JP2008274322A

JP2008274322A - 蒸着装置

Info

Publication number: JP2008274322A
Application number: JP2007116370A
Authority: JP
Inventors: Akira Saito; 明西塔; Yuki Uetake; 猶基植竹
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2007-04-26
Filing date: 2007-04-26
Publication date: 2008-11-13
Also published as: CN101294271A; TW200914635A; TWI447245B; KR20080096451A; US20080264342A1; KR101431043B1

Abstract

【課題】ライン型蒸発源の設置間隔を狭く設定すると、メンテナンス性が悪くなる。
【解決手段】蒸着装置の構成として、Ｙ方向に並べて設けられた複数のライン型蒸発源３と、複数のライン型蒸発源３を、当該ライン型蒸発源の並び方向Ｙ及び／又は長手方向Ｘに個別に移動可能に支持する移動支持手段（１１〜１６）とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、基板への薄膜形成に用いられる蒸着装置に関し、特に、ライン型蒸発源を備える蒸着装置に関する。

近年、平面型の表示装置として、有機電界発光素子（有機ＥＬ素子：ＥＬはエレクトロルミネッセンスの略）を用いたものが注目されている。有機電界発光素子を用いた表示装置（以下、「有機ＥＬディスプレイ」とも記す）は、バックライトが不要な自発光型のディスプレイであるため、視野角が広い、消費電力が少ないなどの利点を有している。

一般に、有機ＥＬディスプレイに用いられる有機電界発光素子は、有機材料からなる有機層を上下から電極（陽極及び陰極）で挟み込んだ構造になっていて、陽極に正の電圧、陰極に負の電圧をそれぞれ印加することにより、有機層に対して、陽極から正孔を注入する一方、陰極から電子を注入することにより、有機層で正孔と電子が再結合して発光する仕組みになっている。

有機電界発光素子の有機層は、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電荷注入層等を含む複数の積層構造になっている。各々の層を形成する有機材料は、耐水性が低くてウェットプロセスを利用できない。このため、有機層を形成する場合は、真空薄膜形成技術を利用した真空蒸着法により、有機電界発光素子の素子基板（通常はガラス基板）に各層を順に形成して所望の積層構造を得ている。また、カラー化への対応として、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の各色成分に対応する３種類の有機材料を、それぞれ異なる画素位置に蒸着して有機層を形成している。

有機層の形成には真空蒸着装置が用いられている。真空蒸着装置は、真空槽の床面積が大きくなると装置価格の高騰を招き、更に装置の設置面積が大きくなるために設置コストが増えるなど、コスト的なマイナス要素が大きくなる。また、真空槽の体積が大きくなると真空引きに要する時間が長くなるため、生産効率が低下する傾向にある。

また近年では、真空蒸着で成膜対象とする基板（以下、「被処理基板」と記す）の大型化や有機層の多層化への対応として、長尺状のライン型蒸発源を採用するとともに、このライン型蒸発源を真空槽内に複数並べて設けた蒸着装置が提案されている（例えば、特許文献１を参照）。

特開２００３−１５７９７３号公報

上述のようにライン型蒸発源を複数並べて設ける場合は、ライン型蒸発源同士の間隔を狭めて設置することにより、真空槽の床面積や設置面積を小さく抑えることができる。しかしながら、ライン型蒸発源の間隔を狭めたり真空槽の床面積を小さくしたりすると、真空槽内で蒸着装置のメンテナンスを行なうための作業スペースが減少するため、作業効率を悪化させる要因となる。蒸着装置のメンテナンス作業としては、例えば、蒸着源への蒸発材料の充填作業や、膜厚センサ（例えば、水晶振動子を利用したもの）の交換作業、さらには蒸発材料が不要な部分に付着することを防止する防着板や蒸着範囲を制限する制限板の洗浄作業などがある。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、ライン型蒸発源の設置間隔を広く設定しなくても、良好なメンテナンス性が得られる蒸着装置を提供することにある。

本発明に係る蒸着装置は、所定の方向に並べて設けられた複数のライン型蒸発源と、前記複数のライン型蒸発源を、当該ライン型蒸発源の並び方向及び／又は長手方向に個別に移動可能に支持する移動支持手段とを備えるものである。

本発明に係る蒸着装置においては、複数のライン型蒸発源をその並び方向及び長手方向のいずれかに移動させることにより、真空槽内でメンテナンスのためのスペースを広げることが可能となる。

本発明によれば、真空槽内でライン型蒸発源の設置間隔を広く設定しなくても、メンテナンス時に必要に応じて各々のライン型蒸発源を移動させることにより、メンテナンスのためのスペースを広く確保することができる。

以下、本発明の具体的な実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１は本発明が適用される蒸着装置の概略構成例を示す模式図である。図示した蒸着装置１は、例えば有機電界発光素子を用いた表示装置の製造において、例えばガラス基板などからなる被処理基板２上に有機層を成膜するために用いられるものである。

蒸着装置１は、図示しない真空槽を備えるものである。蒸着装置１の真空槽内には、被処理基板２を搬送する搬送手段（不図示）とともに、複数のライン型蒸発源３が設けられている。搬送手段は、複数のライン型蒸発源３と対向する位置で被処理基板２を水平に支持つつＹ方向に移動（水平移動）させることにより、被処理基板２と複数のライン型蒸発源３とをＹ方向で相対的に移動させるものである。

複数のライン型蒸発源３は、所定の間隔でＹ方向に並べて設けられている。Ｙ方向におけるライン型蒸発源３の設置間隔は、真空中で被処理基板２に成膜を行なう場合に適用される間隔である。各々のライン型蒸発源３は長尺状に形成されている。各ライン型蒸発源３の長手方向（ライン方向）は、Ｙ方向に直交するＸ方向と平行に配置されている。各々のライン型蒸発源３には、蒸発材料の噴き出し口４が設けられている。噴き出し口４は、被処理基板２と対向する位置に、ライン型蒸発源３の長手方向に沿ってスリット形状に形成されている。

なお、ライン型蒸発源３の設置個数は、３つに限らず、２つ又は４つ以上であってもよい。また、ライン型蒸発源３の噴き出し口４はスリット形状のものに限らず、例えば、平面視円形の小さな噴き出し口をライン型蒸発源３の長手方向に沿って配列したものでもよい。

上記構成からなる蒸着装置１においては、各々のライン型蒸発源３の噴き出し口４から、それぞれ有機材料などの蒸発材料５を噴出させた状態で、被処理基板２を図示しない搬送手段によってＹ方向に移動させることにより、被処理基板２上に有機膜などの蒸着膜が形成される。この場合、例えば、Ｙ方向に並ぶ３つのライン型蒸発源３から、それぞれ種類の異なる有機材料を噴出させることにより、被処理基板２上に３層の有機膜を形成することができる。

図２は本発明の実施形態に係る蒸着装置の主要部を示すもので、（Ａ）はＸ方向から見た模式図、（Ｂ）はＹ方向から見た模式図である。図２（Ａ），（Ｂ）においては、蒸着装置の真空槽の底壁１０に一対の支持部材１１が固定状態で設けられている。一対の支持部材１１は、Ｙ方向に細長い角柱状の部材であって、互いにＸ方向に所定の距離を隔てて配置されている。

各々の支持部材１１の上面には、それぞれレール部材１２が固定状態で取り付けられている。各々のレール部材１２は、Ｙ方向と平行な向きで取り付けられている。また、各々のレール部材１２には、複数のスライド部材１３が搭載されている。スライド部材１３は、レール部材１２に沿ってＹ方向に移動自在に設けられている。スライド部材１３は、１つのライン型蒸発源３につき４つずつ設けられ、そのうちの２つが一方のレール部材１２に搭載され、他の２つが他方のレール部材１２に搭載されている。

１つのライン型蒸発源３に対応する４つのスライド部材１３は共通のベース部材１４の下面に取り付けられている。ベース部材１４は、長尺状の平板構造をなすもので、一対の支持部材１１の間を掛け渡すかたちでＸ方向に平行に配置されている。

ベース部材１４の上面には一対のレール部材１５が固定状態で取り付けられている。各々のレール部材１５は、Ｘ方向と平行な向きで取り付けられている。また、各々のレール部材１５には、複数のスライド部材１６が搭載されている。スライド部材１６は、レール部材１５に沿ってＸ方向に移動自在に設けられている。スライド部材１６は、１つのライン型蒸発源３につき２つずつ設けられ、そのうちの１つが一方のレール部材１５に搭載され、他の１つが他方のレール部材１５に搭載されている。

１つのライン型蒸発源３に対応する２つのスライド部材１６の上面には共通のライン型蒸発源３が搭載されている。各々のスライド部材１６には、ライン型蒸発源３の長手方向（Ｘ方向）で片側に寄った位置に取り付けられている。スライド部材１６を片側に寄せて配置する理由は、ライン型蒸発源３をＸ方向に移動させるときの移動可能距離を長く確保するためである。

本発明の実施形態に係る蒸着装置１においては、上述した支持部材１１、レール部材１２、スライド部材１３、ベース部材１４、レール部材１５、スライド部材１６を用いて「移動支持手段」が構成されている。このうち、レール部材１２及びスライド部材１３は、ライン型蒸発源３をＹ方向に移動させるためのスライド機構となり、レール部材１５及びスライド部材１６は、ライン型蒸発源３をＸ方向に移動させるためのスライド機構となる。

上記構成からなる移動支持手段においては、各々のライン型蒸発源３ごとに、一対のレール部材１２に沿って４つのスライド部材１３を移動させるとともに、一対のレール部材１５に沿って２つのスライド部材１６を移動させることにより、３つのライン型蒸発源３をＸ方向及びＹ方向に個別に移動し得るものとなっている。ここで記述する「個別に」という用語は、「１つひとつ独立に」という意味で用いている。

このため、例えば、Ｘ方向への移動に関しては、３つのライン型蒸発源３のうち、任意の１つのライン型蒸発源３を移動させることもできるし、任意の２つのライン型蒸発源３を移動させることもできるし、３つすべてのライン型蒸発源３を移動させることもできる。また、任意の２つのライン型蒸発源３を順に又は同時（一体）に移動させることもできるし、３つすべてのライン型蒸発源３を順に又は同時（一体）に移動させることもできる。こうした点は、Ｙ方向への移動に関しても同様である。

各々のライン型蒸発源３の移動方式は、モータ等を駆動源を用いた自動式でも、人力による手動式でもかまわない。特に、自動式を採用した場合は、簡単な操作（例えば、ボタン操作など）で所望の位置に各々のライン型蒸発源３を移動させることができる。このため、メンテナンス作業に素早く移行することができる。また、手動式を採用した場合は、モータ等の駆動源やモータドライバ等の制御回路などを組み込む必要がないため、蒸着装置１のコストを安く抑えることができる。

また、例えば、有機電界発光素子を用いた表示装置の製造において、実際に被処理基板２に蒸発材料を蒸着する場合は、Ｘ方向及びＹ方向で各々のライン型蒸発源３を予め決められた所定の位置に精度良く位置決めする必要がある。

このため、図示はしないが、Ｘ方向に関しては、例えば、ベース部材１４に固定された第１の固定部材と、スライド部材１６又はライン型蒸発源３に固定された第２の固定部材に、それぞれ位置決め孔を設けておき、それらの位置決め孔に共通の位置決めピンを挿入することにより、ライン型蒸発源３の位置決めがなされる構成となっている。

また、Ｙ方向に関しては、例えば、ベース部材１４に固定された第３の固定部材と、支持部材１１に固定された第４の固定部材に、それぞれ位置決め孔を設けておき、それらの位置決め孔に共通の位置決めピンを挿入することにより、ライン型蒸発源３の位置決めがなされる構成となっている。

このような移動支持手段を備える蒸着装置１を採用した場合は、真空槽内を大気圧に戻して装置のメンテナンス作業を行なうにあたり、上記位置決めピンを適宜引き抜いて、各々のライン型蒸発源３を自由に移動させることができる。

例えば、Ｙ方向に関しては、図３に示すように、隣り合う２つのライン型蒸発源３を互いに離間する方向に移動させることにより、それら２つのライン型蒸発源３の間隔を移動前よりも大きく広げることができる。

また、３つのライン型蒸発源３のうち、Ｙ方向の一方側に配置された１つのライン型蒸発源３をレール部材１２に沿ってＹ方向の一方端（一方の移動限界位置）まで寄せるように移動させるとともに、残り２つのライン型蒸発源３をレール部材１２に沿ってＹ方向の他方端（他方の移動限界位置）まで寄せるように移動させることにより、隣り合う２つのライン型蒸発源３の間に、より大きな間隔を確保することができる。

さらに、３つのライン型蒸発源３をＹ方向の一方端又は他方端まで寄せるように移動させることにより、移動前に比較して真空槽内にメンテナンスのための作業空間を広く確保することができる。

一方、Ｘ方向に関しては、図４に示すように、いずれかのライン型蒸発源３をレール部材１５に沿って移動させることにより、移動させたライン型蒸発源３の両側が開放された空間となる。このため、例えば、蒸着装置１のメンテナンスを行なう作業者の立ち位置を装置前面側とした場合に、蒸着装置１の前面側に引き出す方向でライン型蒸発源３をＸ方向に移動させることにより、ライン型蒸発源３の両側に広い作業空間を確保することができる。

また、３つすべてのライン型蒸発源３を装置前面側に引き出すように移動させることにより、移動前に比較して真空槽内にメンテナンスのための作業空間を広く確保することができる。

以上のことから、各々のライン型蒸発源３をＸ方向及びＹ方向のいずれの方向に移動させても、メンテナンスの作業性を向上させることができる。また、各々のライン型蒸発源３の設置間隔を予め広く設定しなくても、ライン型蒸発源３の移動によってメンテナンスのための空間を広く確保することができる。このため、真空槽の床面積が小さくて済み、また真空引きに要する時間も短くなる。したがって、従来よりも低コストで生産効率の高い蒸着装置を実現することができる。特に、ライン型蒸発源３をＸ方向に移動させてメンテナンスを行なう方式を採用した場合は、Ｙ方向でメンテナンスのための移動を考慮せずにライン型蒸発源３の間隔を自由に設定することができるため、より好ましいものとなる。

なお、上記実施形態においては、３つのライン型蒸発源３をＸ方向及びＹ方向に移動可能に支持するものとしたが、これに限らず、レール部材１２及びスライド部材１３の組み合わせからなる第１のスライド機構と、レール部材１５及びスライド部材１６の組み合わせからなる第２のスライド機構を選択的に用いることにより、３つのライン型蒸発源３をＸ方向又はＹ方向に移動可能に支持するものであってもよい。

また、上記実施形態においては、各々のライン型蒸発源３を移動させるための移動支持手段を真空槽の底壁１０に設置することにより、水平面内で各々のライン型蒸発源３を移動させるものとしているが、本発明はこれに限らず、例えば、図示しない搬送手段によって被処理基板２を垂直に支持しつつＹ方向に移動させる蒸着装置に適用する場合は、真空槽の側壁に移動支持手段を設置することにより、垂直面内で各々のライン型蒸発源３を移動させる構成としてもよい。

一般に、蒸発源は、例えば図５に示すように、蒸発材料５が充填されるルツボ６をノズル本体７に収納し、その外側を冷却用のジャケット８で覆った構造のものが用いられている。ただし、こうした構造の蒸発源を採用すると、ノズル本体７に対してルツボ６を出し入れする場合に、蒸発源の構成部品を分解する必要があるため、作業効率が悪くなる。

そこで本発明の実施形態においては、上述したライン型蒸発源３として、図６に示すような構造のものを用いることとした。図６（Ａ）はライン型蒸発源３をＸ方向から見た模式図であり、図６（Ｂ）はライン型蒸発源３をＹ方向から見た模式図である。

図示したライン型蒸発源３の構成においては、ルツボ２１とノズル２２が分離可能な構造になっている。ルツボ２１には円筒部２３が設けられ、これに対応してノズル２２にも円筒部２４が設けられている。また、円筒部２３の上端部にはフランジ部２５が形成され、これに対応して円筒部２４の下端部にもフランジ部２６が形成されている。各々のフランジ部２５，２６は、例えばボルト、ナット等の締結手段を用いて密に連結され、この連結状態で円筒部２３，２４内の空間が相互につながっている。このため、ルツボ２１とノズル２２は、フランジ部２５，２６を境にして切り離し可能となっている。

また、ルツボ２１とノズル２２には、円筒部２４を含めて、ヒータ２７が巻き付けられている。ヒータ２７は、ルツボ２１に収容された蒸発材料を加熱するための加熱源となるものである。ヒータ２７の加熱方式が、例えば熱伝導を利用した抵抗加熱方式であれば、ルツボ２１にヒータ２７を密着させて溶接等により固定することになる。ノズル２２や円筒部２４に巻き付けられたヒータ２７は、ルツボ２１から蒸発した材料が冷えて凝固しないように、ノズル２２や円筒部２４を加熱するものである。

ヒータ２７は配線２８を介してヒータ電源２９に接続されている。ヒータ電源２９は、ヒータ２７に電力を供給するものである。また、ルツボ２１には熱電対３０が取り付けられている。熱電対３０は、ルツボ２１の温度を検出する温度検出手段となるものである。熱電対３０で検出されたルツボ２１の温度情報は制御ボックス３１に取り込まれる。制御ボックス３１は、熱電対３０から取得したルツボ２１の温度情報に基づいて、ルツボ２１の温度が所定の温度になるように、ヒータ電源２９からヒータ２７に供給される電力を制御するものである。

一般に、真空槽内の蒸発源に対しては、温度応答性を向上させてルツボから蒸発する材料の量を精密に制御したり、ヒータ停止後のルツボの温度降下速度を速めたりするために、上記図５にも示したように、ルツボ付近に水等で冷却されたジャケット（以下、「冷却ジャケット」と記す）を設けることが多い。

上記ライン型蒸発源３に冷却ジャケットを設置するにあたっては、例えば、第１の設置構造として、図７（Ａ），（Ｂ）に示すように、ノズル２２の長手方向（Ｘ方向に相当）の両端付近を一対の支柱３３で支持するとともに、ルツボ２１の周囲を冷却ジャケット３４で囲んだ構造を採用することが可能である。

また、第２の設置構造として、図８（Ａ），（Ｂ）に示すように、ルツボ２１とノズル２２の両方を共通の冷却ジャケット３４で囲んだ構造を採用することも可能である。第２の設置構造においては、ライン型蒸発源３の長手方向の側面にルツボ２１の出し入れ口Ｈが設けられている。この出し入れ口Ｈは、ルツボ２１よりも大きな開口寸法をもって形成されている。

このようにルツボ２１とノズル２２を分離可能な構成にすると、例えばルツボ２１に蒸発材料を充填する場合に、フランジ部２５，２６を境にノズル２２からルツボ２１を切り離すことができる。このため、蒸発材料の充填作業が容易になる。特に、第２の設置構造のようにライン型蒸発源３にルツボ２１の出し入れ口Ｈを設けるようにすれば、蒸発材料の充填作業を行なうにあたって、ライン型蒸発源３からのルツボ２１の取り出しやライン型蒸発源３へのルツボ２１の取り込み、あるいはルツボ２１の交換などが容易になる。また、いずれの設置構造を採用した場合も、各々の支柱３３を金属で構成すると、ヒータ２７によってノズル２２に加えた熱が支柱３３に逃げてしまう懸念があるため、ノズル２２と支柱３３の間に、熱伝導性の低い材料（例えば、セラミック、樹脂等）からなる断熱部材３５を介在させることが望ましい。

ただし、上記第１の設置構造及び第２の設置構造では、例えば、ルツボ２１に巻き付けられたヒータ２７部分をルツボ専用の独立したヒータとする一方、ノズル２２に巻き付けられたヒータ２７部分をノズル専用の独立したヒータとして、ルツボ２１とノズル２２をそれぞれ異なる温度に制御したい場合に、ルツボ２１に巻き付けられたヒータ２７部分からの熱輻射と、ノズル２２に巻き付けられたヒータ２７部分からの熱輻射が互いに干渉し合うため、ルツボ２１とノズル２２をそれぞれ任意の温度に精度良く制御することが困難になる。

そこで、第３の設置構造として、例えば図９（Ａ），（Ｂ）に示すように、ルツボ２１とノズル２２の間に隔壁３６を設け、この隔壁３６で熱輻射の干渉を防止する構造を採用することも可能である。隔壁３６は、水等で冷却されるものであって、冷却ジャケット３４の一部として形成されている。さらに詳述すると、冷却ジャケット３４は、下部ジャケット３４Ａと上部ジャケット３４Ｂを組み合わせた構造体になっている。下部ジャケット３４Ａはルツボ２１を囲む状態に設けられ、上部ジャケット３４Ｂはノズル２２を囲む状態に設けられている。

上部ジャケット３４Ｂは下部ジャケット３４Ａの上に搭載されている。下部ジャケット３４Ａの天板部分は隔壁３６として形成され、この隔壁３６の上面に一対の台座３７を用いてノズル２２が水平に支持されている。台座３７は、例えばセラミックや樹脂などのように熱伝導性の低い材料（いわゆる断熱材料）で構成されている。ノズル２２と台座３７の接触面積はできるだけ小さい方が望ましい。

隔壁３６にはノズル２２の円筒部２４を通す孔が設けられている。また、下部ジャケット３４Ａの側壁の一部には配線口が設けられ、この配線口を通して、ヒータ２７につながる配線２８と熱電対３０につながる配線３８が、それぞれ冷却ジャケット３４の外側に引き出されている。各々の配線２８，３８の端部は冷却ジャケット３４の外側で共通の端子台３９に接続されている。

各々の配線２８，３８の端部は、いずれも端子台３９から切り離せるようになっている。具体的には、例えば、各配線２８，３８の端部と、これに対応する端子台３９の端子部分に、それぞれ雌雄の関係にあるコネクタを設け、このコネクタの抜き差しによって、各々の配線２８，３８を端子台３９から容易に切り離せる構造になっている。

上記第３の設置構造を採用した場合は、ルツボ２１とノズル２２の間に隔壁３６を設けたことにより、両者間の輻射熱による熱干渉が軽減される。このため、ルツボ２１とノズル２２を個別に精度良く温度制御することが可能になる。

また、ヒータ２７につながる配線２８と熱電対３０につながる配線３８を端子台３９から切り離すことができるため、図１０に示すように、ルツボ２１、ヒータ２７、配線２８、熱電対３０、配線３８をひとまとめにしたルツボユニットを、ノズル２２から完全に分離することができる。これにより、配線２８，３８が接続されたまま移動できる範囲内で蒸発材料の充填作業を行なう必要がなくなる。また、蒸発材料の充填作業の繰り返しで配線２８，３８を痛めたりする懸念もなくなる。また、ライン型蒸発源３の付近で実際にルツボ２１に蒸発材料を充填しなくても、予めルツボ２１に蒸発材料を充填してある別のルツボユニットとの交換によって蒸発材料の充填作業を済ませることができる。このため、メンテナンス性が向上して生産性の改善が図られる。

さらに、ヒータ２７の加熱方式として、例えば、高周波誘導加熱方式や輻射加熱方式などを採用した場合は、ルツボ２１に直接ヒータ２７を巻き付ける必要がなくなる。このため、ヒータ２７や配線２８なしでルツボユニットを構成することができる。したがって、ルツボユニットの低価格化を実現することができる。

また、上述した高周波誘導加熱方式や輻射加熱方式などを採用した場合は、図１１（Ａ），（Ｂ）に示すように、ルツボ２１とこれを加熱するヒータ２７を構造的に分離した状態でライン型蒸発源３を構成することができる。これにより、誘導加熱用又は輻射加熱用のヒータ２７のコイル部分に対してルツボ２１を抜き差しすることができる。このため、冷却ジャケット３４（下部ジャケット３４Ａ）の底部に出し入れ口４０を形成すれば、この出し入れ口４０を通してルツボ２１を抜き差しすることが可能になる。したがって、蒸発材料を充填するためのメンテナンス作業を大幅に簡易化し、作業時間の短縮を図ることができる。

本発明が適用される蒸着装置の概略構成例を示す模式図である。本発明の実施形態に係る蒸着装置の主要部を示す図である。ライン型蒸発源の移動形態例を示す図である。ライン型蒸発源の他の移動形態例を示す図である。一般的な蒸発源の構成例を示す図である。ライン型蒸発源の構成例を示す図（その１）である。ライン型蒸発源の構成例を示す図（その２）である。ライン型蒸発源の構成例を示す図（その３）である。ライン型蒸発源の構成例を示す図（その４）である。ルツボユニットの構成例を示す図である。ライン型蒸発源の構成例を示す図（その５）である。

符号の説明

１…蒸着装置、２…被処理基板、３…ライン型蒸発源、５…蒸発材料、１２，１５…レール部材、１３，１６…スライド部材、２１…ルツボ、２２…ノズル、２５，２６…フランジ部、２７…ヒータ、３０…熱電対、３６…隔壁、Ｈ…出し入れ口

Claims

所定の方向に並べて設けられた複数のライン型蒸発源と、
前記複数のライン型蒸発源を、当該ライン型蒸発源の並び方向及び／又は長手方向に個別に移動可能に支持する移動支持手段と
を備えることを特徴とする蒸着装置。
前記ライン型蒸発源の移動方式が自動式である
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
前記ライン型蒸発源は、蒸発材料を収容するルツボと、前記ルツボから蒸発する前記蒸発材料を噴き出すノズルとを含み、前記ルツボと前記ノズルを分離可能に構成してなる
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
前記ライン型蒸発源の長手方向の側面に前記ルツボの出し入れ口を設けてなる
ことを特徴とする請求項３記載の蒸着装置。
前記ルツボと前記ノズルとの間に隔壁を設けてなる
ことを特徴とする請求項３記載の蒸着装置。
前記ライン型蒸発源は、前記ルツボに収容された前記蒸発材料を加熱するための加熱源と、前記ルツボの温度を検出する温度検出手段とを有し、前記ルツボ、前記ノズル、前記加熱源及び前記温度検出手段を含むルツボユニットを、前記ノズルから分離可能に構成してなる
ことを特徴とする請求項３記載の蒸着装置。