動部によって進められるシャドーマスクトレイの姿勢を安定させ,前記シャドーマスクトレイが昇降可能に前記シャドーマスクトレイの上方両側を支持する上側ガイドと,
前記上側ガイドで支持されて工程チャンバ内における所定位置に停止するシャドーマスクトレイを昇降させるようにシャドーマスクトレイの下側に具備される昇降部と,を含む,
ことを特徴とする請求項2に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置。 - 前記基板トレイ運搬手段は,
前記基板トレイの下側に具備される駆動部と,
前記駆動部によって進められる基板トレイの姿勢を安定させ,前記基板トレイが昇降可能に基板トレイの上方両側を支持する上側ガイドと,
前記上側ガイドで支持されて工程チャンバ内における所定位置に停止する基板トレイを昇降させるように基板トレイの下側に具備される昇降部と,を含む,
ことを特徴とする請求項2に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置。 - 前記基板トレイホルダは,さらに,シャドーマスク/基板合着時に基板側からシャドーマスク側に磁力を提供する補助合着機構を含む,
ことを特徴とする請求項2に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置。 - 前記蒸着源は,線形ルツボに内蔵されて熱を発生させる加熱源と,
前記加熱源の熱が前記基板及びシャドーマスクに輻射されることを防止するために加熱源の外郭に具備される第1放熱/冷却部と,
有機物蒸発流を基板及びシャドーマスク方向に転換させる誘導路と,
前記誘導路の熱がシャドーマスクに輻射伝達されることを防止するために誘導路の外郭に具備される第2放熱/冷却部と,
前記誘導路の先端に備わって有機物蒸発流を基板に均一に放射するノズルと,
前記蒸着源を垂直方向に昇降させながら基板全体を成膜するように第1放熱/冷却部に具備される駆動部と,を含む,
ことを特徴とする請求項2に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置。 - 前記蒸着源は,さらに,成膜工程が行なわれない間に蒸着源を留まらせて,予定された成膜率を保持させる蒸着源用バッファチャンバを具備している,
ことを特徴とする請求項2または6に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置。 - 前記蒸着源用バッファチャンバは,成膜された膜厚を測定して所定の成膜条件が達成されるように蒸着源を調節する膜厚測定器を内蔵している,
ことを特徴とする請求項7に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置。 - 前記蒸着源は,さらに,有機物の蒸発程度を観測しながら前記蒸着源と共に移動され,共蒸着時に個別物質の蒸着率の比率をリアルタイムで制御する移動式蒸着率測定器を具備している,
ことを特徴とする請求項7に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置。 - 前記蒸着源用バッファチャンバは,さらに,線形ルツボでの全体蒸発率が成膜工程に適するか否かを判断及び制御するための固定式蒸着率測定器を具備している,
ことを特徴とする請求項7に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置。 - 複数の蒸発源と,
前記蒸発源の上部に,前記蒸発源から蒸発される物質の流路上に配置され,前記蒸発源から蒸発される物質が固まることを防止するための一つ以上の防止板より構成される防止部と,
前記複数の蒸発源と前記防止部とを内包し,前記蒸発物質を地面に垂直に配置された基板に向かって排出させるために一側面に形成された排出口を含む外郭部と,
前記外郭部の少なくとも一部を形成し,前記蒸発源からの輻射熱を遮断する熱源遮断放熱部と,
前記排出口に近接して位置し,前記排出される蒸発物質の蒸発量を測定するための蒸着率測定部と,
前記外郭部の一面上に配置され,前記外郭部を前記基板に平行した平面上で移送させる移送手段と,を具備している,
ことを特徴とする有機電界発光素子の垂直蒸着装置に使用される蒸着源。 - 前記複数の蒸発源は一体に構成される,ことを特徴とする請求項11に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置に使用される蒸着源。
- 前記複数の蒸発源は,互いに密接して配置される個々の蒸発源より構成される,ことを特徴とする請求項11に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置に使用される蒸着源。
- 前記熱源遮断放熱部は,複数の層より構成される,ことを特徴とする請求項11に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置に使用される蒸着源。
- 前記複数の層間に形成される空間層は,一つ以上の真空層より構成される,ことを特徴とする請求項14に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置に使用される蒸着源。
- 前記複数の層間に形成される空間層は,冷媒が循環する一つ以上の冷媒層より構成される,ことを特徴とする請求項14に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置に使用される蒸着源。
- 前記複数の層間に形成される空間層は,真空層及び冷媒が循環する冷媒層のうち一つ以上の層を具備している,ことを特徴とする請求項14に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置に使用される蒸着源。
- 前記蒸発源は,方向によって熱伝導率が相異なる材料より構成される,ことを特徴とする請求項11に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置に使用される蒸着源。
- 前記蒸着率測定器は,前記排出口に近接して配置されるプローブを備え,前記プローブと前記排出口との相対位置は,ほぼ一定に保持される,
ことを特徴とする請求項11に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置に使用される蒸着源。 - 前記移送装置は,
前記基板に平行に配置されたガイドレールと,
前記ガイドレールに沿って移動可能な駆動手段と,を具備している,
ことを特徴とする請求項11に記載の有機電界発光素子の垂直蒸着装置に使用される蒸着源。
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