KR101362166B1 - 발광 표시소자의 제조장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 발광 표시소자의 생산효율을 증대시킬 수 있는 발광 표시소자의 제조장치에 관한 것이다.
본 발명에 발광 표시소자의 제조장치는 내부에 기판이 배치된 진공 챔버와, 기판에 증착될 증발원을 공급하는 적어도 하나 이상의 제 1 도가니와, 진공 챔버의 적어도 하나의 일측에서 제 1 도가니에 유기물을 충전하기 위한 증발원 공급부를 포함하여 구성된다.
이러한 구성에 의하여 본 발명은 증발원을 충전하기 위해 온도를 낮추고 진공 챔버의 분위기를 낮춰야만 하는 종전과 달리 진공 챔버의 외부에 적어도 하나 이상의 증발원 공급부를 형성하여 고진공 분위기를 유지하면서 도가니에 증발원을 충전함으로써 증발원 충전을 위한 로스(loss) 시간을 줄이고, 장비 가동율을 증가 시켜 생산효율 향상 시킬 수 있다. 또한, 증발원을 증착하기 위해 진공 챔버를 오픈시키는 과정이 생략됨으로써 공기와 수분에 취약한 발광 표시소자의 외부 노출을 줄여 발광 표시소자의 성능을 향상 시킬 수 있다.
챔버, 증발원, 투입구, 도가니
Description
본 발명은 발광 표사장치의 제조장치에 관한 것으로, 특히, 발광 표시소자의 생산효율을 증대시킬 수 있는 발광 표시소자의 제조장치에 관한 것이다.
최근, 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 전기적 정보신호를 시각적으로 표현하는 디스플레이(display)분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 지닌 여러 가지 다양한 평판 표시장치(Flat Display Device)가 개발되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
이 같은 평판 표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 발광 표시장치(Light Emitting Display Device) 등이 있다.
이중, 발광 표시소자(Light Emitting Display Device)는 종이와 같이 박막화가 가능하고, 전극 사이의 얇은 발광층을 이용한 자발광 소자로 액정 표시장치와 비교하여 저소비전력, 박형, 자발광 등의 장점을 갖고 있다.
이러한, 종래의 발광 표시장치를 구성하는 복수의 발광 표시소자는 기판 위에 투명한 제 1 전극과, 유기물 1층 이상으로 구성된 유기 발광층(정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층)과, 전자 주입 역할 및 발광된 빛을 반사시키는 제 2 전극으로 구성된다.
발광 표시소자의 제조 공정 중에서, 유기 재료의 박막 형성 공정인 물리적 기상 증착 공정(Physical Vapor Deposition; PVD)은 증착 재료(유기물)의 증기로 기판 표면에 발광층을 형성하는 공정으로서, 유기물을 수용하는 도가니(Crucible) 및 코팅될 기판을 구비한 10-7 내지 10-2 torr 범위의 압력 상태의 진공 챔버 내에서 진행된다.
유기물이 수용된 도가니는 전류가 통과할 때 온도가 증가되는 가열 수단으로부터의 방사열 또는 전도열에 의하여 가열된다. 이와 같이 가열된 도가니로부터 기화된 유기물의 증기가 도가니의 외부로 배출되어 도가니의 상부에 설치된 기판에 증착됨으로서 유기 박막이 형성된다.
이와 같이, 충전한 유기물이 증작되어 증착공정이 진행되기까지 요구되는 일정 온도까지 도달, 또는 산화 방지를 위한 온도를 줄이기 위해 수시간이 소요되며, 이에 따라 장비가동률의 감소(Loss)는 불가피하다.
아울러, 진공 챔버를 오픈하여 도가니에 유기물을 충전하는 과정이 반복된다. 이때, 수분에 취약한 발광 표시 장치의 재료가 외부에 노출이 잦아지면, 소자의 성능에도 좋지 않은 영향을 미칠 뿐만 아니라 생산효율 및 수율에도 큰 영향을 미치게 된다.
표 1은 진공 챔버를 오픈하여 도가니에 유기물 충전까지 걸리는 시간을 나타낸 표이다.
| 항 목 |
소요시간 |
기준 |
| 진공 챔버 온도 감소시간 |
3시간 ~ 10 시간 |
|
| Vent 후 물질 충전 시간 |
2시간 |
Vent 할 수 있는 도가니 온 도 : 100℃ 이하 |
| 진공 챔버 온도 상승 및 진공도 도달 시간 |
15 시간 |
8E-7 Torr 기준 |
| 총 |
20 ~ 27 시간 |
표 1을 참조하면, 도가니에 유기물을 충전하기까지 약 20 시간 이상의 휴지(Idle)시간이 필요하게 때문에 증착 장비의 효율이 급격하게 떨어지는 문제점이 발생하게 된다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 도가니에 유기물 충전시 발생하는 로스(Loss) 시간을 줄여 생산효율을 증대시킬 수 있는 발광 표시소자의 제조장치를 제공하는데 있다.
본 발명에 따른 발광 표시소자의 제조장치는 내부에 기판이 배치된 진공 챔버와; 상기 기판에 증착될 증발원을 공급하는 적어도 하나 이상의 제 1 도가니와; 상기 진공 챔버의 적어도 하나의 일측에서 상기 제 1 도가니에 유기물을 충전하기 위한 증발원 공급부를 포함하여 구성된다.
상기 증발원 공급부는 상기 제 1 도가니에 상기 증발원을 공급하는 증발원 공급관과; 상기 증발원 공급관과 상기 진공 챔버의 진공 분위기를 유지하기 위한 제 1 수동제어밸브와; 상기 제 1 수동제어밸브 개폐시 상기 진공 챔버의 진공 분위기를 유기하기 위한 제 2 수동제어밸브를 포함하여 구성된다.
상기 제 1 도가니는 상기 증발원을 보관하기 위한 복수의 제 2 도가니와; 상기 복수의 제 2 도가니가 안착되기 위한 제 1 하부 바디부와; 상기 제 1 하부 바디부와 형합하고 상기 제 2 도가니의 증발원이 이동하는 제 1 홀이 형성된 상부캡과; 상기 제 1 하부 바디부의 하부에서 상기 상부캡을 회전시키기 위한 회전부를 를 포함하여 구성된다.
상기 제 2 도가니는 상기 증발원이 안착되기 위한 제 2 바디부와; 상기 증발원이 이동하기 위한 제 2 홀이 형성된 제 2 상부캡을 포함하여 구성된다.
상기 상부캡은 상기 회전부와 결합하기 위한 회전봉을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 하부 바디부는 상기 회전봉과 결합하기 위한 회전봉 고정부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 발광 표시소자의 제조장치는 증발원을 충전하기 위해 온도를 낮추고 진공 챔버의 분위기를 낮춰야만 하는 종전과 달리 진공 챔버의 외부에 적어도 하나 이상의 증발원 공급부를 형성하여 고진공 분위기를 유지하면서 도가니에 증발원을 충전함으로써 증발원 충전을 위한 로스(loss) 시간을 줄이고, 장비 가동율을 증가 시켜 생산효율 향상 시킬 수 있다.
또한, 증발원을 증착하기 위해 진공 챔버를 오픈시키는 과정이 생략됨으로써 공기와 수분에 취약한 발광 표시소자의 외부 노출을 줄여 발광 표시소자의 성능을 향상 시킬 수 있다.
이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 발광 표시소자의 제조장치를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 발광 표시소자의 제조장치는 내부에 기판(102)이 배치된 진공 챔버(104)와, 기판(102)에 증착될 증발원(114)을 공급하는 적어도 하나 이상의 제 1 도가니(106)와, 진공 챔버(104)의 적어도 하나의 일측에서 제 1 도가니(106)에 증발원(114)을 충전하기 위한 증발원 공급부를 포함하여 구성된다.
진공 챔버(104)는 내부에 기판(102)을 배치하고, 진공 분위기를 유지한다. 여기서, 진공 챔버(104)는 기판(102)에 증발원을 공급하는 제 1 도가니(106)와, 제 1 도가니(106)에 증발원을 공급하는 증발원 공급부를 포함하여 구성된다.
제 1 도가니(106)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 증발원(114)을 수용하기 위한 복수의 제 2 도가니(118)와, 복수의 제 2 도가니(118)가 안착되기 위한 제 1 하부 바디부(138)와, 제 1 하부 바디부(138)와 형합하고 제 2 도가니(118)의 증발원(114)이 이동하는 제 1 홀(124)이 형성된 제 1 상부캡(120)과, 제 1 하부 바디부(138)의 하부에서 제 1 상부캡(120)을 회전시키기 위한 회전부(116)를 를 포함하여 구성된다.
제 1 하부 바디부(138)는 복수의 제 2 도가니(118)가 안착될 수 있도록 형성된다. 여기서, 제 1 하부 바디부(138)의 상부는 제 1 상부캡(120)의 하부와 결합하고 하부 회전부(116)와 연결되도록 형성한다. 여기서, 제 1 하부 바디부(128)는 제 1 상부캡(120)의 회전봉(122)을 고정하기 위한 회전봉 고정부(126)를 포함하여 구성된다.
복수의 제 2 도가니(118)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 증발원(114)을 수용하기 위한 제 2 바디부(136)와, 증발원(114)이 이동하기 위한 제 2 홀(128)이 형성된 제 2 상부캡(130)을 포함하여 구성된다.
제 2 바디부(136)는 증발원 공급부로부터 공급된 증발원(114)이 수용될 수 있도록 형성된다. 여기서, 제 2 바디부(136)는 외주면에 도시되지 않은 가열장치에 의해 전기적으로 가열되어 온도가 상승함에 따라 증발원(114)이 증발한다. 이때, 제 2 바디부(136)는 내측에 형성된 중공부(132)와, 상부에 제 2 상부캡(130)과 결합하기 위한 나사선(134)을 포함하여 구성된다.
제 2 상부캡(130)은 제 2 바디부(136)의 나사선(134)과 결합되도록 형성된다. 여기서, 제 2 상부캡(130)은 중심부에 제 2 홀(128)이 형성되어 제 2 바디부(136)에서 증발되는 물질이 제 2 홀(128)을 통해 증발될 수 있도록 한다.
제 1 상부캡(120)은 제 1 하부 바디부(138)의 상부에 설치된다. 여기서, 제 1 상부캡(120)은 천공된 제 1 홀(124)과, 제 1 상부캡(120)이 회전하기 위한 회전봉(122)을 포함하여 구성된다. 이때, 제 1 상부캡(120)은 회전부(116)에 의해 제 1 도가니(106) 내부에 배치된 복수의 제 2 도가니(118) 중 증발시키고자하는 도가니와 제 1 홀(124)이 대응되도록 회전봉(122)이 회전됨으로써 제 2 상부캡(130)의 제 2 홀(130)을 통과한 기화된 증발원(140)이 기판(102)에 증착될 수 있도록 한다.
회전봉(112)은 제 1 하부 바디부(138)의 배면에 형성된 회전봉 고정부(126)에 결합되도록 형성된다. 여기서, 회전봉(122)은 제 1 상부캡(120)의 제 1 홀(124)과 증발하고자 하는 복수의 제 2 도가니(118)의 제 2 홀(128)이 대응될 수 있도록 제 1 상부캡(120)을 회전시킨다.
회전부(116)는 제 1 하부 바디부(138)의 하부에 형성된다. 여기서, 회전부(116)는 제 1 하부 바디부(138)의 회전봉 고정부(126)에 결합된 회전봉(116)을 회전시켜 제 1 상부캡(120)의 제 1 홀(124)이 복수의 제 2 도가니(118)의 제 2 홀(128)과 대응 되도록 한다.
증발원 공급부는 제 1 도가니(106)에 증발원(114)을 공급하는 증발원 공급관(108)과, 증발원(114) 공급시 진공 챔버(104)의 진공 분위기를 유지하기 위한 제 2 수동제어밸브(110)와, 제 2 수동제어밸브(110) 개폐시 진공 챔버(104)의 진공 분위기를 유기하기 위한 제 1 수동제어밸브(122)를 포함하여 구성된다. 여기서, 증발원 공급부에 투입되는 증발원(114)은 구형 또는 펠릿(Pellet) 형태로 형성된다.
증발원 공급관(108)은 제 1 수동제어밸브(122)와 연결되어 증발원(114)이 투입되는 제 1 관(108a)과, 제 2 수동제어밸브(110)와 제 1 수동제어밸브(122) 사이에 형성된 제 2 관(108b)과, 진공 챔버(104)와 제 1 도가니(106)의 제 1 홀(124) 사이에 형성된 제 3 관(108c)을 포함하여 구성된다.
제 1 수동제어밸브(122)는 제 1 관(108a)과 제 2 관(108b) 사이에 형성된다. 여기서, 제 1 수동제어밸브(122)는 제 1 관(108a)에 공급된 증발원(114)을 제 2 관(108b)에 공급하기 위해 열림 상태를 유지한다. 그리고, 제 1 수동제어밸브(122)는 제 1 도가니(106)에 증발원(114)을 공급하기 위해 닫힘 상태를 유지하여 제 3 관(108c)에 증발원(114)을 공급한다.
제 2 수동제어밸브(110)는 제 2 관(108b)과 제 3 관(108c) 사이에 형성된다. 여기서, 제 2 수동제어밸브(110)는 제 1 수동제어밸브(122)가 열림 상태에서 공급된 증발원(114)을 열림 상태를 유지하여 제 3 관(108c)을 통해 제 1 도가니(106)에 공급한다. 그리고, 제 2 수동제어밸브(110)는 다시 증발원(114)이 투입되기 전까지 닫힘 상태를 유지한다.
이러한, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 발광 표시소자의 제조장치는 증발원을 충전하기 위해 온도를 낮추고 진공 챔버의 분위기를 낮춰야만 하는 종전과 달리 진공 챔버의 외부에 적어도 하나 이상의 증발원 공급부를 형성하여 고진공 분위기를 유지하면서 도가니에 증발원을 충전함으로써 증발원 충전을 위한 로스(loss) 시간을 줄이고, 장비 가동율을 증가 시켜 생산효율을 향상 시킬 수 있다.
또한, 증발원을 증착하기 위해 진공 챔버를 오픈시키는 과정이 생략됨으로써 공기와 수분에 취약한 발광 표시소자의 외부 노출을 줄여 발광 표시소자의 성능을 향상 시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 발광 표시소자의 제조장치를 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 발광 표시소자의 제조장치는 내부에 기판(102)이 배치된 진공 챔버(104)와, 기판(102, 202)에 증착될 증발원(114, 214)을 공급하는 적어도 하나 이상의 제 1 및 제 3 도가니(106, 206)와, 진공 챔버(104) 일측에서 제 1 및 제 3 도가니(106, 206)에 증발원(114, 214)을 공급하기 위한 제 1 증발원 공급부와, 진공 챔버(104)의 타측에서 제 3 도가니(206)에 증발원(214)을 공급하기 위한 제 2 증발원 공급부를 포함하여 구성된다.
먼저, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 발광 표시소자의 제조장치는 제 2 증발원 공급부를 제외하고는 상술한 본 발명의 제 1 실시 예와 동일한 구성을 가지므로 동일한 구성에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.
제 3 도가니(206)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 증발원(214)을 수용하기 위한 복수의 제 4 도가니(218)와, 복수의 제 4 도가니(218)가 안착되기 위한 제 3 하부 바디부(238)와, 제 3 하부 바디부(238)와 형합하고 제 4 도가니(218)의 증발원(214)이 이동하는 제 3 홀이 형성된 제 3 상부캡(220)과, 제 3 하부 바디부(238)의 하부에서 제 3 상부캡(220)을 회전시키기 위한 회전부(216)를 를 포함하여 구성 된다.
제 3 하부 바디부(238)는 복수의 제 4 도가니(218)가 안착될 수 있도록 형성된다. 여기서, 제 3 하부 바디부(238)의 상부는 제 3 상부캡(220)의 하부와 결합하고 하부 회전부(216)와 연결되도록 형성한다. 여기서, 제 3 하부 바디부(238)는 제 3 상부캡(220)의 회전봉을 고정하기 위한 회전봉 고정부를 포함하여 구성된다.
복수의 제 4 도가니(218)는 증발원(214)을 수용하기 위한 제 4 바디부와, 증발원(214)이 이동하기 위한 제 4 홀이 형성된 제 4 상부캡을 포함하여 구성된다.
제 4 바디부는 증발원 공급부로부터 공급된 증발원(214)이 수용될 수 있도록 형성된다. 여기서, 제 4 바디부는 외주면에 도시되지 않은 가열장치에 의해 전기적으로 가열되어 온도가 상승함에 따라 증발원(214)이 증발한다. 이때, 제 4 바디부는 내측에 형성된 중공부와, 상부에 제 2 상부캡과 결합하기 위한 나사선을 포함하여 구성된다.
제 4 상부캡은 제 2 바디부의 나사선과 결합되도록 형성된다. 여기서, 제 4 상부캡은 중심부에 제 4 홀이 형성되어 제 4 바디부에서 증발되는 물질이 제 4 홀을 통해 증발될 수 있도록 한다.
제 3 상부캡(220)은 제 3 하부 바디부(238)의 상부에 설치된다. 여기서, 제 3 상부캡(220)은 천공된 제 3 홀과, 제 3 상부캡(220)이 회전하기 위한 회전봉을 포함하여 구성된다. 이때, 제 3 상부캡(220)은 회전부(216)에 의해 제 3 도가니(206)의 내부에 배치된 복수의 제 4 도가니(218) 중 증발시키고자하는 도가니와 제 3 홀이 대응되도록 회전봉이 회전됨으로써 제 4 상부캡의 제 4 홀을 통과한 기 화된 증발원(240)이 기판(202)에 증착될 수 있도록 한다.
회전봉은 제 3 하부 바디부(238)의 배면에 형성된 회전봉 고정부에 결합되도록 형성된다. 여기서, 회전봉은 제 3 상부캡(220)의 제 3 홀과 증발하고자 하는 복수의 제 4 도가니(218)가 대응될 수 있도록 제 3 상부캡(220)을 회전시킨다.
회전부(216)는 제 3 하부 바디부(238)의 하부에 형성된다. 여기서, 회전부(216)는 제 3 하부 바디부(238)의 회전봉 고정부에 결합된 회전봉을 회전시켜 제 3 상부캡(220)의 제 3 홀이 복수의 제 4 도가니(218)의 제 4 홀과 대응 되도록 한다.
증발원 공급부는 제 3 도가니(206)에 증발원(214)을 공급하는 증발원 공급관(208)과, 증발원 공급관(208)과 진공 챔버(104)의 진공 분위기를 유지하기 위한 제 4 수동제어밸브(210)와, 제 4 수동제어밸브(210) 개폐시 진공 챔버(104)의 진공 분위기를 유기하기 위한 제 3 수동제어밸브(212)를 포함하여 구성된다. 여기서, 증발원 공급부에 투입되는 증발원(214)은 구형 또는 펠릿(Pellet) 형태로 형성된다.
증발원 공급관(208)은 제 3 수동제어밸브(212)와 연결되어 증발원(214)이 투입되는 제 4 관(208a)과, 제 4 수동제어밸브(210)와 제 3 수동제어밸브(212) 사이에 형성된 제 5 관(208b)과, 진공 챔버(104)와 제 1 도가니(206)의 제 3 홀 사이에 형성된 제 6 관(208c)을 포함하여 구성된다.
제 3 수동제어밸브(212)는 제 4 관(208a)과 제 5 관(208b) 사이에 형성된다. 여기서, 제 3 수동제어밸브(212)는 제 4 관(208a)에 공급된 증발원(214)을 제 5 관(208b)에 공급하기 위해 열림 상태를 유지한다. 그리고, 제 3 수동제어밸브(212) 는 제 3 도가니(206)에 증발원(214)을 공급하기 위해 닫힘 상태를 유지하여 제 6 관(208c)에 증발원(214)을 공급한다.
제 4 수동제어밸브(210)는 제 5 관(208b)과 제 6 관(208c) 사이에 형성된다. 여기서, 제 4 수동제어밸브(210)는 제 3 수동제어밸브(212)가 열림 상태에서 공급된 증발원(214)을 열림 상태를 유지하여 제 6 관(208c)을 통해 제 3 도가니(206)에 공급한다. 그리고, 제 4 수동제어밸브(210)는 다시 증발원(214)이 투입되기 전까지 닫힘 상태를 유지한다.
이와 같이 구성된 본 발명의 제 1 내지 제 2 실시 예에 따른 발광 표시소자의 제조장치를 이용한 제조공정은 내부에 기판(102, 202)이 배치된 진공 챔버(104)와, 기판(102, 202)에 증착될 증발원(114, 214)을 공급하는 적어도 하나 이상의 제 1 도가니(106, 206)와, 진공 챔버(104)의 적어도 하나의 일측에서 제 1 도가니(106)에 증발원(114)을 충전하기 위한 제 1 증발원 공급부와, 진공 챔버(104)의 타측에서 제 3 도가니(206)에 증발원(214)을 공급하기 위한 제 2 증발원 공급부를 포함하여 구성된다.
이 상태에서 제 1 도가니(106) 내부에 배치된 제 2 도가니(118)에 수용된 증발원(114)은 가열되어 승화상태인 증기로 변해 증발된다. 이 승화상태의 증착 물질(140, 240)은 복수의 제 2 도가니(118) 중 선택된 제 2 홀(128)은 제 1 도가니(106)의 제 1 홀(124)을 통해 기판(102, 202)의 표면에 증착된다. 이에 따라, 기판(210) 상에는 유기물질로 이루어진 박막이 형성된다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라 발광 표시장소의 제조장치에 의해 형성된 발광층을 포함하는 발광 표시소자를 나타내는 단면도이다.
도 5에 도시된 발광 표시소자는 유기박막층(312)과, 유기박막층(312)을 사이에 두고 형성되는 애노드 전극(304) 및 캐소드 전극(314)을 포함한다.
애노드 전극(304)은 기판(102, 202) 상에 캐소드 전극(314)에 비하여 일함수(work function)가 큰 물질로 형성된다. 여기서, 애노드 전극(304)은 유기박막층(312)으로부터 생성된 가시광을 외부로 투과시킬 수 있는 재질로 형성된다. 이때, 애노드 전극(304)은 인듐 틴 옥사이드(Indium-Tin Oxide : ITO)등으로 형성될 수 있다. 그리고, 애노드 전극(304)에는 정공을 주입하기 위한 구동 신호가 공급된다.
유기박막층(312)은 애노드 전극(304) 상에 순차적으로 적층된 정공 관련층(306), 발광층(308) 및 전자 관련층(310)을 포함하여 구성된다.
정공 관련층(306)은 정공 주입층과 정공 수송층을 포함하며, 전자 관련층(310)은 전자 수송층과 전자주입층을 포함한다. 이러한 유기박막층(312)에 포함된 발광층(308)은 본 발명의 제 1 및 제 2 실시 예에 따른 발광 표시소자의 제조장치를 이용하여 형성된다. 이 발광층(308)은 애노드 전극(304) 및 캐소드 전극(314)의 전기적 구동에 의해 발광한다. 발광된 유기박막층(312)으로부터 생성된 가시광은 애노드 전극(304)을 경유하여 기판(102, 202) 쪽으로 방출된다.
캐소드 전극(314)은 유기박막층(312) 상에 적층된다. 여기서, 캐소드 전극(314)에는 전자를 주입하기 위한 구동신호가 공급된다. 이때, 캐소드 전극(314)은 반사율이 높은 금속 재질로 금(Au), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag) 또는 그들 의 합금 등으로 형성된다.
이와 같은 발광 표시소자는 애노드 전극(304)과 캐소드 전극(314) 각각에 구동 신호가 인가되면 전자와 정공이 방출되고, 애노드 전극(304) 및 캐소드 전극(314)에서 방출된 전자와 정공은 유기박막층(312) 내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 발생된 가시광은 애노드 전극(304) 및 기판(102, 202)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다.
이와 같이 본원 발명의 발광 표시소자의 제조장치를 이용하여 제조된 발광 표시소자는 증발원을 증착하기 위해 진공 챔버를 오픈시키는 과정이 생략됨으로써 공기와 수분에 취약한 발광 표시소자의 외부 노출을 줄여 발광 표시소자의 성능을 향상 시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 발광 표시소자의 제조장치를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 발광 표시소자의 제 1 도가니를 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 발광 표시소자의 제 2 도가니를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 발광 표시소자의 제조장치를 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따라 발광 표시소자의 제조장치에 의해 형성된 발광층을 포함하는 발광 표시소자를 나타내는 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
102 : 기판 104 : 진공 챔버
106 : 제 1 도가니 108 : 증발원 공급관
110 : 제 2 수동제어밸브 112 : 제 1 수동제어밸브
114 : 증발원 116 : 회전부
118 : 제 2 도가니
Claims (7)
- 내부에 기판이 배치된 진공 챔버와;상기 기판에 증착될 증발원을 공급하는 적어도 하나 이상의 제 1 도가니와;상기 진공 챔버의 적어도 하나의 일측에서 상기 제 1 도가니에 유기물을 충전하기 위한 증발원 공급부를 포함하고;상기 증발원 공급부는상기 제 1 도가니에 상기 증발원을 상기 진공 챔버의 외부로부터 공급하는 증발원 공급관과;상기 증발원 공급관과 상기 진공 챔버의 진공 분위기를 유지하기 위한 제 1 수동제어밸브와;상기 제 1 수동제어밸브 개폐시 상기 진공 챔버의 진공 분위기를 유기하기 위한 제 2 수동제어밸브를 포함하고;상기 증발원 공급관은상기 제 2 수동제어밸브와 연결되어 상기 증발원이 투입되는 제 1 관과;상기 제 1 및 제 2 수동제어밸브 사이에 형성된 제 2 관과;상기 제 1 수동제어밸브와 상기 제 1 도가니의 제 1 홀 사이에 형성된 제 3 관을 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 표시소자의 제조장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 도가니는,상기 증발원을 보관하기 위한 복수의 제 2 도가니와;상기 복수의 제 2 도가니가 안착되기 위한 제 1 하부 바디부와;상기 제 1 하부 바디부와 형합하고 상기 제 2 도가니의 증발원이 이동하는 상기 제 1 홀이 형성된 상부캡과;상기 제 1 하부 바디부의 하부에서 상기 상부캡을 회전시키기 위한 회전부를 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시소자의 제조장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 제 2 도가니는,상기 증발원이 안착되기 위한 제 2 바디부와;상기 증발원이 이동하기 위한 제 2 홀이 형성된 제 2 상부캡을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시소자의 제조장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 상부캡은 상기 회전부와 결합하기 위한 회전봉을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시소자의 제조장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 제 1 하부 바디부는 상기 회전봉과 결합하기 위한 회전봉 고정부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 발광 표시소자의 제조장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 증발원은 구형 또는 펠릿(Pellet) 형태인 것을 특징으로 하는 발광 표시소자의 제조장치.
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