JP4515060B2 - 製造装置および有機化合物を含む層の作製方法 - Google Patents
製造装置および有機化合物を含む層の作製方法 Download PDFInfo
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Description
ロード室、該ロード室に連結された搬送室、及び該搬送室に連結された複数の成膜室と、該成膜室に連結された設置室を有する製造装置であって、
前記複数の成膜室は、前記成膜室内を真空にする第1の真空排気処理室と連結され、マスクと基板の位置あわせを行うアライメント手段と、基板保持手段と、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記蒸着源ホルダは蒸着材料が封入された容器と、前記容器を加熱する手段と、前記容器上に設けられたシャッターと、を有し、
前記設置室は、前記設置室内を真空にする第2の真空排気処理室と連結され、前記設置室には容器を加熱する手段と、前記成膜室内の前記蒸着源ホルダに前記容器を搬送する手段とを有することを特徴とする製造装置である。
ロード室、該ロード室に連結された搬送室、及び該搬送室に連結された複数の成膜室と、該成膜室に連結された設置室を有する製造装置であって、
前記複数の成膜室は、前記成膜室内を真空にする第1の真空排気処理室と連結され、マスクと基板の位置あわせを行うアライメント手段と、基板保持手段と、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記蒸着源ホルダは蒸着材料が封入された容器と、前記容器を加熱する手段と、前記容器を前記蒸着源ホルダから浮かすことで冷却する手段と、を有し、
前記設置室は、前記設置室内を真空にする第2の真空排気処理室と連結され、前記設置室には容器を加熱する手段と、前記成膜室内の前記蒸着源ホルダに前記容器を搬送する手段とを有することを特徴とする製造装置である。
有機化合物を含む層の作製方法であって、
有機化合物を含む材料が充填された容器を設置室に設置する工程と、
設置室を真空排気する工程と、
設置室で容器を温度Tまで加熱する工程と、
予め温度Tまで加熱された蒸着ホルダに加熱された前記容器を搬送する工程と、
基板を成膜室に搬入する工程と、
容器を温度Tに維持したまま設置室よりも成膜室内の真空度を上げて基板に蒸着を行う工程と、
基板を搬送する工程と、を有することを特徴とする有機化合物を含む層の作製方法である。
絶縁表面を有する基板上に陰極と、該陰極に接する有機化合物を含む積層と、該有機化合物を含む積層に接する陽極とを有する発光素子を備えた発光装置であって、
有機化合物を含む積層において、少なくとも2層以上の端面が一致しており、
前記発光素子は、第1の無機絶縁膜と、吸湿性、且つ、透明性を有する膜と、第2の無機絶縁膜との積層で覆われていることを特徴とする発光装置である。
絶縁表面を有する基板上に陰極と、該陰極に接する有機化合物を含む積層と、該有機化合物を含む積層に接する陽極とを有する発光素子を備えた発光装置であって、
有機化合物を含む積層のうち、下層の端面を覆うように上層が設けられており、
前記発光素子は、第1の無機絶縁膜と、吸湿性、且つ、透明性を有する膜と、第2の無機絶縁膜との積層で覆われていることを特徴とする発光装置である。
ここでは成膜室内をX方向またはY方向に移動させる蒸着ホルダを図1に説明する。
4個の容器にそれぞれ対角に2種類の材料を配置することが好ましい。
ここでは、シャッターレスとした蒸着ホルダの例を図3に示す。
ここでは1枚の基板を成膜する毎にクリーニングを行うフローを図6(A)に示す。
ここでは実施の形態1に示す成膜装置を用いて形成した本発明の発光装置を図10で説明する。
装置を用いれば、成膜中に真空アニールを行うことによって、混合領域における分子間をよりフィットさせることができる。したがって、さらに駆動電圧の低減、および輝度低下の防止が可能となる。また、成膜後のアニール(脱気)によって基板上に形成した有機化合物層中の酸素や水分などの不純物をさらに除去し、高密度、且つ、高純度な有機化合物層を形成することができる。
202:容器(ルツボ)
203:ヒータ
204:蒸着ホルダ
205:傾き調節ねじ
206:移動機構
Claims (8)
- ロード室、該ロード室に連結された搬送室、及び該搬送室に連結された複数の成膜室と、該成膜室に連結された設置室を有し、
前記成膜室は、前記成膜室内を真空にする第1の真空排気処理室と連結され、マスクと基板の位置あわせを行うアライメント手段と、基板保持手段と、蒸着源ホルダと、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、を有し、
前記蒸着源ホルダは、蒸着材料が封入された容器を加熱する手段と、前記容器上に設けられたシャッターと、を有し、
前記設置室は、前記設置室内を真空にする第2の真空排気処理室と連結され、前記設置室には前記容器を加熱する手段と、前記成膜室内の前記蒸着源ホルダに前記容器を搬送する手段とを有し、
前記蒸着源ホルダには、蒸着材料が封入された前記容器が複数備えられ、前記複数の容器には、それぞれ傾き調節ネジが設けられていることを特徴とする製造装置。 - ロード室、該ロード室に連結された搬送室、及び該搬送室に連結された複数の成膜室と、該成膜室に連結された設置室を有し、
前記成膜室は、前記成膜室内を真空にする第1の真空排気処理室と連結され、マスクと基板の位置あわせを行うアライメント手段と、基板保持手段と、蒸着源ホルダと、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、を有し、
前記蒸着源ホルダは、蒸着材料が封入された容器を加熱する手段と、前記容器を前記蒸着源ホルダから浮かすことで冷却する手段と、を有し、
前記設置室は、前記設置室内を真空にする第2の真空排気処理室と連結され、前記設置室には前記容器を加熱する手段と、前記成膜室内の前記蒸着源ホルダに前記容器を搬送する手段とを有することを特徴とする製造装置。 - 請求項1または請求項2において、前記搬送室には、平板ヒーターが間隔を開けて複数重ねて配置でき、且つ、複数の基板を真空加熱することができる処理室が連結されていることを特徴とする製造装置。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、前記蒸着源ホルダを移動させる手段は、前記蒸着源ホルダをあるピッチでX軸方向に移動させ、且つ、あるピッチでY軸方向に移動させる機能を有していることを特徴とする製造装置。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一において、前記成膜室には、蒸着マスクが設置され、
前記蒸着マスクは、タングステン、タンタル、クロム、ニッケル、モリブデンもしくはこれらの元素を含む合金、ステンレス、インコネル又はハステロイからなることを特徴とする製造装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一において、前記成膜室は、プラズマ発生手段を有することを特徴とする製造装置。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか一において、前記成膜室は、蒸着マスクをプラズマクリーニングする手段を有することを特徴とする製造装置。
- 有機化合物を含む層の作製方法であって、
有機化合物を含む材料が充填された容器を設置室に設置し、
前記設置室を真空排気し、
前記設置室で前記容器を所定の温度まで加熱し、
予め前記容器と同じ温度まで加熱された蒸着源ホルダに加熱された前記容器を搬送し、
基板を成膜室に搬入し、
前記容器を前記所定の温度に維持したまま前記設置室よりも前記成膜室内の真空度を上げて前記基板に蒸着を行い、
前記容器を前記蒸着源ホルダから浮かすことにより蒸着を止めることを特徴とする有機化合物を含む層の作製方法。
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