JPH04329869A

JPH04329869A - 蒸着装置及び蒸着方法

Info

Publication number: JPH04329869A
Application number: JP12691091A
Authority: JP
Inventors: Junichi Akamatsu; 赤松　順一; Masato Yamamura; 山村　真人
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1991-04-30
Filing date: 1991-04-30
Publication date: 1992-11-18

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、蒸着方法に関し、特に
高効率な蒸着膜形成を可能にする蒸着方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】真空蒸着法は、真空中で薄膜を作ろうと
する物質を加熱して蒸発させ、その蒸気を適当な面の上
に付着させて薄膜を形成する方法であり、簡便な方法で
あることから従来より広く使用されている。

【０００３】このような真空蒸着法において使用される
蒸着装置としては、一回の蒸着作業で、できるだけ多数
の試料にあるいは広面積の試料に蒸着膜が形成できるよ
うに、複数の試料が装着できる成膜用トレイを複数用い
、この成膜用トレイに装着された試料に対して蒸着を行
う形式のものが一般に使用されている。

【０００４】すなわち、この蒸着装置は、内部を真空と
なす排気系を有したチャンバー内に、蒸着源と、この蒸
着源を中心とする円周上に配置された複数の成膜用トレ
イを有してなる。上記成膜用トレイは、トレイのいずれ
の部分にも同程度に蒸気流が当たるように所定の曲率を
有する球面状とされ、この球面の凹面側に試料が装着さ
れるようになされている。また、上記成膜用トレイは、
凹面側が蒸着源に向くようにして配置され、蒸着源の回
りを公転するとともにトレイ自体も自転するようになさ
れており、装着された試料に均一な膜厚でむらなく蒸着
膜が形成されるようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記蒸着装
置においては、上述の如く均一な膜厚の蒸着膜を形成す
るために成膜用トレイとして球面状のものが使用される
が、この球面状のトレイに試料を装着しようとすると、
トレイが球面であるために試料全面が完全にトレイに接
触せず、取り付け作業が非常に困難なものとなる。また
、試料を効率よくトレイ上に配置できず、取り付けられ
る試料の数も制限される。さらに、球面状のトレイは、
球面加工が困難な作業であることから、製造に手間やコ
ストを相当要するといった不都合が生じる。

【０００６】そこで、本発明はこのような従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、成膜用トレイの製造に要
する手間やコストが低減できるとともに成膜用トレイ上
に多数の試料が容易に取り付けられ、作業性，生産性の
向上を図ることができる蒸着方法を提供することを目的
とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明はこのような従来
の実情に鑑みて提案されたものであり、円周上に配置さ
れる平板状の複数のトレイにそれぞれ被蒸着試料を装着
し、これらトレイを前記円周上に沿って回動せしめると
ともに各トレイ自体を回動せしめ、蒸発源上に蒸気流を
部分的に遮蔽する補正板を配置して上記被蒸着試料に対
して蒸着を行うことを特徴とする。

【０００８】

【作用】本発明の蒸着方法において被蒸着試料は円周上
に配置される複数の平板状のトレイに装着される。平板
状のトレイは、試料装着面が平坦であるので、装着作業
が容易であるとともに試料を装着する配置の自由度も大
きく、多様な形状の試料が多数取り付けられる。また、
上記蒸着方法においては、このように試料が装着された
トレイを前記円周上に沿って回動せしめるとともに各ト
レイ自体を回動せしめ、さらに蒸発源上に蒸気流を部分
的に遮蔽する補正板を配置して上記被蒸着試料に対して
蒸着を行うので、トレイが平板状であっても蒸気流はト
レイ上のいずれの試料に対しても同程度に当たるように
なり、試料上に蒸着膜が均一な膜厚でむらなく形成され
る。

【０００９】

【実施例】本発明の好適な実施例について図面を参照し
ながら説明する。すなわち、この装置は、ステンレス等
により形成された円筒形のチャンバー１内に蒸着源を載
置するためのボート２と、被蒸着試料を装着するための
トレイ３と、このトレイ３を支持するためのプラネタリ
治具４と、蒸気流を部分的に遮蔽する補正板５とを有す
るものである。

【００１０】上記ボート２は、チャンバー１の底部中心
部に設けられ、フィラメントあるいは電子ビームの照射
による加熱により、ボート２内の蒸着源を蒸発させるよ
うになされている。

【００１１】上記プラネタリ治具４は、回動中心となる
回転軸４ａと、この回転軸の下端部に該回転軸を中心と
して放射状に枝分かれする如く連結される複数の（本例
では２本の）回動アーム４ｂと、この回動アームの先端
から斜めに垂下するトレイ支持部４ｃとからなる。そし
て、上記プラネタリ治具４は、回動軸４ａがボート２の
真上に位置するように取り付けられ、たとえば矢印Ｒ方
向に回転操作されるようになされている。

【００１２】また、上記プラネタリ治具４のトレイ支持
部４ｃの先端には、上記トレイ３に取付けられた支持シ
ャフト６を回転自在に支持するシャフト支持部７が取り
付けられている。そして、このシャフト支持部７に支持
シャフト６がその長手方向がボート２を中心とする円周
の法線方向となるように支持されている。上記支持シャ
フト６は、一定の長さとされた棒状体であり、内方向先
端部６ａには上記成膜用トレイ３が、外方向先端部６ｂ
にはプーリ８がそれぞれ固定されている。

【００１３】上記成膜用トレイ３は、直径４０ｃｍの円
形平板状とされており、その片側面３ａがボート２に対
向するように固定されている。そして、この片側面３ａ
に被蒸着試料が装着されるようになされている。したが
って、被蒸着試料が平坦な面に装着されることとなるの
で、従来の球面状のトレイと比べて試料装着作業が容易
であるとともに、試料が装着できる配置の自由度が大き
く、多様な形状の試料（特に角形試料）を多数装着する
ことができる。なお、上記成膜用トレイ３としては、本
実施例では円形平板状のものを使用したが、これに制限
されるものではなく、平板状であればいずれの形状，大
きさのものであっても差し支えない。被蒸着試料の数，
大きさ，形状を考慮して適宜選択すればよい。

【００１４】一方、支持シャフト６の外方向先端部に固
定されたプーリ８の位置には、該プーリと係合するレー
ル９が回動軸を中心とする円周に沿って設けられており
、プーリ８がこのレール９に沿って回動しながら走行す
るようになされている。すなわち、この蒸着装置におい
ては、プラネタリ治具４がＲ方向に回転操作されると、
それに追従して、上記成膜用トレイ３，支持シャフト６
，プーリ８が一体となって蒸着源の回りを公転する。こ
こで、上述の如くプーリ８はレール９に転接しているの
で、公転とともにレール９上を転がり、このプーリ８の
転がりとともにトレイ３，支持シャフト６がそれ自体回
転することとなる。そして、このようにしてトレイ３が
蒸着源の回りを公転しながら自転することにより、被蒸
着試料に形成される蒸着膜の膜厚が均一化することとな
る。

【００１５】さらに、上記蒸着装置においては、上記ボ
ート２と対向する位置に蒸発源の蒸気流を部分的に遮蔽
するための図２に示すような菱形形状の補正板５が配置
されている。

【００１６】すなわち、この蒸着装置においては、トレ
イ３が平板状であるために、たとえば補正板を設けずに
蒸着を行うと、蒸気流がトレイ全面に対して均等に当た
らない。たとえば、図３に補正板を設けた場合の膜厚分
布（図３中、実線）および補正板を設けない場合の膜厚
分布（図３中、破線）をそれぞれ示すが、補正板を設け
ずに蒸着を行うと、中心部に近い部分ほど蒸着膜が厚く
形成される傾向を示す。これに対して蒸着源と対向する
位置に補正板を設けると、この補正板５によって蒸気流
が部分的に遮蔽されるので、中心部の膜厚のみが厚くな
ることがなく、蒸着膜が均一な膜厚で形成されることと
なる。

【００１７】なお、上記補正板５としては、本実施例で
使用したような菱型形状のものが好適であるが、これに
限るものではなく、適宜選択して差し支えない。

【００１８】そして、上記蒸着装置においては、上記チ
ャンバーの底部１ａに、高真空ポンプやロータリーポン
プ等からなる排気系が設けられ、プロセス上必要な所定
の真空度まで排気可能となされている。

【００１９】このように構成された蒸着装置によって被
蒸着試料に対して蒸着を行うには、先ず、上記被蒸着試
料をトレイ３上に装着する。ここで、本実施例の蒸着装
置においては、トレイ３が平板状であるので、被蒸着試
料が容易に装着できるとともに試料を装着する配置の自
由度が大きいので一度に多数の試料に対して蒸着膜を形
成することができる。また、平板状のトレイは、球面状
のトレイと比べて加工が容易であり、低コストで製造で
きるため、蒸着に要する費用を低減することが可能とな
る。そして、このように被蒸着試料をトレイ上に装着し
た後、プラネタリ治具をＲ方向に回転させてトレイを公
転させるとともに自転させつつ蒸着を行うが、このとき
蒸着源と対向する位置には補正板が配置されているので
、成膜用トレイが平板状であっても蒸気流はトレイ全面
に均等に当たり、蒸着膜が均一な膜厚でむらなく形成さ
れることとなる。

【００２０】

【発明の効果】上述の説明からも明らかなように、本発
明の蒸着方法においては、被蒸着試料を平板状の複数の
トレイに装着し、これらトレイを前記円周上に沿って回
動せしめるとともに各トレイ自体を回動せしめ、さらに
蒸発源上に蒸気流を部分的に遮蔽する補正板を配置して
上記被蒸着試料に対して蒸着を行うので、被蒸着試料の
装着が容易に行えるとともに、一度の蒸着作業で多数の
被蒸着試料に均等な膜厚で蒸着膜が形成できる。しかも
、平板状のトレイは、加工が容易であり、低コストで製
造できるので、蒸着に要する費用が低減できることとな
る。したがって、本発明によれば蒸着の作業性，生産性
の向上を図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の蒸着方法において使用される蒸着装置
の一例を示す概略模式図である。

【図２】上記蒸着装置に適用される補正板の一例を示す
斜視図である。

【図３】補正板を設けないで蒸着した場合と補正板を設
けて蒸着した場合の蒸着膜の膜厚分布を示す特性図であ
る。

【符号の説明】

３・・・トレイ４・・・プラネタリ治具５・・・補正板８・・・プーリ９・・・レール

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　円周上に配置される平板状の複数のト
レイにそれぞれ被蒸着試料を装着し、これらトレイを前
記円周上に沿って回動せしめるとともに各トレイ自体を
回動せしめ、蒸発源上に蒸気流を部分的に遮蔽する補正
板を配置して上記被蒸着試料に対して蒸着を行うことを
特徴とする蒸着方法。