CN108728801A - 蒸镀装置及蒸镀方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种蒸镀装置及蒸镀方法。所述蒸镀装置包括加热源、坩埚盖、第一坩埚、第二坩埚、移动部以及支架，第一坩埚、第二坩埚及移动部均设于坩埚盖的下方，第一坩埚固定在支架上，且第一坩埚及第二坩埚均包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离坩埚盖一端的底面，坩埚盖安装于第一坩埚的外侧壁上，第二坩埚固定于移动部的顶面，第一坩埚的内侧壁在竖直方向的投影位于第二坩埚外侧壁以外，加热源的电热丝在与坩埚盖及第一坩埚所在位置对应的第一区域的密度大于第一区域下方的第二区域的密度。该蒸镀装置能够有效提高蒸镀材料的利用率，并可以有效降低蒸镀装置内的径向温差，提高蒸镀装置内蒸镀材料的受热均匀度。
Description
技术领域
本发明涉及显示装置制造技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法。
背景技术
平板显示器件具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有的平板显示器件主要包括液晶显示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有机电致发光显示器件(Organic Light Emitting Display，OLED)。其中，OLED显示器件相较于LCD，不仅具有十分优异的显示性能，还具有全固态、自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、室温工作、低功耗及易于实现柔性显示和3D显示等优点，被誉为“梦幻显示器”，一致被公认为是下一代显示的主流技术，得到了各大显示器厂家的青睐。
OLED显示器件通常由阳极、阴极、以及夹在阳极和阴极之间的有机电致发光材料层构成，有机电致发光材料层又包括空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、及电子注入层。OLED显示器件的发光机理是从阴、阳两级分别注入电子和空穴，被注入的电子和空穴经传输在发光层内复合，从而激发发光层分子产生单态激子，单态激子辐射衰减而发光。
目前，制备OLED显示器件主流的主要方式是真空加热镀膜，即在真空腔体内使用坩埚加热OLED材料，使其在一定温度下升华或者熔融汽化成蒸汽，透过金属掩膜板上的开孔沉积在基板上。
请参阅图1及图2，现有的一种蒸镀用坩埚包括坩埚本体100、套设于坩埚本体100外侧的电热丝200，坩埚本体100顶部设有开孔110。使用时，利用电热丝200对坩埚本体100进行加热，使得坩埚本体100内的蒸镀材料蒸发并从开孔110排出。由于蒸镀材料一般为热的非良导体，加热时坩埚本体100在其径向上具有温度差，越靠近坩埚本体100轴心的区域温度越低，会导致位于坩埚本体100内的蒸镀材料受热不均，使开孔堵塞。与此同时，由于需要维持坩埚本体100顶部的开口110排出蒸镀材料的速率稳定，需要优先保证开孔110处的温度，因此，坩埚本体100在轴向的方向也会产生温度差，坩埚本体100的顶部温度要高于底部温度，这就使得坩埚本体100内位于底部的蒸镀材料在达到蒸发温度后，在经过坩埚本体100顶部区域的时候其温度会超过材料裂解温度而裂解，导致该部分蒸镀材料被浪费掉。
发明内容
本发明的目的在于提供一种蒸镀装置，能够提高蒸镀材料的利用率，降低蒸镀装置内的径向温差，提高蒸镀装置内蒸镀材料的受热均匀度。
本发明的另一目的在于提供一种蒸镀方法，能够提高蒸镀材料的利用率，降低蒸镀装置内的径向温差，提高蒸镀装置内蒸镀材料的受热均匀度。
为实现上述目的，本发明首先提供一种蒸镀装置，包括筒状的加热源、容置在加热源内的坩埚盖、第一坩埚、第二坩埚及移动部以及支架；
所述第一坩埚、第二坩埚及移动部均设于坩埚盖的下方；所述第一坩埚固定在所述支架上；所述第一坩埚及第二坩埚均包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离所述坩埚盖一端的底面；所述坩埚盖安装于第一坩埚的外侧壁上，所述坩埚盖中心设有开孔，所述第一坩埚的内侧壁靠近坩埚盖的一端与坩埚盖之间在竖直方向存在间隔；所第一坩埚的外侧壁的高度大于或等于其内侧壁的高度；所述第二坩埚固定于移动部的顶面；所述第一坩埚的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第二坩埚外侧壁以外；
所述加热源包括筒状的壳体及套设于壳体上的电热丝，所述壳体具有与坩埚盖及第一坩埚所在位置对应的第一区域以及位于第一区域下方的第二区域；电热丝在第一区域的密度大于电热丝在第二区域的密度。
所述蒸镀装置还包括容置在加热源内的第三坩埚；
所述第三坩埚设于坩埚盖的下方；所述第三坩埚包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离所述坩埚盖一端的底面；所述第一坩埚的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第三坩埚外侧壁以外；所述第三坩埚的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第二坩埚外侧壁以外；所述第一坩埚的内侧壁的内表面底部设有第一限位部，所述第三坩埚外侧壁的外表面顶部设有第二限位部，所述第一限位部在竖直方向的投影与所述第二限位部在竖直方向的投影至少部分重叠，所述第一限位部位于第二限位部下方；所述第三坩埚的内侧壁的内表面底部设有弹性限位单元，所述弹性限位单元在竖直方向上的投影与所述第二坩埚的外侧壁在竖直方向上的投影至少部分重叠；当所述第三坩埚靠近坩埚盖的一端与坩埚盖之间存在间隔且第二坩埚外侧壁位于弹性限位单元下方时，向上移动移动部，第二坩埚的外侧壁对第三坩埚的弹性限位单元进行推动使第三坩埚上升；当所述第三坩埚靠近坩埚盖的一端与坩埚盖接触且第二坩埚外侧壁位于弹性限位单元下方时，向上移动移动部，第二坩埚的外侧壁压缩弹性限位单元而移动至第三坩埚的内侧壁内。
所述第一坩埚及第二坩埚的内侧壁及外侧壁均为圆筒状；所述第二坩埚的内侧壁及外侧壁的轴线与所述第一坩埚的内侧壁及外侧壁的轴线均重合。
所述第一坩埚、第二坩埚及第三坩埚的内侧壁及外侧壁均为圆筒状；所述第二坩埚的内侧壁及外侧壁的轴线、所述第一坩埚的内侧壁及外侧壁的轴线以及所述第三坩埚的内侧壁及外侧壁的轴线均重合。
所述坩埚盖的形状为圆形。
所述壳体为圆筒状；所述壳体的轴线与第一坩埚内侧壁的轴线重合。
所述开孔对应第一坩埚内侧壁的轴线设置。
所述第三坩埚的内侧壁的内表面底部设有与弹性限位单元对应的凹槽；所述弹性限位单元包括设置在对应凹槽内的弹簧及与弹簧远离凹槽槽底的一端接触并露置于凹槽外的突出部；所述突出部远离凹槽槽底的一端为圆弧面；
所述突出部在竖直方向的投影与第二坩埚的外侧壁在竖直方向的投影至少部分重叠；当所述第三坩埚靠近坩埚盖的一端与坩埚盖之间存在间隔且第二坩埚外侧壁位于弹性限位单元下方时，向上移动移动部，第二坩埚的外侧壁对突出部远离凹槽槽底的一端的圆弧面进行推动，使第三坩埚上升；当所述第三坩埚靠近坩埚盖的一端与坩埚盖接触且第二坩埚外侧壁位于弹性限位单元下方时，向上移动移动部，第二坩埚的外侧壁对突出部远离凹槽槽底的一端的圆弧面进行推动，对弹簧进行压缩，使突出部向靠近凹槽槽底的方向移动，从而第二坩埚移动至第三坩埚的内侧壁内。
所述移动部为活塞，所述活塞的下表面设有一杆体。
本发明还提供一种蒸镀方法，应用于上述蒸镀装置，包括如下步骤：
步骤S1、在第一坩埚及第二坩埚内放置蒸镀材料，移动移动部使第二坩埚位于第一坩埚下方；
步骤S2、向电热丝通电，电热丝对第一坩埚内的蒸镀材料加热使其蒸发并通过开孔排出，同时电热丝对第二坩埚内的蒸镀材料进行预热；
步骤S3、在第一坩埚内的蒸镀材料全部蒸发后，保持向电热丝通电，向上移动移动部使第二坩埚位于第一坩埚的内侧面内，电热丝对第二坩埚内的蒸镀材料加热使其蒸发并通过开孔排出。
本发明的有益效果：本发明提供的一种蒸镀装置包括加热源、坩埚盖、第一坩埚、第二坩埚、移动部以及支架，第一坩埚、第二坩埚及移动部均设于坩埚盖的下方，第一坩埚固定在支架上，且第一坩埚及第二坩埚均包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离所述坩埚盖一端的底面，坩埚盖安装于第一坩埚的外侧壁上，第二坩埚固定于移动部的顶面，第一坩埚的内侧壁在竖直方向的投影位于第二坩埚外侧壁以外，加热源的电热丝在与坩埚盖及第一坩埚所在位置对应的第一区域的密度大于第一区域下方的第二区域的密度。该蒸镀装置能够有效提高蒸镀材料的利用率，并可以有效降低蒸镀装置内的径向温差，提高蒸镀装置内蒸镀材料的受热均匀度。本发明提供的一种蒸镀方法能够有效提高蒸镀材料的利用率，并可以有效降低蒸镀装置内的径向温差，提高蒸镀装置内蒸镀材料的受热均匀度。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为现有的一种蒸镀用坩埚的剖视示意图；
图2为现有的一种蒸镀用坩埚的立体示意图；
图3为本发明的蒸镀装置的第一实施例在竖直面上的剖视示意图；
图4为本发明的蒸镀装置的第一实施例的立体示意图；
图5为本发明的蒸镀装置的第一实施例的第一坩埚及第二坩埚在水平面上的剖视示意图；
图6为本发明的蒸镀装置的第一实施例的坩埚盖、第一坩埚、第二坩埚及移动部的立体示意图；
图7为本发明的蒸镀装置的第二实施例在竖直面上的剖视示意图；
图8为图7中A处的放大示意图；
图9为图7中B处的放大示意图；
图10为本发明的蒸镀装置的第二实施例的立体示意图；
图11为本发明的蒸镀装置的第二实施例的第一坩埚、第二坩埚及第三坩埚在水平面上的剖视示意图；图12为本发明的蒸镀装置的第二实施例的坩埚盖、第一坩埚、第二坩埚、第三坩埚及移动部的立体示意图；
图13为本发明的蒸镀方法的流程图；
图14为本发明的蒸镀方法的第一实施例的步骤S1的示意图；
图15为本发明的蒸镀方法的第一实施例的步骤S3的示意图；
图16为本发明的蒸镀方法的第二实施例的步骤S1的示意图；
图17及图18为本发明的蒸镀方法的第二实施例的步骤S3的示意图；
图19为图18中C处的放大示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图3至图6，本发明的蒸镀装置的第一实施例包括筒状的加热源10、容置在加热源10内的坩埚盖20、第一坩埚30、第二坩埚40及移动部50以及支架。
所述第一坩埚30、第二坩埚40及移动部50均设于坩埚盖20的下方。所述第一坩埚30固定在所述支架80上。所述第一坩埚30及第二坩埚40均包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离所述坩埚盖20一端的底面。所述坩埚盖20安装于第一坩埚30的外侧壁上，所述坩埚盖20中心设有开孔21，所述第一坩埚30的内侧壁靠近坩埚盖20的一端与坩埚盖20之间在竖直方向存在间隔。所述第一坩埚30的外侧壁的高度大于或等于其内侧壁的高度。所述第二坩埚40固定于移动部50的顶面。所述第一坩埚30的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第二坩埚40外侧壁以外。
所述加热源10包括筒状的壳体11及套设于壳体11上的电热丝12，所述壳体11具有与坩埚盖20及第一坩埚30所在位置对应的第一区域111以及位于第一区域111下方的第二区域112；电热丝12在第一区域111的密度大于电热丝12在第二区域112的密度。
具体地，所述支架80可以设于加热源10内，也可以设于加热源10外，只要能够对第一坩埚30进行固定即可。所述支架80的形状可以为任意形状。在图3及图4所示的实施例中，所述支架80设置在加热源10内，且为杆状的支架。
具体地，请参阅图3及图5，在本发明的蒸镀装置第一实施例中，第一坩埚30的内侧壁与第二坩埚40的外侧壁之间留有间隙，以防止在蒸镀时第一坩埚30及第二坩埚40受热膨胀而无法相对移动。
具体地，所述坩埚盖20与第一坩埚30的外侧壁通过螺纹连接。
具体地，请参阅图3、图5及图6，在本发明的蒸镀装置的第一实施例中，所述第一坩埚30及第二坩埚40的内侧壁及外侧壁均为圆筒状。所述第二坩埚40的内侧壁及外侧壁的轴线与所述第一坩埚30的内侧壁及外侧壁的轴线均重合。所述壳体11为圆筒状。所述壳体11的轴线与第一坩埚30内侧壁的轴线重合。所述开孔21对应第一坩埚30内侧壁的轴线设置。
具体地，所述坩埚盖20的形状为圆形。
具体地，所述第一坩埚30及第二坩埚40的材料可选择现有技术的坩埚常使用的材料，例如可以为钛、铝等金属及合金，或者也可以为陶瓷。
具体地，请参阅图3及图6，在本发明的蒸镀装置的第一实施例中，所述移动部50为活塞，所述活塞的下表面设有一杆体70。
具体地，所述活塞及杆体70的材料选择能够耐高温的材料。例如，所述活塞及杆体70的材料可以为金属、橡胶等。
优选地，所述第一坩埚30在竖直方向的高度大于等于第二坩埚40在竖直方向的高度，使得第二坩埚40能够完整的放入第一坩埚30的内侧壁内。
具体地，请结合图14及图15，在利用本发明的蒸镀装置的第一实施例进行蒸镀制程时，首先将蒸镀材料1放入第一坩埚30及第二坩埚40内，并利用杆部70移动移动部50使第二坩埚40位于第一坩埚30下方。之后，向电热丝12通电，由于电热丝12在第一区域111的密度大于在第二区域112的密度，在通入相同的电量时，电热丝12在第一区域111的部分产生的热量要大于在第二区域112的部分产生的热量，因此通过控制通入电热丝12的电量，便能够使电热丝12在第一区域111的部分产生的热量将第一坩埚30内的蒸镀材料1加热至其蒸发温度，第一坩埚30内的蒸镀材料1被蒸发并通过开孔21排出，与此同时，电热丝12在第二区域112的部分产生的热量能够将第二坩埚40内的蒸镀材料1加热至低于其蒸发温度的预设温度，对其进行预热，并且，由于第一坩埚30采用中空设计，因此，其径向的温差相较于传统的坩埚要小，因此第一坩埚30内的蒸镀材料1受热均匀，蒸镀的效果较好。随后，在第一坩埚30内的蒸镀材料1全部蒸发后，保持向电热丝12通电，向上移动移动部50对第二坩埚40进行抬升，使第二坩埚40位于第一坩埚30的内侧面内，电热丝12对第二坩埚40内的蒸镀材料1加热至其蒸发温度，第二坩埚40内的蒸镀材料1被蒸发并通过开孔21排出，第二坩埚40内的材料不会发生裂解，因此提升了蒸镀材料的利用率，并且由于第二坩埚40也采用中空设计，径向的温差相较于传统的坩埚要小，因此第二坩埚40内的蒸镀材料1受热均匀，蒸镀的效果较好。
请参阅图7至图12，为本发明的蒸镀装置的第二实施例，本发明的蒸镀装置的第二实施例与上述蒸镀装置的第一实施例的区别在于，还包括容置在加热源10内的第三坩埚60。该第三坩埚60设于坩埚盖20的下方。所述第三坩埚60包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离所述坩埚盖20一端的底面。所述第一坩埚30的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第三坩埚60外侧壁以外。所述第三坩埚60的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第二坩埚40外侧壁以外。请参阅图7及图8，所述第一坩埚30的内侧壁的内表面底部设有第一限位部31，所述第三坩埚60外侧壁的外表面顶部设有第二限位部61，所述第一限位部31在竖直方向的投影与所述第二限位部61在竖直方向的投影至少部分重叠，所述第一限位部31位于第二限位部61下方对第二限位部61进行限位。请参阅图7及图9，所述第三坩埚60的内侧壁的内表面底部设有弹性限位单元62，所述弹性限位单元62在竖直方向上的投影与所述第二坩埚40的外侧壁在竖直方向上的投影至少部分重叠。当所述第三坩埚60靠近坩埚盖20的一端与坩埚盖20之间存在间隔且第二坩埚40外侧壁位于弹性限位单元62下方时，向上移动移动部50，第二坩埚40的外侧壁对第三坩埚60的弹性限位单元62进行推动使第三坩埚60上升。当所述第三坩埚60靠近坩埚盖20的一端与坩埚盖20接触且第二坩埚40外侧壁位于弹性限位单元62下方时，向上移动移动部50，第二坩埚40的外侧壁压缩弹性限位单元62而移动至第三坩埚60的内侧壁内。
具体地，请参阅图7、图11及图12，所述第三坩埚60的内侧壁及外侧壁也为圆筒状，并且其内侧壁及外侧壁的轴线、所述第二坩埚40的内侧壁及外侧壁的轴线以及所述第一坩埚30的内侧壁及外侧壁的轴线重合。
具体地，请参阅图7及图9，所述第三坩埚60的内侧壁的内表面底部设有与弹性限位单元62对应的凹槽63。所述弹性限位单元62包括设置在对应凹槽63内的弹簧621及与弹簧621远离凹槽63槽底的一端接触并露置于凹槽63外的突出部622。所述突出部622远离凹槽63槽底的一端为圆弧面。所述突出部622在竖直方向的投影与第二坩埚40的外侧壁在竖直方向的投影至少部分重叠。当所述第三坩埚60靠近坩埚盖20的一端与坩埚盖20之间存在间隔且第二坩埚40外侧壁位于弹性限位单元62下方时，向上移动移动部50，第二坩埚40的外侧壁对突出部622远离凹槽63槽底的一端的圆弧面进行推动，使第三坩埚60上升。当所述第三坩埚60靠近坩埚盖20的一端与坩埚盖20接触且第二坩埚40外侧壁位于弹性限位单元62下方时，向上移动移动部50，第二坩埚40的外侧壁对突出部622远离凹槽63槽底的一端的圆弧面进行推动，对弹簧621进行压缩，使突出部622向靠近凹槽63槽底的方向移动，从而第二坩埚40移动至第三坩埚60的内侧壁内。
优选地，所述第一坩埚30在竖直方向的高度大于等于第三坩埚60在竖直方向的高度，使得第三坩埚60能够完整的放入第一坩埚30的内侧壁内。
具体地，请参阅图7及图11，在本发明的蒸镀装置第二实施例中，第一坩埚30的内侧壁与第三坩埚60的外侧壁之间留有间隙，第三坩埚60的内侧壁与第二坩埚40的外侧壁之间留有间隙，以防止在蒸镀时第一坩埚30及第二坩埚40、第三坩埚60受热膨胀而无法相对移动。
具体地，所述第三坩埚60的材料可选择现有技术的坩埚常使用的材料，例如可以为钛、铝等金属及合金，或者也可以为陶瓷。
其余均与上述蒸镀装置的第一实施例相同，在此不再赘述。
具体地，请结合图16至图19，在利用本发明的蒸镀装置的第二实施例进行蒸镀制程时，首先将蒸镀材料1放入第一坩埚30、第二坩埚40及第三坩埚60内，并利用杆部70移动移动部50使第二坩埚40位于第三坩埚60下方，并使第三坩埚60受重力下降直至其第二限位部61与第一坩埚30的第一限位部31接触。之后，向电热丝12通电，由于电热丝12在第一区域111的密度大于在第二区域112的密度，在通入相同的电量时，电热丝12在第一区域111的部分产生的热量要大于在第二区域112的部分产生的热量，因此通过控制通入电热丝12的电量，便能够使电热丝12在第一区域111的部分产生的热量将第一坩埚30内的蒸镀材料1加热至其蒸发温度，第一坩埚30内的蒸镀材料1被蒸发并通过开孔21排出，与此同时，电热丝12在第二区域112的部分产生的热量能够将第二坩埚40及第三坩埚60内的蒸镀材料1加热至低于其蒸发温度的预设温度，对其进行预热，并且，由于第一坩埚30采用中空设计，因此，其径向的温差相较于传统的坩埚要小，因此第一坩埚30内的蒸镀材料1受热均匀，蒸镀的效果较好。随后，在第一坩埚30内的蒸镀材料1全部蒸发后，保持向电热丝12通电，向上移动移动部50对第二坩埚40进行抬升，该过程中，请参阅图17，第二坩埚40的外侧壁首先会对第三坩埚60的弹性限位单元62进行推动使第三坩埚60上升，具体为第二坩埚40的外侧壁对弹性限位单元62的突出部622远离凹槽63槽底的一端的圆弧面进行推动，由于此时第三坩埚60并不与坩埚盖20接触，第三坩埚60不会受到坩埚盖20提供的向下的作用力，因此第二坩埚40的外侧壁对突出部622远离凹槽63槽底的一端的圆弧面进行推动会带动第三坩埚60上升，待第三坩埚60位于第一坩埚30内且第三坩埚60的内侧壁靠近坩埚盖20的一端与坩埚盖20之间在竖直方向存在间隔后，电热丝12对第三坩埚60内的蒸镀材料1加热至其蒸发温度，第三坩埚60内的蒸镀材料1被蒸发并通过开孔21排出，第三坩埚60内的材料不会发生裂解，因此提升了蒸镀材料的利用率，并且由于第三坩埚60也采用中空设计，径向的温差相较于传统的坩埚要小，因此第三坩埚60内的蒸镀材料1受热均匀，蒸镀的效果较好，而后请参阅图18，在第三坩埚60内的蒸镀材料1蒸发完毕后，继续移动移动部50，在移动部50上升的推动下，第二坩埚40的外壁继续对第三坩埚60的弹性限位单元62进行推动使第三坩埚60上升至与坩埚盖20接触，此时坩埚盖20会对第三坩埚60提供向下的作用力，再继续将移动部50上升，第二坩埚40的外壁对弹性限位单元62进行压缩，请参阅图19，具体为第二坩埚40的外侧壁对弹性限位单元62的突出部622远离凹槽63槽底的一端的圆弧面进行推动，将弹簧621压缩，突出部622向靠近凹槽63槽底的方向移动，从而第二坩埚40能够移动至第一坩埚30的内侧面内，电热丝12对第二坩埚40内的蒸镀材料1加热至其蒸发温度，第二坩埚40内的蒸镀材料被蒸发并通过开孔21排出，第二坩埚40内的材料不会发生裂解，因此提升了蒸镀材料的利用率，并且由于第二坩埚40也采用中空设计，径向的温差相较于传统的坩埚要小，因此第二坩埚40内的蒸镀材料1受热均匀，蒸镀的效果较好。
基于同一发明构思，本发明还提供应用于上述蒸镀装置的蒸镀方法。
请参阅图13，并结合图14及图15，本发明的蒸镀方法的第一实施例应用于上述蒸镀装置的第一实施例，包括如下步骤：
步骤S1、请参阅图14，在第一坩埚30及第二坩埚40内放置蒸镀材料1，利用杆部70移动移动部50使第二坩埚40位于第一坩埚30下方。
步骤S2、向电热丝12通电，电热丝12对第一坩埚30内的蒸镀材料1加热使其蒸发并通过开孔21排出，同时电热丝12对第二坩埚40内的蒸镀材料1进行预热。
具体地，由于电热丝12在第一区域111的密度大于在第二区域112的密度，在通入相同的电量时，电热丝12在第一区域111的部分产生的热量要大于在第二区域112的部分产生的热量，因此所述步骤S2中，通过控制通入电热丝12的电量，便能够使电热丝12在第一区域111的部分产生的热量将第一坩埚30内的蒸镀材料1加热至其蒸发温度，第一坩埚30内的蒸镀材料1被蒸发并通过开孔21排出，与此同时，电热丝12在第二区域112的部分产生的热量能够将第二坩埚40内的蒸镀材料1加热至低于其蒸发温度的预设温度，对其进行预热，并且，由于第一坩埚30采用中空设计，因此，其径向的温差相较于传统的坩埚要小，因此第一坩埚30内的蒸镀材料1受热均匀，蒸镀的效果较好。
步骤S3、请参阅图15，在第一坩埚30内的蒸镀材料1全部蒸发后，保持向电热丝12通电，向上移动移动部50使第二坩埚40位于第一坩埚30的内侧面内，电热丝12对第二坩埚40内的蒸镀材料1加热使其蒸发并通过开孔21排出。
具体地，所述步骤S3中，电热丝12对第二坩埚40内的蒸镀材料1由预设温度加热至其蒸发温度，第二坩埚40内的材料不会发生裂解，因此提升了蒸镀材料的利用率，并且由于第二坩埚40也采用中空设计，径向的温差相较于传统的坩埚要小，因此第二坩埚40内的蒸镀材料1受热均匀，蒸镀的效果较好。
请参阅图13，并结合图16至图19，本发明的蒸镀方法的第二实施例应用于上述蒸镀装置的第二实施例，其与上述蒸镀方法的第一实施例的区别在于，请参阅图16，所述步骤S1中，在将蒸镀材料1放入第一坩埚30、第二坩埚40的同时，还将蒸镀材料1放入第三坩埚60内，在利用杆部70移动移动部50使第二坩埚40位于第一坩埚30下方时，还使得第二坩埚40位于第三坩埚60的下方，并使第三坩埚60受重力下降直至其第二限位部61与第一坩埚30的第一限位部31接触。所述步骤S2中，电热丝12在第二区域112的部分产生的热量将第二坩埚40内的蒸镀材料1加热至低于其蒸发温度的预设温度对其进行预热的同时，也将第三坩埚60内的蒸镀材料1加热至低于其蒸发温度的预设温度对其进行预热。请参阅图17及图18，步骤S3中，向上移动移动部50使第二坩埚40位于第一坩埚30的内侧面内的过程具体分为两步：首先，请参阅图17，向上移动移动部50，第二坩埚40的外侧壁首先会对第三坩埚60的弹性限位单元62进行推动使第三坩埚60上升，具体为第二坩埚40的外侧壁对弹性限位单元62的突出部622远离凹槽63槽底的一端的圆弧面进行推动，由于此时第三坩埚60并不与坩埚盖20接触，第三坩埚60不会受到坩埚盖20提供的向下的作用力，因此第二坩埚40的外侧壁对突出部622远离凹槽63槽底的一端的圆弧面进行推动会带动第三坩埚60上升，待第三坩埚60位于第一坩埚30内且第三坩埚60的内侧壁靠近坩埚盖20的一端与坩埚盖20之间在竖直方向存在间隔后，电热丝12将第三坩埚60内的蒸镀材料1由预设温度加热至其蒸发温度，第三坩埚60内的蒸镀材料1被蒸发并通过开孔21排出，且第三坩埚60内的材料不会发生裂解，因此提升了蒸镀材料的利用率，并且由于第三坩埚60也采用中空设计，径向的温差相较于传统的坩埚要小，因此第三坩埚60内的蒸镀材料1受热均匀，蒸镀的效果较好；而后，请参阅图18，在第三坩埚60内的蒸镀材料1蒸发完成后，继续向上移动移动部50，在移动部50上升的推动下，第二坩埚40的外壁继续对第三坩埚60的弹性限位单元62进行推动使第三坩埚60上升至与坩埚盖20接触，此时坩埚盖20会对第三坩埚60提供向下的作用力，再继续将移动部50上升，第二坩埚40的外壁对弹性限位单元62进行压缩，请参阅图19，具体为第二坩埚40的外侧壁对弹性限位单元62的突出部622远离凹槽63槽底的一端的圆弧面进行推动，将弹簧621压缩，突出部622向靠近凹槽63槽底的方向移动，从而第二坩埚40能够移动至第一坩埚30的内侧面内，电热丝12对第二坩埚40内的蒸镀材料1加热至其蒸发温度，第二坩埚40内的蒸镀材料1被蒸发并通过开孔21排出，第二坩埚40内的材料不会发生裂解，因此提升了蒸镀材料的利用率，并且由于第二坩埚40也采用中空设计，径向的温差相较于传统的坩埚要小，因此第二坩埚40内的蒸镀材料1受热均匀，蒸镀的效果较好。
综上所述，本发明的蒸镀装置包括加热源、坩埚盖、第一坩埚、第二坩埚、移动部以及支架，第一坩埚、第二坩埚及移动部均设于坩埚盖的下方，第一坩埚固定在支架上，且第一坩埚及第二坩埚均包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离所述坩埚盖一端的底面，坩埚盖安装于第一坩埚的外侧壁上，第二坩埚固定于移动部的顶面，第一坩埚的内侧壁在竖直方向的投影位于第二坩埚外侧壁以外，加热源的电热丝在与坩埚盖及第一坩埚所在位置对应的第一区域的密度大于第一区域下方的第二区域的密度。该蒸镀装置能够有效提高蒸镀材料的利用率，并可以有效降低蒸镀装置内的径向温差，提高蒸镀装置内蒸镀材料的受热均匀度。本发明的蒸镀方法能够有效提高蒸镀材料的利用率，并可以有效降低蒸镀装置内的径向温差，提高蒸镀装置内蒸镀材料的受热均匀度。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括筒状的加热源(10)、容置在加热源(10)内的坩埚盖(20)、第一坩埚(30)、第二坩埚(40)及移动部(50)以及支架(80)；
所述第一坩埚(30)、第二坩埚(40)及移动部(50)均设于坩埚盖(20)的下方；所述第一坩埚(30)固定在所述支架(80)上；所述第一坩埚(30)及第二坩埚(40)均包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离坩埚盖(20)一端的底面；所述坩埚盖(20)安装于第一坩埚(30)的外侧壁上，所述坩埚盖(20)中心设有开孔(21)，所述第一坩埚(30)的内侧壁靠近坩埚盖(20)的一端与坩埚盖(20)之间在竖直方向存在间隔；所述第一坩埚(30)的外侧壁的高度大于或等于其内侧壁的高度；所述第二坩埚(40)固定于移动部(50)的顶面；所述第一坩埚(30)的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第二坩埚(40)外侧壁以外；
所述加热源(10)包括筒状的壳体(11)及套设于壳体(11)上的电热丝(12)，所述壳体(11)具有与坩埚盖(20)及第一坩埚(30)所在位置对应的第一区域(111)以及位于第一区域(111)下方的第二区域(112)；电热丝(12)在第一区域(111)的密度大于电热丝(12)在第二区域(112)的密度。
2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括容置在加热源(10)内的第三坩埚(60)；
所述第三坩埚(60)设于坩埚盖(20)的下方；所述第三坩埚(60)包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离坩埚盖(20)一端的底面；所述第一坩埚(30)的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第三坩埚(60)外侧壁以外；所述第三坩埚(60)的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第二坩埚(40)外侧壁以外；所述第一坩埚(30)的内侧壁的内表面底部设有第一限位部(31)，所述第三坩埚(60)外侧壁的外表面顶部设有第二限位部(61)，所述第一限位部(31)在竖直方向的投影与所述第二限位部(61)在竖直方向的投影至少部分重叠，所述第一限位部(31)位于第二限位部(61)下方；所述第三坩埚(60)的内侧壁的内表面底部设有弹性限位单元(62)，所述弹性限位单元(62)在竖直方向上的投影与所述第二坩埚(40)的外侧壁在竖直方向上的投影至少部分重叠；当所述第三坩埚(60)靠近坩埚盖(20)的一端与坩埚盖(20)之间存在间隔且第二坩埚(40)外侧壁位于弹性限位单元(62)下方时，向上移动移动部(50)，第二坩埚(40)的外侧壁对第三坩埚(60)的弹性限位单元(62)进行推动使第三坩埚(60)上升；当所述第三坩埚(60)靠近坩埚盖(20)的一端与坩埚盖(20)接触且第二坩埚(40)外侧壁位于弹性限位单元(62)下方时，向上移动移动部(50)，第二坩埚(40)的外侧壁压缩弹性限位单元(62)而移动至第三坩埚(60)的内侧壁内。
3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一坩埚(30)及第二坩埚(40)的内侧壁及外侧壁均为圆筒状；所述第二坩埚(40)的内侧壁及外侧壁的轴线与所述第一坩埚(30)的内侧壁及外侧壁的轴线均重合。
4.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一坩埚(30)、第二坩埚(40)及第三坩埚(60)的内侧壁及外侧壁均为圆筒状；所述第二坩埚(40)的内侧壁及外侧壁的轴线、所述第一坩埚(30)的内侧壁及外侧壁的轴线以及所述第三坩埚(60)的内侧壁及外侧壁的轴线均重合。
5.如权利要求3或4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚盖(20)的形状为圆形。
6.如权利要求3或4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述壳体(11)为圆筒状；所述壳体(11)的轴线与第一坩埚(30)内侧壁的轴线重合。
7.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，所述开孔(21)对应第一坩埚(30)内侧壁的轴线设置。
8.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第三坩埚(60)的内侧壁的内表面底部设有与弹性限位单元(62)对应的凹槽(63)；所述弹性限位单元(62)包括设置在对应凹槽(63)内的弹簧(621)及与弹簧(621)远离凹槽(63)槽底的一端接触并露置于凹槽(63)外的突出部(622)；所述突出部(622)远离凹槽(63)槽底的一端为圆弧面；
所述突出部(622)在竖直方向的投影与第二坩埚(40)的外侧壁在竖直方向的投影至少部分重叠；当所述第三坩埚(60)靠近坩埚盖(20)的一端与坩埚盖(20)之间存在间隔且第二坩埚(40)外侧壁位于弹性限位单元(62)下方时，向上移动移动部(50)，第二坩埚(40)的外侧壁对突出部(622)远离凹槽(63)槽底的一端的圆弧面进行推动，使第三坩埚(60)上升；当所述第三坩埚(60)靠近坩埚盖(20)的一端与坩埚盖(20)接触且第二坩埚(40)外侧壁位于弹性限位单元(62)下方时，向上移动移动部(50)，第二坩埚(40)的外侧壁对突出部(622)远离凹槽(63)槽底的一端的圆弧面进行推动，对弹簧(621)进行压缩，使突出部(622)向靠近凹槽(63)槽底的方向移动，从而第二坩埚(40)移动至第三坩埚(60)的内侧壁内。
9.如权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述移动部(50)为活塞，所述活塞的下表面设有一杆体(70)。
10.一种蒸镀方法，应用于如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，包括如下步骤：
步骤S1、在第一坩埚(30)及第二坩埚(40)内放置蒸镀材料(1)，移动移动部(50)使第二坩埚(40)位于第一坩埚(30)下方；
步骤S2、向电热丝(12)通电，电热丝(12)对第一坩埚(30)内的蒸镀材料(1)加热使其蒸发并通过开孔(21)排出，同时电热丝(12)对第二坩埚(40)内的蒸镀材料(1)进行预热；
步骤S3、在第一坩埚(30)内的蒸镀材料(1)全部蒸发后，保持向电热丝(12)通电，向上移动移动部(50)使第二坩埚(40)位于第一坩埚(30)的内侧面内，电热丝(12)对第二坩埚(40)内的蒸镀材料(1)加热使其蒸发并通过开孔(21)排出。
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Address after: 9-2 Tangming Avenue, Guangming New District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee after: TCL China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. Address before: 9-2 Tangming Avenue, Guangming New District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee before: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. |
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Denomination of invention: Steam plating device and method Effective date of registration: 20221209 Granted publication date: 20191112 Pledgee: Industrial and Commercial Bank of China Limited Shenzhen Guangming Sub branch Pledgor: TCL China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. Registration number: Y2022980026522 |
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Denomination of invention: Evaporation plating device and evaporation plating method Effective date of registration: 20231220 Granted publication date: 20191112 Pledgee: Industrial and Commercial Bank of China Limited Shenzhen Guangming Sub branch Pledgor: TCL China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. Registration number: Y2023980072868 |
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