JP2004263299A - 製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
本発明は、成膜室101内において、蒸着材料が封入された容器(ルツボ)106を複数個設置した蒸着源ホルダ104をX方向にのみ移動または往復させ、基板100を一定間隔で移動しながら蒸着を行うことを特徴とする。また、複数個設置した蒸着源ホルダ104において、隣りあう蒸着ホルダの膜厚計は交互に配置する。
【選択図】 図1
Description
基板に対向して配置した蒸着源から蒸着材料を蒸着させて前記基板上に成膜を行う成膜装置であり、
前記基板が配置される成膜室には、蒸着源と、該蒸着源をX方向に移動する手段と、基板をY方向に移動する手段とを有し、
前記蒸着源をX方向に移動させた後、前記基板をY方向に一定間隔で移動させることを繰り返して成膜を行うことを特徴とする成膜装置を有する製造装置である。
基板に対向して配置した蒸着源から蒸着材料を蒸着させて前記基板上に成膜を行う成膜装置であり、
前記成膜室には、基板をY方向に移動する手段を有し、
前記成膜室には設置室が連結されており、該設置室には、前記蒸着源と、該蒸着源を前記設置室から前記成膜室内にわたってX方向に移動する手段とを有し、
前記成膜室において前記蒸着源をX方向に移動させた後、前記基板をY方向に一定間隔で移動させることを繰り返して成膜を行うことを特徴とする成膜装置を有する製造装置である。
基板に対向して配置した複数の蒸着源から蒸着材料を蒸着させて前記基板上に成膜を行う成膜装置であり、
前記基板が配置される成膜室には、第1の蒸着源と、該第1の蒸着源をX方向に移動する第1の手段と、第2の蒸着源と、該第2の蒸着源をX方向に移動する第2の手段と、前記基板をY方向に移動する手段とを有し、
前記第1の蒸着源をX方向への移動速度と、前記第2の蒸着源のX方向への移動速度を異ならせ、前記基板をY方向に一定間隔で移動させることを繰り返して成膜を行うことを特徴とする成膜装置を有する製造装置である。
ロード室、該ロード室に連結された搬送室、及び該搬送室に連結された複数の成膜室とを有する製造装置であり、
前記基板が配置される成膜室には、複数の蒸着源と、該蒸着源をX方向に移動する手段と、基板をY方向に移動する手段とを有し、
前記基板をY方向に一定速度で移動させながら、前記複数の蒸着源をX方向に移動または往復させて成膜を行うことを特徴とする成膜装置を有する製造装置である。
図1に本発明の製造装置の上面図を示す。
ここでは図2に本発明の製造装置の他の一例を示す。
ここでは共蒸着を行う例を図5に示す。なお、図5に示す蒸着装置は、図1や図2とも異なっている。
本実施の形態では、容器をシャッターとして用いる例を図6に示す。
本実施の形態では、基板サイズが、320mm×400mm、370mm×470mm、400mm×500mm、550mm×650mm、600mm×720mm、620mm×730mm、680mm×880mm、730mm×920mm、1000mm×1200mm、1100mm×1250mm、1150mm×1300mmのような大面積基板に対して、効率よくEL材料を蒸着する方法を提供するため、大面積基板へ対応可能なマスクを図7に示す。
成膜に用いる反応ガスは、水素ガスと、炭化水素系のガス(例えばCH4、C2H2、C6H6など)とを用い、グロー放電によりイオン化し、負の自己バイアスがかかったカソードにイオンを加速衝突させて成膜する。
101:成膜室
104:蒸着源ホルダ
Claims (11)
- 基板に対向して配置した蒸着源から蒸着材料を蒸着させて前記基板上に成膜を行う成膜装置であり、
前記基板が配置される成膜室には、蒸着源と、該蒸着源をX方向に移動する手段と、基板をY方向に移動する手段とを有し、
前記蒸着源をX方向に移動させた後、前記基板をY方向に一定間隔で移動させることを繰り返して成膜を行うことを特徴とする成膜装置を有する製造装置。 - 基板に対向して配置した蒸着源から蒸着材料を蒸着させて前記基板上に成膜を行う成膜装置であり、
前記成膜室には、基板をY方向に移動する手段を有し、
前記成膜室には設置室が連結されており、該設置室には、前記蒸着源と、該蒸着源を前記設置室から前記成膜室内にわたってX方向に移動する手段とを有し、
前記成膜室において前記蒸着源をX方向に移動させた後、前記基板をY方向に一定間隔で移動させることを繰り返して成膜を行うことを特徴とする成膜装置を有する製造装置。 - 請求項2において、前記設置室において、蒸着材料が収納された容器を前記蒸着源に大気にふれることなく設置することを特徴とする成膜装置を有する製造装置。
- 請求項2または請求項3において、前記設置室には、膜厚計が設けられていることを特徴とする成膜装置を有する製造装置。
- 請求項2乃至4のいずれか一において、前記成膜室および前記設置室は、室内を真空にする真空排気処理室と連結され、且つ、材料ガスまたはクリーニングガスを導入しうる手段とを有していることを特徴とする製造装置。
- 請求項1乃至5のいずれか一において、前記蒸着源は複数設置されており、互いに平行に移動することを特徴とする製造装置。
- 基板に対向して配置した複数の蒸着源から蒸着材料を蒸着させて前記基板上に成膜を行う成膜装置であり、
前記基板が配置される成膜室には、第1の蒸着源と、該第1の蒸着源をX方向に移動する第1の手段と、第2の蒸着源と、該第2の蒸着源をX方向に移動する第2の手段と、前記基板をY方向に移動する手段とを有し、
前記第1の蒸着源をX方向への移動速度と、前記第2の蒸着源のX方向への移動速度を異ならせ、前記基板をY方向に一定間隔で移動させることを繰り返して成膜を行うことを特徴とする成膜装置を有する製造装置。 - 請求項7において、複数の蒸着源のうち、隣合う蒸着源の膜厚計は、前記基板の移動経路を挟んで交互に配置することを特徴とする成膜装置を有する製造装置。
- 請求項1乃至8のいずれか一において、前記蒸着源をX方向に往復させることを特徴とする成膜装置を有する製造装置。
- 請求項1乃至9のいずれか一において、成膜室内では、前記基板をY方向に往復させることを特徴とする成膜装置を有する製造装置。
- ロード室、該ロード室に連結された搬送室、及び該搬送室に連結された複数の成膜室とを有する製造装置であり、
前記基板が配置される成膜室には、複数の蒸着源と、該蒸着源をX方向に移動する手段と、基板をY方向に移動する手段とを有し、
前記基板をY方向に一定速度で移動させながら、前記複数の蒸着源をX方向に移動または往復させて成膜を行うことを特徴とする成膜装置を有する製造装置。
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