CN103668079A - 蒸镀装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种蒸镀装置，包括：多个蒸镀源，给基板之上提供互不相同的蒸镀物质；传感器单元，用于检测从所述多个蒸镀源喷射的所述蒸镀物质的蒸镀厚度；主控制单元，用于控制所述传感器单元，所述传感器单元包括多个传感器组，该多个传感器组分别对应于所述多个蒸镀源，且具有不同数量的传感器，各个所述传感器组根据所述主控制单元的控制检测从对应的所述蒸镀源喷射到所述基板上的所述蒸镀物质的蒸镀厚度。
Description
技术领域
本发明涉及蒸镀装置，尤其涉及能够有效率地使用测量蒸镀厚度的传感器单元的多个传感器的蒸镀装置。
背景技术
最近，亮度特性和视角特性优良，且与液晶显示装置不同，不需要专门的光源单元的有机发光显示装置(Organic Light Ermitting Diode Display：OLED)作为下一代平板显示装置而受到关注。有机发光显示装置不需要专门的光源，因此可制作成轻量且薄型。而且，有机发光显示装置还具有低耗电、高亮度和高响应速度等特性。
有机发光显示装置包括具备阳极、有机发光层、阴极的有机发光元件。在有机发光元件中，从阳极和阴极分别注入空穴和电子而形成激子，该激子迁移至基态而发光。
用于制造有机发光显示装置的蒸镀装置包括给基板之上提供蒸镀物质的蒸镀源和用于测量被蒸镀到基板上的蒸镀物质的厚度的传感器单元。传感器单元测量从蒸镀源蒸发的蒸镀物质的蒸发量和蒸镀速度。根据由传感器单元测量的蒸发量和蒸镀速度，确定蒸镀于基板上的蒸镀物质的厚度。当使用填充有互不相同的蒸镀物质的多个蒸镀源时，可使用对应于多个蒸镀源的多个传感器单元。各个传感器单元测量从所对应的蒸镀源蒸发的蒸镀物质的蒸发量和蒸镀速度。
发明内容
本发明的目的在于提供一种有效率地使用传感器单元的多个传感器而能够有效率地测量从多个蒸发源蒸发的蒸镀物质的蒸镀厚度的蒸镀装置。
根据本发明实施例的蒸镀装置包括：多个蒸镀源，给基板之上提供互不相同的蒸镀物质；传感器单元，用于检测从所述多个蒸镀源喷射的所述蒸镀物质的蒸镀厚度；主控制单元，用于控制所述传感器单元，所述传感器单元包括多个传感器组，该多个传感器组分别对应于所述多个蒸镀源，且具有不同数量的传感器的多个传感器组，各个所述传感器组根据所述主控制单元的控制检测从对应的所述蒸镀源喷射到所述基板上的所述蒸镀物质的蒸镀厚度。
所述多个蒸镀源包括：第一蒸镀源，将第一蒸镀物质提供给所述基板之上；第二蒸镀源，将与第一蒸镀物质不同的其他物质构成的第二蒸镀物质提供给所述基板之上。
所述传感器组包括：第一传感器组，用于测量从所述第一蒸镀源喷射到所述基板之上的所述第一蒸镀物质的蒸镀厚度；第二传感器组，用于测量从所述第二蒸镀源喷射到所述基板上的所述第二蒸镀物质的蒸镀厚度。
所述第一传感器组的所述传感器的数量与所述第二传感器组的所述传感器的数量的比率对应于所述第一蒸镀物质的使用量和所述第二蒸镀物质的使用量的比率。
还包括用于支撑所述传感器单元的传感器支撑单元，所述传感器支撑单元布置于所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源之间，所述传感器单元通过所述传感器支撑单元被布置在相对于所述第一蒸镀源和第二蒸镀源的上部。
所述传感器单元包括壳体、布置在所述壳体内部的旋转盘、形成于所述壳体下面的感测孔、粘贴于所述壳体的下部且两端开口的第一传感器盖和第二传感器盖，所述第一传感器组和第二传感器组的所述传感器相隔相同的间距在所述旋转盘的下面被排列为圆形，所述第一传感器盖和所述第二传感器盖的上端的开口部相互共享而与所述感测孔交迭。
所述第一传感器盖和第二传感器盖的下端的开口部被布置为分别朝向各自对应的所述第一蒸镀源和第二蒸镀源的上侧面。
所述第一传感器盖和所述第二传感器分别形成从各自对应的所述第一蒸镀源和第二蒸镀源喷射的所述第一蒸镀物质和第二蒸镀物质的进入通道。
还包括蒸镀控制单元，该蒸镀控制单元在所述主控制单元的控制下运行所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源中的其中一个。
所述第一蒸镀源和第二蒸镀源中的其中一个根据所述蒸镀控制单元而运行，所述旋转盘在所述主控制单元的控制下旋转，从而与运行的所述蒸镀源对应的传感器组中的传感器中的其中一个传感器被布置于所述感测孔。
当其中一个所述传感器达到使用寿命时，在所述主控制单元的控制下，所述旋转盘旋转而使另一个传感器布置在所述感测孔。
本发明的蒸镀装置可以有效率地使用传感器单元的多个传感器而有效率地测量从多个蒸镀源蒸发的蒸镀物质的蒸镀厚度。
附图说明
图1为概略地示出根据本发明第一实施例的蒸镀装置的图。
图2为示出图1所示的传感器单元的内部结构的概略的剖视图。
图3为图1所示的传感器单元的上部平面图。
图4a和图4b为图1所示的传感器单元的下部平面图。
图5为概略地示出图1所示的蒸镀装置的方框图的图。
图6为概略地示出根据本发明第二实施例的蒸镀装置的图。
图7为概略地示出根据本发明第三实施例的蒸镀装置的图。
图8为概略地示出根据本发明第四实施例的蒸镀装置的图。
符号说明
10：真空腔体 100、200、300、400：蒸镀装置
110、120：第一及第二蒸镀源 111、121：第一及第二坩埚
112、122：第一及第二蒸镀物质 113、123：第一及第二喷射孔
130：传感器单元 140：基板
131：壳体 132_1、132_2：第一及第二传感器盖
132：传感器盖 20：传感器支撑单元
30：基板支撑单元 40：旋转轴
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的优选实施例进一步详细地说明。
图1为概略地示出根据本发明第一实施例的蒸镀装置的图。
参照图1，蒸镀装置100包括真空腔体10、多个蒸镀源110、120、传感器单元130、基板140、传感器支撑单元20、基板支撑单元30。
真空腔体10防止异物从外部进入，且为了确保蒸镀物质的直进性，维持高真空状态。
蒸镀源110、120可布置在真空腔体内部的下部，蒸镀源110、120包括第一蒸镀源110、第二蒸镀源120。为了便于说明，图1中示出了第一蒸镀源110和第二蒸镀源120，但还可以使用更多的蒸镀源。
第一蒸镀源110包括第一坩埚111、装填于第一坩埚111的第一蒸镀物质112、喷射被汽化的第一蒸镀物质112的第一喷射孔113。第二蒸镀源120包括第二坩埚121、装填于第二坩埚121的第二蒸镀物质122、喷射被汽化的第二蒸镀物质122的第二喷射孔123。
第一蒸镀物质111和第二蒸镀物质122可以由互不相同的物质构成。即，为了给基板提供互不相同的蒸镀物质，第一蒸镀源110和第二蒸镀源120中可装填有互不相同的蒸镀物质。例如，第一蒸镀源110中可装填主体物质，第二蒸镀源120中可装填掺杂物质。
第一蒸镀源110和第二蒸镀源120选择性地被运行。例如，为了将第一蒸镀物质112蒸镀到基板140上，第一蒸镀源110将被运行，但第二蒸镀源120不会被运行。此时，第一蒸镀源110的第一蒸镀物质112被汽化而通过第一喷射孔113被提供至基板140上。为了将第二蒸镀物质122蒸镀到基板140上，第二蒸镀源120将会被运行，但第一蒸镀源110不会被运行。此时，第二蒸镀源120的第二蒸镀物质122将通过第二喷射孔123被提供至基板140上。通过这种动作，第一蒸镀源110的主体物质和第二蒸镀源120的掺杂物质可以被蒸镀到基板140上。
虽然未图示，但第一蒸镀源110和第二蒸镀源120可分别包括用于使第一蒸镀物质112和第二蒸镀物质122汽化的加热器单元。
基板140可布置于真空腔体10内部的上部，以与第一蒸镀源110和第二蒸镀源120面对。基板140可通过基板支撑单元30被固定于真空腔体10内部的上部。
传感器130可被传感器支撑单元20支撑而布置在第一蒸镀源110和第二蒸镀源120之间。传感器单元130相对第一蒸镀源110和第二蒸镀源120位于上部。传感器单元130包括壳体131和粘贴于壳体131下部的多个传感器盖132_1、132_2。
传感器盖132_1、132_2形成为两端开口的圆筒形。传感器盖132_1、132_2形成从对应的第一蒸镀源110和第二蒸镀源120喷射的第一蒸镀物质112和第二蒸镀物质122的进入通道。粘贴于壳体131下部的传感器盖132_1、132_2的上端的开口部可以相互共享。
传感器盖132_1、132_2包括第一传感器盖132_1和第二传感器盖132_2。第一传感器盖132_1和第二传感器盖132_2可被布置为分别朝向各自所对应的第一蒸镀源110和第二蒸镀源120的上侧面。具体来讲，第一传感器盖132_1和第二传感器盖132_2的下端的开口部被布置为分别朝向各自所对应的第一蒸镀源110和第二蒸镀源120的上侧面。
第一传感器盖132_1可被布置为朝向从第一蒸镀源110喷射的第一蒸镀物质112。从第一蒸镀源110喷射的第一蒸镀物质112被喷射到基板140上，且可进入第一传感器盖132_1的下端的开口部。
第二传感器盖132_2可被布置为朝向从第二蒸镀源120喷射的第二蒸镀物质122。从第二蒸镀源120喷射的第二蒸镀物质122被喷射到基板140上，且可进入第二传感器盖132_2的下端的开口部。
在壳体131的内部布置有多个传感器。通常，水晶振子作为传感器使用。被蒸镀到水晶振子表面的物质的量越增加，水晶振子的振动数(或频率)越下降。通过检测这种振动数的变化来测量蒸镀物质的蒸镀量和蒸镀速度。进入到第一传感器盖132_1和第二传感器盖132_2的蒸镀物质被提供给传感器。传感器通过进入到第一传感器盖132_1和第二传感器盖132_2的蒸镀物质来检测蒸镀物质的蒸镀量和蒸镀速度。
虽然图1中未示出，但传感器单元130可以包括用于检测第一蒸镀源110的第一蒸镀物质112的蒸镀量和蒸镀速度的第一传感器组和用于检测第二蒸镀源120的第二蒸镀物质122的蒸镀量和蒸镀速度的第二传感器组。第一传感器组和第二传感器组可包括不同数量的传感器。
当通过布置在真空腔体10外部的蒸镀控制单元的控制而将第一蒸镀源110的第一蒸镀物质112提供给基板140上时，可使用第一传感器组。当通过蒸镀控制单元的控制而将第二蒸镀源120的第二蒸镀物质122提供给基板140上时，可使用第二传感器组。由蒸镀控制单元控制的传感器的操作将在以下详细说明。
第一传感器组的传感器数量和第二传感器组的传感器数量可根据蒸镀物质的使用量设定。具体来讲，第一传感器组的传感器的数量与第二传感器组的传感器的数量的比率对应于第一蒸镀物质的使用量与第二蒸镀物质的使用量的比率。例如，装填于第一蒸镀源110的主体物质的使用量多于装填于第二蒸镀源120的掺杂物质的使用量。此时，应用于第一蒸镀源110的第一传感器组的传感器的数量设定为多于应用于第二蒸镀源120的第二传感器组的传感器的数量。
根据本发明一实施例的蒸镀装置100可通过一个传感器单元130测量从两个蒸镀源110、120蒸发的蒸镀物质的厚度。
为了便于说明，图1中示出一个传感器单元130和两个蒸镀源110、120，但并不局限于此。例如，蒸镀装置100可包括多个传感器单元和多个蒸镀源，各个传感器单元可测量从多个蒸镀源中的对应的两个蒸镀源蒸发的蒸镀物质的蒸镀厚度。而且，传感器单元可以测量从多于两个的蒸镀源蒸发的蒸镀物质的蒸镀厚度。此时，传感器盖的数量被设定为对应于蒸镀源的数量，传感器单元可包括对应于蒸镀源的组。组的传感器数量可依据蒸镀物质的使用比率来设定。
其结果，根据本发明第一实施例的蒸镀装置100可有效率地使用传感器单元130的多个传感器而有效率地测量从多个蒸镀源110、120蒸发的蒸镀物质的蒸镀厚度。
图2为示出图1所示的传感器单元的内部结构的概略的剖视图。
参照图2，传感器单元130包括壳体131、旋转盘R_P、旋转轴40、多个传感器S、多个电阻R、第一传感器盖132_1和第二传感器盖132_2、形成于壳体131的下面的感测孔S_H。
壳体131和旋转盘R_P可分别构成为圆筒形。多个电阻R分别对应于多个传感器S。
旋转盘R_P布置于壳体131内部。传感器S布置于旋转盘R_P的下面。电阻R布置于旋转盘R_P的上面。旋转轴40布置在壳体131内部的上部而连接于旋转盘R_P，以旋转旋转盘R_P。
第一传感器盖132_1和第二传感器盖132_2粘贴于壳体131的下部。粘贴于壳体131下部的第一传感器盖132_1和第二传感器盖132_2的上端的开口部被相互共享，且可与感测孔S_H交迭(overlap)。感测孔S_H可以与传感器S中的其中一个交迭。通过第一传感器盖132_1和第二传感器盖132_2的下端的开口部进入的蒸镀物质可通过感测孔S_H被提供到与感测孔S_H交迭的传感器S。
图3为图1所示的传感器单元的上部平面图。为了便于说明，图3中没有示出壳体131。
参照图3，传感器S可包括第一至第十二传感器S1～S12。电阻R可包括第一至第十二电阻R1～R12。第一至第十二传感器S1～S12可以相隔相同的间距在旋转盘(R_P)的下面排列成圆形。第一至第十二电阻R1～R12可以相隔相同的间距在旋转盘R_P的上面排列成圆形。
第一至第十二电阻R1～R12可以被布置为分别与对应的第一至第十二传感器S1～S12所布置的位置相邻。具体来讲，第一至第十二传感器S1～S12排列形成的圆形大于第一至第十二电阻R1～R12排列形成的圆形。相对于第一至第十二传感器S1～S12的布置位置，第一至第十二电阻R1～R12可以在旋转盘的上面布置在内侧，且布置为分别与对应的第一至第十二传感器S1～S12相邻。
第一至第十二电阻R1～R12具有互不相同的电阻值。第一至第十二传感器S1～S12的原始编码由对应的第一至第十二电阻R1～R12的电阻值决定。例如，虽然图3中没有示出，但第一至第十二电阻R1～R12可通过连接器连接到布置在真空腔体10外部的主控制单元。根据这种结构，第一至第十二电阻R1～R12的电阻值可以提供到主控制单元。主控制单元通过识别第一至第十二电阻R1～R12的电阻值，由此可以识别分别对应于第一至第十二电阻R1～R12的第一至第十二传感器S1～S12的原始号码。
为了便于说明，图3中示出了12个电阻R1～R12和12个传感器S1～S12，但电阻的数量和传感器的数量并不局限于此。
图4a和图4b为图1所示的传感器单元的下部平面图。图5为概略地示出图1所示的蒸镀装置的方框图的图。
参照图4a、图4b以及图5可知，蒸镀装置100包括主控制单元150、蒸镀控制单元160、传感器单元130、第一蒸镀源110、第二蒸镀源120。
主控制单元150将用于运行蒸镀源的控制信号提供给蒸镀控制单元160。控制信号包括蒸镀源选择信息和所选择的蒸镀源的加热温度和蒸镀物质的蒸发比率等参数值。例如，当在基板140上蒸镀第一蒸镀物质112时，主控制单元150将用于选择第一蒸镀源110的信息、用于加热第一蒸镀源110的加热温度、第一蒸镀物质112的蒸发比率等参数值提供给蒸镀控制单元160。当在基板140上蒸镀第二蒸镀物质122时，主控制单元150将用于选择第二蒸镀源120的信息、用于加热第二蒸镀源120的加热温度、第二蒸镀物质122的蒸发比率等参数值提供给蒸镀控制单元160。
蒸镀控制单元160响应于从主控制单元150提供的控制信号而运行第一蒸镀源110和第二蒸镀源120中的其中一个。例如，蒸镀控制单元160响应于从主控制单元150提供的用于运行第一蒸镀源110的控制信号而将第一蒸镀源110加热至预定温度并以预定的比率进行蒸发。
传感器单元130根据主控制单元150的控制而运行，检测从第一蒸镀源110和第二蒸镀源120中的其中一个喷射的蒸镀物质的蒸镀量和蒸镀速度。所检测到的蒸镀物质的蒸镀量和蒸镀速度将提供至蒸镀控制单元160。例如，当第一蒸镀源110根据蒸镀控制单元160而运行时，传感单元130检测从第一蒸镀源110喷射的第一蒸镀物质112的蒸镀量和蒸镀速度。检测到的第一蒸镀物质112的蒸镀量和蒸镀速度将提供至蒸镀控制单元160。蒸镀控制单元160将所检测到的第一蒸镀物质112的蒸镀量和蒸镀速度提供给主控制单元150。
主控制单元150利用从蒸镀控制单元160提供的蒸镀物质的蒸镀量和蒸镀速度测量被蒸镀到基板140上的蒸镀物质的厚度。当蒸镀物质的厚度达到目标值时，主控制单元150将用于停止蒸镀源的运行的控制信号提供给蒸镀控制单元160。蒸镀控制单元160响应于用于停止蒸镀源的运行的控制信号而停止蒸镀源的运行。例如，当蒸镀到基板140上的第一蒸镀物质112的厚度达到目标值时，主控制单元150向蒸镀控制单元160提供用于停止第一蒸镀源110的运行的控制信号。蒸镀控制单元160响应于用于停止第一蒸镀源110的运行的控制信号停止第一蒸镀源110的运行。
传感器单元130包括第一传感器组S_G1和第二传感器组S_G2。作为示例性实施例，第一传感器组S_G1可以被设定为在第一蒸镀物质112通过第一蒸镀源110被提供至基板140上时使用。第二传感器组S_G2可以被设定为在第二蒸镀物质122通过第二蒸镀源120被提供至基板140上时使用。
第一传感器组S_G1的传感器的数量和第二传感器组S_G2的传感器的数量的比率对应于第一蒸镀物质112的使用量和第二蒸镀物质122的使用量的比率。据此，第一传感器组S_G1的传感器的数量和传感器的原始号码以及第二传感器组S_G2的传感器的数量和传感器的原始号码可以根据蒸镀物质的使用量设定。
作为第一蒸镀物质112可使用主体物质，作为第二蒸镀物质122可使用掺杂物质。此时，装填于第一蒸镀源110的主体物质的使用量多于装填于第二蒸镀源120的掺杂物质的使用量。据此，应用于第一蒸镀源110的第一传感器组S_G1的数量被设定为多于应用于第二蒸镀源120的第二传感器组S_G2的传感器的数量。例如，当主体物质的使用量和掺杂物质的使用量的比率为3∶1时，第一传感器组S_G1的传感器的数量和第二传感器组S_G2的传感器的数量可以设定为3∶1。
如图4a和图4b所示，传感器单元130包括12个传感器S1～S12。据此，应用于第一蒸镀源110的第一传感器组S_G1的传感器的数量可以被设定为9个，应用于第二蒸镀源120的第二传感器组S_G2的传感器的数量可以被设定为3个。第一传感器组S_G1的9个传感器可以被指定为第一至第九传感器S1～S9。第二传感器组S_G2的3个传感器可以被指定为第十至第十二传感器S10～S12。
这种信息将预先存储于主控制单元150，即，将应用于各个蒸镀源的传感器组的传感器的数量和各个传感器的原始号码可以预先被存储于主控制单元150。
当第一蒸镀源110根据蒸镀控制单元160运行时，在主控制单元150的控制下，旋转盘R_P旋转，第一传感器组S_G1中的第一至第九传感器S1～S9中的其中一个可以被布置于感测孔S_H。例如，当第一蒸镀源110的第一蒸镀物质112被提供到基板140上时，在主控制单元150的控制下，第一至第九传感器S1～S9中的第一传感器S1可以被布置在感测孔S_H。
如前所述，主控制单元150根据分别与第一至第十二传感器S1～S12对应的第一至第十二电阻R1～R12的电阻值识别第一至第十二传感器S1～S12的原始号码。据此，如图4a所示，主控制单元150沿逆时针方向旋转旋转盘R_P，以使第一传感器S1被布置在感测孔S_H。
从第一蒸镀源110喷射的第一蒸镀物质112被提供到基板140上，并进入第一传感器盖132_1。进入第一传感器盖132_1的第一蒸镀物质112通过感测孔S_H被提供至第一传感器S1。第一传感器S1通过进入的第一蒸镀物质112检测第一蒸镀物质112的蒸镀量和蒸镀速度。
如前所述，水晶振子作为传感器使用。随着蒸镀到振子表面的物质的量越增加，振动数越下降。被蒸镀到水晶振子的表面的蒸镀物质的厚度达到预定厚度以上时，水晶振子将无法继续使用。当根据被蒸镀到传感器表面的物质的量而降低的传感器的振动数降低至无法继续使用传感器的预定频率以下时，通过主控制单元150更换传感器。
具体来讲，第一传感器S1的振动数将被提供至蒸镀控制单元160，蒸镀控制单元160将第一传感器S1的振动数提供给主控制单元150。主控制单元150可存储有无法继续使用传感器的基准频率值。主控制单元150比较第一传感器S1的振动数和基准频率值。当第一传感器S1的振动数小于基准频率值时，主控制单元150旋转旋转盘R_P，以使第二传感器被布置到感测孔S_H。即，当第一传感器S1达到使用寿命时，主控制单元150旋转旋转盘R_P，以使第二传感器S2被布置到感测孔S_H。
根据布置到感测孔S_H的第二传感器S2，可再次测量从第一蒸镀源110喷射的第一蒸镀物质112的蒸镀厚度。根据这种操作，第一至第九传感器S1～S9可使用为测量第一蒸镀物质112的蒸镀厚度。
当第二蒸镀源120根据蒸镀控制单元160运行时，在主控制单元150的控制下，旋转盘R_P旋转，第二传感器组S_G2的第十至第十二传感器S10～S12中的其中一个可以被布置于感测孔S_H。例如，当第二蒸镀源120的第二蒸镀物质122被提供至基板140上时，在主控制单元150的控制下，第十至第十二传感器S10～S12中的第十传感器S10可以被布置于感测孔S_H。如图4b所示，主控制单元150旋转旋转盘R_P，以使第十传感器S10被布置于感测孔S_H。
从第二蒸镀源120喷射的第二蒸镀物质122被提供至基板140上，并进入第二传感器盖132_2。进入第二传感器盖132_2的第二蒸镀物质122通过感测孔S_H被提供至第十传感器S10。第十传感器S10通过进入的第二蒸镀物质122检测第二蒸镀物质122的蒸镀量和蒸镀速度。
当第十传感器S10达到使用寿命时，主控制单元150旋转旋转盘R_P，以使第十一传感器S11被布置到感测孔S_H。根据布置到感测孔S_H的第十一传感器S11，可再次测量从第二蒸镀源120喷射的第二蒸镀物质122的蒸镀厚度。根据这种操作，第十至十二传感器S10～S12可使用为测量第二蒸镀物质122的蒸镀厚度。
蒸镀装置100可以通过一个传感器单元130测量从两个蒸镀源110、120蒸发的蒸镀物质的厚度。为了便于说明，图4a和图4b示出了12个传感器S1～S12，但传感器的数量并不局限于此。例如，可以使用多于12个的传感器，且根据使用的蒸镀物质的量，第一传感器组S_G1和第二传感器组S_G2的传感器数量可被设定为多种数量。
其结果，根据本发明第一实施例的蒸镀装置100可有效率地使用传感器单元130的多个传感器而有效率地测量从多个蒸镀源110、120蒸发的蒸镀物质的蒸镀厚度。
图6为概略地示出根据本发明第二实施例的蒸镀装置的图。
根据本发明第二实施例的蒸镀装置200除了传感器单元130的结构不同之外，具有与根据第一实施例的蒸镀装置100相同的结构。据此，以下仅对于与根据第一实施例的蒸镀装置100不同的结构进行说明。
参照图6，传感器单元130包括壳体131和粘贴于壳体131的下部的一个传感器盖132。粘贴于壳体131下部的传感器盖132的上端开口部与感测孔S_H交迭。
传感器单元130的传感器盖132可以移动，以朝向第一蒸镀源110和第二蒸镀源120中的、喷射蒸镀物质的其中一个蒸镀源。例如，传感器单元130可以旋转为使传感器盖132的下端的开口部沿左右方向形成圆弧形轨迹。当第一蒸镀源110的第一蒸镀物质112被喷射到基板140上时，在主控制单元150的控制下，传感器单元130可以旋转为使得传感器盖132的下端的开口部朝向从第一蒸镀源110喷射的第一蒸镀物质112。当第二蒸镀源120的第二蒸镀物质122喷射到基板140上时，在主控制单元150的控制下，传感器单元130可以旋转为使得传感器盖132的下端的开口部朝向从第二蒸镀源120喷射的第二蒸镀物质122。
虽然未图示，但为了执行这种操作，传感器支撑单元20的上部可以设置用于旋转传感器单元130的马达单元。
传感器单元130的其他结构与根据第一实施例的蒸镀装置100的传感器单元130的结构相同。即，当第一蒸镀源110的第一蒸镀物质112被喷射到基板140上时，可使用第一至第九传感器S1～S9。当第二蒸镀源120的第二蒸镀物质122被喷射到基板140上时，可使用第十至第十二传感器S10～S12。
其结果，根据本发明第二实施例的蒸镀装置200可有效率地使用传感器单元130的多个传感器而有效率地测量从多个蒸镀源110、120蒸发的蒸镀物质的蒸镀厚度。
图7为概略地示出根据第三实施例的蒸镀装置的图。
根据本发明第三实施例的蒸镀装置300除了传感器单元130的结构不同之外，具有与第一实施例的蒸镀装置100相同的结构。据此，以下仅对于与根据第一实施例的蒸镀装置100不同的结构进行说明。
参照图7，传感器单元130包括壳体131以及粘贴于壳体131的下部的一个传感器盖132。粘贴于壳体131下部的传感器盖的上端的开口部与感测孔S_H交迭。
第一蒸镀源110和第二蒸镀源120可具有互不相同的大小。例如，第一蒸镀源110中可装填作为第一蒸镀物质112的主体物质，第二蒸镀源120中可装填作为第二蒸镀物质122的掺杂物质。此时，如图7所示，装填使用量多于掺杂物质的主体物质的第一蒸镀源110形成为大于第二蒸镀源120。具体来讲，第一蒸镀源110的从下侧面至上侧面的高度可大于第二蒸镀源120的从下侧面至上侧面的高度。
传感器单元130可以相隔预定的间距而相邻于第一蒸镀源110和第二蒸镀源120的右侧和左侧中的其中一侧布置。例如，如图7所示，传感器单元130可以相隔预定的间距而相邻于第一蒸镀源110和第二蒸镀源120的右侧布置。
传感器盖132可以构成为朝向第一蒸镀源110和第二蒸镀源120的上侧面。传感器单元130的传感器盖132可以移动为朝向第一蒸镀源110和第二蒸镀源120中的、喷射蒸镀物质的其中一个蒸镀源。例如，传感器单元130可以借助传感器支撑轴20可以沿垂直的上下方向移动。当第一蒸镀源110的第一蒸镀物质112被喷射到基板140上时，传感器单元130在主控制单元150的控制下可以沿上侧方向移动，以使传感器盖132的下端的开口部朝向从第一蒸镀源110喷射的第一蒸镀物质112。当第二蒸镀源120的第二蒸镀物质122被喷射到基板140上时，传感器单元130在主控制单元150的控制下可以沿下侧方向移动，以使传感器盖132的下端的开口部朝向从第二蒸镀源120喷射的第二蒸镀物质122。
传感器单元130的其他结构与根据第一实施例的蒸镀装置100的传感器单元130的结构相同。即，当第一蒸镀源110的第一蒸镀物质112被喷射到基板140上时，可使用第一至第九传感器S1～S9。当第二蒸镀源120的第二蒸镀物质122被喷射到基板140上时，可使用第十至第十二传感器S10～S12。
其结果，根据本发明第三实施例的蒸镀装置300可有效率地使用传感器单元130的多个传感器而有效率地测量从多个蒸镀源110、120蒸发的蒸镀物质的蒸镀厚度。
图8为概略地示出根据第四实施例的蒸镀装置的图。
根据本发明第四实施例的蒸镀装置400除了传感器单元130的结构不同之外，具有与第一实施例的蒸镀装置100相同的结构。据此，以下仅对于与根据第一实施例的蒸镀装置100不同的结构进行说明。
参照图8，传感器单元130包括壳体131以及粘贴于壳体131的下部的一个传感器盖132。粘贴于壳体131下部的传感器盖132的上端的开口部与感测孔S_H交迭。
第一蒸镀源110和第二蒸镀源120可以在真空腔体10内布置于互不相同的高度上。传感器单元130可以相隔预定的间距相邻于第一蒸镀源110和第二蒸镀源120的右侧和左侧中的其中一侧布置。例如，如图8所示，传感器单元130可以相隔预定的间距相邻于第一蒸镀源110和第二蒸镀源120的右侧布置。
传感器单元130的传感器盖132可以移动为朝向第一蒸镀源110和第二蒸镀源120中的、喷射蒸镀物质的其中一个蒸镀源。例如，传感器单元130可以旋转为使得传感器盖132的下端的开口部沿左右方向旋转而形成圆弧形轨迹。当第一蒸镀源110的第一蒸镀物质112被喷射到基板140上时，传感器单元130在主控制单元150的控制下可以旋转为使传感器盖132的下端的开口部朝向从第一蒸镀源110喷射的第一蒸镀物质112。当第二蒸镀源120的第二蒸镀物质122被喷射到基板140上时，传感器单元130在主控制单元150的控制下可以旋转为使传感器盖132的下端的开口部朝向从第二蒸镀源120喷射的第二蒸镀物质122。
虽然未图示，为了实现这种操作，传感器支撑单元20的上部可形成有用于旋转传感器单元130的马达单元。
传感器单元130的其他结构与根据第一实施例的蒸镀装置100的传感器单元130的结构相同。即，当第一蒸镀源110的第一蒸镀物质112被喷射到基板140上时，可使用第一至第九传感器S1～S9。当第二蒸镀源120的第二蒸镀物质122被喷射到基板140上时，可使用第十至第十二传感器S10～S12。
其结果，根据本发明第四实施例的蒸镀装置400可有效率地使用传感器单元130的多个传感器而有效率地测量从多个蒸镀源110、120蒸发的蒸镀物质的蒸镀厚度。
以上虽然参照实施例进行了说明，但本领域的熟练的技术人员应理解，在不脱离权利要求书中记载的本发明的思想和领域的前提下，可对本发明进行多种修改和变更。而且，本发明中记载的实施例并非用来限定本发明的技术思想，权利要求范围以及与权利要求范围处于同等范围内的所有技术思想均应解释为包含于本发明的权利范围之内。
Claims (19)
1.一种蒸镀装置，包括：
多个蒸镀源，给基板之上提供互不相同的蒸镀物质；
传感器单元，用于检测从所述多个蒸镀源喷射的所述蒸镀物质的蒸镀厚度；
主控制单元，用于控制所述传感器单元，
所述传感器单元包括多个传感器组，该多个传感器组分别对应于所述多个蒸镀源，且具有不同数量的传感器，
各个所述传感器组根据所述主控制单元的控制检测从对应的所述蒸镀源喷射到所述基板上的所述蒸镀物质的蒸镀厚度。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其中，所述多个蒸镀源包括：
第一蒸镀源，将第一蒸镀物质提供给所述基板之上；
第二蒸镀源，将与第一蒸镀物质不同的其他物质构成的第二蒸镀物质提供给所述基板之上。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其中，所述传感器组包括：
第一传感器组，用于测量从所述第一蒸镀源喷射到所述基板之上的所述第一蒸镀物质的蒸镀厚度；
第二传感器组，用于测量从所述第二蒸镀源喷射到所述基板上的所述第二蒸镀物质的蒸镀厚度。
4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其中，所述第一传感器组的所述传感器的数量与所述第二传感器组的所述传感器的数量的比率对应于所述第一蒸镀物质的使用量和所述第二蒸镀物质的使用量的比率。
5.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其中，还包括用于支撑所述传感器单元的传感器支撑单元，
所述传感器支撑单元布置于所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源之间，所述传感器单元通过所述传感器支撑单元被布置在相对于所述第一蒸镀源和第二蒸镀源的上部。
6.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其中，所述传感器单元包括壳体、布置在所述壳体内部的旋转盘、形成于所述壳体下面的感测孔、粘贴于所述壳体的下部且两端开口的第一传感器盖和第二传感器盖，
所述第一传感器组和第二传感器组的所述传感器相隔相同的间距在所述旋转盘的下面被排列为圆形，所述第一传感器盖和所述第二传感器盖的上端的开口部相互共享而与所述感测孔交迭。
7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其中，所述第一传感器盖和第二传感器盖的下端的开口部被布置为分别朝向各自对应的所述第一蒸镀源和第二蒸镀源的上侧面。
8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其中，所述第一传感器盖和所述第二传感器分别形成从各自对应的所述第一蒸镀源和第二蒸镀源喷射的所述第一蒸镀物质和第二蒸镀物质的进入通道。
9.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其中，还包括蒸镀控制单元，该蒸镀控制单元在所述主控制单元的控制下运行所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源中的其中一个。
10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其中，所述第一蒸镀源和第二蒸镀源中的其中一个根据所述蒸镀控制单元而运行，且所述旋转盘在所述主控制单元的控制下旋转，从而与运行的所述蒸镀源对应的传感器组中的传感器中的其中一个传感器被布置于所述感测孔。
11.根据权利要求10所述的蒸镀装置，其中，当其中一个所述传感器达到使用寿命时，在所述主控制单元的控制下，所述旋转盘旋转而使另一个传感器布置在所述感测孔。
12.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其中，所述传感器单元包括壳体、布置在所述壳体内部的旋转盘、形成于所述壳体下面的感测孔、粘贴于所述壳体的下部且两端开口的传感器盖，
所述第一传感器组和第二传感器组的所述传感器相隔相同的间距在所述旋转盘的下面被排列为圆形，所述传感器盖的上端的开口部与所述感测孔交迭。
13.根据权利要求12所述的蒸镀装置，其中，还包括在所述主控制单元的控制下运行所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源中的其中一个的蒸镀控制单元，
所述第一蒸镀源和第二蒸镀源中的其中一个根据所述蒸镀控制单元而运行，且所述旋转盘在所述主控制单元的控制下旋转，从而与运行的蒸镀源对应的传感器组中的传感器中的其中一个传感器被布置于所述感测孔。
14.根据权利要求12所述的蒸镀装置，其中，所述传感器单元的所述传感器盖移动为朝向从所述运行的所述蒸镀源喷射的蒸镀物质。
15.根据权利要求14所述的蒸镀装置，其中，所述传感器单元在所述第一蒸镀源和第二蒸镀源之间被布置在相对于所述第一蒸镀源和第二蒸镀源的上部，在所述主控制单元的控制下，所述传感器盖下端的开口部沿左右方向旋转为形成圆弧形轨迹，
所述传感器盖的下端的开口部被布置为朝向从所述运行的所述蒸镀源喷射的所述蒸镀物质。
16.根据权利要求14所述的蒸镀装置，其中，所述第一蒸镀源和第二蒸镀源具有互不相同的大小，所述传感器盖构成为朝向所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源的上侧面，所述传感器单元相隔预定的间距相邻于所述第一蒸镀源和第二蒸镀源的右侧和左侧中的其中一侧布置。
17.根据权利要求16所述的蒸镀装置，其中，在所述主控制单元的控制下，所述传感器单元沿垂直的上下方向移动，所述传感器盖下端的开口部被布置为朝向从所述运行的所述蒸镀源喷射的所述蒸镀物质。
18.根据权利要求14所述的蒸镀装置，其中，所述第一蒸镀源和第二蒸镀源被布置在互不相同的高度，所述传感器单元相隔预定的间距相邻于所述第一蒸镀源和第二蒸镀源的右侧和左侧中的其中一侧布置。
19.根据权利要求18所述的蒸镀装置，其中，在所述主控制单元的控制下，所述传感器单元旋转为使所述传感器盖的下端的开口部沿左右方向形成圆弧形轨迹，所述传感器盖下端的开口部被布置为朝向从所述运行的所述蒸镀源喷射的所述蒸镀物质。
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