KR20050050821A - 표시장치 기판의 증착막 형성 방법 및 그 방법에 적합한장치 - Google Patents

Abstract

표시장치 기판의 증착막 형성 방법 및 장치가 개시된다.

본 발명의 증착막 형성 방법은, 증착 공간에 기판면이 수평을 향하도록 기판을 수직으로 거치하고, 증착막 소오스 물질의 증기를 기판면에 수직하게 수평 방향으로 공급하는 것을 특징으로 한다. 바람직하게는 기판을 기준으로 증착원을 수직 방향으로 이동시키며 증기의 공급을 실시할 수 있고, 증기를 수평으로 공급하기 위해 증착원에서 발생된 증기를 수평으로 유도하는 작업이 이루어질 수 있다.

따라서, 대형 기판에 증착막을 형성할 때에도 기판 처짐의 문제가 없어 균일한 증착막 형성이 용이해지고, 증착원과 기판면 사이의 거리를 줄일 수 있으므로 증착 공간 설비 비용을 줄일 수 있다.

Description

표시장치 기판의 증착막 형성 방법 및 그 방법에 적합한 장치 {Method of forming thermal vapour deposition layer for display substrate and device for the method}

본 발명은 증착막 형성 방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 표시장치의 기판 상에 증착막을 형성하는 방법 및 그 방법에 적합한 장치에 관한 것이다.

표시장치는 매우 다양한 형태를 가지고 있으며, 표시장치의 제조는 매우 많고 다양한 형태의 세부 공정을 통해 이루어진다. 표시장치의 제조에서 중요한 공정 가운데 하나는 표시장치의 표시면을 이루는 기판 등에 여러 가지 물질을 이용하여 막을 형성하는 것이다.

막 형성 방법 가운데 하나로 증착이 있다. 증착 공정에서는 막 형성용 물질에 높은 에너지를 가하여 증기로 만들고, 이 증기가 퍼져나가면서 기판면에 닿아 응결되면서 얇은 막을 형성하게 된다. 한편, 증착 방법도 증착막 소오스(source) 물질에 에너지를 가하는 방법과 증착 조건에 따라 몇 가지 세부 증착 방법으로 나뉘어질 수 있다.

종래의 막 증착 방법의 한 예로서 유기 전계발광표시장치(ELD:electro luminescent display)와 같은 표시장치에서 음극전극층이나 전자주입층을 위한 증착 방법의 종류를 살펴보면, 소오스 물질에 에너지를 주는 방법에 따라 전자빔 증착법, 저항가열 증착법, 고온셀 증착법 등이 있다.

이와 같은 증착 방법에서는 증착막 소오스(source) 물질들은 증착 공정이 이루어지는 증착 챔버의 하부에 놓이고, 여기서 에너지를 받아 기화된다. 기판은 챔버에서 증착막 소오스 물질이 놓인 부분(증착원)의 위쪽을 지나면서, 기화되어 위쪽으로 확산되는 소오스 물질 증기와 닿게 된다. 따라서 이런 방법은 상향식 증착법이라 할 수 있고, 증착막은 기판의 하면에 형성된다.

한편, 가정용 텔레비젼이나 사업장에 설치되는 표시장치는 대형화되는 추세에 있으며, 대형 표시장치를 제조하기 위해 대형 기판을 사용하는 공정이 이루어지게 된다. 이런 대형 기판에 대한 증착을 종래와 같은 상향식으로 실시할 경우, 기판이 자체 무게에 의해 중간 부분이 아래로 처지고, 기판에 형성되는 막의 균일도가 떨어지는 문제가 발생한다.

또한, 전자빔 증착법을 사용하는 경우에는, 증착막을 형성하기 위해 전자가 증착막 소오스 물질에 투사되어 발생하는 이차 전자와 같은 에너지 입자가 기판 상에 이미 형성되어 있던 유기물질막을 손상시키는 문제가 있다. 이들 이차 형성 에너지 입자를 막기 위한 별도의 차폐 수단(shield)이 필요하다. 그러나, 대형 기판에 대한 공정 설비에서는 차폐 수단의 크기 및 비용으로 인하여 충분한 차폐 수단을 설치하는 것이 어렵다는 문제가 있다.

저항가열 증착법이나 고온셀 증착법의 경우, 가령, 음극전극층을 형성하는 증착 공정에서는 음극을 형성할 금속 물질이 1000 내지 1500도씨 정도의 고온이 되어야 요구되는 증착율로 증착 공정이 이루어질 수 있다. 그러나, 대형 기판에 대한 증착 공정을 위해 커진 증착원에 대해 충분한 고온을 유지하도록 하기 위해서는 에너지 주입이 커지고, 발생하는 열도 많아지게 된다. 발생 열이 많아지면 열이 기판에 영향을 미치지 않도록 적절히 열을 제거하기가 어렵다. 열이 충분히 제거되지 않을 경우, 기판의 유기발광소자에 영향을 주어 표시장치의 수명 단축을 초래하고, 기판 앞에 놓이는 마스크 패턴의 열변형을 야기한다는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 종래 표시장치 기판에 대한 증착막 형성 방법의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 대형화된 기판에 대한 증착 과정에서도 기판 처짐이 없고, 증착막 균일성을 확보할 수 있는 증착막 형성 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 증착원의 열이 기판에 영향을 끼치는 것을 방지할 수 있는 증착막 형성 방법과 그 방법에 적합한 증착막 형성 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 증착 챔버의 공간을 줄일 수 있는 증착막 형성 방법과 그 방법에 적합한 증착막 형성 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 증착막 형성 방법은,

증착 공간에 기판면이 수평을 향하도록 기판을 수직으로 거치하고, 증착막 소오스 물질의 증기를 기판면에 수직하게 수평 방향으로 공급하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 방법에서 증착막을 형성하기 위해 바람직하게는 기판을 기준으로 증착원을 수직 방향으로 이동시키며 증기의 공급을 실시할 수 있다. 이때, 증착원의 이동은 기판에 대해 상대적인 개념이므로 증착원이 고정된 상태에서 기판이 수직으로 움직이는 형태도 가능하다. 또한, 증착원은 단일 증착원과 복수 증착원을 모두 포함하며, 단일 증착원은 기판면에 대향하면서 수평으로 길게 형성된 형태를 가지는 것이 바람직하고, 다수의 증착원은 기판면에 대향하면서 개별 증착원이 수평으로 일정 간격으로 배열되는 것이 바람직하다.

본 발명의 방법에서, 증착 소오스 물질의 증기를 수평으로 공급하기 위해 증착원에서 상향식으로 혹은 방향 구분 없이 발생된 증기를 수평으로 유도하는 작업, 과정이 이루어질 수 있다. 이때 수평으로 공급한다는 것은 평균적으로 수평으로 공급됨을 의미하는 것이며 일정 각도 범위에서 분산되는 양상을 가질 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 증착막 형성 장치는

증착막 소오스 물질의 증기를 발생시키는 증착원부, 증착원부에서 발생된 증기를 임의 위치 및 임의 방향으로 유도하는 유도부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

본 발명 장치에서 증착원부와 유도부에서 발생하는 열이 외부로 나가는 것을 차폐할 수 있는 열차단부가 더 구비되는 것이 바람직하다.

본 발명 장치에는 기판을 수직으로 거치시키는 거치 장치와 수직으로 거치된 기판의 증착면 전방에서 증착원을 수직으로 이동시키기 위한 승강 수단이 더 구비될 수 있다.

이하 도면을 참조하면서 실시예를 통해 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.

도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착막 형성 장치의 구성을 나타내는 측단면도이며, 도2는 도1과 같은 증착막 형성 장치의 증착원부의 평단면을 나타내는 도면이다.

도1을 참조하면, 증착막 형성 장치는 증착막 소오스 물질 증기를 발생시키는 증착원부(10), 증착원부(10)에서 발생된 증기를 임의 위치 및 임의 방향으로 유도하는 유도부(20), 증착원부(10)와 유도부(20)에서 발생하는 열이 외부로 나가는 것을 차폐할 수 있는 열차단부(30)로 이루어지며, 이에 더하여 유도부(20)의 출구부(25) 외측에 기화된 물질이 기판으로 공급되는 경로에 있는 증착율 측정기(40)가 더 구비되어 이루어진다.

증착원부(10)를 더 살펴보면, 증착원부(10)는 증착막 소오스 물질(18)이 담기고, 외부 에너지가 투입되어 소오스 물질(18)의 기화가 이루어지는 곳으로 본 실시예에서는 증착원부(10)가 주로 고주파 유도 가열로로 이루어진다. 이 고주파 유도 가열로는 소오스 물질(18)을 담는 용기를 이루는 도가니(14)와 유도 가열원인 고주파 인가 코일(12) 및 온도 측정용 바이메탈(16)로 이루어진다. 온도 측정용 바이메탈(16)은 온도를 측정하여 제어하도록 함으로써 유도 가열원인 고주파 인가 코일(12)에 흐르게 되는 전류의 양을 결정하고, 궁극적으로 소오스 물질(18)의 증발율과 기판에서의 막 증착율을 조절하도록 하는 도구가 된다.

도가니(14)의 입구쪽에서 유도부(20)가 시작된다. 유도부(20)는 도가니(14)를 감싸는 케이스와 일체형으로 연속적인 몸체를 이루도록 형성되어 있으나 위치상 구분되는 개념이다. 유도부(20)는 일종의 관로(管路)를 이루도록 형성되며, 증착원부(10)에서 발생한 증착막 소오스 물질(18)의 증기를 원하는 위치, 즉, 기판면으로 유도하는 역할을 한다. 유도부의 입구부(23), 즉, 관로의 입구부(23)에서는 도가니(14)의 입구쪽에서 나온 증기가 유입된다. 유입된 증기는 관로 내에 쌓이는 형태가 되고, 충분한 소오스 물질 증기압을 형성하면서 관로의 출구부(25)를 통해 관로 밖으로 방출된다. 유도부의 출구부(25) 외측에는 증착막 형성을 요하는 기판이 놓이게 된다.

그런데, 유도부(20)가 형성하는 관로 벽면이 소오스 물질(18)의 기화 온도보다 충분히 온도가 낮을 경우, 소오스 물질 증기는 벽면에 부딪혀 에너지를 잃게 되고, 상변이를 일으킨다. 즉, 소오스 물질 증기는 유도부 내면에 응축되어 액체나 고체로 석출된다. 이런 경우, 소오스 물질 증기는 유도부의 출구부(25) 외측에 설치되는 기판에 공급될 수 없고, 기판면에 대한 증착은 이루어질 수 없다. 따라서 유도부(20)는 증기의 유도 역할을 다할 수 없게 된다. 이런 현상을 방지하기 위해 본 발명에서는 유도부(20) 벽면에 히터 코일(26)과 같은 가열 수단이 설치되고, 그 온도 측정을 위한 바이메탈(28)이 별도로 설치될 수 있다. 유도부 벽면이 가열되면 소오스 물질 증기는 벽면에 부딪혀도 에너지를 잃지 않아 유도부 내부에서 증기 상태를 유지하면서 내부 압력에 의해 출구부(25)로 이동된다.

도2를 참조하면, 증착원부(10)는 복수개의 증착원이 수평으로 나란히 배열되어 이루어짐을 알 수 있다. 각 증착원의 구성을 보면 고주파 인가 코일(10)이 소오스 물질(18)을 담고 있는 도가니(14)를 감싸듯이 설치된다. 고주파 인가 코일(12)은 통상 구리와 같은 양호한 도전체로 이루어진다. 증착막 형성 장치에서 기판 면에 실용적인 증착율로 증착이 이루어지기 위해서는 증착원은 통상 1000~1500도씨 정도의 고온으로 유지될 필요가 있다. 그러나, 구리와 같은 도체는 융점이 낮아 이런 온도에서 코일 형태로 유지될 수 없다. 이런 문제를 회피하기 위해 코일의 온도를 낮출 냉각 수단이 필요하며, 실시예에서는 중심이 비어있는 구리 튜브를 코일 형태로 감아 고주파 인가 코일(12)을 형성한다. 그리고, 튜브의 중심으로는 냉각수가 흐르도록 한다. 즉 실시예에서는 고주파 인가 코일(12)을 통해서 전류와 냉각수가 흐르게 된다.

코일에 고주파 전류가 흐르면 전류 흐름에 따라 코일 내에 변화하는 자계가 형성되고, 자계내의 비선형적 자성체 물질들은 히스테리시스손에 의해 열을 발생시킨다. 열에 의해 고온이 되면 소오스 물질(18)은 기화되어 도가니(14) 입구 위로 확산되어 나가게 된다.

도2에서 점선으로 표시된 부분은 본 발명 장치의 유도부(20)의 출구부(25)이다. 유도부의 출구부(25)는 증착 대상면에서의 성막 균일성을 높이기 위해 다양한 형태로 이루어질 수 있다. 도시된 출구부(25)는 기판(50)면에 대향하도록 형성되며, 기판의 너비(W)에 대응하여 수평으로 길게 형성되어 있다. 도시된 바와 달리 증착원이 하나이고 출구부가 기판의 너비에 대응하여 수평으로 길게 형성되는 경우에는 증착원과 출구부 각 위치까지의 거리의 차이가 커진다. 따라서, 출구부(25) 각 위치에서의 소오스 물질 증기의 방향성과 속도도 달라질 가능성이 크고, 출구부(25) 밖에 거치된 기판(50) 면에 대한 성막 균일성이 떨어지기 쉽다. 이런 문제를 없애기 위해 본 실시예에서는 증착원을 복수개로 형성하여 증착원과 길게 형성되는 출구부(25)의 각 위치 사이의 거리 차가 벌어지는 것을 막고 있다.

증착원부(10)와 유도부(20)에는 가열 수단이 형성되어 많은 열이 발생하게 된다. 기판(50)이 대형화될수록 기판면에 증착이 이루어질 때 실용적인 증착율을 얻기 위해 열 발생은 점차 증가된다. 이때 발생하는 열은 주변에 전달되어 기판(50)에 형성된 유기물 전계발광소자를 변성시켜 표시장치의 수명을 열화시킬 수 있고, 기판(50) 전방에 형성된 마스크(60) 패턴의 변형을 가져오기 쉽다. 따라서, 열이 기판(50) 쪽으로 전달되는 것을 방지하기 위해 본 실시예에서는 증착원부(10) 및 유도부(20)가 열차단부(30)로 감싸진다. 열차단부(30)는 외부에서 냉매가 공급되어 순환되고 배출되는 냉각기의 일반 구조를 가질 수 있으며, 워터 자켓, 워터 코일이나 기타 다른 냉각 구조를 가지도록 이루어질 수 있다.

한편, 증착율 측정기(40)는 기판 내의 특정막을 임의의 증착율로 증착하기 위해 증착원과 기판 사이에, 보다 정확하게는 유도부의 출구부(25)와 기판(50) 사이에 설치된다.

증착율 측정기(40) 위치에 판면을 형성하고, 증착된 막의 두께와 증착 공정이 이루어진 시간을 측정하면 막의 평균적 증착율을 계산할 수 있으나, 증착율 측정기(40)는 증착율의 빠른 측정을 통해 증착 공정의 실시간 제어를 가능하게 할 수 있다. 증착율 측정기는 증착원이 수직으로 이동하는 경우, 막증착의 실시간 제어가 가능하기 위해 증착원과 함께 이동하도록 증착원 주변에 고정, 형성된다.

도3은 도1과 같은 실시예에 증착원을 상하로 이동시킬 승강 수단이 더 구비되어 수직으로 거치된 기판에 증착을 실시하는 증착막 형성 장치가 설치된 증착 챔버를 나타내는 측면도이다.

도3을 참조하면, 본 실시예에서 증착막 형성 장치는 증착원부, 유도부, 열차단부로 이루어지는 증기 공급부(90)에 기구부가 더 구비되어 이루어진다. 이때, 증기 공급부(90)는 도1에서 도시된 장착막 형성 장치의 예에 해당한다. 기구부는 증기 공급부(90)가 장착되는 테이블(70), 테이블(70)이 승강 가능하게 설치되는 수직 구조체(80), 기판(50)을 수직으로 거치하는 거치부(미도시)를 구비한다. 수직 구조체(80)가 테이블(70)을 승강시키기 위해서 통상 수직 구조체(80)에는 유압, 공압 기구나 와이어, 체인이나 밸트, 이에 연결되는 기어나 풀리, 동력을 주며 정밀한 이동을 가능케 하는 스탭 모터 등이 부속될 수 있다.

증착 챔버(100)는 밸브(110)를 통해 진공 펌프(120)와 연결되어 공정 중에 배기가 계속적으로 이루어질 수 있도록 형성된다.

증착 챔버(100) 내에서 증착이 이루어지는 가능한 한 형태를 보면, 우선 증착 챔버(100) 내에 기판(50)이 공급되어 거치부에 수직으로 거치된다. 진공 펌프(120)가 동작하여 증착 챔버(100) 내의 진공도가 증착 공정에 적합한 수준에 이르게 된다. 증착원부의 고주파 유도 코일에 전류가 흐르면서 도가니 내의 증착막 소오스 물질을 유도 가열하여 기화시킨다. 동시에 유도부 가열 장치에서도 유도부 벽체에 대한 가열이 이루어진다. 유도부 벽체는 물질의 기화 온도보다는 조금 낮으면서 기화된 증착 소오스 물질이 닿을 때 응축되어 상변이를 일으키는 수준보다 높은 온도를 유지해야 하며 그 온도는 증착될 물질에 따라 달라진다.

따라서, 도가니에서 기화된 물질은 유도부의 입구부를 통해 유입되어 유도부 내에서 증기압을 높이게 되며, 출구부를 통해 이 증기압에 비해 기압이 낮은 증기 공급부 외측으로 방출된다. 물질 증기가 출구부를 통해 방출되면 증기 공급부(90)와 기판(50) 사이에 위치하도록 증기 공급부(90)에 고정된 증착율 측정장치를 이용하여 막의 증착율이 측정될 수 있다. 증착율이 안정된 상태에 이르면 기구부의 작용으로 테이블은 기판 전방에서 수직으로 하강하거나 상승한다.

고주파 인가 코일이나 유도부 가열 장치를 위한 전기선과 고주파 인가 코일과 열차단부를 위한 냉각수 출입 배관은 도3에는 도시되지 않았으나 함께 구비되어 증기 공급부와 함께 이동하도록 형성된다.

출구부는 기판(50)의 너비에 맞추어 수평으로 길게 형성되므로 기구부 테이블(70)의 한 번의 하강 혹은 상승에 의해 기판(50) 전면에 증착막이 형성될 수 있다. 기판(50) 전면에 마스크(60)가 설치되면 마스크(60)에 의해 기판(50)이 필요한 부분에 한정하여 증착이 이루어질 수 있다. 증착막의 두께는 테이블(70)의 이동 속도, 도가니의 온도 등의 조절을 통해 조절될 수 있다. 출구부의 길이방향 양단은 증착율이 떨어질 수 있으므로 기판(50) 전면을 통해 균일한 증착 상태를 형성하기 위해 출구부는 기판(50)의 너비(W)보다 좀 더 길게 형성되는 것이 바람직하다.

이런 형태의 증착막 형성 장치에서는 증착원과 기판 사이가 짧아진다. 따라서 종래의 상향식과 같이 증착원에서 증기가 퍼져나가면서 기판 전면을 커버하기 위해서 증착원과 기판면 사이에 있어야할 확산 공간이 필요없게 된다. 진공을 요하는 증착 챔버(100)의 크기를 줄일 수 있으며, 진공 설비 제작에 드는 비용을 절감할 수 있다.

도4는 본 발명의 장치를 이용하여 기판에 연속적인 기판 면 증착이 이루어지는 공정의 일 예에서의 시간에 따른 막 증착율 변화를 나타내는 그래프이다.

도4를 설명하면, A구간에서 증착율은 일정하게 높은 수준을 유지하며, B구간에서는 증착율이 0에 가까워지는 모습을 보인다. 여기서, A는 기판에 대한 정상적인 증착이 이루어지는 구간이며, B는 증착이 이루어진 기판을 다른 공간으로 옮기고, 다른 공간에 준비 상태에 있던 기판을 챔버 내의 거치부에 거치하는 구간임을 알 수 있다.

이때, 연속 공정의 효율을 높이기 위해서는 기판이 교체되는 B구간에서도 진공 분위기가 유지 되어야 할 것이다. 그러기 위해 증착 챔버의 진공 분위기를 유지하면서 증착 챔버와 연결되고 대기 기판이 적재되는 로드 록 챔버 등에도 진공 장비를 통해 격벽이 열릴 때 큰 진공도의 차이가 생기지 않도록 진공을 인가하여야 할 것이다.

B 구간에서 증착이 이루어지지 않는 것은 증기 공급부의 고주파 유도 코일에 전류를 흐르게 하는 것을 중단시키는 등의 수단으로 이루어질 수 있다. 연결부의 가열 장치를 중단시키는 것은 연결부에 잔류된 증기를 감안하여 시간 차를 두고 이루어지는 것이 바람직하다. B 구간에서 증착원에 대한 가열이 이루어지지 않음으로써 증착원의 온도를 낮추어 증착 소오스 물질의 낭비를 막을 수 있으며, 증착원에 의해 증착 챔버 내에 축적되는 열을 줄일 수 있다.

A'와 B' 구간도 A 및 B 구간과 동일한 형태를 가진다. A'에서는 B 구간을 통해 증착 챔버로 투입된 기판 면에 대한 증착 작업이 새롭게 이루어짐을 생각할 수 있고, 연속 공정을 통해 이런 형태가 되풀이 됨을 알 수 있다.

본 발명에 따르면, 대형 기판에 증착막을 형성할 때에도 기판의 수직 거치를 통해 기판 처짐의 문제가 없어지고, 균일한 증착막 형성이 용이해진다.

또한, 증착원과 기판면 사이의 거리를 줄일 수 있으므로 증착 공간을 줄여 설비 비용을 줄일 수 있고, 증착원과 증착 대상 사이의 거리가 균등해져 증착막 균일성이 높아질 수 있다.

그리고, 본 발명 장치에서 증착원의 고온 가열을 고주파 유도 가열을 사용하는 경우 온도 조절을 쉽게 할 수 있고, 고주파 인가 코일이나 열차단부 냉매 순환을 통해 증착 공간 내부의 열축적을 효과적으로 막아 열에 의한 기판이나 마스크 손상을 방지할 수 있다.

도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착막 형성 장치의 구성을 나타내는 측단면도이며,

도2는 도1과 같은 증착막 형성 장치의 증착원부의 평단면을 나타내는 도면,

도3은 도1과 같은 실시예에 증착원을 상하로 이동시킬 승강 수단이 더 구비되어 수직으로 거치된 기판에 증착을 실시하는 증착막 형성 장치가 설치된 증착 챔버를 나타내는 측면도,

도4는 본 발명의 장치를 이용하여 기판에 연속적인 기판 면 증착이 이루어지는 공정의 일 예에서의 시간에 따른 막 증착율 변화를 나타내는 그래프이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10: 증착원부 12: 고주파 인가 코일

14: 도가니 16,28: 바이메탈

18: 소오스 물질 20: 유도부

23: 입구부 25: 출구부

26: 히터 코일 30: 열차단부

40: 증착율 측정기 50: 기판

60: 마스크 70: 테이블

80: 수직 구조체 90: 증기 공급부

100: 증착 챔버 110: 밸브

120: 진공 펌프

Claims (4)

1. 증착 공간에 표시장치 기판을 놓고 증착원에서 증착막 소오스 물질에 열을 가하여 얻은 증기를 기판면 접촉시켜 응축시킴으로써 증착막을 형성하는 표시장치 기판의 증착막 형성 방법에 있어서,

   상기 증착 공간에 상기 기판면이 수평을 향하도록 상기 기판을 수직으로 거치하고, 상기 증착막 소오스 물질의 증기를 상기 기판면에 수직하게 수평 방향으로 공급하는 것을 특징으로 하는 표시장치 기판의 증착막 형성 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   복수의 상기 증착원을 상기 기판면에 대향되도록 상기 기판면의 너비에 맞게 수평으로 배열하고, 수직 방향으로 상기 기판과 상대적으로 이동시키며 상기 증기의 공급을 실시하는 것을 특징으로 하는 표시장치 기판의 증착막 형성 방법.
3. 증착막 소오스 물질의 증기를 발생시키는 증착원부, 상기 증착원부에서 발생된 증기를 임의 위치 및 임의 방향으로 유도하는 유도부, 상기 증착원부와 상기 유도부에서 발생하는 열이 외부로 나가는 것을 차폐할 수 있는 열차단부를 구비하여 이루어지는 증기 공급부와,

   상기 증기 공급부를 수직으로 거치된 기판 전방에서 수직으로 승강시키기 위한 승강 수단을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치 기판의 증착막 형성 장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 증착원부는, 상기 증착막 소오스 물질을 담고 있는 도가니와, 상기 도가니를 감싸듯이 설치되는 고주파 인가 코일을 구비하여 이루어지고,

   상기 열차단부 및 상기 고주파 인가 코일은 냉각수가 유출입될 수 있도록 형성됨을 특징으로 하는 표시장치 기판의 증착막 형성 장치.