JPH0673152U - 多点蒸発源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 るつぼカバーの切欠部の縁部への蒸発材料の
付着量を低減し、るつぼカバーによる各るつぼへの蒸発
材料の侵入を確実に阻止する。 【構成】 プラネタリ式の多点蒸発源装置に対し、るつ
ぼカバー２５を公転ディスク４と回転一体にすると共
に、るつぼテーブル６及び電子銃８に対して昇降自在と
する。るつぼカバー２５に各るつぼテーブル６に対応し
て切欠部２５ａを形成し、この切欠部２５ａ夫々に１個
のるつぼ７が臨むようにする。るつぼカバー２５を、公
転ディスク４やるつぼテーブル６の回転時には上昇位置
に、蒸発動作時には降下位置にする。これにより、降下
されたるつぼカバー２５により、るつぼ７への蒸発材料
の侵入が防止できる。また、るつぼカバー２５が回転し
て新たな切欠部２５ａが電子ビーム照射位置Ａに位置さ
れ、切欠部２５ａへの蒸発材料の付着量が低減される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、真空蒸着槽内に設定された電子ビームの照射位置に対して、複数の るつぼを一つづつ順次移行させ、るつぼ内の蒸発材料を工学レンズ等の成膜対象 物に蒸着させる技術に関し、特に、多数のるつぼを扱う多点蒸発源装置に関する ものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種の多点蒸発源装置の１タイプとして、図４に示すように、回転自 在な一つの公転ディスクａの上面の同一円周上に複数（例えば６個）のるつぼテ ーブルｂ，ｂ，…を回転自在に配設し、このるつぼテーブルｂの上面の同一円周 上に複数（例えば８個）のるつぼｃ，ｃ，…を凹設状態で配置させ、この各るつ ぼｃ，ｃ，…内に蒸発材料を収めた所謂プラネタリ式の多点蒸発源装置が知られ ている。そして、蒸発材料を蒸発させる際には、公転ディスクａ及びるつぼテー ブルｂを夫々回転させることによって所望の蒸発材料が収められたるつぼｃを電 子銃ｄに対向させて、該蒸発材料に電子銃ｄからの電子ビームを照射させて蒸発 させるようにしたり、前記公転ディスクａを固定したままで、電子銃ｄに対向す る位置に配置されたるつぼテーブルｂを間欠的に回転させることによって各るつ ぼｃの蒸発材料を順次蒸発させ、このるつぼテーブルｂが一周して、該るつぼテ ーブルｂ上の全てのるつぼｃ内の蒸発材料が蒸発された後に、公転ディスクａを 回転させて次のるつぼテーブルｂを電子銃ｄに対向させ、上記と同様にしてるつ ぼテーブルｂを間欠的に回転させて各るつぼｃを電子銃ｄに順次対向させるよう な動作が行われるようになっている。

【０００３】 また、この種の多点蒸発源装置にあっては、電子ビームの照射によって蒸発さ れた蒸発材料が他のるつぼｃ内に侵入しないように、電子ビームの照射されるる つぼｃ以外のるつぼｃ，ｃ，…の上方を覆うようなるつぼカバーｅが備えられて いる。このるつぼカバーｅは、前記電子ビームがるつぼｃに向うように規制する ために電子銃ｄに組付けられたポールピースｆの上面にボルト止めなどによって 固定されており、電子銃ｄに対向する部分のみが切欠かれていて、この切欠部分 ｇに臨んで配置されたるつぼｃ以外のるつぼｃは、このるつぼカバーｅによって 覆われるようになっている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、上述したような構成では、るつぼカバーｅは、切欠部ｇを１箇所の みに備え、電子銃ｄと一体的に固定されていたため、蒸発材料は常に１箇所の切 欠部ｇを通過して槽内に蒸発されることになるので、前記公転ディスクａ及びる つぼテーブルｂが回転されて連続的に長時間の蒸発動作が行われるような場合、 この切欠部ｇの縁部に蒸発材料が大量に付着することになり、この付着した蒸発 材料が落下してるつぼｃ内に侵入してしまったり、公転ディスクａやるつぼテー ブルｂの回転を阻害したりすることになる。

【０００５】 また、前記電子銃ｄに対向するるつぼｃ以外のるつぼｃへの蒸発材料の侵入を 確実に防止するためには、各るつぼｃの上端面とるつぼカバーｅの下端面との間 隔寸法をできるだけ小さく、つまり、るつぼカバーｅをできるだけ下側に位置さ せることが好ましいが、上述したような従来の構成では、るつぼカバーｅが下側 に位置されると、該るつぼカバーｅが公転ディスクａやるつぼテーブルｂの回転 を阻害する虞れがあるために、この要求に十分に答えられる構成にはなっていな かった。

【０００６】 本考案は、これらの点に鑑みてなされたものであって、切欠部の縁部への蒸発 材料の付着量の低減を図ることができ、且つ、るつぼカバーによる各るつぼへの 蒸発材料の侵入を確実に阻止することができる構成を得ることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記の目的を達成するために、本考案は、るつぼカバーを公転テーブルと回転 一体にし且つ該るつぼカバーにるつぼテーブルの個々に対応した切欠部を形成し て該切欠部に１個のるつぼを臨ませるようにした。具体的に、請求項１記載の考 案は、鉛直方向に延びる駆動軸を中心に回転可能に設けられた公転ディスクと、 該公転ディスクの上面に配置され、該公転ディスクの駆動軸を中心とする同一円 周上に互いに所定角度間隔おきに配置され且つ各々の中心軸を中心として前記公 転ディスクに対して相対的に回転可能に設けられた複数の円盤状のるつぼテーブ ルと、前記各るつぼテーブル上において該るつぼテーブルの中心軸を中心とする 同一円周上に所定角度間隔おきに配置されると共に内部に蒸発材料が収められた 複数のるつぼと、ビーム照射位置に位置する１個のるつぼに対して電子ビームを 照射して該るつぼ内に収められている蒸発材料を蒸発させる電子銃とを備えた多 点蒸発源装置を前提としている。そして、前記るつぼテーブルの上側に、複数の るつぼテーブルの全体を覆うるつぼカバーを配設し、該るつぼカバーに、前記公 転ディスクの回転に伴って電子銃に対向する位置に移動されたるつぼテーブルに おけるビーム照射位置に位置するるつぼの上面のみを上方に開放するように、前 記るつぼテーブルに対向する外周縁部分が切欠かれて成るるつぼテーブルの個数 に対応した複数の切欠部を形成し、前記るつぼカバーを、前記公転ディスクに対 して回転一体に連繋すると共に、少なくとも前記るつぼテーブルに対する上下位 置が変更可能となるように昇降機構に接続するような構成としている。

【０００８】 請求項２記載の考案は、るつぼカバーの切欠部の縁部に、ビーム照射位置に位 置しているるつぼと該るつぼに隣接するるつぼとの間において鉛直方向に延びる 仕切壁を形成し、昇降機構によるるつぼカバーの降下位置にあっては、前記仕切 壁が、その下端縁がるつぼテーブルの上面に近接されるような構成としている。

【０００９】

【作用】

上記の構成により、本考案では以下に述べるような作用が得られる。請求項１ 記載の考案では、ビーム照射位置に位置するるつぼを変更する際には、昇降機構 によってるつぼカバーをるつぼテーブルから離れるように上昇させ、この状態で 公転ディスクやるつぼテーブルを回転させることによって所望のるつぼをビーム 照射位置に位置させる。その後、昇降機構により、るつぼカバーをるつぼテーブ ルに近接させるように下降させて蒸発動作を行う。この蒸発動作にあっては、る つぼカバーが降下されて、るつぼテーブルに近接されているために、電子ビーム 照射位置にあるるつぼ以外のるつぼへの蒸発材料の侵入が確実に防止されており 、また、公転ディスクの回転に伴うるつぼテーブルの移動に伴ってるつぼカバー が回転して、電子ビームの照射位置には新しい切欠部が位置されることになるの で、１つの切欠部の縁部に蒸発材料が多量に付着するようなこともない。

【００１０】 請求項２記載の考案では、昇降機構によるるつぼカバーの降下位置では、該る つぼカバーの切欠部の縁部に形成されている仕切壁の下端縁がるつぼテーブルの 上面に近接されることになる。これにより、この仕切壁によりビーム照射位置に あるるつぼに対して隣接するるつぼが区画されることになって、これらに蒸発材 料が付着したり侵入したりすることが防止される。

【００１１】

【実施例】

次に、本考案の一実施例を図面に基づいて説明する。図１乃至図３は本例に係 る多点蒸発源装置を示している。詳しくは、図１は多点蒸発源装置の全体を示す 側面図、図２は、図１におけるII-II 線に沿った一部を破断した平面図、図３は 一部を破断した要部を示す側面図である。

【００１２】 この多点蒸発源装置１は、真空槽２の内底部に、鉛直方向の駆動軸３を回転中 心とする公転ディスク４が設けられており、この公転ディスク４の上面には、前 記駆動軸３を中心とする同一円周上の６箇所で夫々本考案でいう中心軸としての 移動回転軸５（図３参照）と接続した円盤状のるつぼテーブル６，６，…が、互 いに所定角度間隔おきに配設されている。これら各るつぼテーブル６の上面には 、その回転中心の同一円周上に８個のるつぼ７，７，…が所定角度間隔おきに凹 設されて、各るつぼ７内に蒸発材料が収められていると共に、各るつぼテーブル ６は、８個のるつぼ７のうちの１つが電子銃８の電子ビーム照射位置Ａの下方を 通ることを可能に配置されている。

【００１３】 また、前記公転ディスク４は、駆動軸３を中心に回転駆動して各るつぼテーブ ル６，６，…を公転させ順次電子銃８の対面位置へ移行させるため、ディスク駆 動機構９と接続している。このディスク駆動機構９は、図３に示すように、前記 駆動軸３と、真空槽２の底壁２ａに固定され駆動軸３を軸支する軸受ユニット１ ０と、モータ１１とを備えており、モータ１１の駆動に伴って、該モータ１１の 駆動力が前記軸受ユニット１０及び駆動軸３を介して公転ディスク４に伝達され て、該公転ディスク４が回転するようになっている。

【００１４】 一方、前記るつぼテーブル６の下面には、前記移動回転軸５が延設され、前記 公転ディスク４に穿設された軸受孔にベアリング４ａ，４ａを介して軸支され公 転ディスク４の回転に従動可能になっていると共に、公転ディスク４より下方の 突出端に係合ローラ１３，１３が配設されている。そして、前記るつぼテーブル ６が電子銃対面位置に位置するとき、該るつぼテーブル６を移動回転軸５回りに 回転させて各るつぼ７，７，…を電子ビーム照射位置Ａへ向わせるため、るつぼ テーブル６の下方に、テーブル回転機構１４が設けられている。このテーブル回 転機構１４は、前記移動回転軸５と、この移動回転軸５と接離可能に設けられ移 動回転軸５に回転動力を伝達する固定操作軸１５と、真空槽２の底壁２ａに固定 され前記固定操作軸１５を軸支する軸受ユニット１６と、モータ１７と、該モー タ１７の動力を減速する減速機１８と、動力伝達用のジョイント１９と、固定操 作軸１５の上端に形成された係合溝１５ａとを備えている。

【００１５】 前記係合溝１５ａは、前記移動回転軸５の下端の係合ローラ１３，１３を受け 入れた状態で係止できるだけの溝幅を有しており、前記固定操作軸１５の回転を 移動回転軸５に伝達する。また、係合溝１５ａは、固定操作軸１５の停止時には 、係合ローラ１３，１３を公転ディスク４の回転方向に沿って並ぶ位置に位置決 めすることにより、移動回転軸５の回転停止姿勢を一定にする。そのため、移動 回転軸５上のるつぼテーブル６のるつぼ位置も一定になる。この後、前記公転デ ィスク４が回転すれば、別の任意のるつぼテーブル６を電子銃８と対向する位置 に送り込むことができるようになっている。

【００１６】 また、前記公転ディスク４の内部には、各るつぼテーブル６下の移動回転軸５ へ向う吸水路２０と、前記駆動軸３内の図示しない排水路とを連通し各移動回転 軸５へ向う排水路２１とが共に放射状に形成されている。

【００１７】 このような構成により、各モータ１１，１７の駆動によって公転ディスク４及 びるつぼテーブル６を回転させることにより、所望のるつぼ７を電子銃８に対向 させて電子ビーム照射位置Ａに位置させることができるように構成されている。

【００１８】 そして、本例の特徴とする構成の１つとしては、るつぼテーブル６の上側に配 置されたるつぼカバー２５にある。このるつぼカバー２５は、るつぼ７，７，… の上方を覆うことによって電子ビーム照射位置Ａにあるるつぼ７から蒸発された 蒸発材料が他のるつぼ７，７，…内に侵入しないように、これらるつぼ７，７， …上方を覆うように構成されたものである。具体的には、このるつぼカバー２５ は図２に示すように、平面視が略円形であって、その周縁部の複数箇所が扇状に 切欠かれてなる切欠部２５ａ，２５ａ，…が形成されている。この切欠部２５ａ の形成位置としては、前記るつぼテーブル６，６，…の配設位置に対応して設定 されている。また、その切欠部２５ａの大きさは、１つのるつぼ７のみが真空槽 ２内に臨むような大きさに設定されている。従って、各るつぼテーブル６に配設 されている複数（８個）のるつぼ７，７，…のうち１個のるつぼ７のみがこの切 欠部２５ａに面して真空槽２内に臨み、その他のるつぼ７，７，…がるつぼカバ ー２５によって覆われるような構成とされている。また、このるつぼカバー２５ の切欠部２５ａの縁部には、電子ビーム照射位置Ａに位置しているるつぼ７と該 るつぼ７に隣接するるつぼ７，７との間において鉛直方向に延びる仕切壁２５ｂ が形成されている、尚、図２における２２は、磁場を発生させて電子ビームの照 射方向が隣接するるつぼ７、つまり、るつぼカバー２５の切欠部２５ａに臨むる つぼ７へ向うように規制するポールピースである。

【００１９】 そして、このるつぼカバー２５のもう１つの特徴とするところは、前記公転デ ィスク４に対して回転一体で且つ昇降自在に構成されていることにある。具体的 には、図１に示すように、このるつぼカバー２５は、その上面の中央部が支柱２ ６を介して支持フレーム２７に連結されている。この支持フレーム２７は、るつ ぼカバー２５の半径方向に延びるフレーム材であって、その両外側端は、るつぼ カバー２５及び公転ディスク４の外周端位置よりも外側に設定されている。そし て、この支持フレーム２７の外周端部分の下面にはるつぼカバー２５の半径方向 （図１における左右方向）に延びる回転軸を持つローラ２８，２８，…が夫々配 設されている。また、前記公転ディスク４の上面中央部分には、小径の筒状のガ イド筒２９，２９，…が複数立設されている一方、前記るつぼカバー２５の下面 で前記ガイド筒２９に対向する位置には、該ガイド筒２９の内部に挿通可能なガ イドピン３０，３０，…が延設されている。従って、このガイドピン３０がガイ ド筒２９に挿通されていることにより、このるつぼカバー２５は、公転ディスク ４と一体的に回転されるようになっている。また、前記ローラ２８，２８の下側 には、該ローラ２８の転動を案内するリング状のガイドレール３１が配設されて おり、このガイドレール３１は、前記真空槽２の底壁２ａに配設された昇降機構 ３２に支持されている。この昇降機構３２は、前記底壁２ａを貫通するように配 設されたシリンダ３３と、該シリンダ３３の上面から進退自在に突出されたロッ ド３４とを備えており、このロッド３４の上端が前記ガイドレール３１の下面に 接続されている。

【００２０】 このような構成であるために、るつぼカバー２５は、シリンダ３３の駆動に伴 うロッド３４の進退移動によって、るつぼテーブル６に対して昇降されるように なっており、その降下位置にあっては、前記仕切壁２５ｂの下端部がるつぼテー ブル６の上面に近接され且つ該仕切壁２５ｂがポールピース２２の内側面と水平 方向で対向するようになっており、また、公転ディスク４が回転する際には、ロ ーラ２８がガイドレール３１内を転動することにより、該公転ディスク４と一体 的に回転するようになっている。

【００２１】 次に、上述の如く構成された多点蒸発源装置１の動作について説明する。先ず 、電子ビームの照射位置Ａに所望のるつぼ７を移動させる際には、前記シリンダ ３３を駆動させてロッド３４を突出方向へ移動させ支持フレーム２７の上昇移動 と共にるつぼカバー２５を上昇移動させる。そして、このるつぼカバー２５を最 上昇位置まで上昇させた状態で、モータ１１を駆動させて駆動軸３に回転を付与 する。すると、公転ディスク４が回転し、この回転に従動して移動回転軸５及び るつぼテーブル６が図２における矢印Ｂ方向に公転する。この際、前記ガイドピ ン３０がガイド筒２９に挿通されていることにより、るつぼカバー２５も一体的 に回転することになる。そして、所望のるつぼテーブル６が電子銃８の対面位置 へ来ると、図外の制御手段により、公転ディスク４を停止させる。その後、モー タ１７を駆動させて、この電子銃８の対面位置にあるるつぼテーブル６を回転さ せ、電子ビーム照射位置Ａに所望のるつぼ７を位置させる。このようにして所望 のるつぼ７を位置させた状態において、前記シリンダ３３を駆動させてロッド３ ４を後退方向へ移動させ支持フレーム２７の下降移動と共にるつぼカバー２５を 下降移動させる。そして、このるつぼカバー２５を最下降位置まで下降させた状 態では、このるつぼカバー２５がるつぼ７，７，…に極めて近接した位置となる と共に、前記仕切壁２５ｂの下端部がるつぼテーブル６の上面に近接され且つ該 仕切壁２５ｂがポールピース２２の内側面と水平方向で対向するようになる。こ の状態では、電子ビーム照射位置Ａには、るつぼテーブル６上の一つのるつぼだ けが臨んでいる。従って、電子ビームの入射角度が一定であり、一定した蒸発処 理を行えるので、製品間の成膜特性を一定にすることができる。また、この動作 時にあっては、上述したように、るつぼカバー２５がるつぼ７，７，…に極めて 近接した位置となっているので、電磁ビーム照射位置Ａにあるるつぼ７から蒸発 された蒸発材料が他のるつぼ７，７…内に侵入しないようになっている。特に、 るつぼカバー２５の切欠部２５ａの縁部に形成されている仕切壁２５ｂにより電 子ビーム照射位置Ａにあるるつぼ７に対して隣接するポールピース２２及びるつ ぼ７，７が区画されているので、これらに蒸発材料が付着したり侵入したりする ことが確実に防止されることになる。

【００２２】 このようにして、一つのるつぼ７に対して電子ビーム照射を行い終わると、モ ータ１７を駆動させて固定操作軸１５を介して移動回転軸５に回転を付与し、次 のるつぼ７が電子ビーム照射位置に来るまでるつぼテーブル６を回転させる。こ の際には、公転ディスク４及びるつぼカバー２５の回転は行われない。このよう なるつぼテーブル６の回転操作を順次行い、一つのるつぼテーブル６の全ての蒸 発材料を処理し終えると、再び、シリンダ３３を駆動させてるつぼカバー２５を 上昇させた後、公転ディスク４を回転させてるつぼテーブル６を順次電子銃対面 位置へ移動させる。この際、るつぼカバー２５は、ポールピース２２から後退し た位置にあるので、このるつぼカバー２５とポールピース２２との干渉を回避し ながらるつぼカバー２５を回転させることができる。また、るつぼテーブル６が 順次電子銃対面位置へ移動される際には、それに伴ってるつぼカバー２５の切欠 部２５ａも順次移動されることになるので、従来のように、常に同一の切欠部２ ５ａが臨んでこの切欠部２５ａの縁部に蒸発材料が多量に付着するようなことが なくなる。このような動作を連続的に行わせることにより、蒸発材料全てについ て連続成膜を行うための蒸発動作が可能となる。

【００２３】 このように、本例の構成によれば、蒸発材料の蒸発動作時には、るつぼカバー ２５が下降することによって電子ビーム照射位置にあるるつぼ７以外のるつぼ７ ，７，…への蒸発材料の侵入を確実に防止することができ、また、公転ディスク ４の回転に伴うるつぼテーブル６の移動に伴ってるつぼカバー２５が回転して、 電子ビームの照射位置には新しい切欠部２５ａが位置されることになるので、１ つの切欠部２５ａの縁部に蒸発材料が多量に付着するようなことがなくなる。

【００２４】 尚、本例では、るつぼテーブル６を６個、１個のるつぼテーブル６に対してつ ぼ７を８個備えたものについて説明したが、本考案は、これに限らず、その他の 多点蒸発源装置に対しても同様の構成を採用することができる。

【００２５】

【考案の効果】

以上、説明してきたように、本考案によれば以下に述べるような効果が発揮さ れる。請求項１記載の考案によれば、るつぼテーブルの上側に、複数のるつぼテ ーブルの全体を覆うるつぼカバーを配設し、該るつぼカバーに、公転ディスクの 回転に伴って電子銃に対向する位置に移動されたるつぼテーブルにおけるビーム 照射位置に位置するるつぼの上面のみを上方に開放するように、前記るつぼテー ブルに対向する外周縁部分が切欠かれて成るるつぼテーブルの個数に対応した複 数の切欠部を形成し、前記るつぼカバーを、前記公転ディスクに対して回転一体 に連繋すると共に、少なくとも前記るつぼテーブルに対する上下位置が変更可能 となるように昇降機構に接続するような構成としたために、るつぼカバーが下降 することで、該るつぼカバーがビーム照射位置に位置するるつぼ以外のるつぼに 近接することになり、これによってビーム照射位置にあるるつぼ以外のるつぼへ の蒸発材料の侵入を確実に防止することができ、また、公転ディスクの回転に伴 うるつぼテーブルの移動に伴ってるつぼカバーが回転して、ビームの照射位置に は新しい切欠部が位置されることになるので、１つの切欠部の縁部に蒸発材料が 多量に付着するような状況の発生の防止を図ることができる。

【００２６】 請求項２記載の考案によれば、るつぼカバーの切欠部の縁部に、ビーム照射位 置に位置しているるつぼと該るつぼに隣接するるつぼとの間において鉛直方向に 延びる仕切壁を形成し、昇降機構によるるつぼカバーの降下位置にあっては、前 記仕切壁が、その下端縁がるつぼテーブルの上面に近接されるような構成とした ために、昇降機構によるるつぼカバーの降下位置では、前記仕切壁によりビーム 照射位置にあるるつぼに対して隣接するるつぼが区画され、これによって、これ らに蒸発材料が付着したり侵入したりするような状況の発生の防止を図ることが できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】多点蒸発源装置の全体を示す側面図である。

【図２】図１におけるII-II 線に沿った一部を破断した
平面図である。

【図３】一部を破断した要部を示す側面図である。

【図４】従来の多点蒸発源装置を示す図２相当図であ
る。

【符号の説明】

１ 多点蒸発源装置 ３ 駆動軸 ４ 公転ディスク ５ 移動回転軸（中心軸） ６ るつぼテーブル ７ るつぼ ８ 電子銃 ２５ るつぼカバー ２５ａ 切欠部 ２５ｂ 仕切壁 Ａ 電子ビーム照射位置

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 鉛直方向に延びる駆動軸を中心に回転可
   能に設けられた公転ディスクと、 該公転ディスクの上面に配置され、該公転ディスクの駆
   動軸を中心とする同一円周上に互いに所定角度間隔おき
   に配置され且つ各々の中心軸を中心として前記公転ディ
   スクに対して相対的に回転可能に設けられた複数の円盤
   状のるつぼテーブルと、 前記各るつぼテーブル上において該るつぼテーブルの中
   心軸を中心とする同一円周上に所定角度間隔おきに配置
   されると共に内部に蒸発材料が収められた複数のるつぼ
   と、 ビーム照射位置に位置する１個のるつぼに対して電子ビ
   ームを照射して該るつぼ内に収められている蒸発材料を
   蒸発させる電子銃とを備えた多点蒸発源装置において、 前記るつぼテーブルの上側には、複数のるつぼテーブル
   の全体を覆うるつぼカバーが配設されており、該るつぼ
   カバーは、前記公転ディスクの回転に伴って電子銃に対
   向する位置に移動されたるつぼテーブルにおけるビーム
   照射位置に位置するるつぼの上面のみを上方に開放する
   ように、前記るつぼテーブルに対向する外周縁部分が切
   欠かれて成るるつぼテーブルの個数に対応した複数の切
   欠部が形成されており、 前記るつぼカバーは、前記公転ディスクに対して回転一
   体に連繋されていると共に、少なくとも前記るつぼテー
   ブルに対する上下位置が変更可能となるように昇降機構
   が接続されていることを特徴とする多点蒸発源装置。
2. 【請求項２】 るつぼカバーの切欠部の縁部には、ビー
   ム照射位置に位置しているるつぼと該るつぼに隣接する
   るつぼとの間において鉛直方向に延びる仕切壁が形成さ
   れており、昇降機構によるるつぼカバーの降下位置にあ
   っては、前記仕切壁は、その下端縁がるつぼテーブルの
   上面に近接されるように構成されていることを特徴とす
   る請求項１記載の多点蒸発源装置。