CN112626462B - 一种蒸镀源供料装置及蒸镀源供料方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及蒸镀技术领域，公开一种蒸镀源供料装置及蒸镀源供料方法。其中蒸镀源供料装置包括蒸镀组件、驱动组件、预蒸探头、蒸镀探头和控制模块，蒸镀组件包括用于蒸镀的工作位和用于预蒸的等候位，工作位和等候位上均设置有加热组件，坩埚置于加热组件内，位于等候位的加热组件能对其上的坩埚内的材料预蒸至预设蒸镀速率；驱动组件用于驱动工作位和等候位上的加热组件调换位置；预蒸探头用于检测等候位上材料的蒸镀速率；蒸镀探头用于检测工作位上材料的蒸镀速率；控制模块用于根据预设指令或操作指令控制蒸镀组件、驱动组件、预蒸探头或蒸镀探头执行预设动作。本发明的蒸镀组件能连续蒸镀，提高了蒸镀效率。

Description

一种蒸镀源供料装置及蒸镀源供料方法

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀源供料装置及蒸镀源供料方法。

背景技术

有机薄膜电致发光显示器件(OLED)，是有机半导体材料在电场作用下发光的一项新兴技术，近年来得到了迅速发展。OLED照明产品的低能耗、环保、超薄、高色彩饱和度、面光源等优点，使其成为未来照明产品发展的主流趋势之一。现如今OLED照明器件主要通过蒸发镀膜的方法制备，在实际生产中，因为其要在高真空条件下生产，并且具有多道蒸镀工艺，现如今产线方案主要采用团簇式(Cluster)结构，即多个八角腔体相连，每个八角腔体的各个边上安装不同功能的蒸镀腔体，处于中间的八角腔体作为传输用，内部安装有传输用机械手，所蒸镀的产品(玻璃基片)依次通过每个八角腔体。

现有技术中，因团簇式结构的特点，一般采用点蒸发源。但是由于整个产线较长，因而要求蒸镀时间较长，需要有机、金属束源中的材料较多，为盛放较多的材料，一般需要点蒸发源的坩埚较大，而坩埚较大则会引起蒸镀到基板上的材料均匀性变差；另外，蒸镀过程中，通常需要较多时间对坩埚进行预热，降低了蒸镀效率。

所以，亟需一种蒸镀源供料装置，以解决上述问题。

发明内容

基于以上所述，本发明的目的在于提供一种蒸镀源供料装置及蒸镀机，能实现连续蒸镀，蒸镀效率较高。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种蒸镀源供料装置，包括：

蒸镀组件，包括用于蒸镀的工作位和用于预蒸的等候位，所述工作位和所述等候位上均设置有加热组件，坩埚置于所述加热组件内，位于所述等候位的所述加热组件能对其上的所述坩埚内的材料预蒸至预设蒸镀速率；

驱动组件，用于驱动所述工作位和所述等候位上的所述加热组件调换位置；

预蒸探头，用于检测所述等候位上材料的蒸镀速率；

蒸镀探头，用于检测所述工作位上材料的蒸镀速率；

控制模块，用于根据预设指令或操作指令控制所述蒸镀组件、所述驱动组件、所述预蒸探头或所述蒸镀探头执行预设动作。

作为一种蒸镀源供料装置的优选方案，所述蒸镀源供料装置还包括供料组件和取放组件；

所述供料组件包括存储架，所述存储架上设置多个放置位，用于放置盛放材料或蒸镀完成的所述坩埚；

所述取放组件能在所述放置位和所述等候位之间取放所述坩埚。

作为一种蒸镀源供料装置的优选方案，所述驱动组件包括第一驱动和设置于所述第一驱动的驱动端的底座，所述加热组件设置在所述底座上，所述第一驱动能通过转动所述底座，将所述工作位的所述加热组件和所述等候位的所述加热组件调换位置。

作为一种蒸镀源供料装置的优选方案，所述蒸镀源供料装置还包括蒸镀腔、供料腔和活动挡板，所述工作位位于所述蒸镀腔内，所述等候位位于所述供料腔内，所述活动挡板位于所述工作位和所述等候位之间，且并被配置为能被所述驱动组件驱动，以将达到预设蒸镀速率的所述坩埚从所述供料腔转动到所述蒸镀腔，同时将蒸镀完成的所述坩埚转动到所述供料腔。

作为一种蒸镀源供料装置的优选方案，所述蒸镀腔和所述供料腔之间设置有固定挡板，所述固定挡板上设置有容置所述活动挡板的开口。

作为一种蒸镀源供料装置的优选方案，所述供料组件还包括第二驱动和设置于所述第二驱动的驱动端的盖板，所述第二驱动能驱动所述盖板选择性盖设于所述坩埚上。

作为一种蒸镀源供料装置的优选方案，所述供料组件还包括第三驱动，所述存储架设置于所述第三驱动的驱动端，所述第三驱动能驱动所述存储架移动，以使其中一个所述放置位正对所述取放组件。

作为一种蒸镀源供料装置的优选方案，所述取放组件包括第四驱动、第五驱动和夹具，所述第四驱动能驱动所述夹具上下移动以取放所述坩埚，所述第五驱动能驱动所述夹具转动以在所述放置位和所述等候位之间移动。

一种蒸镀源供料方法，采用以上任一方案所述的蒸镀源供料装置，蒸镀步骤如下：

当工作位的坩埚内材料达到第一预设余量时，等候位的加热组件对位于所述等候位的所述坩埚进行预蒸；

当预蒸探头检测到所述等候位的所述坩埚稳定到预设蒸镀速率，且所述工作位的所述坩埚内材料达到第二预设余量时，所述工作位的所述加热组件和所述坩埚与所述等候位上的所述加热组件和所述坩埚更换位置，采用预蒸稳定到蒸镀速率的所述坩埚进行接力蒸镀。

作为一种蒸镀源供料方法的优选方案，还包括如下步骤：

在采用所述工作位上的所述坩埚进行蒸镀过程中，取放组件能将材料达到第二预设余量的所述坩埚取下并置于供料组件的放置位上，并将另一所述放置位的一盛放材料的所述坩埚放置于所述等候位上。

本发明的有益效果为：

通过在蒸镀组件上设置用于蒸镀的工作位和用于预蒸的等候位，并在工作位和等候位上均设置加热组件，通过等候位的加热组件对位于等候位的坩埚进行预蒸至预设蒸镀速率，然后在通过驱动组件，将工作位和等候位的加热组件调换位置，采用等候位提供已经预蒸至预设蒸镀速率的坩埚进行接力蒸镀，使得工作位能实现连续蒸镀，保证了蒸镀效率；其中蒸镀源供料装置还包括预蒸探头和蒸镀探头，分别用于实施检测等候位和工作位的材料的蒸镀速率，控制模块则用于根据预设指令或操作指令控制蒸镀组件、驱动组件、预蒸探头和蒸镀探头执行预设动作，以实现蒸镀源供料装置的连续蒸镀，并提高蒸镀效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本发明具体实施方式提供的蒸镀源供料装置的示意图；

图2是本发明具体实施方式提供的蒸镀源供料装置的供料组件的示意图；

图3是本发明具体实施方式提供的蒸镀源供料装置的蒸镀组件的示意图；

图4是本发明具体实施方式提供的蒸镀机的俯视图；

图5是本发明具体实施方式提供的蒸镀机隐藏移动装置的示意图。

图中：

1、供料组件；11、存储架；12、放置位；13、坩埚；14、第二驱动；15、盖板；16、第三驱动；

2、取放组件；21、夹具；

3、蒸镀组件；31、工作位；32、等候位；33、第一驱动；34、活动挡板； 35、加热组件；

41、预蒸探头；42、蒸镀探头；

100、移动装置；110、蒸镀腔；120、供料腔；130、固定挡板。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本发明实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1-图5所示，本实施方式提供一种蒸镀源供料装置，该蒸镀源供料装置包括蒸镀组件3、驱动组件、预蒸探头41、蒸镀探头42和控制模块，蒸镀组件3包括用于蒸镀的工作位31和用于预蒸的等候位32，工作位31和等候位32 上均设置有加热组件35，坩埚13置于加热组件35内，位于等候位32的加热组件35能对其上的坩埚13内的材料预蒸至预设蒸镀速率；驱动组件用于驱动工作位31和等候位32上的加热组件35调换位置；预蒸探头41用于检测等候位 32上材料的蒸镀速率；蒸镀探头42用于检测工作位31上材料的蒸镀速率；控制模块用于根据预设指令或操作指令控制蒸镀组件3、驱动组件、预蒸探头41 或蒸镀探头42执行预设动作。

通过在蒸镀组件3上设置用于蒸镀的工作位31和用于预蒸的等候位32，并在工作位31和等候位32上均设置加热组件35，通过等候位32的加热组件35 对位于等候位32的坩埚13进行预蒸至预设蒸镀速率，然后在通过驱动组件，将工作位31和等候位32的加热组件35调换位置，采用等候位32提供已经预蒸至预设蒸镀速率的坩埚13进行接力蒸镀，使得工作位31能实现连续蒸镀，保证了蒸镀效率；其中蒸镀源供料装置还包括预蒸探头41和蒸镀探头42，分别用于实施检测等候位32和工作位31的材料的蒸镀速率，控制模块则用于根据预设指令或操作指令控制蒸镀组件3、驱动组件、预蒸探头41和蒸镀探头42执行预设动作，以实现蒸镀源供料装置的连续蒸镀，并提高蒸镀效率。

值得说明的是，工作位31指的是蒸镀组件3上用于蒸镀的一位置，等候位 32指的是蒸镀组件3上用于提供预蒸至预设蒸镀速率坩埚13的另一位置，该两个位置上均设置有加热组件35，加热组件35用于对放置于其上的坩埚13进行加热。上述调换实际上是将工作位31上的加热组件35和坩埚13与等候位32 上的加热组件35和坩埚13进行调换，而工作位31和等候位32的位置是一定的，即始终是调换至工作位31的加热组件35和坩埚13用于蒸镀，而位于等候位32的加热组件35和坩埚13用于为工作位31提供预蒸至预设蒸镀速率的坩埚13。

具体地，蒸镀源供料装置还包括供料组件1和取放组件2，供料组件1包括存储架11，存储架11上设置多个放置位12，用于放置盛放有蒸镀材料或蒸镀完成的坩埚13；取放组件2能在放置位12和等候位32之间取放坩埚13，以将放置位12上的盛放有蒸镀材料坩埚13取下放置到等候位32，或将由工作位31 调换至等候位32的蒸镀完成的坩埚13取下放置到放置位12。

具体地，蒸镀源供料装置还包括蒸镀腔110和供料腔120，其中供料组件1、取放组件2和等候位32均位于供料腔120内，用于为处于蒸镀腔110的工作位 31提供预蒸至预设蒸镀速率的坩埚13，同时有利于避免在蒸镀过程中蒸镀材料在供料组件1、取放组件2和等候位32上沉积，影响其正常工作。示例性地，蒸镀腔110和供料腔120通过固定挡板130实现分割。

进一步地，驱动组件包括第一驱动33和设置于第一驱动33的驱动端的底座，底座上设置有加热组件35，加热组件35用于对放置其上的坩埚13进行蒸镀，坩埚13置于加热组件35内，示例性地，加热组件35为束源。第一驱动33 能驱动工作位31的加热组件35和等候位32的加热组件35调换位置，以将工作位31上已经蒸镀完成的加热组件35和坩埚13调换至等候位32，同时，将等候位32上已经预蒸至蒸镀速率的加热组件35和坩埚13调换至工作位31。

为避免工作位31蒸镀过程中蒸镀材料对等候位32造成影响，蒸镀源供料装置还设置有活动挡板34，活动挡板34位于工作位31的加热组件35和等候位 32上的加热组件35之间，并被配置为能被驱动组件33驱动，以将达到预设蒸镀速率的坩埚13从供料腔120转动到蒸镀腔110，同时将蒸镀完成的坩埚13转动到供料腔120。具体地，活动挡板34设置于底座上，当更换工作位31和等候位32之间的加热组件35和坩埚13时，活动挡板34可随底座一起转动。

优选地，蒸镀腔110和供料腔120之间的固定挡板130上设置有容置活动挡板34的开口，以便于底座和活动挡板34转动不发生干涉。

具体地，为保证存储架11上的坩埚13内蒸镀材料的清洁，供料组件1还包括盖板15，盖板15能选择性盖设于坩埚13上；为实现盖板15选择性盖设于坩埚13上，供料组件1还包括第二驱动14，盖板15设置于第二驱动14的驱动端，当需要在存储架11上取出或放置坩埚13时，第二驱动14能驱动盖板15 上升，避免盖板15与坩埚13发生干涉，当完成取出和放置时，第二驱动14驱动盖板15下降，并盖设至坩埚13上，以避免杂质进入坩埚13，污染蒸镀材料。

本实施例中，为实现存储架11上不同的放置位12正对取放组件2，供料组件1还包括第三驱动16，存储架11设置于第三驱动16的驱动端。可选地，放置位12沿存储架11的周向间隔设置，第三驱动16能驱动存储架11转动，第三驱动16每带动存储架11旋转某一预设角度时，则会有一坩埚13正对取放组件2，以便于取放组件2对该坩埚13进行取放。相应地，盖板15也设置为圆形，并在存储架11转动之前上升，在取放坩埚13后下降。

进一步地，取放组件2包括第四驱动、第五驱动和夹具21，夹具21用于对坩埚13进行夹持，第四驱动能驱动夹具21上下移动以在存储架11的放置位12 或等候位32的加热组件35上取放坩埚13，第五驱动能驱动夹具21转动以在放置位12和等候位32之间移动。

本实施方式还公开一种蒸镀源供料方法，采用如上所述的蒸镀源供料装置，蒸镀步骤如下：

当工作位31的坩埚13内材料达到第一预设余量时，等候位32的加热组件 35对位于等候位32的坩埚13进行预蒸；当预蒸探头41检测到等候位32的坩埚13稳定到预设蒸镀速率，且工作位31的坩埚13内材料达到第二预设余量时，工作位31的加热组件35和坩埚13与等候位32上的加热组件35和坩埚13更换位置，采用预蒸稳定到蒸镀速率的坩埚13进行接力蒸镀。

值得说明的是，第一预设余量可以根据工作位31的蒸镀速度和等候位32 的预蒸速度进行设定，使工作位31蒸镀到第一预设余量的蒸镀材料后，等候位 32的加热组件35刚好将坩埚13预蒸并稳定至预设蒸镀速率，一方面能在更换后能实现连续蒸镀，另一方面可以利用资源。

当预蒸探头41检测到等候位32的坩埚13达到预设蒸镀速率，且蒸镀探头 42检测到工作位31的坩埚13内材料达到第二预设余量时，工作位31和等候位 32上的加热组件35以及坩埚13更换位置，采用预蒸稳定到预设蒸镀速率的坩埚13进行接力蒸镀。达到预蒸速率的坩埚13能实现连续蒸镀，提高了工作效率，第二预设余量指无法继续进行蒸镀的蒸镀材料的位置，有利于提高对蒸镀材料的利用率。上述第一预设余量和第二预设余量可以通过积分测量或材料总量积分预估等方式获得，在此不做具体限定。

进一步地，等候位32的盛放材料的坩埚13是由取放组件2在存储架11的放置位12取出并放置于等候位32的。具体步骤包括：第二驱动14驱动盖板15 上升，第五驱动驱动夹具21旋转至放置位12处，第四驱动驱动夹具21夹持坩埚13上升，然后第五驱动驱动夹具21反向旋转将夹具21和坩埚13旋转至等候位32处，第四驱动驱动夹具21和坩埚13下降至等候位32的加热组件35中。值得说明的是，在取放组件2在放置位12取出坩埚13后，第二驱动14驱动盖板15下降，以保证其余坩埚13内的蒸镀材料的清洁。

具体地，转动至等候位的材料达到第二预设余量的坩埚13也是由组件2取下并放置于等候位32的放置位12的。具体步骤包括：第五驱动驱动夹具21旋转至等候位32，第四驱动驱动夹具21上升，将等候位32加热组件35上的坩埚 13取下，然后第五驱动驱动夹具21和坩埚13反向旋转，此时第二驱动14驱动盖板15上升，以便于夹具21将坩埚13放回至放置位12，随后再驱动盖板15 下降。

优选地，为便于下一次的更换，最后，第三驱动16驱动底座旋转某一预设角度，以将另一盛满蒸镀材料的坩埚13旋转至正对取放组件2的放置位12，便于下一次更换。

上述蒸镀源供料装置和蒸镀源供料方法能应用于蒸镀机中，蒸镀机包括两个以上上述的蒸镀源供料装置，以用于不同材料或不同镀层的蒸镀。另外，蒸镀机还包括移动装置100，移动装置100设置于蒸镀腔110内，能将待蒸镀零件依次经过在蒸镀源供料装置的工作位31。

示例性地，蒸镀机包括四个上述的蒸镀源供料装置，且四个蒸镀源供料装置设置于蒸镀腔110的四角，移动装置100设置于蒸镀腔110的中间，且距每个蒸镀源供料装置的距离相同，以便于在每个工作位31之间取放待蒸镀零件。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

Claims (9)

1.一种蒸镀源供料装置，其特征在于，包括：

蒸镀组件(3)，包括用于蒸镀的工作位(31)和用于预蒸的等候位(32)，所述工作位(31)和所述等候位(32)上均设置有加热组件(35)，坩埚(13)置于所述加热组件(35)内，位于所述等候位(32)的所述加热组件(35)能对其上的所述坩埚(13)内的材料预蒸至预设蒸镀速率；

驱动组件，用于驱动所述工作位(31)和所述等候位(32)上的所述加热组件(35)调换位置；

预蒸探头(41)，用于检测所述等候位(32)上材料的蒸镀速率；

蒸镀探头(42)，用于检测所述工作位(31)上材料的蒸镀速率；

控制模块，用于根据预设指令或操作指令控制所述蒸镀组件(3)、所述驱动组件、所述预蒸探头(41)或所述蒸镀探头(42)执行预设动作；

所述蒸镀源供料装置还包括供料组件(1)和取放组件(2)；

所述供料组件(1)包括存储架(11)，所述存储架(11)上设置多个放置位(12)，用于放置盛放材料或蒸镀完成的所述坩埚(13)；

所述取放组件(2)能在所述放置位(12)和所述等候位(32)之间取放所述坩埚(13)。

2.根据权利要求1所述的蒸镀源供料装置，其特征在于，所述驱动组件包括第一驱动(33)和设置于所述第一驱动(33)的驱动端的底座，所述加热组件(35)设置在所述底座上，所述第一驱动(33)能通过转动所述底座，将所述工作位(31)的所述加热组件(35)和所述等候位(32)的所述加热组件(35)调换位置。

3.根据权利要求1所述的蒸镀源供料装置，其特征在于，所述蒸镀源供料装置还包括蒸镀腔(110)、供料腔(120)和活动挡板(34)，所述工作位(31)位于所述蒸镀腔(110)内，所述等候位(32)位于所述供料腔(120)内，所述活动挡板(34)位于所述工作位(31)和所述等候位(32)之间，且并被配置为能被所述驱动组件驱动，以将达到预设蒸镀速率的所述坩埚(13)从所述供料腔(120)转动到所述蒸镀腔(110)，同时将蒸镀完成的所述坩埚(13)转动到所述供料腔(120)。

4.根据权利要求3所述的蒸镀源供料装置，其特征在于，所述蒸镀腔(110)和所述供料腔(120)之间设置有固定挡板(130)，所述固定挡板(130)上设置有容置所述活动挡板(34)的开口。

5.根据权利要求1所述的蒸镀源供料装置，其特征在于，所述供料组件(1)还包括第二驱动(14)和设置于所述第二驱动(14)的驱动端的盖板(15)，所述第二驱动(14)能驱动所述盖板(15)选择性盖设于所述坩埚(13)上。

6.根据权利要求1所述的蒸镀源供料装置，其特征在于，所述供料组件(1)还包括第三驱动(16)，所述存储架(11)设置于所述第三驱动(16)的驱动端，所述第三驱动(16)能驱动所述存储架(11)移动，以使其中一个所述放置位(12)正对所述取放组件(2)。

7.根据权利要求1所述的蒸镀源供料装置，其特征在于，所述取放组件(2)包括第四驱动、第五驱动和夹具(21)，所述第四驱动能驱动所述夹具(21)上下移动以取放所述坩埚(13)，所述第五驱动能驱动所述夹具(21)转动以在所述放置位(12)和所述等候位(32)之间移动。

8.一种蒸镀源供料方法，其特征在于，采用如权利要求1-7任一项所述的蒸镀源供料装置，蒸镀步骤如下：

当工作位(31)的坩埚(13)内材料达到第一预设余量时，等候位(32)的加热组件(35)对位于所述等候位(32)的所述坩埚(13)进行预蒸；

当预蒸探头(41)检测到所述等候位(32)的所述坩埚(13)稳定到预设蒸镀速率，且所述工作位(31)的所述坩埚(13)内材料达到第二预设余量时，所述工作位(31)的所述加热组件(35)和所述坩埚(13)与所述等候位(32)上的所述加热组件(35)和所述坩埚(13)更换位置，采用预蒸稳定到蒸镀速率的所述坩埚(13)进行接力蒸镀_。

9.根据权利要求8所述的蒸镀源供料方法，其特征在于，还包括如下步骤：

在采用所述工作位(31)上的所述坩埚(13)进行蒸镀过程中，取放组件(2)能将材料达到第二预设余量的所述坩埚(13)取下并置于所述供料组件(1)的放置位(12)上，并将另一所述放置位(12)的一盛放材料的所述坩埚(13)放置于所述等候位(32)上。

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