KR100908971B1 - 표시장치 기판의 증착막 형성장치 - Google Patents
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- 소오스 물질의 증기를 발생시키는 증착원부;상기 증기를 기판으로 유도하는 출구부를 포함하는 유도부; 및상기 유도부에서 발생한 열이 외부로 나가는 것을 차단하는 열차단부;를 포함하는 증기공급부;상기 출구부를 상기 기판의 너비와 수직한 방향으로 승강시키는 승강수단; 및상기 출구부와 상기 기판 사이에 위치하는 증착율 측정기;를 포함하며, 상기 출구부의 너비는 상기 기판의 너비보다 넓게 형성되며, 상기 기판은 상기 출구부의 너비 방향에 수직하게 위치하는 표시장치 기판의 증착막 형성장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 증착원부는, 상기 증기의 소오스 물질을 담고 있는 도가니와, 상기 도가니를 감싸듯이 설치되는 고주파 인가 코일을 구비하여 이루어지고,상기 열차단부 및 상기 고주파 인가 코일은 냉각수가 유출입될 수 있도록 형성됨을 특징으로 하는 표시장치 기판의 증착막 형성 장치.
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