CN104789930A - 蒸镀设备及采用该蒸镀设备的操作方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种蒸镀设备及采用该蒸镀设备的操作方法。蒸镀设备包括具有一内部空间的主腔体和设置于主腔体下方的蒸镀机构，蒸镀机构包括至少两个坩埚容纳腔体；在第一状态，第一坩埚容纳腔体位于蒸镀执行位置，且与所述主腔体之间连通，构成真空空间，所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程；在第二状态，在真空环境下，所述第一坩埚容纳腔体移离所述蒸镀执行位置，第二坩埚容纳腔体移动至所述蒸镀执行位置处，且与所述主腔体之间连通。通过设置至少两个坩埚容纳腔体，能够解决现有技术的蒸镀设备在重新添加材料时破真空对内部蒸镀环境造成污染以及使OLED显示器的制作效率较低的问题。

Description

蒸镀设备及采用该蒸镀设备的操作方法

技术领域

本发明涉及显示器制造领域，尤其是指一种蒸镀设备及采用该蒸镀设备的操作方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示器以其色彩鲜艳、功耗低、产品薄等诸多优点在市场上受到了广大消费者的喜爱。目前对于OLED显示器的制作，需要在高真空腔室中设置有机材料的坩埚，加热坩埚蒸镀有机材料，形成OLED显示器的有机薄膜，因此OLED显示器中蒸镀是必不可少的制程。

现有技术的蒸镀设备中，在蒸镀过程每次材料用尽后都需要破真空，打开真空腔室重新添加材料，该种方式使OLED显示器的制作过程耽误时间，且容易造成污染，因此有必要对用于OLED显示器制作的蒸镀设备进行改进，以达到降低蒸镀制作过程污染的问题。

发明内容

本发明技术方案的目的是提供一种蒸镀设备及采用该蒸镀设备的操作方法，用于解决现有技术的蒸镀设备在重新添加材料时破真空对内部蒸镀环境造成污染以及使OLED显示器的制作效率较低的问题。

本发明提供一种蒸镀设备，包括具有一内部空间的主腔体和设置于主腔体下方的蒸镀机构，其中，所述蒸镀机构包括至少两个坩埚容纳腔体；

其中，所述蒸镀机构包括第一状态和第二状态；在第一状态，第一坩埚容纳腔体位于蒸镀执行位置，且与所述主腔体之间连通，构成真空空间，所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程；在第二状态，在真空环境下，所述第一坩埚容纳腔体移离所述蒸镀执行位置，第二坩埚容纳腔体移动至所述蒸镀执行位置处，且与所述主腔体之间连通。

优选地，上述所述的蒸镀设备，所述蒸镀机构还包括一个外围腔体，各个所述坩埚容纳腔体均设置于所述外围腔体中；所述蒸镀机构在所述第二状态，所述外围腔体内形成真空空间。

优选地，上述所述的蒸镀设备，所述蒸镀机构还包括具有容纳空间的第一安装支架，各个所述坩埚容纳腔体设置于所述第一安装支架的容纳空间中，且所述坩埚容纳腔体相组合的形状与所述容纳空间的形状相对应。

优选地，上述所述的蒸镀设备，所述蒸镀机构还包括驱动结构，与所述第一安装支架连接，用于使所述第一安装支架进行上、下升降运动以及旋转运动；通过驱动所述第一安装支架运动，在所述第二状态，使所述第一坩埚容纳腔体移离所述蒸镀执行位置，所述第二坩埚容纳腔体移动至所述蒸镀执行位置处。

优选地，上述所述的蒸镀设备，每一所述坩埚容纳腔体的外壁均包覆有密封材料。

优选地，上述所述的蒸镀设备，所述蒸镀机构还包括蒸镀加热部件，所述蒸镀加热部件固定设置于所述主腔体的侧壁上，且所述主腔体的侧壁上、所述蒸镀加热部件的一侧设置有能够开闭的通孔结构；所述坩埚容纳腔体朝向所述主腔体的一侧设置有开口；所述坩埚容纳腔体位于所述蒸镀执行位置，所述开口与所述主腔体的侧壁紧密贴合，所述通孔结构与所述开口相对，所述坩埚容纳腔体通过呈打开状态的所述通孔结构与所述主腔体连通，所述蒸镀加热部件通过所述开口插设进入所述坩埚容纳腔体的内部。

优选地，上述所述的蒸镀设备，所述外围腔体与所述主腔体的侧壁贴合连接，且所述主腔体的侧壁的一部分构成为所述外围腔体在其中一侧面的侧壁。

优选地，上述所述的蒸镀设备，每一所述坩埚容纳腔体的侧壁上设置有能够开闭的第一开口结构，通过所述第一开口结构的打开状态，蒸镀用坩埚能够进入所述坩埚容纳腔体的内部或者能够从所述坩埚容纳腔体的内部移出。

优选地，上述所述的蒸镀设备，所述外围腔体的侧壁上设置有能够开闭的第二开口结构，所述第二开口结构呈关闭状态，所述外围腔体的内部形成封闭空间；所述第二开口结构呈打开状态，所述坩埚容纳腔体露出。

优选地，上述所述的蒸镀设备，所述蒸镀设备还包括：

第一抽真空结构，用于对所述主腔体和与所述主腔体连通的所述坩埚容纳腔体抽取真空；

第二抽真空结构，用于对所述外围腔体抽取真空。

优选地，上述所述的蒸镀设备，所述蒸镀设备包括多个所述蒸镀机构，各个所述蒸镀机构设置在所述主腔体的下方，且围绕所述主腔体在竖直方向的轴心均匀分布。

优选地，上述所述的蒸镀设备，所述蒸镀设备还包括具有容纳空间的第二安装支架，设置于所述主腔体下方且与所述主腔体连接，各个所述蒸镀机构均安装设置于所述第二安装支架的容纳空间内。

本发明还提供一种采用以上任一项所述蒸镀设备的操作方法，其中，所述操作方法包括：

将所述第一坩埚容纳腔体移动至所述蒸镀执行位置，且使所述第一坩埚容纳腔体与所述主腔体相连通；

所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程；

所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料耗尽时，在真空环境下，所述第一坩埚容纳腔体移离所述蒸镀执行位置，所述第二坩埚容纳腔体移动至所述蒸镀执行位置处，且与所述主腔体之间连通；

所述第二坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程。

优选地，上述所述的操作方法，所述第二坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程的步骤中，所述操作方法还包括：

将所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚取出，重新添加材料后放回所述第一坩埚容纳腔体。

优选地，上述所述的操作方法，在所述第二坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程执行完毕后，所述操作方法还包括：

将所述第一坩埚容纳腔体和所述第二坩埚容纳腔体中的坩埚分别取出，重新添加材料后分别放回所述第一坩埚容纳腔体和所述第二坩埚容纳腔体。

优选地，上述所述的操作方法，所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程的步骤具体包括：

对所述主腔体抽取真空，使所述主腔体和所述第一坩埚容纳腔体均达到预设真空度；

对所述第一坩埚容纳腔体内的坩埚进行预热，预热达到预设温度时，执行蒸镀过程，直到坩埚内的材料用尽。

本发明具体实施例上述技术方案中的至少一个具有以下有益效果：

所述蒸镀设备通过设置至少两个坩埚容纳腔体，在第一坩埚容纳腔体内的坩埚蒸镀完成之后，在真空环境下可以直接将第二坩埚容纳腔体移动至蒸镀执行位置进行蒸镀，该过程无需破真空更换材料，既能够达到节约时间又能够保证不会造成污染的技术效果。

附图说明

图1表示本发明实施例所述蒸镀设备的部分剖面结构示意图；

图2表示本发明实施例所述蒸镀设备的主视剖面结构示意图；

图3表示本发明实施例所述蒸镀设备的主视结构示意图；

图4表示本发明实施例所述蒸镀设备的坩埚容纳腔体的主视结构示意图；

图5表示本发明实施例所述蒸镀设备的坩埚容纳腔体的剖视结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例对本发明进行详细描述。

本发明实施例所述蒸镀设备，包括具有一内部空间的主腔体和设置于主腔体下方的蒸镀机构，其中所述蒸镀机构包括至少两个坩埚容纳腔体；

其中，所述蒸镀机构包括第一状态和第二状态；在第一状态，第一坩埚容纳腔体位于蒸镀执行位置，且与所述主腔体之间连通，构成真空空间，所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程；在第二状态，在真空环境下，所述第一坩埚容纳腔体移离所述蒸镀执行位置，所述第二坩埚容纳腔体移动至所述蒸镀执行位置处，且与所述主腔体之间连通。

本发明上述实施例的蒸镀设备，通过设置至少两个坩埚容纳腔体，在第一坩埚容纳腔体内的坩埚蒸镀完成之后，在真空环境下可以直接将第二坩埚容纳腔体移动至蒸镀执行位置进行蒸镀，该过程无需破真空更换材料，既能够达到节约时间又能够保证不会造成污染的技术效果。

参阅图1本发明实施例所述蒸镀设备的部分结构示意图。本发明实施例中，所述蒸镀设备包括至少两个坩埚容纳腔体10，且各个坩埚容纳腔体10之间为相互隔离，组合后设置于一外围腔体20中。其中各个坩埚容纳腔体10中设置有坩埚夹持结构1，用于夹持蒸镀用坩埚。该坩埚夹持结构1为蒸镀设备中所使用的通常结构，且坩埚夹持结构1的具体结构并非为本发明的改进重点，在此不详细描述。

另外，本发明中，所提及的“坩埚容纳腔体”、“外围腔体”和“主腔体”均形成为内部具有腔的结构，包括腔和形成腔的壳体结构。

采用上述组合结构的坩埚容纳腔体10和外围腔体20，当第一坩埚容纳腔体10中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程结合后，可以对外围腔体20执行抽真空，在外围腔体20所构成的真空环境下，第一坩埚容纳腔体移离蒸镀执行位置，第二坩埚容纳腔体移动至蒸镀执行位置，继续对第二坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程。因此在第一坩埚容纳腔体内的材料用尽后，不需要破真空重新添加材料，即能够执行下一个的蒸镀过程，而且不需要对主腔室的真空环境进行破坏，能够达到节约时间、提高效率以及降低污染的效果。

当然，为了实现在坩埚容纳腔体的转换过程中，不需要破真空重新添加材料的目的，坩埚容纳腔体的具体设置方式并不限于上述组合后设置于一个外围腔体的方式，也可以由各个独立的坩埚容纳腔体分别设置于一个可抽真空腔体的方式实现。

另外，参阅图2本发明实施例所述蒸镀设备的主视剖面示意图和图3本发明实施例所述蒸镀设备的俯视结构示意图；本发明实施例所述蒸镀设备包括主腔体100和设置于主腔体100下方的多个蒸镀机构200。各个蒸镀机构200设置在主腔体100的下方，且围绕主腔体100在竖直方向的轴心均匀分布。参阅图3所示，本发明实施例中，围绕主腔体100在竖直方向的轴心，均匀布设有六个蒸镀机构200。通过设置多个蒸镀机构200，可以在同一蒸镀设备上同一时间执行多个蒸镀过程。

结合图1、图2和图4，每个蒸镀机构200包括外围腔体20和设置于外围腔体20内的多个坩埚容纳腔体10。外围腔体20与主腔体100的侧壁贴合连接，且主腔体100的侧壁的一部分构成为外围腔体20在其中一侧面的侧壁。

另外，本发明实施例中，坩埚容纳腔体10设置的数量为四个，且坩埚容纳腔体10设置于具有容纳空间的第一安装支架11上，各个坩埚容纳腔体10相组合设置于第一安装支架11的容纳空间中，相组合的形状与第一安装支架11的容纳空间的形状相对应。

参阅图4，本发明实施例中，第一安装支架11的容纳空间形成为圆柱体形状，四个坩埚容纳腔体10在水平面所在平面内均匀布设，在水平面方向的截面分别形成为扇形。

进一步，结合图1和图2，所述蒸镀机构200还包括驱动结构，与第一安装支架11连接，用于使第一安装支架11进行上、下升降运动以及旋转运动。通过驱动第一安装支架11运动，在蒸镀机构200的第二状态，使第一坩埚容纳腔体移离蒸镀执行位置，第二坩埚容纳腔体移动至蒸镀执行位置处。

具体地，用于驱动第一安装支架11运行的驱动结构可以包括升降结构和旋转结构，如图2所示，升降结构竖直设置于外围腔体20的底面；旋转结构固定设置于升降结构的上方，且旋转结构之上固定设置第一安装支架11；通过旋转结构使第一安装支架11绕轴心转动，从而使第一安装支架11中的不同坩埚容纳腔体10能够绕轴心转动；通过升降结构带动旋转结构和第一安装支架11上下移动，从而使坩埚容纳腔体10距离外围腔体20的底面的高度变化，同时距离主腔体100的侧壁的距离变化。

优选地，本发明实施例中，如图4所示，每一所述坩埚容纳腔体10的四周外壁均包覆有密封材料12，通过密封材料12的设置保证坩埚容纳腔体10的密封性。

另外，根据图4和图5，每一坩埚容纳腔体10的侧壁上设置有能够开闭的第一开口结构，通过第一开口结构的打开状态，蒸镀用坩埚能够进入坩埚容纳腔体10的内部或者能够从坩埚容纳腔体10的内部移出。本发明实施例中，第一开口结构包括设置于坩埚容纳腔体10侧壁上的开口131和开关门132；开关门132盖设于开口131处，并能够相对于开口131转动，利用开关门132的相对转动，使开关门132盖设于开口131处，开口131被封闭；或者使开口131露出，坩埚容纳腔体10的内部与外围腔体20相连通。

基于以上，外围腔体20的侧壁上设置有能够开闭的第二开口结构，第二开口结构呈关闭状态时，外围腔体20的内部形成封闭空间；第二开口结构呈打开状态时，坩埚容纳腔体10露出。具体地，如图1所示，第二开口结构包括设置于外围腔体20的侧壁上的开口211和盖设于开口211处能够相对于开口211转动的开关门212。利用开关门212的相对转动，使开关门212盖设于开口211处，开口211被封闭；或者使开口211露出，呈打开状态，外围腔体20与外界空间相连通，这样当外围腔体20上的开口211呈打开状态且坩埚容纳腔体10上的开口131也呈打开状态时，能够将坩埚取出，以便于重新添加蒸镀用材料。

参阅图1和图2，蒸镀设备的蒸镀机构200还包括蒸镀加热部件30，蒸镀加热部件30固定设置于主腔体100的侧壁上，且主腔体100的侧壁上、蒸镀加热部件30的一侧设置有能够开闭的通孔结构(图中未显示)；而坩埚容纳腔体10朝向主腔体100的一侧设置有开口14(如图5所示)；坩埚容纳腔体10位于蒸镀执行位置，开口14与主腔体100的侧壁紧密贴合(如图1所示左侧位置的蒸镀机构200)，主腔体100上的通孔结构与开口14相对，坩埚容纳腔体10通过呈打开状态的通孔结构与主腔体100连通，且连通后的坩埚容纳腔体10和主腔体100形成封闭空间，而蒸镀加热部件30通过开口14插设进入坩埚容纳腔体10的内部。

较佳地，蒸镀加热部件30可以包括两个加热源，一个用于蒸镀过程之前的预热，一个用于蒸镀过程中加热蒸发材料。

进一步，参阅图2所示，所述蒸镀设备还包括：

第一抽真空结构(图中未显示)，用于对主腔体100和与主腔体100连通的坩埚容纳腔体10抽取真空；

第二抽真空结构40，用于对外围腔体20抽取真空。

本发明实施例中，第一抽真空结构与主腔体100连接；当处于如图2所示左侧蒸镀机构的蒸镀状态，坩埚容纳腔体10的开口14与主腔体100的侧壁紧密贴合，且主腔体100上的通孔结构与其中一个坩埚容纳腔体10的开口14相对，蒸镀加热部件30通过开口14插设进入该坩埚容纳腔体10的内部时，利用第一抽真空结构对主腔体100进行抽真空，由于该其中一个坩埚容纳腔体10与主腔体100相连通，组合形成封闭空间，由此对主腔体100的抽真空，同时使该其中一个坩埚容纳腔体10实现抽真空，直至与主腔体100达到相同的真空度。

根据图2，本发明实施例所述蒸镀设备还包括具有容纳空间的第二安装支架300，设置于主腔体100下方且与主腔体100连接，各个蒸镀机构200均安装设置于第二安装支架300的容纳空间内。

另外，在该第二安装支架300的内部设置有第二抽真空结构40，第二抽真空结构40与每一蒸镀机构200的外围腔体20相连接，当第二抽真空结构40与外围腔体20之间相连接的阀门打开时，第二抽真空结构40可以对相应的外围腔体20进行抽真空处理。

采用上述结构的蒸镀设备，当进行蒸镀时，主腔体100与第一坩埚容纳腔体相连通，形成封闭空间，且蒸镀加热部件30通过第一坩埚容纳腔体上的开口14插设进入第一坩埚容纳腔体的内部，当利用第一抽真空结构对主腔体100和第一坩埚容纳腔体抽真空后，即能够实现对该第一坩埚容纳腔体内所设置坩埚中材料的蒸镀过程；而当第一坩埚容纳腔体内所设置坩埚的材料用尽，结束蒸镀过程后，关闭主腔体100上的通孔结构，对外围腔体20抽真空，在外围腔体20所形成真空环境下，转动设置坩埚容纳腔体的第一安装支架11，使第二坩埚容纳腔体转动至与主腔体100上的通孔结构和蒸镀加热部件30相对，再次对主腔体100进行抽真空处理后，即能够实现对第二坩埚容纳腔体内坩埚所设置材料的蒸镀过程。

因此，材料用尽后，坩埚容纳腔体的切换过程，不需要破真空重新添加材料，即能够执行下一个的蒸镀过程，而且不需要对主腔室的真空环境进行破坏，能够达到节约时间、提高效率以及降低污染的效果。

本发明具体实施例的另一方面提供一种上述蒸镀设备的操作方法，所述操作方法包括：

将所述第一坩埚容纳腔体移动至所述蒸镀执行位置，且使所述第一坩埚容纳腔体与所述主腔体相连通；

所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程；

所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料耗尽时，在真空环境下，所述第一坩埚容纳腔体移离所述蒸镀执行位置，所述第二坩埚容纳腔体移动至所述蒸镀执行位置处，且与所述主腔体之间连通；

所述第二坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程。

具体地，所述第二坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程的步骤中，所述操作方法还包括：

将所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚取出，重新添加材料后放回所述第一坩埚容纳腔体。

采用本发明实施例所述蒸镀设备的操作方法，在对第二坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程时，可以同时执行对第一坩埚容纳腔体的材料添加过程。由于正在执行蒸镀过程的第二坩埚容纳腔体与主腔体连通，而与第一坩埚容纳腔体完全隔离，因此第一坩埚容纳腔体内坩埚的材料添加过程，并不影响第二坩埚容纳腔体内坩埚所盛放材料的蒸镀过程，两个过程可以同时执行，能够提高蒸镀设备的蒸镀效率。

对于组合设置的多个坩埚容纳腔体，除上述可以对一个坩埚容纳腔体执行蒸镀过程的同时，对另一个坩埚容纳腔体执行材料更换过程的方式外，也可以采用在所有坩埚容纳腔体均执行一次蒸镀过程材料用尽后，一次性更换所有蒸镀容纳腔体内坩埚所成放材料的方式。也即，具体地：

在所述第二坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程执行完毕后，所述操作方法还包括：

将所述第一坩埚容纳腔体和所述第二坩埚容纳腔体中的坩埚分别取出，重新添加材料后分别放回所述第一坩埚容纳腔体和所述第二坩埚容纳腔体。

另外，所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程的步骤具体包括：

对所述主腔体抽取真空，使所述主腔体和所述第一坩埚容纳腔体均达到预设真空度；

对所述第一坩埚容纳腔体内的坩埚进行预热，预热达到预设温度时，执行蒸镀过程，直到坩埚内的材料用尽。

结合图1至图5，采用本发明实施例所述蒸镀设备的操作方法具体包括：

1)将第一安装支架11上的各个坩埚容纳腔体10中的坩埚均添加用于蒸镀的材料；

2)与第一安装支架11相连接的驱动结构驱动坩埚容纳腔体10上升，使上方设置开口14的一侧与主腔体100的侧壁紧密贴合(如图2所示左侧蒸镀机构的状态)，主腔体100上的通孔结构与第一坩埚容纳腔体上的开口14相对，蒸镀加热部件30通过开口14插设进入第一坩埚容纳腔体的内部；

3)使主腔体100上的通孔结构呈打开状态，使主腔体100与第一坩埚容纳腔体相连通；第一抽真空结构对主腔体100抽真空，直到主腔体100与第一坩埚容纳腔体内部真空度相同且达到工艺要求；

4)蒸镀加热部件30对第一坩埚容纳腔体内的坩埚预热之后进行蒸镀，直到坩埚内的材料用尽后，关闭主腔体100上与坩埚容纳腔体相连通的通孔结构；

5)第二抽真空结构40对外围腔体20抽真空，直至和主腔体100的真空度相同；

6)与第一安装支架11相连接的驱动结构驱动坩埚容纳腔体10整体下降，坩埚容纳腔体脱离蒸镀加热部件(如图2所示右侧的蒸镀机构的状态)；之后使驱动结构驱动坩埚容纳腔体10绕轴心转动，使第二坩埚容纳腔体转动至与主腔体100上的通孔结构和蒸镀加热部件30相对应；

7)驱动结构驱动坩埚容纳腔体10整体上升，使上方设置开口14的一侧与主腔体100的侧壁紧密贴合，主腔体100上的通孔结构与第二坩埚容纳腔体上的开口14相对，蒸镀加热部件30通过开口14插设进入第二坩埚容纳腔体的内部；

8)使主腔体100上的通孔结构呈打开状态，使主腔体100与第二坩埚容纳腔体相连通；第二抽真空结构对主腔体100抽真空，直到主腔体100与第二坩埚容纳腔体内部真空度相同且达到工艺要求，之后完成第二坩埚容纳腔体内坩埚所盛放材料的蒸镀过程。

上述步骤8)对第二坩埚容纳腔体内坩埚所盛放材料执行蒸镀过程时，可以同时进行对第一坩埚容纳腔体内坩埚的材料更换过程，具体步骤包括：

外围腔体20上的开关门212打开放真空；

第一坩埚容纳腔体上的开关门132打开放真空；之后取出内部的坩埚，进行材料更换后重新放回第一坩埚容纳腔体。

此外，也可以在执行步骤8)之后，依次执行下一个坩埚容纳腔体中坩埚所盛放材料的蒸镀过程，直到最后一个坩埚容纳腔体中坩埚所盛放材料用尽后，再打开外围腔体20的开关门212，更换所有坩埚容纳腔体中的材料。

采用上述蒸镀设备和操作方法，其中一坩埚容纳腔体中的材料用尽后，坩埚容纳腔体的切换过程，不需要破真空重新添加材料，即能够执行下一个的蒸镀过程，而且不需要对主腔室的真空环境进行破坏，能够达到节约时间、提高效率以及降低污染的效果。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (16)

1.一种蒸镀设备，包括具有一内部空间的主腔体和设置于主腔体下方的蒸镀机构，其特征在于，所述蒸镀机构包括至少两个坩埚容纳腔体；

其中，所述蒸镀机构包括第一状态和第二状态；在第一状态，第一坩埚容纳腔体位于蒸镀执行位置，且与所述主腔体之间连通，构成真空空间，所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程；在第二状态，在真空环境下，所述第一坩埚容纳腔体移离所述蒸镀执行位置，第二坩埚容纳腔体移动至所述蒸镀执行位置处，且与所述主腔体之间连通。

2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀机构还包括一个外围腔体，各个所述坩埚容纳腔体均设置于所述外围腔体中；所述蒸镀机构在所述第二状态，所述外围腔体内形成真空空间。

3.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀机构还包括具有容纳空间的第一安装支架，各个所述坩埚容纳腔体设置于所述第一安装支架的容纳空间中，且所述坩埚容纳腔体相组合的形状与所述容纳空间的形状相对应。

4.如权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀机构还包括驱动结构，与所述第一安装支架连接，用于使所述第一安装支架进行上、下升降运动以及旋转运动；通过驱动所述第一安装支架运动，在所述第二状态，使所述第一坩埚容纳腔体移离所述蒸镀执行位置，所述第二坩埚容纳腔体移动至所述蒸镀执行位置处。

5.如权利要求1或3所述的蒸镀设备，其特征在于，每一所述坩埚容纳腔体的外壁均包覆有密封材料。

6.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀机构还包括蒸镀加热部件，所述蒸镀加热部件固定设置于所述主腔体的侧壁上，且所述主腔体的侧壁上、所述蒸镀加热部件的一侧设置有能够开闭的通孔结构；所述坩埚容纳腔体朝向所述主腔体的一侧设置有开口；所述坩埚容纳腔体位于所述蒸镀执行位置，所述开口与所述主腔体的侧壁紧密贴合，所述通孔结构与所述开口相对，所述坩埚容纳腔体通过呈打开状态的所述通孔结构与所述主腔体连通，所述蒸镀加热部件通过所述开口插设进入所述坩埚容纳腔体的内部。

7.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述外围腔体与所述主腔体的侧壁贴合连接，且所述主腔体的侧壁的一部分构成为所述外围腔体在其中一侧面的侧壁。

8.如权利要求1或3所述的蒸镀设备，其特征在于，每一所述坩埚容纳腔体的侧壁上设置有能够开闭的第一开口结构，通过所述第一开口结构的打开状态，蒸镀用坩埚能够进入所述坩埚容纳腔体的内部或者能够从所述坩埚容纳腔体的内部移出。

9.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述外围腔体的侧壁上设置有能够开闭的第二开口结构，所述第二开口结构呈关闭状态，所述外围腔体的内部形成封闭空间；所述第二开口结构呈打开状态，所述坩埚容纳腔体露出。

10.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括：

第一抽真空结构，用于对所述主腔体和与所述主腔体连通的所述坩埚容纳腔体抽取真空；

第二抽真空结构，用于对所述外围腔体抽取真空。

11.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括多个所述蒸镀机构，各个所述蒸镀机构设置在所述主腔体的下方，且围绕所述主腔体在竖直方向的轴心均匀分布。

12.如权利要求11所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括具有容纳空间的第二安装支架，设置于所述主腔体下方且与所述主腔体连接，各个所述蒸镀机构均安装设置于所述第二安装支架的容纳空间内。

13.一种采用权利要求1至12任一项所述蒸镀设备的操作方法，其特征在于，所述操作方法包括：

将所述第一坩埚容纳腔体移动至所述蒸镀执行位置，且使所述第一坩埚容纳腔体与所述主腔体相连通；

所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程；

所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料耗尽时，在真空环境下，所述第一坩埚容纳腔体移离所述蒸镀执行位置，所述第二坩埚容纳腔体移动至所述蒸镀执行位置处，且与所述主腔体之间连通；

所述第二坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程。

14.如权利要求13所述的操作方法，其特征在于，所述第二坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程的步骤中，所述操作方法还包括：

将所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚取出，重新添加材料后放回所述第一坩埚容纳腔体。

15.如权利要求13所述的操作方法，其特征在于，在所述第二坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程执行完毕后，所述操作方法还包括：

将所述第一坩埚容纳腔体和所述第二坩埚容纳腔体中的坩埚分别取出，重新添加材料后分别放回所述第一坩埚容纳腔体和所述第二坩埚容纳腔体。

16.如权利要求13所述的操作方法，其特征在于，所述第一坩埚容纳腔体中的坩埚所盛放材料执行蒸镀过程的步骤具体包括：

对所述主腔体抽取真空，使所述主腔体和所述第一坩埚容纳腔体均达到预设真空度；

对所述第一坩埚容纳腔体内的坩埚进行预热，预热达到预设温度时，执行蒸镀过程，直到坩埚内的材料用尽。